JPS6373121A - 分光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は分光装置において、回折素子により分散された
光を、各検出素子が特定の波長の光成分を受光するよう
に位置決めされて固設された検出器により同時に受光し
、各検出素子の出力を電子的に走査して順次取り出し、
光スペクトルを短時間で表示しうるようにしたものであ
る。

〔産業上の利用分野〕

本発明は分光装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の分光装置の構成を第３図に示す。図中、１は入射
スリット、２，３は反射ミラー、４は回折格子、５はス
リット、６は検出素子、７はＸ−Ｙレコーダである。ま
た、８は回折格子４を回動させるモータ、９は回折格子
４の回動角を検出する回動角検出器、１０は角度−波長
変換回路、１１は増幅回路である。

スペクトルを調べるべき光（波長λ１．λ２゜λ３の成
分を有するとする）１２は、スリット１を通り、ミラー
２で反射され、回折格子４で反射し回折され、分散して
ミラー３に向かい、こ）で反射され、ある波長の光成分
がスリット５を通って検出素子６により受光される。

モータ８が駆動して回折格子４が矢印方向に回動され、
ミラー３よりスリット５に向かう分散した光がスリット
板５ａ上を走査し、スリット５を通る光の成分が逐次変
化せしめられる。検出素子６の出力は増幅回路１１を経
てＸ−Ｙレコーダ７のＹ入力端子に加えられる。

一方、回折格子４の回動角に対応する信号が検出器９よ
り出力される。この信号は変換回路１０により回動角を
そのときスリット５を通過する光成分の波長に変換され
てＸ−Ｙレコーダ７のＸ入力端子に加えられる。

これにより、Ｘ−Ｙレコーダ７は、第４図中曲線工で示
すように波長λ１．λ２．λ３の個所でピークを示すグ
ラフを描き、このグラフより上記光１２のスペクトルを
知ることができる。

〔考案が解決しようとする問題点〕 上記グラフは回折格子４の回動に応じて描かれるもので
あり、光のスペクトルを知るには相当長い時間が必要で
あるという問題点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の分光装置は、入射スリットを通して入射した光
を波長に応じて分散させるべく固設された回折素子と、 複数の検出素子を有し、各検出素子が該回折素子により
分散された特定の波長の光を受光するように、各検出素
子の位置を波長と関連ずけて定めて固設された検出器と
、 各検出素子の出力を順次取り出す電子的走査手段と、 該走査手段を介して取り出された該検出素子の出力信号
と該走査手段の走査位置信号とを供給されて上記入射し
た光のスペクトルを表示する表示手段とよりなる。

（作用〕 検出器は、回折素子により分散された光の全体を同時に
受光し、光の分散に対応した信号を同時に出力する。こ
の同時出力は、電子的走査手段による高速走査を可能と
し、これにより光スペクトルの表示に要する時間の短縮
化が可能となる。

〔実施例〕

第１図は本発明の分光装置の一実施例を示す。

図中、２０は回折格子であり、固設してあり、入射スリ
ット２１を通して入射した光１２を波長に応じて回折さ
せて反射させる。

分散した光を受光するように検出器２２が設けである。

検出器２２は、本体２４に微小サイズ（例えば１００〜
５００μｎ＋）の検出素子２３−１〜２３−１が１列に
整列して配された構成であり、各検出素子とこれが受光
する光成分の波長とが予め定められた関係となるように
各検出素子２３−１〜２３−ＴＩが位置決めされた状態
で固設しである。即ち、各検出素子２３−１〜２３−１
は夫々が検出を担当する光成分の波長が予め定められた
状態で配されている。

検出素子２３−１〜２３−ＴＩは夫々が受光した光の強
度に対応したレベルの信号（電圧）を夫々の出力端子２
５−１〜２５−１に出力する。

２６は走査手段としての電子的スキャナであり、上記の
出力端子２５−１〜２５−１を順次走査し、端子２７よ
り上記出力端子２５−１〜〜２５−ＴＩの信号が順次取
り出される。取り出された信号は増幅回路２８を介して
表示手段としての受像管２９のＹ端子に加えられる。

スキャナ２６の端子３０からは走査位置に対応した信号
（電圧）が出力され、増幅回路３１を介して受像管２９
のＸ端子に加えられる。

受像管２９には、光のスペクトラムを示すグラフが表示
される。

こ）で各出力端子２５−１〜２５−ηには信号が出力さ
れており、電子式スキャナ２６の走査速度が速くても、
端子２７からは各検出素子２３−１〜２３−１の検出状
況に応じた信号が正常に取り出される。従って電子式ス
キャナ２６は走査速度を速く定めてあり、受像管２９に
はグラフが略瞬時に表示され、光のスペクトルを直ちに
知ることが出来、光スペクトルの検査に要する時間の大
幅な短縮が可能となる。

上記光１２が入射したときには、これは、回折格子２０
により、１２＋　、１２２．１２３で示すように分散し
て反射され、光成分１２１，１２２゜１２３が夫々検出
素子２３−ａ、２３−ｂ、２３−Ｃにより受光され、出
力端子２５−ａ、２５−ｂ、２５−ｃに光成分１２＋　
、１２２．１２３に対応したレベルの信号が同時に出力
される。スキャナ２６の走査により、受像管２９上には
、第２図と同じグラフが略瞬時に表示される。

第２図は本発明の他の実施例を示す。同図中、第１図に
示す構成部分と対応する部分には同一符号を付す。第１
図と異なるのは、回折素子の代用としてプリズム３２を
用いている。スリット３１を通った光１２はプリズム３
２で波長に応じて屈折されて分散される。検出器２２は
、この分散した光を受光するように且つ各受光素子が特
定の波長の光を受光するように位置決めされて設けであ
る。プリズム３２及び検出器２２は共に固設しである。

また、上記の検出器２２の代わりに、ＣＯＤを並べた構
成の検出器を使用することもできる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、検出器の各検出素子には、回折素子に
より分散された光に対応した信号が同時に出力されてお
り、電子的走査手段による高速走査が可能であるため、
光スペクトルの表示に要する時間を従来に比べて大幅に
短縮化することが出来、光源の解析を能率良く行なうこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の分光装置の一実施例を示す図、第２図
は本発明装置の他の実施例の一部を示す図、 第３図は従来の分光装置の１例を示す図、第４図は光ス
ペクトルの１例を示す図である。 図において、 ２０は回折格子、 ２１は入射スリット、 ２２は検出器、 ２３−１〜２３−ＴＩは検出素子、 ２５−１〜２５−ＴＩは出力端子、 ２６は電子的スキャナ、 ２７．３０は端子、 ２つは受像管、 ３２はプリズムである。 代理人　弁理士　井　桁　貞　、、：、、メーパ・、’
Ｓ’ ぐ；− 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 入射スリット（２１）を通して入射した光 （１２）を波長に応じて分散させるべく固設された回折
   素子（２０、３２）と、 複数の検出素子（２３−＿１〜２３−＿ｎ）を有し、各
   検出素子が該回折素子により分散された特定の波長の光
   を受光するように、各検出素子の位置を波長と関連ずけ
   て定めて固設された検出器（２２）と、 各検出素子（２３−＿１〜２３−＿ｎ）の出力を順次取
   り出す電子的走査手段（２６）と、 該走査手段（２６）を介して取り出された該検出素子の
   出力信号と該走査手段の走査位置信号とを供給されて上
   記入射した光のスペクトルを表示する表示手段（２９）
   とよりなることを特徴とする分光装置。