JPS6366505A - カラ−フイルタ−アレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーフィルターアレイ、カラーフィルター
アレイを含む可視ディスプレイ単位、およびカラーフィ
ルターアレイを含むセンサーに関する。

〔従来の技術〕

中間挿入ノｆターン中に側方配置（ｄｉｓｐｌａｃｅ　
）され麩加法混色原色フィルター（青色、緑色および赤
色のフィルター）から形成されたカラーフィルタープレ
イは、世紀の変シ目項から画像形成に使用されてきた。

加法混色原色フィルターの中間挿入パターンからなるカ
ラーフィルターアレイは、像センサーと関連して使用さ
れてきた。半導体センサーと有用な力２−フィルターア
レイを形成することは１個々のセンサーの面積が狭く、
一般にはＩ　Ｘ　１０−８ｍ”未満の面積（１ｘ　１０
−１０−　未満の面積がしばしば求められる）であるの
で、特に魅力的であった。Ｍａｒｔｍａｎの米国特許第
４．３１５，９７８号明細書は代表と考えられる。１つ
の加法混色原色のフィルターは、媒染剤と感光性樹脂と
の組合せからなる層を像仔露光することによって形成す
る。現像して層の未露光部分を除去した後で、加法混色
原色色素をインビビシロンする。次に、この方法を２回
繰返して加法混色原色フィルターの第２および第３のセ
ットを生成する。

Ｈａｒｔｍａｍ　のカラーフィルターアレイを調製する
際に起きる１つの困難な問題点は、単独のフィルター要
素内での色素の組合せが必要となることである。理論的
には、青色色素は背合光（４００〜５００　ｎｍ　’／
を透過しそして緑色および赤色光（５００〜７００ｎｍ
）を吸収し、緑色色素は緑色光（５００〜６００ｎｍ）
を透過しそして青色および赤色光（４００〜５００ｎｍ
および６００〜７００ｎｍ　）を吸収し、そして赤色色
素は赤色光（６００〜７００ｎｍ）を透過しそして青色
および緑色光（４００〜６００ｎｍ）を吸収する。実際
には、１つのある色素が、吸収することが望ましい可視
スペクトルの２力をすみからすみまで有効に光を吸収す
ることはめったにない。結果として、理論的に望ましい
吸収プロフィルに近ずける、加法混色原色色素の混合物
が一般に要求される。異汝る色素をインピビシ冒ンして
同じフィルター要素を形成する場合には、異なる色素の
性質を予想しそして再現的に制御することが困難なので
、不利である。結果として、吸収および透過特性の広範
な変化がもたらされることがある。

Ｈａｒｔｍａｎは、加法混色色素の使用を教示するだけ
でなく、減法混色原色（イエロー、マゼンタおよびシア
ン）色素の混合物を使用して加法混色原色フィルターを
形成することができることを教示している。減法混色原
色色素の混合物の使用は、一般に色素混合物を使用する
場合と同じ欠点をもたらし、そして更に、単独フィルタ
ー要素中に混合し々ければならない個々の減法混色原色
色素の必要な種々の吸収および透過プロフィルのためＫ
、吸収および透過特性における変化の可能性が増加する
。

アオノの米国特許第４，２９４，９００号明細書には、
減法混色原色色素を含有する２種のハロダン化銀乳剤層
を重ねることによる、加法混色原色フィルターの型造が
教示されている。アオノは、偉様露光後の酸化現像主薬
とのカプリングの際に別の減法混色原色色素を形成する
成る減法混色原色色素の着色力グラ−と称する特別の型
の色票を、ハ０ダン化銀乳剤層中で使用している。この
方法では、色素の色相または位置の正確な制御ができな
い。若干の望ましくないハロダン化銀粒子現像（刀ブリ
または最小密度と称される）が常に起きることが周知で
ある。同時に、露光ハロダン化銀の不完全な現像がごく
一般的である。結果として、アオノのフィルターは成る
色相の着色カプラー色素と別の色相のカシリング形成色
褒との望ましくない混合物が含まれる。露光の際の光の
散乱およびカプリングを起こすための酸化現像主薬の移
動は、ただゆるく制御された色素限界（ｂｏｕｎｄａｒ
ｙ）を本質的にもたらす。最後に、色素パターン中でハ
ロゲン化銀乳剤非均一性（粒状度と称する）を使用する
ことは当業界で認殿されている問題である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

像記録または直接見ることに有用な、側方に配置した第
１、第２および第３の加法混色原色フィルターの中間挿
入セットからなるフィルター７レイの問題点であって１
本発明で解決する問題点は以下のとおシである。すなわ
ち、加法混色原色フィルターが光透過の望ましいスペク
トル領域以外の波長の光を透過させる問題。単独のフィ
ルター要素内で色素の組合せを使用する試みからもたら
される予想不能性および非均質性の問題。そして、面積
的な範囲においてピクセル領域に招電するフィルター要
素を形成する問題である。

〔問題点を解決するための手段〕

側方に配置した第１、第２および第３の加法混色原色フ
ィルターの中間挿入セットからなるフィルターアレイで
あって、前記のフィルターのセットは２つの各別の底部
層からなシ、一方の底部層は前記の第１および第２フィ
ルターの底部層を形成する第１の減法混色原色色素を含
有し、そして第２の底部層は前記第３フィルターの底部
層を形成する第２の減法混色原色色素を含有し、そして
、前記のフィルターのセットは２つの各別のオーバーラ
イイング層からなシ、一方のオーバーライイング層は前
記の第１フィルターのオーバーライイング層を形成する
前記の第２の減法混色原色色素を含有し、そして第２の
オーバーライイング層は前記の第２および第３のフィル
ターのオーバーライイング層を形成する第３の減法混色
原色色素を含有し、そして前記の底部層およびオーバー
ライイング層の少なくとも一方は制御された厚さであり
、そして単独の減法混色原色色素を含むものであること
を特徴とする、前記のフィルター７レイを提供すること
によって前記の問題点を克服する。

本発明の具体的な目的は、各ピクセル領域中の光検出部
分を含む半導体基板からなる光検出ピクセル（各々の面
積はｌＸ１０ｍ”未満）のプレイと前記のフィルターア
レイとを含む光検出半導体装置を提供することにある。

本発明の他の具体的な目的は、複数の側方に配置したピ
クセル領域と、可視表面へ透過した光の輝度を各ピクセ
ル領域内で変調する手段と、可視表面へ透過した光のク
ロミナンスを各ピクセル領域内で制御する前記のフィル
ターアレイとからなる、可視表面上にカラー像を表示す
る装置を提供することにある。

本発明のカラーフィルターアレイは、青色、緑色および
赤色のフィルターの中間挿入・やターンを示し、各フィ
ルターは他のフィルターに対して側方に配置（移動）さ
れている。要求されるわけではないが、多くの応用にお
いて、すべてのフィルターが共通の平面上例えば共通の
平面状支持体表面上に乗っていることが便利である。

カラーフィルターは、各種の形状をとることができ、各
種のパターンに中間挿入（ｉｎｔｅｒｌａｌｄ）される
ことができる。フィルターは、例えば米国特許第４，３
０７，１６５号、第４，３８７，１４６号および第４，
４１１，９７３号各明細書に記載の任意のパターンに加
工することができる。

電子像形成は、現在、直交（オルソゴナル）パターンに
よって最も通常に実施されているので、本発明のカラー
フィルターアレイを直交パターンに沿って説明する。異
なるパターンの２種の簡単なフィルター７レイを第１図
および第３図に示す。

第１図の青色フィルター（Ｂｌ）、緑色フィルター（Ｇ
　１　）および赤色フィルター（Ｒ１）、並びに第３１
のＢ２、Ｇ２およびＲ２は共通の平面上に横たわるスト
リップ状の形をとる。第１図のフィルターアレイは同数
の青色、緑色および赤色のフィルターを含み、そして第
３図のフィルターアレイは各繰返し列内に１つの青色ス
トリップ、１つの赤色ストリップおよび２つの緑色スト
リップを備える。緑色ストリップの頻度を比較上増やす
理由は、ヒトの目はスペクトルの緑色部分から情報の多
くを引き出すからである。従って、像センサーにおいて
緑色光に重みづけを与え暮ことがしばしば望ましい。

第１図のフィルター７レイの成る可能な構造を第２図に
示す。透明支持体（１）は上方表面（３）を提供し、そ
の上（／ｃ２つの各別の中間挿入層が位置する。層（Ｍ
ｌ）は第１の減法混色原色色素（この例ではマゼンタ色
素）を含み、そして層（Ｃ１）は第２の減法混色原色色
素（この場合はシアン色素）を含む。層（Ｎ（１）およ
び（ｃｌ）の上に乗って、２つの各別の中ｎｎ挿入Ｆ５
　（Ｃ２）および（Ｙｌ）が位置する。層（Ｃ２）は第
２減法混色原色色素（この例ではシアン色素）を含み、
そして層（Ｙｌ）は第３の減法混色原色色素（この場合
はイエロー色素）を含む。

