JPS6373606U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6373606U JPS6373606U JP16762586U JP16762586U JPS6373606U JP S6373606 U JPS6373606 U JP S6373606U JP 16762586 U JP16762586 U JP 16762586U JP 16762586 U JP16762586 U JP 16762586U JP S6373606 U JPS6373606 U JP S6373606U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- reference mirror
- pinhole
- photoelectric converter
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
第１図は本考案のレーザ干渉計の一実施例を示
す構成図、第２図は第１図の作用効果を説明する
ための図、第３図は従来のレーザ干渉計の一例を
示す構成図、第４図および第５図は第３図のレー
ザ干渉計の問題点を説明するための図である。 １…レーザ装置、２…レーザビーム、３…ハー
フミラー（基準ミラー）、８…テストピース、１
１…基準ミラー、１５…光電変換器、２３…加算
増幅器、２４…発振器。
す構成図、第２図は第１図の作用効果を説明する
ための図、第３図は従来のレーザ干渉計の一例を
示す構成図、第４図および第５図は第３図のレー
ザ干渉計の問題点を説明するための図である。 １…レーザ装置、２…レーザビーム、３…ハー
フミラー（基準ミラー）、８…テストピース、１
１…基準ミラー、１５…光電変換器、２３…加算
増幅器、２４…発振器。
Claims (1)
- レーザ装置と、基準ミラーと、ピンホールと、
光電変換器とを備え、上記レーザ装置から発信さ
れたレーザ光を二分し、計測面と上記基準ミラー
に照射すると共に、その反射光を合成して上記ピ
ンホールを介して上記光電変換器に入射させる光
学系とを有するレーザ干渉計において、上記基準
ミラーを上記レーザ光の波長に等しい両振幅で振
動させるミラー振動装置を具備したことを特徴と
するレーザ干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16762586U JPS6373606U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16762586U JPS6373606U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373606U true JPS6373606U (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=31099728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16762586U Pending JPS6373606U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373606U (ja) |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP16762586U patent/JPS6373606U/ja active Pending