JPH04274715A - 分光装置 - Google Patents
分光装置Info
- Publication number
- JPH04274715A JPH04274715A JP5963491A JP5963491A JPH04274715A JP H04274715 A JPH04274715 A JP H04274715A JP 5963491 A JP5963491 A JP 5963491A JP 5963491 A JP5963491 A JP 5963491A JP H04274715 A JPH04274715 A JP H04274715A
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- JP
- Japan
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- light
- slit
- spectral
- slits
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- Pending
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 34
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005375 photometry Methods 0.000 abstract description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、発光分光分析装置な
どに組込まれる分光装置に関するものである。
どに組込まれる分光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の分光装置のうち、光電測光
素子が１つのものによる発光分光分析装置を示す模式図
である。図中、１は例えば放電電極や誘導結合プラズマ
などの発光源で、図中では単なる丸で表わしている。２
は発光源１で発光した光の経路を表わす線、３は光２を
集めるためのコリメータ、４は入口スリット、５は凹面
回折格子、６は光２が回折格子５により分散された分光
光の経路を表わす線、７は反射鏡、８は分光光６のスペ
クトル像、９は出口スリット、１０は光電測光素子で、
例えば光電子増倍管である。
素子が１つのものによる発光分光分析装置を示す模式図
である。図中、１は例えば放電電極や誘導結合プラズマ
などの発光源で、図中では単なる丸で表わしている。２
は発光源１で発光した光の経路を表わす線、３は光２を
集めるためのコリメータ、４は入口スリット、５は凹面
回折格子、６は光２が回折格子５により分散された分光
光の経路を表わす線、７は反射鏡、８は分光光６のスペ
クトル像、９は出口スリット、１０は光電測光素子で、
例えば光電子増倍管である。
【０００３】次に動作について説明する。光源１で発光
した光２はコリメータ３により集光され、入口スリット
４に入射する。入口スリット４で絞られた光２は回折格
子５で反射する際、波長により分光される。回折格子５
は凹面であるため、分光光６は反射鏡７で反射した後、
凹面の焦点でスペクトル像８を結ぶ。出口スリット９に
よりスペクトル像８のうち観察したい波長成分を選択し
、出口スリット９を通過した光を光電子増倍管１０で電
気信号に変換し、観察する波長の情報を得る。観察波長
の切替は、反射鏡７ないし出口スリット９を動かすこと
によりスペクトル像８と出口スリット９の相対位置を変
更することにより行なっている。
した光２はコリメータ３により集光され、入口スリット
４に入射する。入口スリット４で絞られた光２は回折格
子５で反射する際、波長により分光される。回折格子５
は凹面であるため、分光光６は反射鏡７で反射した後、
凹面の焦点でスペクトル像８を結ぶ。出口スリット９に
よりスペクトル像８のうち観察したい波長成分を選択し
、出口スリット９を通過した光を光電子増倍管１０で電
気信号に変換し、観察する波長の情報を得る。観察波長
の切替は、反射鏡７ないし出口スリット９を動かすこと
によりスペクトル像８と出口スリット９の相対位置を変
更することにより行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の分光装置は光電
測光素子が１つの場合、以上のように構成されている。 そのため、観測波長の切替は測光の間固定していた反射
鏡ないし出口スリットのある設定位置から別の設定位置
への移動する必要があり、この移動に０．１ 秒ないし
１秒程度を要していた。そのため、発光時間が１秒に満
たない場合に複数波長にて分光分析を行なおうとする際
、光電測光素子を測定する波長の数だけ用意する必要が
あり、分光装置が大型化してしまうという問題点があっ
た。
測光素子が１つの場合、以上のように構成されている。 そのため、観測波長の切替は測光の間固定していた反射
鏡ないし出口スリットのある設定位置から別の設定位置
への移動する必要があり、この移動に０．１ 秒ないし
１秒程度を要していた。そのため、発光時間が１秒に満
たない場合に複数波長にて分光分析を行なおうとする際
、光電測光素子を測定する波長の数だけ用意する必要が
あり、分光装置が大型化してしまうという問題点があっ
た。
【０００５】この発明はかかる問題点を解消するために
なされたものであり、分光装置を小型・安価にできるよ
う、光電測光素子が１つでも複数の波長を同時に測定で
