JPS636761U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS636761U JPS636761U JP1986100978U JP10097886U JPS636761U JP S636761 U JPS636761 U JP S636761U JP 1986100978 U JP1986100978 U JP 1986100978U JP 10097886 U JP10097886 U JP 10097886U JP S636761 U JPS636761 U JP S636761U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensors
- auxiliary
- sensor
- magnetoresistive element
- magnetic sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
第１図は本考案の磁気センサの実施例を示す平
面図、第２図は同上の等価回路図、第３図乃至第
６図はそれぞれ同上の製造工程を示す平面図、第
７図は第６図の―線拡大断面図、第８図はこ
の磁気センサの電極層の端部にリード線を接続し
た状態を示す部分拡大断面図、第９図はこの磁気
センサよる２つの出力電圧を示す波形図、第１０
図は従来の磁気センサの一例を示す平面図、第１
１図は従来の磁気センサの他例を示す平面図であ
る。 １……磁気センサ、２……絶縁基板、３Ａ，３
Ｂ……センサ部、４……電極層群、７Ａ，７Ｂ…
…第１、第２の主センサ、８Ａ，８Ｂ……第１、
第２の補助センサ、２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ……
接続用電極部。
面図、第２図は同上の等価回路図、第３図乃至第
６図はそれぞれ同上の製造工程を示す平面図、第
７図は第６図の―線拡大断面図、第８図はこ
の磁気センサの電極層の端部にリード線を接続し
た状態を示す部分拡大断面図、第９図はこの磁気
センサよる２つの出力電圧を示す波形図、第１０
図は従来の磁気センサの一例を示す平面図、第１
１図は従来の磁気センサの他例を示す平面図であ
る。 １……磁気センサ、２……絶縁基板、３Ａ，３
Ｂ……センサ部、４……電極層群、７Ａ，７Ｂ…
…第１、第２の主センサ、８Ａ，８Ｂ……第１、
第２の補助センサ、２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ……
接続用電極部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 絶縁基板上に薄膜磁気抵抗効果素子を形成
し、この薄膜磁気抵抗効果素子に生じる被検出体
からの磁束変化に基づく磁気抵抗の変化を利用し
て被検出体の検出を行う磁気センサにおいて、そ
れぞれ薄膜磁気抵抗効果素子により形成され、か
つ、ブリツジ接続により差動的に動作する主セン
サ及び補助センサからなる２組のセンサ部を有し
、これら各組の両主センサと両補助センサとを分
離形成してこれら両者間に接続用電極部を設ける
と共に、この接続用電極部から前記両補助センサ
上を跨ぐ電極層を設け、少なくとも１ケ所の交叉
点で補助センサと接続用電極部間の電位差が概ね
無視できるように配置接続したことを特徴とする
磁気センサ。 (2) 前記両主センサ及び両補助センサは、絶縁
基板上で平行配置に形成されたものである実用新
案登録請求の範囲第１項記載の磁気センサ。 (3) 前記両主センサと両補助センサとの距離が
被検出体の着磁磁極ピツチと同等かそれ以上であ
る実用新案登録請求の範囲第１項若しくは第２項
に記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986100978U JPS636761U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986100978U JPS636761U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636761U true JPS636761U (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=30971297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986100978U Pending JPS636761U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636761U (ja) |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP1986100978U patent/JPS636761U/ja active Pending
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