青色、緑色および赤色のフィルターの各々が２つの層か
ら形成されていることが理解されよう。

青色および赤色フィルターは共通、のマゼンタ層（Ｍｌ
）を分は合っている。緑色および赤色フィルターは共通
のイエロ一層（Ｙｌ）を分は合っている。各々の緑色フ
ィルターの下方層（Ｃ１）および各々の青色フィルター
の上方層（Ｃ２）はシアン色素を含有する。層（Ｃ１）
および（Ｃ２）は、必要ではないが、同一のシアン色素
を含有することができる。更に、層（Ｃ１）と層（Ｃ２
）とは隣接しているので、それらは青色フィルターの上
方層と緑色フィルターの下方層とを形成する単独層を一
緒になりて形成することができることは明らかである。

第１図のカラーフィルターアレイノ！ターンヲ形成する
ことを示している具体的な層の選択は、数種の層の各行
の選択の一例にすぎないことを理解されたい。第２図の
フィルター構造において、マゼンタ色素およびイエロー
色素の肩位置は交換することができる。同様に、シアン
とイエローまたはシアンとマゼンタの色素の肩位置は交
換することができる。また、２個の上方層の位置を２個
の下方層の位置と交換することができる。

第３図のカラーフィルターアレイの１例の構造を第４図
に示す。透明支持体（５）は上方表面（７）を提供し、
その上に２つの各別の中間挿入層が位置することを示し
ている。層（Ｙ２）は第１の減法混色原色色素（この例
ではイエロー色素）を含み、そしで層（Ｃ３）は第２の
減法混色原色色素（この場合状シアン色素）を含む。層
（Ｙｌ）および（Ｃ３）の上に乗って、２つの各別の中
間挿入層（Ｍ２）および（Ｃ４）が位置する。層（Ｃ４
）は第２減法混色原色色素（この例ではシアン色素）を
含み、そして層（Ｍ２）は第３の減法混色原色色素（こ
の場合はマゼンタ色素）を含む。

青色、緑色および赤色のフィルターの各々が２つの層か
ら形成されていることが理解されよう。

緑色および赤色フィルターは共通のイエロ一層（Ｙ２）
を分は合っている。青色および赤色フィルターは共通の
マゼンタ層（Ｍ２）を分は合っている。各々の青色フィ
ルターの下方層（Ｃ３）および各々の緑色フィルターの
上方層（Ｃ４）はシアン色素を含有する。層（Ｃ３）お
よび（Ｃ４）は、同一のシアン色素を含有することが好
ましい。

更に、Ｍｉ（Ｃ３）と層（Ｃ４）とは隣接しているので
、それらは緑色フィルターの上方層と青色フィルターの
下方層とを形成する単独層を一緒になって形成すること
ができることは明らかである。

第３図のカラーフィルターアレイパターンを形成するこ
とを示している具体的な層の選択は、数種の層の各種の
選択の一例にすぎないことを理解されたい。第４図のフ
ィルター構造において、シアンとイエローの色素の肩位
置は交換することができる。また、２個の上方層の位置
を２個の下方層の位置と交換することができる。マゼン
タ色素とイエローまたはシアン色素のいずれかとを交換
すると、緑色、青色および赤色のフィルターの相対的な
頻度が変化する。しかしながら、特別な用途でこの結果
を意図する場合には、実施することができる。

第１図および第３図のフィルターアレイ／？ターンにお
いて、青色、緑色および赤色ストリップのうに選択する
が、そのストリップはピクセルの直交領域的寸法例えば
長さを規定することはできない。フィルター７レイと共
に使用する別の要素例えば像センサのプレイまたは通常
の輝度変調器によって各ピクセルの長さを規定する。

本明細書において「ピクセル」とは、像の単独の領域的
に制限された情報単位として規定される。

像を形成するピクセルの数は、用途に応じて広く変化す
ることができる。米国において、放送テレビジ１ン像は
約２６２，１４４ピクセルを含有する。

非常に少ないピクセルを含むフィルターアレイは像の形
の情報伝達に使用することができるが、絵画画像形成に
は、ビクセル少々くとも約２×１０５を含む本発明によ
るフィルター７レイが意図され、ピクセル少なくともＩ
　Ｘ　１０’をもつメがビクセルフィルターアレイは高
ビジュアル品質の像生成に意図される。

個々′の青色、緑色および赤色フィルターを単独ピクセ
ルに各々制限した本発明によるフィルタ−７しイｆｔｌ
ｌ１＃寸スとシφ；〒各スー泣へ一１ｂｒ　　員イ市ピ
クセル青色フィルター８３．緑色フィルターＧ３および
赤色フィルター８３の実例／譬ターン（１０）を示す。

層アレイ（２０）および（３０）は、２つの減法混色原
色相パターンを示しておシ、これを重ねて青色、緑色お
よび赤色フィルターアレイを生成することができる。層
アレイ（２０）は、各々イエロー色素およびマゼンタ色
素を含む２つの層Ｙ３とＭ３とからなる。層アレイ（３
０）は、各々シアン色素およびマゼンタ色素を含む２つ
の層Ｍ４およびＣ５からなる。層Ｙ３はフィルター０３
およびＲ３を形成する領域に制限される。

層Ｃ５はフィルターＧ３およびＲ３を形成する領域に制
限される。層Ｍ３はフィルターＢ３を形成する領域に制
限されるが、層Ｍ４はフィルターＲ３を形成する領域に
制限される。

図示した層アレイの３６個のピクセルディーチル内にお
いて、隣接層を分離する境界はビクセル境界も形成する
。層境界でないピクセル境界は破線で示す。各層アレイ
において、ビクセル境界の半分だけが、形成すべき層境
界を必要とする。従りて、層境界要件は、このアレイ構
造によシ、かなシゆるまる。

第５図（本来、模式的なものである）には、層アレイ用
の支持体は示してない。層アレイのいずれかを支持体の
最も近くに塗布し、残シの層プレイを上に乗せることが
できる。第３図および第４図のフィルターアレイの場合
と同様に、シアンフィｋｌ−，！：イエローフィルター
とを、所望によシ交換することができる。所望によシ、
層Ｍ３ｔ、−よびＭ４は同じマゼンタ色素を含むことが
でき、そして所望によシ、単独の皮膜組成物を使用して
同時に形成することができる。第５図のフィルターパタ
ーンを規定する模範的ピクセルは、第３図および第４図
のピクセルと同様に、赤色および青色フィルターに対し
て緑色フィルターの不均一の重みを含んでいることに注
意されたい。しかしながら、同数の青色、緑色および赤
色フィルターのピクセル制限中間挿入パターンを、所望
によ多形成することができる点を理解されたい。

第１図から第５図のフィルターアレイは、各々別異の減
法混色原色色素を含む２つの積み重ね層によって各フィ
ルターを生成する。この配列は、加法混色原色色素から
なるフィルターを使用する場合と比較し、光の透過吸収
の点で利点を提供する。有効にするには、加法混色原色
色素は、ス４クトルの青色、緑色または赤色部分の１つ
で光を透過し、そして可視スペクトルの残シの２７３で
光を有効に吸収することが必要となる。例えば、単独緑
色色素を含むフィルターは、理想的には、５００〜６０
０ｎｍの光を透過し、そして４００〜５００　ｎｍおよ
び６００〜７００ｎｍの光を有効に吸収する色素を必要
とする。これらの理想的な緑色フィルター要件は、２つ
の層（１つはイエロー色素を含み、そしてもう１つはシ
アン色素を含む）を使用して、非常に簡単に接近させる
ことができる。イエローおよびシアン色素は５００〜６
００　ｎｍ範囲で光を有効に透過することが必要である
ことに注目されたい。シアン色素は４００〜５００ｎｍ
範囲で圧倒的に透過性であり、イエロー色素はこの波表
範囲で圧倒的に吸収性であるが、この２っの色素は一緒
になって、有効に光を吸収するこのスイクトル範囲にお
いて吸収特性および透過特性の任意の組合せで、有効に
することができる。スペクトルの６００〜７００ｎｍ領
域についても同じことが言える。従って、＃Ｎ色色素を
選択して比較的厳格な吸収および透：Ａプロフィルを満
足させる必要があるが、シアン色素およびイエロー色素
は本発明による各別の層中で使用することができ、色素
の吸収および透過特性におけるよシ大き々寛容性が可能
である。同様の考慮は、青色および赤色フィルターの構
造にもあてはまる。

本発明の特別な特徴は、フィルタ一層の少なくとも１層
、好ましくは各層の厚さが制御されておシ、単独の減法
混色原色色素を含むことである。

単独の減法混色原色色素の使用にょシ、色素の組合せを
使用する場合に可能となるよシも、よシ正確に層の色相
（すなわち、スペクトルの吸収および透過プロフィル）
の制御が可能になる。加法または減法混色原色色素の組
合せ割合の差は層色相をシフトさせる不適尚な効果をも
つが、単独色素を使用するとこの困難性は完全に回避さ
れる。

制御された厚さのフィルタ一層を使用すると、光の吸収
および透過の制御が更に向上する。フィルタ一層の光学
密度は、それが成る領域内に含む色素量の直接の関数で
ある。均一の色素濃度を含む均一厚さの層は、均一な光
学密度を示す。非均一層への色素の適用を制御すること
によりて均一な光学密度は理論的には可能であるが、実
際には、通常使用されている色素の分配技術ではこれは
不可能である。