きる分光装置を得ることを目的とする。
なされたものであり、分光装置を小型・安価にできるよ
う、光電測光素子が１つでも複数の波長を同時に測定で
きる分光装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による分光装置
は、複数の観察したい波長に対応するスリットを各々重
なりなく開けた出口スリット板を設け、分光光をスリッ
ト板上で走査するようにし、各々のスリットを通過した
光を集め、１つの光電測光素子に導くようにしたもので
ある。
は、複数の観察したい波長に対応するスリットを各々重
なりなく開けた出口スリット板を設け、分光光をスリッ
ト板上で走査するようにし、各々のスリットを通過した
光を集め、１つの光電測光素子に導くようにしたもので
ある。
【０００７】
【作用】この発明においては、複数のスリットを重なり
なく開けたスリット板上を分光光が走査している。光電
測光素子は全てのスリットと光学的に接続されているた
め、分光光が走査中のスリットを通過している光の測光
を行なうこととなる。そのため、観察波長の切替は分光
光の走査があるスリットから別のスリットへの移動のみ
で行なえるため、ほぼ瞬時に完了する。分光光の走査が
一定の往復運動で良いことを合わせ、光電測光素子が１
つでも複数の波長の測定を短い周期で行なうことができ
る。
なく開けたスリット板上を分光光が走査している。光電
測光素子は全てのスリットと光学的に接続されているた
め、分光光が走査中のスリットを通過している光の測光
を行なうこととなる。そのため、観察波長の切替は分光
光の走査があるスリットから別のスリットへの移動のみ
で行なえるため、ほぼ瞬時に完了する。分光光の走査が
一定の往復運動で良いことを合わせ、光電測光素子が１
つでも複数の波長の測定を短い周期で行なうことができ
る。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の一実施例による分光装置を示す模
式図である。図中、６〜１０は前記従来の例と同一のも
のである。１１はスリット板であり、分光光の焦点位置
に設置され、分光光の分散方向と直角方向に開けた複数
のスリット９を分光光の分散方向での重なりなく配置し
たものである。１２はスリット９を通過した光をまとめ
て光電子増倍管１０へ導く光学繊維、１３は反射鏡５を
往復運動させるガルバノメータスキャナであり、スリッ
ト板１１上に分光光の分散方向と直角方向に分光光を走
査する。１４はスペクトル像８がどのスリット９上を走
査しているか否かを検知するための同期用スリットであ
る。なお、図１では光源および分光装置の分散部は図示
していない。
る。図１はこの発明の一実施例による分光装置を示す模
式図である。図中、６〜１０は前記従来の例と同一のも
のである。１１はスリット板であり、分光光の焦点位置
に設置され、分光光の分散方向と直角方向に開けた複数
のスリット９を分光光の分散方向での重なりなく配置し
たものである。１２はスリット９を通過した光をまとめ
て光電子増倍管１０へ導く光学繊維、１３は反射鏡５を
往復運動させるガルバノメータスキャナであり、スリッ
ト板１１上に分光光の分散方向と直角方向に分光光を走
査する。１４はスペクトル像８がどのスリット９上を走
査しているか否かを検知するための同期用スリットであ
る。なお、図１では光源および分光装置の分散部は図示
していない。
【０００９】次に動作について説明する。光源で発光し
、コリメータ、入口スリットを経て回折格子で分散され
た分光光６は、反射鏡７で反射した後、スリット板１１
上でスペクトル像８を結ぶ。スリット９を通過した光は
光学繊維１２により光電子増倍管１０に導かれ、電気信
号に変換される。反射鏡７はガルバノメータスキャナ１
３で往復振動しているため、スペクトル像８はスリット
板上を走査する。スリット板１１に開けたスリット９は
分光光６の走査方向には重なりなく配置されており、走
査している間分光光６は複数のスリット９のうちどれか
１つのスリットを通過しているため、光電子増倍管１０
はどれか１つの観察波長の測光を行なっている。分光光
６がどのスリット９を通過しているかは、同期スリット
１２の後ろに各々受光素子を設け、分光光６がどの同期
用スリット１２を通過しているかにより検知する。なお
、スペクトル像８は有限の幅を有しているため、スペク
トル像８がスリット９の端にかかってから次のスリット
９の端を抜けるまでの間は、光電子増倍管の出力を測光
データとして使用しないよう、同期用スリット１２の長
さは対応するスリット９の長さよりスペクトル像８の幅
だけ短かくしている。測光の積分と観察波長の切替中、
分光光６は一定の早さで走査でき、観測波長の切替えは
分光光６がスペクトル像８の幅を走査する時間のみでで
きるため、測定の周期を短くできる。
、コリメータ、入口スリットを経て回折格子で分散され
た分光光６は、反射鏡７で反射した後、スリット板１１
上でスペクトル像８を結ぶ。スリット９を通過した光は
光学繊維１２により光電子増倍管１０に導かれ、電気信
号に変換される。反射鏡７はガルバノメータスキャナ１
３で往復振動しているため、スペクトル像８はスリット
板上を走査する。スリット板１１に開けたスリット９は
分光光６の走査方向には重なりなく配置されており、走
査している間分光光６は複数のスリット９のうちどれか
１つのスリットを通過しているため、光電子増倍管１０
はどれか１つの観察波長の測光を行なっている。分光光
