JPS6366432A - 試験用圧力発生器 - Google Patents

試験用圧力発生器

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JPS6366432A
JPS6366432A JP21118886A JP21118886A JPS6366432A JP S6366432 A JPS6366432 A JP S6366432A JP 21118886 A JP21118886 A JP 21118886A JP 21118886 A JP21118886 A JP 21118886A JP S6366432 A JPS6366432 A JP S6366432A
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JP
Japan
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pressure
voltage
output
valve
tank
Prior art date
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Pending
Application number
JP21118886A
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English (en)
Inventor
Takashi Yoshioka
隆 吉岡
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は、プロセス制御システムにおいて、計測用に
採用される差圧伝送器、圧力伝送器、空電変換器等、圧
力を入力する計器を現場で較正するのに使用する試験用
圧力発生器に関する。
(ロ)従来の技術 現場で較正試験用に使用する従来の圧力発生器は、第3
図に示すように、逆止弁付のタンク41に手動ポンプ等
で圧力を貯え、切替弁42、ニードル弁43を介して、
タンク41内の圧力を被試験器47に出力する。この場
合、当初、切替弁42を実線側に切替え、ニードル弁4
3は閉にしておき、手動ポンプにより、タンク41に圧
力を溜める。その後、ニードル弁43を徐々に開き、出
力圧が圧力センサ45で検出され、表示器46に表示さ
れる。この表示される圧力は、徐々に目標値に近づく。
表示器46のデジタル表示が目標値の近傍にきたところ
でニードル弁43を閉める。
そして、圧が目標値に完全に合致するように、ベローズ
44の容積をネジ48を回して調整する。
圧を下げる時は、切替弁43を徐々に開けていき、目標
器の近傍でニードル弁43を閉める。そして、ベローズ
44で精密調整を行うようにしている。
(ハ)発明が解決しようとする問題点 上記従来の試験用圧力発生器は、タンクと被試験器間に
ニードル弁とベローズを設け、粗と精の調整を行い、所
望の圧力を被試験器に供給するようにしているが、ニー
ドル弁は多回転であり、調整が極めて難しく、慣れない
と取扱いが難しいという欠点があった。
この発明は、上記に鑑み、比較的短時間で精密に所望の
圧力が調節し得る試験用圧力発生器を提供することを目
的としている。
(ニ)問題点を解決するための手段 この発明の試験用圧力発生器は、第1図に示すように、
操作式ポンプ1と、この操作式ポンプより供給される圧
力を貯えるタンク2と、このタンクと出力路4間に設け
られる調節弁3と、この調節弁を大気と前記タンクに切
替接続する切替弁5と、前記出力路に設けられる微圧調
整用のベローズ6と、前記出力路の出力圧を検出する圧
力検出部7と、出力圧を設定するための設定部8と、前
記圧力検出部の出力電圧E2と前記設定部の設定電圧E
+を所定圧力に相当する電圧E3で補正した電圧を減じ
た電圧との差を演算する演算手段9と、この演算手段出
力を受け、前記差電圧に応じて前記調節弁を制御する弁
制御回路10と、前記圧力センサの出力に対応する電圧
を出力圧として表示する表示器11とから構成されてい
る。
(ホ)作用 この試験用圧力発生器では、圧力を、例えば所定の目標
値に上昇して設定する場合には、ポンプ1でタンク2内
に圧力を供給し、その後、調節弁3を開いて被試験器1
2に空気圧を出力すると共に、圧力検出部7でその出力
圧を電気信号に変換し、出力圧に対応する電圧E2を演
算手段9に入力する。演算手段9では、設定部8で設定
される設定電圧E+及び微小圧力に相当する電圧E3が
入力されており、設定電圧E、から所定圧力に相当する
電圧E、を減じた電圧と出力に対応する電圧E2の差E