フィルタ一層は領域的に制限されておシ、従って、構成
すべき３つの加法混色原色フィルターセットの−２つ以
下に相当する領域を占める。フィルタ一層の面積的広が
シを制限する任意の実行可能な技術が本発明の範囲内で
使用できるが、個々のビクセルの面積に制限（例えば、
１×１０−以下のビクセル）が要求される用途に対して
は、フィルタ一層は、光パターン化（ｐｈｏｔｏ　ｐａ
ｔｔｅｒｎｉｎｇ　）Ｋよって最も便利に構成される。

光・リーン化フィルタ一層は、平面状の支持体表面上に
光年溶性材料溶液を塗布することによって最も便利に構
成する。塗布後、支持体をくるくる回すと遠心力が発生
して塗布組成物上に作用し、均一な厚さの層に成形する
。その後、溶媒（最も代表的には水）を、雰囲気温度ま
たは高温下で、層を乾燥することによって除去する。次
に、得られた固体層を化学輻射線（代表的には紫外線輻
射）に像様露光して、望ましいパターンを規定する。

露光後、層を現像液（これは未露光領域中で層を選択的
に洗い落す）と接触させる。層を相持する支持体は、代
表的には現像液中に浸漬するかまたは現像液を噴霧して
均一な現像液接触を確保する。

パターン化フィルタ一層が形成された後、これを単独の
減法混色原色色素で染色するのが好ましい。これは、溶
液中の色素とフィルタ一層とを接触させ、色素をフィル
タ一層中へインビビシ誓ンさせることによって達成する
ことができる。インピビシ冒ンによって色素が層内に浸
入すると、フィルタ一層の光学濃度は、インビビシ璽ン
された色素量に直接関係して増加する。色素によるフィ
ルタ一層の飽和が達成されると、追加的な色素のインビ
ピシ冒ン速度および従ってフィルタ一層の光学密度の増
加が徐々に低下する。これは、インビピシ百ンの期間を
正確に制御せずにフィルタ一層の目的光学密度を再現性
をもって達成することができるという利点をもたらす。

フィルタ一層を色素で飽和することが好ましい。本明細
書において「飽和」とは、色素インピピシ璽ンの期間を
２倍にしても５％未満しか上昇しない光学密度を生成す
る色素δ度として規定される。

支持体上に配置すべき２層のうちの１層を形成した後で
、パターンまたはその位置およびインビピシ覆ン減法混
色原色色素だけ変えて、同じ工程順序で、第２のフィル
タ一層を形成することができる。第２図および第４図に
おいて、支持体上での第２層の形成工程は積み重ね層の
最初を形成することもできる。例えば、フィルタ一層Ｍ
１だけを担持する支持体（１）および次に塗布した皮膜
組成物、あるいはフィルタ一層Ｙ２だけを担持する支持
体（５）および次に塗布した皮膜組成物をスピンコーチ
ングすることによって、すでに存在する最初に形成され
たフィルタ一層の上に乗せて、そして支持体の残シの領
域で直接接触させて均′一層を形成する。露出・臂ター
ンを適当に選択することによ）、第２図中の層Ｃ１およ
び０２″または第４図中のＩＣ３およびＣ４を、同じ皮
膜組成物を使用して同時に形成することができる。各々
の場合、これによって２つの一体に結合した追加フィル
タ一層、すなわち支持体上に直接乗る第２フィルタ一層
および第１のオーバーライイングツイルタ一層がもたら
される。最後のオーバーライイングツイルタ一層は、露
出／４’ターンおよび使用する減法混色原色色素だけを
変えて、前記の工程順序を繰返すことによ多形成するこ
とができる。

フィルタ一層の飽和に関して上記した長所の他に、フィ
ルタ一層の飽和は、低濃度の色素が存在する場合と比較
して、よシ大きい割合で隣接フィルタ一層から色素のイ
ンビピシゴンを阻害する作用がある点に注意されたい。

しかしながら、フィルタ一層は、成る１つの減法混色原
色色素で飽和されていても、成る場合には、更に別の色
素を受は入れることができる点に注意されたい。更に、
最初は色素を含有しないフィルタ一層を別の色素含有フ
ィルタ一層上にパターン化した場合には、そのオーバー
ライイング層は、下方のフィルタ一層からの拡散によっ
て色素を受は入れ易い点も理解されたい。従って、フィ
ルタ一層が隣接層から色素を受は入れず、あるいは隣接
層に色素を与えないように、本発明のフィルターアレイ
を構成するのが好ましい。

減法混色原色色素がその目的のフィルタ一層から移動す
る（　ｗａｎｄｅｒｉｎｇ）のを最小にする１つの具体
的に意図された方法、は、光パターン化可能な組成物と
して共に機能する媒染剤との組合せで、光不溶化性バイ
ンダーまたは色素を媒染することのできる光不溶化性バ
インダーとイオン性減法混色Ｊ色色素を使用する。以下
の実施例に示すとおシ、具体的な色素を選択するこ々に
よシ、フィルタ一層間の色素移動を有効に除去すること
ができる。前記の減法混色原色色素の移動を最小にする
前記の方法と匹敵する別の任意の方法は、フィルタ一層
の表面上に、それが形成された後でしかも隣接フィルタ
一層を形成する前に、拡散障壁層を配置する。前記の方
法は、勿論、すべて任意のものであシ、隣接フィルタ一
層からの色素の若干の界面混合に感受性ではない用途に
対してはそれらは必要ではない。いずれか１つの有効な
方法を使用することが意図されるが、別の方法を組合せ
て使用することによル優れた結果を一般に達成すること
ができる。

前記の本発明によるフィルターアレイは、公知の像セン
サおよび像表示装置との組合せで有効な各別の要素の形
である。本発明の別の形態では、フィルターアレイは像
センサおよび像表示装置の一体成分を形成する。

本発明のそのような１つの別の形態は、可視表面上に多
色像を表示する装置であって、そのフィルター７レイが
一体部分となっている装置である。

第６図は、そのような一体形多色像表示装置（１００）
の細部を模式的に示す。緑色光透過性ビクセルｐａと青
色光透過性ビクセルＰ１と赤色光透過性ピクセ／ｌ／Ｐ
ｌとの中間挿入セットを含む１０個のビクセルの配置の
断面図を示す。全可視スペクトルからの光すなわち白色
光は前記装置の下方表面（１０１）で受けることができ
る。その光は輝度ｆ調器の７レイによって最初に妨害さ
れる。その変調器は各々１個のピクセルに相当する領域
を占め、Ｄｌ、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、Ｄ６、Ｄｌ、
Ｄ８．Ｄ９．＋よびＤＩＯとしテ示される。輝度変調器
は、透過された入射光の割合を選択的に制御することが
できる。それらの変調範囲は、１方の極端（それらが透
明である、す力ゎち全入射光が透過する）から第２の極
端（それらが完全に不透明、すなわち全入射光が透過し
ない）へ広けることができる。実際には、それらの変調
範囲は非常に制限することができる。輝度変調器は光学
密度範囲少なくとも朽０．　ｓをもっことが一般に好ま
しく、光学密度範囲少なくとも３．０が好ましい。輝度
変調器は本来的にデジタルであることができ、成る光学
密度の極端から別の極端ヘスイッチすることができる。

あるいは、輝度変調器は、それらの極端の間で、任意所
望の光学密度に選択的に変えることができる。

輝度変調器は、制御された態様で透過された光の割合を
変化させるが、クロミナンス識別に関しては一般に信頼
されない。光透過におけるクロミナンス識別は、フィル
タ一層の関数である。ここでは、第１図のフィルタ一層
パターンとして説明の目的で示す。この配置において、
フィルターはその幅についてのみ、ピクセル境界と同一
の広がシをもっているので、輝度変調器を選択してピク
セル境界と同一の広がシをもたせる。透明支持体（１０
３）を、輝度変調器とフィルタ一層との間に挿入して示
す。

フィルタ一層から形成された青色、緑色および赤色フィ
ルター、と輝度変調器とを一緒に機能させることによシ
、表面（１０１）を受けた白色光を、上方表面（１０５
）から多色像として透過させることができる。多色像は
、見るために、反射表面例えば任意の通常の投射スクリ
ーン上に投射することができる。あるいは、その像を装
置の上方表面（１０５）上で見ることができる。前記の
装置は、その装置を通る光透過の方向を反転する場合に
は、本質的に同じ態様で作動する。一般に、ビクセルは
、ヒトの肉眼が個々に解像することができる程度よシも
小さくし、局部化像領域における色相変化の感覚をもた
らす。

多色像表示装置の具体例を提供するために、深色増感ハ
ロゲン化銀乳剤層を支持体（１０３）上に塗布して輝度
変調器を形成することができる。連続ハロダン化銀乳剤
層はビクセル境界を正確に規定する能力の点で制限され
るが、マイクロセル中に乳剤層を配置することに□よシ
、鮮明なビクセル境界およびＩ　Ｘ　１０”’−未満の
ビクセル領域を実現することができる。

可視多色像を形成するには、装置（１００）のハロゲン
化銀乳剤層を、その上方表面（１０５）を通して像様露
光する。フィルターは、背合、緑色または赤色光だけを
各マイクロセル中の輻射線感受性ハロゲン化銀に到達さ
せることができる。例えば、背合フィルターは、その後
方のハロダン化銀乳剤層の露光に関して、青色光だけを
透過する。