６がどのスリット９を通過しているかは、同期スリット
１２の後ろに各々受光素子を設け、分光光６がどの同期
用スリット１２を通過しているかにより検知する。なお
、スペクトル像８は有限の幅を有しているため、スペク
トル像８がスリット９の端にかかってから次のスリット
９の端を抜けるまでの間は、光電子増倍管の出力を測光
データとして使用しないよう、同期用スリット１２の長
さは対応するスリット９の長さよりスペクトル像８の幅
だけ短かくしている。測光の積分と観察波長の切替中、
分光光６は一定の早さで走査でき、観測波長の切替えは
分光光６がスペクトル像８の幅を走査する時間のみでで
きるため、測定の周期を短くできる。
【００１０】なお、上記実施例では、分光光を移動させ
ることにより分光光の走査を行なっているが、図２の実
施例ではスリット板１１を円筒形に形成し、円筒形のス
リット板１１をモータ１５で回転することにより分光光
６の走査を行なっている。図において、分光光６の走査
位置の検出は同期スリット１４をフォトインタラプタ１
６により検出することにより行ない、信頼性を上げてい
る。
ることにより分光光の走査を行なっているが、図２の実
施例ではスリット板１１を円筒形に形成し、円筒形のス
リット板１１をモータ１５で回転することにより分光光
６の走査を行なっている。図において、分光光６の走査
位置の検出は同期スリット１４をフォトインタラプタ１
６により検出することにより行ない、信頼性を上げてい
る。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る分光装置
によれば、分光光の焦点位置に設置され複数のスリット
を開けたスリット板上を分光光の分散方向と直角方向に
分光光を走査させ、複数のスリットを通過した分光光を
集め、１つの光電測光素子に導くようにしたので、観察
波長の切替を素早く行なうことができるため、光電測光
素子が１つの場合でも複数の波長の測定を短かい周期で
行なうことができる。
によれば、分光光の焦点位置に設置され複数のスリット
を開けたスリット板上を分光光の分散方向と直角方向に
分光光を走査させ、複数のスリットを通過した分光光を
集め、１つの光電測光素子に導くようにしたので、観察
波長の切替を素早く行なうことができるため、光電測光
素子が１つの場合でも複数の波長の測定を短かい周期で
行なうことができる。
【図１】この発明の一実施例による分光装置を示す図で
ある。
ある。
【図２】この発明の他の実施例を示す図である。
【図３】従来の分光装置を示す図である。
７ 反射鏡
９ スリット
１０ 光電子増倍管
１１ スリット板
１２ 光学繊維
１３ ガルバノメータスキャナ
Claims (1)
- 【請求項１】 分光光の焦点位置に設置され、分光光
の分散方向と直角方向に開けた複数のスリットを分光光
の分散方向での重なりなく配置したスリット板と、前記
スリット板上に分光光の分散方向と直角方向に分光光を
走査する光学手段と、前記スリット板に開けた複数のス
リットを通過した分光光を集め、１つの光電測光素子に
導く光学系とを備えたことを特徴とする分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5963491A JPH04274715A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5963491A JPH04274715A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274715A true JPH04274715A (ja) | 1992-09-30 |
Family
ID=13118859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5963491A Pending JPH04274715A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04274715A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0642005A1 (fr) * | 1993-09-07 | 1995-03-08 | Thomson-Csf | Dispositif optique d'imagerie permettant l'analyse spectrale d'une scène |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP5963491A patent/JPH04274715A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0642005A1 (fr) * | 1993-09-07 | 1995-03-08 | Thomson-Csf | Dispositif optique d'imagerie permettant l'analyse spectrale d'une scène |
| FR2709827A1 (fr) * | 1993-09-07 | 1995-03-17 | Thomson Csf | Dispositif optique d'imagerie permettant l'analyse spectrale d'une scène. |
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