JPS6366845U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6366845U JPS6366845U JP1986160964U JP16096486U JPS6366845U JP S6366845 U JPS6366845 U JP S6366845U JP 1986160964 U JP1986160964 U JP 1986160964U JP 16096486 U JP16096486 U JP 16096486U JP S6366845 U JPS6366845 U JP S6366845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical mask
- substrate
- light
- central portion
- shielding film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図ａ〜ｅは本考案の一実施例による工程を
示す断面図、第２図ａ〜ｅは従来の光学マスク基
板の作成工程を示す断面図である。 １：ガラス基板、２：第１の金属薄膜、３，５
，５ａ，７，９，９ａ：ピンホール、４：レジス
トパターン、６：第２の金属薄膜、８：レジスト
パターン、２ａ：第１の金属薄膜パターン、６ａ
：第２の金属薄膜パターン。
示す断面図、第２図ａ〜ｅは従来の光学マスク基
板の作成工程を示す断面図である。 １：ガラス基板、２：第１の金属薄膜、３，５
，５ａ，７，９，９ａ：ピンホール、４：レジス
トパターン、６：第２の金属薄膜、８：レジスト
パターン、２ａ：第１の金属薄膜パターン、６ａ
：第２の金属薄膜パターン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 透明基板上に遮光性の金属膜を被着してなる光
学マスク基板において、 上記基板中央部を単層遮光膜で形成し、 上記中央部周辺を多層遮光膜で形成してなるこ
とを特徴とする光学マスク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986160964U JPS6366845U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986160964U JPS6366845U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366845U true JPS6366845U (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=31086843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986160964U Pending JPS6366845U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6366845U (ja) |
-
1986
- 1986-10-20 JP JP1986160964U patent/JPS6366845U/ja active Pending