背合フィルターが露光の際に光を受けとらないかまたは
緑色および／または赤色光だけを受けとる場合には、下
方の乳剤層には光が透過しない。その彼、ハロゲン化銀
乳剤層を現像して、マイクロセル中に金属銀を像様に生
成する。ハロゲン化銀乳剤および現像の制御は、マイク
ロセルを打つ光がしきい値よ）大きい場合には、はとん
どすべてのハロダン化銀を金属銀に還元するかまたは還
元しないように実施することができ、あるいは露光の際
に受けとる光子数の直接ま九は間接の関数として金属銀
を形成するように実施することができる。直接Ｉジハロ
ダン化銀乳剤は現像の際に光露光の間接的関数として金
属銀を生成するが、ネガ作用形へロｒン化銀乳剤は露光
の直接の関数として金属銀を生成する。現像および任意
の残留・・ロダン化銀の定着の後で、装置（１００）上
に入射する白色光は可視多色像を生成し、これを装置表
面上で投影によりまたは直接に見ることができる。

支持体、マイクロセル、ハロダン化銀乳剤組成物および
処理の詳細は、前記の米国特許第４，３０７，１６５号
、第４，３８７，１４６号、および第４，４１１，９７
３号各明細書に記載されている。任意の他の通常の輝度
変調器を、前記のハロゲン化銀乳剤層変調器と置き換え
ることができることが具体的に意図されている。

本発明を満足するフィルターを像検出装置に総合するこ
とも意図される。第７図には、好ましい多ピクセル半導
体装置に本発明を応用した場合を説明するために、本発
明による中間（Ｉｎｔｅｒｌｌｒｉｅ）”　　　　　　
　ＣＣＤ　（ｃｈａｒｇｅ　ｃｏｕｐｌ＠ｄ　ｄｅｖｉ
ｃｅ　）のビクセル（平行な垂直破わで規定する）を示
す。上方主要面（２０３）と下方主要面（２０５）とを
もつ半導体基板（２０１）　（代表的には単結晶シリコ
ン基板〕を示す。導電層（２０７）が下方主要面を禎覆
している。半導体基板は、上方主要面（２０３）からの
拡散によって形成されるＰ導電率型ワエル（２１１）と
Ｎ導電率型領域（２０９）とをもつ。ホトダイオードは
、上方主要面からのＮ拡散（２１３）により、ビクセル
中の中央に形成される。ホトダイオードの機能は、露光
時に受ける光の量に任例してＰ１７二ルに電子を供給す
ることである。

電子は隣接ＣＣＤ　Ｋ供給される。電子移動用の埋込み
チャンネルを生成するためには、浅いＮ４’ｔｌ。

率型領域（２１５）を上方主要面に隣接させて配置する
。こうして形成した埋込みチャンネルはホトダイオード
から隣接ＣＯＤへ延びる。望ましくない側方への電荷伝
導を防ぐために、Ｐ＋導電率型ゾーン（２１７）Ｃチャ
ンネルストップと称する〕はホトダイオードおよび隣接
ＣＯＤを他の隣接表面構造から分ける。

代表的には多結晶シリコンから形成されるｒ−ト電極（
２１９）を、半導体基板の上方面の上に乗せて示す。多
結晶シリコンは透明なので、代表的にはアルミニクムか
らなる光遮蔽（２２１）はダート電極上にある。透明絶
縁体（２２３）は、半ミｖ体基板の全上方主要面の上に
あシ、そして光遮蔽からｆ−）電極を隔離して示す。絶
縁体は代表的には二酸化ケイ素であシ、パシノクンド（
ｐａｓｓｉｖａｎｔ　）例えばホクケイ酸塩ガラスの表
面レイダクンが通例である。一つの単位として示しであ
るが、絶縁体は数１の連続的な加工工程によって代表的
に形成される。透明絶縁層（２２５）（通常、平坦化性
層と称する〕は、実際には表面が平坦でないこともある
が平坦表表面として示した滑らかな表面（２２７）を提
供するように配置する。層（２２５）は層よシも滑らか
な表面を提供する。この表面上Ｋ、ビクセル境界内にｆ
ｆ重ねたフィルタ一層（２２９）および（２３１）から
なるフィルターアレイを配置する。フィルターアレイは
、前記の各種の直交ノナターンのいずれか１つからなる
ことができる。

比較的厚いレンズ支持層（２３３）がフィルター上にあ
シ、上方面（２３５）を提供する。ビクセルレンズ要素
（２７３）を支持体層の上方面上に配置する。レンズ會
素はビクセルの境界から内側に間隔があシ、従って全て
の隣接ビクセルのレンズ要素から何方に間隔がある。レ
ンズ表面（２３９）は、望ましい場合には、半円筒状で
あることができるが、半球状であるのが好ましい。本発
明の最適の形態では、ビクセル境界内の支持層面（２３
５）は多角形であシ、レンズ縁部はビクセル境界と平行
であシ、しかも内側だけ間隔がある。これによシマクラ
形状のレンズがもたらされる。

垂直の矢印で示す、レンズ表面（２３９）を打つ光は、
収束する矢印で示すように支持層（２３３）内で内側に
曲がる。ホトダイオードの表面上の焦点下に向かう光を
示す。

レンズからホトダイオードへ光を内側へ向けることによ
り、光がフィルターの中心部のみで受けられるようにな
る点に注目され九い。従って、このレンズ構造によシ、
ビクセル境界の縁部配列およびフィルター要素を光学的
不利益を受けることなく、置火にすることができる。

例示的な半導体装置の１つのビクセルのみを第７図に示
したが、実際の装置は５本質的に同様のビクセルを、極
めて多数、作動する用途に依存して１０３のオーダーか
ら１０’のオーダーの範囲の数で代表的には含んでいる
ものと理解されたい。本発明は、ホトダイオードへ光を
向ける点から説明したが、多くのＣＣＤ　Ｖｉ直接に光
を検出するように構成され、そしてそのような用途に対
して、各ＣＣＤセンサは中央のビクセル位置を占めるも
のと理解されたい。レンズ構造は、光の検出効率を上昇
することができるが、ホトダイオードまたはＣＣＤセン
サのいずれかに要求されない。

本発明のフィルターと匹敵する多数の別な半導体像セン
サ構造が蟲業界で公知であシ、例えば米国特許第３，９
７１，０６５号、および第４，３２２，７５３号各明細
書に説明されている。

以１・ぷ白 本発明の色素含有フィルタ一層は、その構造に対して選
ばれた手順および材料に依存して各種の形状をとること
ができる。特に好ましい加工方法におい元は、均一な層
を塗布し、＊様露光し、未露光層部分を水洗し１次に残
シのフィルタ一層を色素インピビシ、ンによって乾燥す
ることにより。

光／母ターン化フィルタ一層を最初に形成する。

光／セターン化−色素インビビシ、ン法によるフィルタ
一層形成へのより簡単な方法の１つにお−ては、親水性
コロイドを輻射線応答性硬化剤（すなわち架橋剤）と共
に水中に懸濁させて光ノ４ターン化層を形成することが
できる。適当な親水性コロイドとしては１例えばＲｅ５
ｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒ＠。

Ｖｏｌ、　１７６、１９７８年１２月、　Ｉｔｅｍ　１
７６４３に記載の物質が含まれる。Ｒｅ５ｅａｒｃｈ　
Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅは。

英国ハンプシャー、エムスワース（Ｄ　Ｋｅｎｎｓｔｈ
Ｍａｓｏｎ　Ｐｕｂｌｉｃａｔｌｏｎｓ社から発行され
ている。

親水性コロイド好ましくはゼラチン″またはゼラチン誘
導体は、輻射性応答性硬化剤として使用される重クロム
酸塩と組合せて便利に使用することができる。重クロム
酸塩は１例えば、重クロム酸カリウム、ナトリウムまた
はアンモニウムである。

重クロム酸化ゼラチンは、固体像形成装置用カラーフィ
ルターアレイのフィルター要素に対して充分な解償度を
もつ。重クロム酸化ゼラチンは良好に接着し１便利に塗
布され、そして水溶液を使用して現像される。輻射線感
受性着色性洗落し組成物としての重クロム酸化ゼラチン
の使用に関する完全な説明については、米国特許第３，
２８４，２０８号、第３．７３０，７２５号、第３，９
２５，０８２号各明細書、　Ｆｒｉ＊ｄｍｐｎ等のｒ　
Ｈｌｓｔｏｒｙ　ｏｆ　ＣｏｌｏｒＰｈｏｔｏｇｒａｐ
ｌｙ　Ｊ　１９４４年、　Ｃｈａｐｔｅｒ　１３　。

第１４７〜１７２頁を参照されたい。ゼラチンおよび関
連する親水性コロイドは、カチオン性色素を媒染する若
干の能力を示すことが知られている。

従って、比較的簡単なフィルタ一層構造が可能である。

望ましい場合には１通常の媒染剤を組合せて使用するこ
とができることも勿論認められる。

最も正確なフィルタ一層境界を規定するためには、光不
溶化性ポリマー（通常、ネガ形ホトレジストと称される
）を使用するのが好ましい。更に。

フィルタ一層内の色素不動性を向上するために。

ホトレジスト皮膜組成物内に媒染剤を配合するのが特に
好ましい。

ジアゾ樹脂は、フィルタ一層を形成するのに好ましい光
応答性ポリマーである。特に好ましいものは、ｐ−アミ
ノジフェニルアミンジアゾニウム塩例えばジフェニルア
ミン−４−ジアゾニウムハライドまたはジフェニルアミ
ン−４−ジアゾニウムホスフェートを酸中でアルデヒド
例エハパ２ポルムアルデヒドまたはホルムアルデヒドと
縮合し。

そして２重金属塩例えばクロロジンケートまたはフルオ
ロゲレートに変換した酸縮合生成物である低分子量ジア
ゾ樹脂である。これらの樹脂は当業界で周知であり１例
えば、　Ｋ□ｓ息ｒＫよる。　ＬｉｇｈｔＳ・れ畠１ｔ
ｉｖａ　Ｓｙｓｔｅｍｓ、第３２３−３２４頁（１９６
５年）にューヨーク州Ｊｏｈｎ　Ｗｉｌｓｙ　ａｎｄ　
５ｏｎｓ社）に記載されている。成る％に適したジアゾ
樹脂組成物は、　Ｒｅ５ｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕ
ｒｅ、　Ｖｏｌ。

１６９、Ｉｔｅｍ　１６９７６．１９７８年５月ｒＣｏ
ｎｔ１ｎｕｏｕａ−Ｔｏｎｓ　Ｄｙｅｄ　Ｄｉａｚｏ　
Ｉｍａｇｉｎｇ　Ｅｌ＠ｍｅｎｔ　Ｊに記載の組成物で
ある。

ジアゾ樹脂を媒染剤と混合して、フィルタ一層形成に使
用する光パターン化性皮膜組成物を生成する。ジアゾ樹
脂による光ノ４ターン化層の形成に完全に匹敵する各種
の媒染剤が公知である。アニオン性色素を不動化するこ
とのできるカチオン性媒染剤が特に好ましい。有用な媒
染剤は、米国特許第２，５４８，５６４号、第２，５４
８，５７５号、第２．６７５，３１６号、第２，７１３
，３０５号、第２，７５６，１４９号。

第２，７６８，０７８号、第２，８３９，４０１号、第
２，８８２，１５６号。

第２，９４５，００６号、第２，９４０，８４９号、第
２，９５２，５６６号、第３，０１６，３０６号、第３
，０４８，４８７号、第３，１８４，３０９号。

第３，２７１，１４７号、第３，２７１，１４８号、第
３，２８２，６９９号。

第３，４０８，１９３号、第３，４８８，７０６号、第
３，５５７，０６６号。

第３，６２５，６９４号、第３，７０９，６９０号、第
３，７５８，４４５号。

第３，７８８，８５５号、第３，８９８，０８８号、お
よび第３．９４４．４２４号、第３，６３９，３５７号
、第３．７７０，４３９号。

第３，９５８，９９５号、並びにＲｅ５ｅａｒｃｈ　Ｄ
ｌｓｃｌｏａｕｒｅ。

Ｖｏｌ、　１２０．１９７４年４月、　Ｉｔｅｍ１２０
４５並びにＲｅ５ｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ、
　Ｉｔｅｍ　１６９７６に記載のものから選択すること
ができる。

特に好ましい媒染剤は式 ％式％ （式中、Ｒ１およびＲ２は同一または異なるものであっ
て、炭素原子６〜約２０個のアリール、アラルキル″！
たはアルクアリール、または炭素原子１〜約１０個のア
ルキル基であり、 Ｒ３およびＲ４は共に水素原子であるか、あるいはそれ
らが結合している炭素原子と一緒になって炭素原子５〜
１０個を含む飽和、不飽和または芳香族環系例えばシク
ロヘキシル、シクロインチル。

フェニルおよびナフチルを形成するものとし。

Ｘはアニオン例えばハライド例えばクロライド、メタン
スルフェートま：＋ｌ：ｐ−）ルエンスルホネートであ
シ、そして ｎは０，１または２である） で表される構造と一致する繰返し単位を含むビニルベン
ジル４級アンモニウム高分子媒染剤である。

媒染剤がコポリマーである場合には、高分子媒染剤の残
部は重要でない。多くのエチレン系不飽和モノマーをビ
ニルベンゼン４級アンモニウムモノマーと共重合させて
、満足のできる媒染剤を生成することができる。ビニレ
ンベンゼン例、ｔばスチレンは、媒染剤コＩリマー内へ
配合するのに好ましいエチレン系不飽和モノマーである
。４級アンモニウム含有繰返し単位は通常、高分子媒染
剤１０〜１００モル％、好ましくは４０〜１００モル％
を含む。　　　　　　・ 好ましいカチオン性媒染剤の例を表Ｉに示す。

表１ Ｍ−１ポリ（スチレン−ｃｏ　−３−マレイミドゾロピ
ル−Ｎ、Ｎ−ジメチル−Ｎ−ベンジルアンモニウムクロ
ライド）（１：１） Ｍ−２プリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル−
Ｎ−アリルアンモニウムクロライドつＭ−３ポリ（ビニ
ルイミダゾール） Ｍ−４ｙｊｅｌＪ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメ
チル−Ｎ−ｆロパルギルアンモニウムブロマイド） Ｍ−５ポリ（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベンゼン−Ｎ
、Ｎ−ジメチル−Ｎ−アリルアンモニウムクロライド（
１：１） Ｍ−６ポリ（ビニルピリジニウムアセテートクロライド
） Ｍ−７プリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ　、　Ｎ−ジメチ
ル−Ｎ−７’ロピルアンモニウムプロマイド） Ｍ−８ポリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ、Ｎ−トリエ
チルアンモニウムクロライド） Ｍ−９−リ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ　、Ｎ−ジメチル
−Ｎ−７’ロパルギルアンモニウムクロライド） Ｍ−１０＆す（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ、Ｎ−トリ
メチルアンモニウムクロライド−〇〇”−エチレングリ
コールジメチルアクリレート）（９３ニア） Ｍ−１１ポリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル
−Ｎ−アリルアンモニウムプロミドー−ｅＯ−ジビニル
ベンゼン）（９５：５）Ｍ−１２ポリ（スチレン−ｃｏ
−Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル−Ｎ−アリル
アンモニウムクロライドーｃｏ−ジビニルベンゼン）（
４９：４９：２） Ｍ−１３ポリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメｆル
ーＮ−２−ブテニルアンモニウムクロライド） ＞Ｘ−１４＄す（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベンジル
−Ｎ、Ｎ−ジメチル−Ｎ−アリルアンモニウムクロライ
ド）（１：４） Ｍ−１５，１５１Ｊ　（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベ
ンジル−Ｎ、Ｎ、Ｎ−トリメチルアンモニウムクロライ
ド）（１：１） Ｍ−１６４？す（スチレン−ｃｏ−Ｎ−アクリルアミド
プロピル−Ｎ−ベンジル−Ｎ　、　Ｎ　−ジメチルアン
モニウムクロライド）（１：１）Ｍ−１７ｒｌＪ（Ｎ−
ビニルベンジル−Ｎ−ベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチルアン
モニウムクロライド） Ｍ−１８ｙｌｅυ（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルインジ
ル−Ｎ、Ｎ−−／メＦ−ルーＮ−プチルアニ／モニウム
クロライド）（１：１） Ｍ−１９ポリ（１−ビニルイミダゾール−ｃｏ−１−ビ
ニル−３−ペンジルイミタソリウムクロライド）（１：
１） Ｍ−２０ポリ（１−メチル−２−メチル−５−ビニルピ
リジニウム−ｐ−トルエンスルボネート） Ｍ−２１＆Ｕ（１−ベンジル−４−ビニルピリジニウム
クロライド） Ｍ−２２ポリ（１−ベンジル−２−メチル−５−ビニル
ピリジニウムクロライド） Ｍ−２３ポリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル
−Ｎ−カルバミルメチルアンモニウムクロライド） Ｍ−２４ポリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメｆ　
ルーＮ−シクロヘキシルアンモニウムクロライド） Ｍ−２５ポリ〔Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル
−Ｎ−（３−メチル−２−ブテニル）アンモニウムクロ
ライド〕 Ｍ−２６ホ！ｊ（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベンジル
−Ｎ、Ｎ、Ｎ−トリメチルアンモニウムクロライド）（
１：２） Ｍ−２７−９（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメｆル
ーＮ−イソブチルアンモニウムクロライド） Ｍ−２８ポリ（Ｎ−（２−アクリルアミド−１，１−ジ
メチルゾロビル−Ｎ。Ｎ−ジメチル−Ｎ−ベンジルアン
モニウムクロライド〕Ｍ−２９ポリ（Ｎ、Ｎ、Ｎ−）ジ
メチル−Ｎ−ビニルベンジルアンモニウムクロライド） Ｍ−３０ポリ〔スチレン−ＣＯ−ベンジルＣジ）ｆｋ）
−ｐ−ビニルベンジルアン七ニウムクロライド〕 Ｍ−３１／す（Ｐ、Ｐ、Ｐ−）リオクチルーＰ−ビニル
ベンジルホスホニウムクロライド Ｍ−３２／　＋７　（スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベン
ジル−Ｎ、Ｎ、Ｎ−）リヘキシルアンモニウムクロライ
ド） Ｍ−３３ポリ（Ｎ、Ｎ、Ｎ−）ジメチル−Ｎ−ビニルベ
ンジルアンモニウム−ＣＯ−スチレン）Ｍ−３４／す（
スチレン−ｃｏ−Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−１’メ
チルベンジルアンモニウムクロライド−ｅｏ−ジビニル
ペ／ゼン）Ｍ−３５／！Ｊ（Ｎ−ビニルベンジルピペリ
ジニウムクロライド） Ｍ−３６４９（４−ビニルフェニルカルバミルメチル−
Ｎ、Ｎ、Ｎ−）！ｊメチルアンモニウムクロライド） Ｍ−３７／す（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル
−Ｎ−アセトニルアンモニウムクロライド Ｍ−３８−１ｅす（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメ
チル−Ｎ−メトキシカルゲニルメチルアンモニウムクロ
ライド） Ｍ−３９ポＩＪ　（Ｎ−ビニルベンジルピリジニウムク
ロライド） Ｍ−４０ｆｌＪ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ−メチルピロ
リジニウムクロライド） Ｍ−４１ｙＮす（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ−メチルピペ
リジニウムクロライド） Ｍ−４２ホリ（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ−メ？ルモルホ
リニウムクロライド） Ｍ−４３−９（Ｎ−ビニルベンジル−Ｎ、Ｎ−ジメチル
アニリニウムクロライド） ビニルベンジル４級アンモニウム繰返シ単位の代りに、
カルボン酸置換ビニルモノマー例、ｔばアクリル酸、メ
タクリル酸、α−クロロアクリル酸または１−プロペン
−１，２，３−）リカルが／酸から誘導されるアニオン
性繰返し単位を使用して、相当するアニオン性媒染剤を
Ｗ、１ｌｆｆすることができる。

媒染剤およびジアゾ樹脂の相対量は、媒染剤の分子量お
よび媒染強度、カラーフィルタープレイのカラーフィル
ター要素を製造するのに使用する具体的な色素並びに他
の要素に依存する。ジアゾ樹脂の好ましい範囲は、皮膜
に対して約０．１６〜約１．０　ｈ９／　ｄｍ”であシ
、そして媒染剤の好ましい範囲は約０．５〜５．　Ｏｒ
ｎＱ／　ｄｍ”　、　ｉ＆も好ましくは約１．０〜ｌ、
　５　ｍＱ／　ｄｍ”である。カラーフィルターアレイ
または固体像形成装置の削進の際には、スピンコーチン
グによって塗布するのが最も普通でちるが、他の方法も
有用である。前記の樹脂は主に紫外！（ＵＶ）に感受性
であり、水を使用して例えばスプレーイングによシ、ま
たは攪拌容器中で層を浸漬することによシ通常処理する
。

望ましいフィルタ一層パターン中に均一に設けることの
できる任意の減法混色原色色素が本発明の実施に有用で
あるが、好ましい色素はイオン性色素、従って、媒染に
よって不動化されることのできるものである。カチオン
性媒染剤と組合せて使用するアニオン性色素が特に好ま
しい。イエロー、マゼンタおよびシアン色素の好ましい
例を表Ｈに示す。

表　■ Ｉ 」 Ｓｏ、Ｉ（ マゼンタ色素 ＭＤ−１ ＭＤ−２ Ｎ−（Ｃ２Ｈ５）２ ＭＤ−３ ＭＤ−４ ＭＤ−５（Ｎｉキレート化） ＭＤ−６（Ｎｉキレート化） ０１１　　　　　　Ｃｏ２Ｈ ＭＤ−７（Ｎｌキレート化） ＮＨ２ｃｏ２Ｈ ＭＤ−８（Ｎｌキレート化） ＭＤ−９（Ｎｉキレート化） ＭＤ−１０ ＭＤ−１１ １Ｄ−１２ 色素Ａ　　　　Ｒ’　　　　　　　Ｒ２Ｒ３Ｒ’ＭＤ−
１３−４−５ｏ２Ｎ）Ｉ２−３ｏ２ＮＨＣＨ２Ｃｏ２Ｈ
−ＣＨ，ＨＭＤ−１４−３−Ｃｏ２Ｉ（−ＳＯ２ＮＨＣ
（ＣＨＩ３）３−ＣＦ（３ＩＭＤ−１５−４−８０３Ｈ
−５ｏ２ｈ’ＨｃＨ２Ｃｏ２Ｈ−ＣＨ３Ｈｋ［）−１６
−３−８ｏ３ＮＨ２−８ｏ２ＮＨＣＨ２ＣＯ２Ｈ−ＣＨ
３Ｈ＆ＩＤ−１７ＩＤ−１７−３−８Ｏ３ＣＨ３−８ｏ
２ＮＨＣＨ２Ｃｏ２Ｈ−ＣＨ３Ｈ−３−８ｏ３Ｈ−８Ｏ
２ＮＨＣＨ２Ｃｏ２Ｈ−ＣＨ３−２−ＣｔシｒｌＤ−１
９−３−ＳＯ３Ｈ−５０２ＮＨＣＨ２ＣＯ２Ｈ−ＣＨ，
−４−ＣｔＭＤ−２０−３−８ｏ３Ｈ−８ｏ□Ｃ２Ｈ４
Ｃ０２Ｈ−ＣＨ３ＨＤ−１ ＭＤ−２ ＹＤ−３Ｄｒ１ｍａｒｉｎｅ＠　　Ｂｒ１ｌｌｉａｎｔ
　Ｙｅｌｌｏｗ　Ｋ−３６２（クロロピリミジン反応性
基をもつモノアゾ色素） ＹＤ−４（Ｎｉキレート化） ＹＤ−５（Ｎｌキレート化） ＨＮ−Ｎ＝Ｃ−Ｃ−ＣＨ３ ＭＤ−６ ＹＤ−７（ＮｌとＺｎキレート化） ＭＤ−８ ＭＤ−９ ＳＯ３に ＹＤ−１０ ＹＤ−１１ 色素点　　　Ｒ５Ｒ６Ｒ７Ｒ８ つ−１２−４−８ｏ、ＨＨ−鳴　Ω ＹＤ−１３−３−８ｏ２ＮＨ２５−Ｃ’０２Ｈ−ＣＮ　
　０ＹＤ−１４−４−８Ｏ，ＮＨＣａ２ＣＯ２ＨＨ−Ｃ
Ｎ　ΩＹＤ−１５−４−８ｏ２ＨＨＨΩ ＹＤ−１６−４−８ｏ２Ｉ（Ｈ−ＯＨΩＹＤ−１７−４
−５Ｏ２ＮＨ２Ｊｌ　　−０１１ＧＳＯ，ＨＹＤ−１８
−４−５ｏ２ＨＨ−ａＮ（２（）ＹＤ−１９−３−ｃｔ
　　　Ｈ−ｃ１１３−Ｃ＞ｃｏ２＋ｒＹＤ−２０−３−
Ｃｏ２ＨＨ−ＣＨ５ＧＣＯ２）ＩＹＤ−２１−３−８ｏ
２ＮＨＣ）Ｉ２Ｑ）２ＨＨ−ＣＮ　　−Ｃ１７色２ム　
　Ｒ９ｍｌ　Ｇ ＹＤ−２２−Ｃ２Ｈ５−Ｃ２Ｈ４ＳＯ，ＨＹＤ−２３−
ＣＨ，−ＣＨ。

ＹＤ−２４−Ｃ２Ｈ５−Ｃ２Ｈ４ＮＨ８Ｏ２ＣＨ。

シアン色素 ＣＤ−１ ＣＤ−２銅フタロシアニンテトラスルホン酸テトラナト
リウム塩 ＣＤ−３ＰｒｏｃｉｏｎＹＭｔｕｒｑｕｏｉｓｅ　ＨＡ
　（モノクロロトリアジン反応性基を含有するスルホン
化銅フタロシアニン） ＣＤ−４（Ｎｌキレート化） ＣＤ−５（Ｎｉキレート化） ＣＤ−６ ＣＤ−７ ＮＨ２００Ｈ 好ましいイオン性色素はフィルタ一層中へインピビショ
ンするために極性溶媒中に容易に溶解させることができ
る。色素の水溶液を使用することができる。しかしなが
ら、フィルタ一層と相容性の任意の他の便利な極性溶媒
例えばメタノール。

エタノール、ジメチルスルホキシド、ジオキサン。

エタノールアミンまたはそれらの混合物を、望ましい場
合には水と組合せて使用することができる。

好ましい溶媒は、フィルタ一層中へインビビションする
ことのできる色素の量を増加する溶媒である。代表的に
は、少量の界面活性剤を色素溶液に加えてフィルタ一層
の湿潤を促進する。各減法混色原色色素を単独のフィル
タ一層に閉じ込めることを保証する別の手段として、異
なる色素を含む隣接フィルタ一層の間の障壁層を使用す
ることができる。有用な障壁材料は当業界で公知であり
。

９１ばニトロセルロース、ポリ（グリシジルメタクリレ
ート）、ポリ（メチルメタクリレート）およびポリ（イ
ンプロ４ニルケトン）が含まれる。

ポリエステルアイオノマーは障壁材料の好ましい群を構
成する。前記の基準に合うポリマーの特に好ましい群は
光架橋性ポリエステルアイオノマーである。好ましい４
リエステルアイオノマーにおいて、ポリエステルは、ア
ルカリ金属スルホネート基を含む少なくとも１つの芳香
族ジカルボン酸誘導繰返し単位またはイミド窒素原子置
換基として１価カチオンを含むイミドジスルホニル単位
を含有する。光架橋性４リエステルアイオノマーは好ま
しくは、架橋部位を提供することのできる非芳香族エチ
レン系不飽和部分を含むジカルボン酸誘導繰返し単位を
含有する。

特に好ましい形態では、−リエステルは少なくとも３つ
のジカルボン酸訪導繰返し単位を含む。

１つのジカルボン酸誘導繰返し単位は光架橋性単位であ
る。この単位は、前記のように活性輻射線に露光した際
に他のＩリマー鑓」二の同様の単位と架橋する。別のジ
カルボン酸誘導繰返し単位は疎水性単位である。第３の
ジカルボン酸誘導繰返し単位は、スルホネートイオン性
基を含む単位すなわち親水性単位である。光架橋性単位
は４　リエステルの合計酸単位の３０〜９０モル％好ま
しくは３０〜７０モル％からなることができる。疎水性
およびイオン性単位は、ポリエステルの合計酸単位の各
々５〜５０モル％および２〜４０モル％からなることが
できる。光架橋性基はポリマー主鎖の部分またはそれか
らのインダント基のいずれかであることができる。

プリエステルアイオノマーの具体例および障壁層を形成
する際のそれらの有用性は米国特許第３．９２９，４８
９号および第４，３１５，９７８号、並びに英国特許第
１，４０７．０５’９号各明細書に記載されている。ポ
リエステルアイオノマーは好ましい障壁材料である。な
ぜなら、それらは薄層として塗布した場合であっても非
常に有効であるからである。

特に好ｔしいプリエステルアイオノマーを表■に示す。

通常通り、ポリエステルのグリコール部分を最初に示し
、そしてグリコール部分が１つより多い場合にはその次
のカッコ内にモル％を示し。

続いてポリエステルのカルボン酸部分そしてその部分の
モル％をカッコ内に示す。

表■ ＰＥ４−１　　／す〔エチレン−ｃｏ　−１，４−シク
ロヘキシレンジメチレン（７０：３０）１．１．３−ト
リメチル−３−フェニル−５，４′インダンジカルがキ
シレー）　−ｃｏ　−３，３’−ソジオイミノジスルホ
ニルジペンゾエート （４５：５０：５）） ＰＥＩ−２ポリ〔エチレン−ｃｏ　−Ｌ４−シクロヘキ
シレンジメチレン（７０：３０）１．１．３−トリメチ
ル−３−フェニル−５，４′−インダンジカルゲキシレ
ートーｃｏ　−３４’　−（１，４−フェニレン）ジア
クリレート−ｃｏ−５−（４−ソジオスルホフェノキシ
〕−１，３−ベンゼンジカルゲキシレート（４５：５０
：５）） ＰＥＩ−３／ＩＪ　（１，４−シクロヘキシレンビス（
オキシエチレン）　−３，３’−（１，４−フェニレン
）ジアクリレー）　−ｃｏ　−３＋３’−ソソオイミノ
スルホニルジベンゾエー）　（９５：５）　〕本発明は
、減法混色原色色素の積重ね層によって各々形成されｆ
ｃ′ｗ色、緑色および赤色フィルターに関して説明した
が、特別の用途に対しては。

加法混色色票を使用して１以上のフィルターを形成スる
ハイブリッドフィルターアレイを形成することができる
ことを理解されたい。しかしながら。

減法混色原色色素の積重ね層によって形成された残りの
フィルターに関して以下１本発明を説明する。

〔実施例〕

以下、具体的な組成物および実施例によって本発明を更
に詳細に説明する。

組成物 組成物１ニジアゾ樹脂−カチオン性媒染剤処方１媒染剤
Ｍ−２４の１２％水溶液　　２５．０．９リン酸の８５
％水溶液　　　　　　　　０．３９以］傷；白 脱イオン水　　　　　　　　　　　　５．０ｇ組成物２
ニジアゾ樹脂−カチオン性媒染剤処方２ジアゾ樹脂Ａ　
　　　　　　　　　　　　Ｏ，９！！リン酸の８５％水
溶液　　　　　　　　０．３．９界面活性剤Ａ　　　　
　　　　　　　　Ｏ，Ｌ１７脱イオン水　　　　　　　
　　　　４０．０！ｉ組成物３：色素障壁ポリエステル
アイオノマーＰＥｌ−１２，５，ｉ７ ジクロロメタン　　　　　　　　　　９７．５．９組成
＊４：２クロＪ−酸化ゼラチン処方１ゼラチン（写真凸
版ニカワ）　　　　　　２ｓ、ｏｐ脱イオン水　　　　
　　　　　　　２５．０９重クロム酸アンモニウム２０
％水溶液　　　８．０．；／組成物５：重クロム酸化ゼ
ラチン処方２ゼラチン（写真凸版ニカワ＞　　　　　２
５．０ｇ脱イオン水　　　　　　　　　　　１５−０．
９重クロム酸アンモニウム２０％水溶液　　　８．０ｇ
シアン色素溶液ｌ ＣＤ−１０，２５，９ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　　Ｏ，２，９メ
タノール　　　　　　　　　　　　５９ｍ１ｐ）１１０
緩衝剤　　　　　　　　　　　５０ｍ１シアン色素溶液
２ ＣＤ−３０，５９ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　Ｏ，２，９脱イ
オン水　　　　　　　　　　　１００ｄＨＣ１で声を３
．５に調整 ＭＤ−４０，４，９ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　　Ｏ，２ｇメタ
ノール　　　　　　　　　　　　５０ｒｎｌｐ）１１０
ｆｆｉ剤　　　　　　　　　　　５Ｑｍ１ＭＤ−２１，
０ｇ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　　Ｏ，２ｇ脱イ
オン水　　　　　　　　　　　１００１ｄＨＣ１で−を
３．０に調整 ＹＤ−１０，４，９ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　　Ｏ，２，９−
１１０緩衝剤　　　　　　　　　　１００ゴＹＤ−３１
，５ｇ 界面活性剤Ａ　　　　　　　　　　　　　Ｏ，２９脱イ
オン水　　　　　　　　　　　１００ｄＨＣ１で−を３
．０に調整 例１ 以下の手順により、１００簡ガラスウエーハ上にカラー
フィルターアレイを製造した。

（１）組成物１のジアゾ樹脂処方ＩＱｍｌでウェーハｆ
　３０００　ｒｐｍでスピンコーチングした。

（２）緑色および赤色のフィルターセットの両方を表わ
す領域内での露光を可能にするイエローマスフを通して
、ウェーノ・を３０秒間紫外線に露光した。

（３）ウェーハを２０秒間脱イオン水で洗い、未露光材
料を除去した。

（４）ウェーハをイエロー色素溶Ｍ、１中に浸漬し。

次いで脱イオン水で洗い、乾かした。

（５）組成物３０色素障壁ポリエステルアイオノマー１
０ｒｎｌで、ウェーハを３０秒間２００　Ｏｒｐｍでス
ピンコーチングした。

工程（１）〜（４）を繰返したが、以下の点を変更した
。

（１）組成物２を４０００　ｒｐｍでスピンコーチング
した。

（２）青色および緑色フィルターの両方を表わす領域で
の露光を可能にするシアンマスクを通して２０秒間露光
した。

（３）ウェーハを２分間シアン色素溶液１で染色した。

工程（１）〜（４）を再び繰返したが、以下の点を変更
した。

（１）　　ｆｆｉ成物成金２００　Ｏｒｐｍでスピア　
＝：Ｉ　−ｆ　７グした。

（２）青色および赤色フィルターの両方を表わす領域で
の露光を可能にするマゼンタマスクを通して２０秒間露
光し次。

（３）ウェーハを２分間マゼンタ色素溶液１で染色した
。

高品質のカラーフィルターアレイが得られた。

ここで。

（１）イエロー着色フィルタ一層上に被覆したシアン着
色フィルタ一層は、５２０ｎｍで６０％透過する緑色フ
ィルターを製造し。

（２）イエロー着色フィルタ一層上に被覆したマゼンタ
着色フィルタ一層は、６２０ｎｍで８０％透過する赤色
フィルターを裂遺し。

（３）シアン着色フィルタ一層上に核種したマゼンタ着
色フィルタ一層は、４５０ｎｍで６０％透過するフィル
ターを製造した。

例２ 以下の手順により、１００ｍガラスウェーハ上にカラー
フィルターアレイを製造した。

（１）　　組成物４の重クロム酸化ゼラチン処方１０ｔ
ｘｌでウェーハを３５０　Ｏｒｐｍでスピンコーチング
した。

（２）シアンマスクを通してウェーハを３０秒間ＵＶ光
に露光した。

（３）　　ウェーハを３０秒間脱イオン水で洗い、未露
光材料を除去した。

（４）　　ウェーハをシアン色素溶液２（５０℃に予め
加熱したもの）中に６分間浸漬し、そして脱イオン水で
洗い、乾かした。

（５）Ｍ色比ゼラチンを１次に１９０℃で４５分分間−
て硬化した。

工程（１）〜（５）を繰返したが、以下の点を変更した
。

（１）　　組成物４を５００　Ｏｒｐｍでスピンコーチ
ングした。

（２）マゼンタマスクを通して露光した。

（３）ウェーハを３分間マゼンタ色素溶液２で染色した
。

工程ｔ１）〜（５）を再び繰返したが、以下の点を変更
した。

（１）組成物５を３０００　ｒｐｍでスピンコーチング
した。

（２）　　イエローマスクを通して５０秒間露光した。

（３）　　ウェーハを９０秒間イエロー色素溶液２中で
染色した。

５２０ｎｍで７０％透過する緑色フィルターと。

６６０ｎｍで６０％透過する赤色フィルターと。

４４０ｎｍで５０％透過する青色フィルターとをもつ高
品質カラーフィルターアレイが得られた。

例３ 第７図に示す型のＣＯＤ半導体像センサを、平坦化性層
（２２５）を適用する工程を通して製造した。すなわち
、平坦化性層より上の要素以外は、第７図に示したすべ
ての構造が存在した。次に。

色素ＣＤ−２、ＭＤ−１およびＹＤ−２をこの順序でイ
ンピビションさせること以外は前記例１に記載のものと
同様の工程順序により、　ＣＯＤ表面上にフィルターア
レイを形成した。センサの個々のビクセルはＩ　Ｘ　１
０”　ｍ”未満の面積であった。センサは像記録におい
て優れたクロミナンス識別を示した。

〔発明の効果〕

本発明は、像記録ま次は直接見るのに有用で。

可視スペクトルの単独の選択された青色、緑色ま次は赤
色領域に、光透過をより正確に制限する。

宵色、緑色および赤色フィルターの中間挿入パターンを
提供する長所を屯たらすものである。同時に、前記のフ
ィルターはその構造のために、密度および色相の点で比
較的不変である。更に、フィルターを高い正確度で空間
的に抽写することかでき、そのため他端に小さいビクセ
ル■積を必要とする用途で作用させるのが可能となる。

個々のフィルター成分がキれが形成するピクセルの多数
の面積である面積を占めることができる点で、空間的規
定を促進する特別な利点を本発明は提供する。

これは、中間挿入フィルター・ぐターンを形成するのに
必要な層境界を著しく減少させることができる。

本発明は、倫検出および記録における。再現性のある高
水準の空間的１色相的および密度の忠実性の前記長所を
もつ、ピクセル面積ｌＸｌ０−’ｍ”の半導体倫センサ
を可能にする。更に、前記のフィルター要素は、半導体
センサと完全に適合性のある技術による型造が可能であ
るという利点をもつ。

本発明は、更に、再現性のある高水準の空間的。

色相的および密度の忠実性の前記長所をもつ可視多色債
を可能にする。通常の倫形成輝度変調器との組合せで使
用する場合に、カラーフィルターアレイは反射または投
射で見ることが可能な多色像を発生させることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図および第３図は本発明による２株の別異のフィル
ターアレイの平面細部の説明図、第２図は第１図の２−
２線断面図、第４図は第３図の４−４？／ａ断面図、第
５図は第３フィルターアレイとアレイを形成する層との
空間的関係を示すピクセル３６個の広げた等大細部の説
明図、第６図は本発明による多色像形成装置の断面図、
そして第７図はホトダイオードピクセルセンサを使用す
る中間挿入ＣＣＤの単独ピクセルの断面図である。 １・・・支持体：３・・・上方面：５・・・透明支持体
；７・・・上方面；１０・・り譬ターン：２０，３０・
・・層アレイ：１００・・・倫表示装置：　１０１−・
・下方面：１０３・・・透明支持体；１０５・・・上方
面：Ｂ１．Ｂ２・・・背合フィルター：Ｃ１，Ｃ２，Ｃ
３，Ｃ４，Ｃ５゜Ｃ６，Ｃ７・・・シアン色素含有層：
Ｄｌ、Ｂ２゜Ｂ３　、　Ｂ４　、　Ｂ５　、　Ｂ６　、
　Ｂ７　、　Ｂ８　、　Ｂ９　。 ＤＩＯ・・・輝度変調器：Ｇ１．Ｇ２・・・緑色フィル
ター：Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．Ｍ４．Ｍ５・・・マゼンタ色
素含有層：Ｒ１，Ｒ２・・・赤色フィルター：Ｙｌ。 Ｙ２　、Ｙ３　、Ｙ４・・・イエロー色素含有層：２０
１・・・半導体基板：２０３．２０５・・・基板主要面
；２０７・・・導電層：２０９・・・Ｎ導電ぶ型領域；
２１１・・・Ｐ導電基型ウェル；２１３・・・Ｎ導電基
型拡散：２１５・・・浅いＮ４電塞型領域：２１７・・
・Ｐ＋導導電率領領域２１９・・・ケ０−ト電極：２２
１・・・光遮蔽：２２３・・・透明絶縁体：２２５・・
・平坦化性材料：２２７・・・表面；２２９・・・フィ
ルター；２３１・・・フィルター要素；２３３・・・レ
ンズ支持層：２３５・・・レンズ：２３９・・・レンズ
表面。 ＦＩＧ、　Ｉ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、３ ＦＩＧ、　４ ＦＩＧ、　７ ＦＩＧ、　６ 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６２年特許願第１５２４４３号 ２、発明の名称 カラーフィルターアレイ ３、補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 名称　　イーストマン　コダソク　カンパニー４、代理
人 住所　〒１０５東京都港区虎ノ門−丁目８番１０号静光
虎ノ門ビル　電話５０４−０７２１５、補正命令の日付 ６、補正の対象 明細書 ７、補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし） ８、添附書類の目録 浄書明細書　　　　　　１通 手続補正書（自発） 昭和６２年９り／θ日 特許庁長官　小　川　邦　夫　殿 １、事件の表示 昭和６２年　特許類　第１５２４４３号２、発明の名称 カラーフィルターアレイ ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称イーストマン　コダック　カンパニー４、代理人 住所〒１０５東京都港区虎ノ門−丁目８番１０号静元虎
ノ門ビル電話（５０４）０７２１氏名　弁理士（６５７
９）　　青　木　　　　朗５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （イ）明細書第３１頁、第７〜８行目、「層（２２５）
は層よシも滑らかな表面を提供する。」とある全削除し
ます。 （ロ）明細書第４９頁、ｋｌＤ　−３の式全下記の通シ
に補正します。 「 Ｉ 」 ρ→　明細書第４９頁、ＭＤ　−４の式全下記の通りに
補正します。 以下全白 Ｓ　Ｏｓ　Ｈ」 に）明細書第５１頁の記載を下記の通シに補正します。 「 即−１０ （Ｃ１工２）２Ｓ０３− ＭＤ−１２ 」 （ホ）明細書第５２頁の表中、ＭＤ−１６の項、Ｒの欄
、ｒ　−３−５ｏ３ＮＨ２ｊとあるをｒ　−４−５ｏ２
ＮＨ２Ｊに補正します。 （へ）明細書第５２頁の表中、ＭＤ−１７の項、Ｒ１の
欄、「−３−５ｏ３ＣＨ３」とあるをＩｒ　−４−５ｏ
２ＮＨ２Ｊに補正します。 （ト）明細書第５２頁、ＹＤ−１の式を下記の通りに補
正します。 「 Ｈ （イ）明細書第５２頁、ＹＤ　−２の式を下記の通りに
補正します。 「 」 （す）　　明細書第５３頁、ＹＤ−５の式を下記の通シ
に補正します。 「 」 （ロ）　明細書第５５頁の記載全下記の通シに補正しま
す。 ＹＤ−１０ ＹＤ−１１ に）明細書第５６頁、ＹＤ−１５、ＹＤ−１６およびＹ
Ｄ−１８の項、Ｒ５の欄、ｒ　−４−８ｏ２Ｈ」とある
をそれぞれｒ　−４−５ｏ３ＨＪに補正します。 （２）明細書第５７頁、ＣＤ−１の式を下記の通シに補
正します。 １１１］で／ｌ＋乙１ 〒Ｈ３ 」 （ワ）明細書第６０頁の表中、ＣＤ−１０の項、Ｒ２の
欄、ｒ　−５ｏ２ＮＣＨ（ＣＨ３）３Ｊとあるを「−８
ｏ２ＮＨＣ（ＣＨ，）３Ｊに補正します。 鱒）明細書第７２頁、１５行目、ｒＹＤ−２」とちるを
ｒ　ＹＤ−２１Ｊに補正します。 以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、側方に配置した第１、第２および第３の加法混色原
   色フィルターの中間挿入セットからなるフィルターアレ
   イであって、 前記のフィルターのセットは２つの各別の底部層からな
   り、一方の底部層は前記の第１および第２フィルターの
   底部層を形成する第１の減法混色原色色素を含有し、そ
   して第２の底部層は前記第３フィルターの底部層を形成
   する第２の減法混色原色色素を含有し、そして、 前記のフィルターのセットは２つの各別のオーバーライ
   イング層から形成され、一方のオーバーライイング層は
   前記の第１フィルターのオーバーライイング層を形成す
   る前記の第２の減法混色原色色素を含有し、そして第２
   のオーバーライイング層は前記の第２および第３のフィ
   ルターのオーバーライイング層を形成する第３の減法混
   色原色色素を含有し、そして 前記の底部層およびオーバーライイング層の少なくとも
   一方は制御された厚さであり、そして単独の減法混色原
   色色素を含むものであることを特徴とする、前記のフィ
   ルターアレイ。