z  E+−E、lが演算される。弁制御回路10は、
この差電圧に応じて調節弁3を制御する。出力圧が上昇
すると、差電圧Ex  ErE3が小さくなり、やがて
差電圧がOになると、調節弁3の開閉動作は停止し、出
力圧は設定圧よりも所定電圧E3に相当する圧力だけ小
さい値となる。以後は、表示器11の表示を見ながら、
微圧調整用ベローズ6の内部容量を小さくして、出力圧
を上昇させ、出力圧を設定圧力に合致させる。
逆に、設定圧を下げる場合は、上記比較的大なる設定圧
に出力圧を上昇させた状態で、設定電圧を目標とする圧
力に対応する値まで下げ、切替弁3を大気に開放してお
く。演算手段9では、設定電圧E1に所定圧力に相当す
る電圧E3を加算した電圧と出力に対応する電圧E2の
差E、−E2+E3が演算される。弁制御回路10は、
この差電圧に応じて調節弁3を開閉制御し、出力路4の
圧力は調節弁3、切替弁5を介して、大気に導出される
ので、出力圧が下降する。差電圧E IE z+EJが
小さくなり、やがて差電圧がOとなると、調節弁3の開
閉動作が停止し、この時点での出力圧は、設定圧よりも
所定電圧E3に相当する圧力だけ大きい値となる。以後
は、表示器11の表示を見ながら、微圧調整用ベローズ
6の内部容量を大きくして、出力圧を僅かずつ下降させ
、出力圧を設定圧力に合致させる。
(へ)実施例 以下、実施例により、この発明をさらに詳細に説明する
第2図は、この発明の一実施例を示す較正用の試験用圧
力発生器のブロック図である。
同図において、逆止弁付タンク2には、手動ポンプ1に
より空気圧が供給され、貯えられるようになっており、
タンク2内の圧力は、電磁弁(調節弁)3°を経て、出
力路4より出力圧が被試験器12に供給されるようにな
っている。また、調節用の電磁弁3とタンク2間には、
電磁弁3をタンク2と大気側に切替接続する切替弁5が
設けられている。電磁弁3は、弁制御回路10より出力
されるパルスにより、開閉比が制御されるようになって
いる。
出力路4には、出力圧を電気信号に変換する圧力センサ
7及び出力圧を微小変化させるためのベローズ6が設け
られている。圧力センサ7の出力信号は、信号増幅器7
2で増幅され、出力圧に相当する電圧E2として、演算
回路90に入力されている。
設定部8は、出力圧を設定する設定器81、この設定器
81の電圧を信号変換して、出力圧に相当する設定電圧
E1を演算回路90に入力する信号変換器82、設定(
SET)と測定(MEAS)を切替えるスイッチ83及
びセットスイッチ84等を備えている。スイッチ83は
、信号増幅器72の出力E2、あるいは信号変換器82
の出力E。
を、切替選択により表示部11に入力している。
表示部11は、A/D変換器111、ドライバ112及
びデジタル表示器113から構成されている。
演算回路90には、設定電圧E8、出力圧に相当する電
圧Exの他に、ベローズ6で圧力調整が可能な程度の微
小圧力に相当する圧力E、が入力されており、EI  
 EX  E3  (あるいはEI   E2十E3)
が演算され、その演算された電圧が、弁制御回路10に
入力されている。
弁制御回路10は、演算回路90より入力される差電圧
に応じた周波数のパルス信号を出力する電圧/周波数変
換回路101、この電圧/周波数変換回路101よりの
パルス信号を電磁弁3を開するのに十分な程度の期間の
幅信号に変換して出力するワンショット回路102、ゲ
ート回路103、演算回路90よりE、−EZ−E3を
受け、EI  EX  E:l<Oでハイ信号を出力す
る比較器104及びスイッチ84のオンでセントされ、
比較器104の出力でリセットされ、そのセント出力で
ゲート回路103を開くフリップフロップ105から構
成されている。
次に、この実施例圧力発生器の動作について説明する。
出力圧を上げる場合、例えば、出力路4の圧力がOmm
HzOから1000mmHzOに設定する場合には、タ
ンク2内に手動ポンプ1により、設定圧よりかなり大な
る圧力を貯えておく。そして、切替弁5をタンク2側に
切替え、スイッチ83をSET側に倒し、設定部8によ
り、1000mmHzOを設定人力する。信号変換器8
2からは、この設定圧力に相当する電圧E1が出力され
、スイッチ83、A/D変換器111を経て、デジタル
表示器112に、I Q 00mmHzOが表示される
演算回路90では、今、E:1=50、つまり5Q m
mH2Oの圧力に相当する電圧であると、El −22
−E、=1000−0−50=950が出力され、この
偏差電圧が電圧/周波数変換器101でパルス信号に変
換され、ワンショット回路102に入力される。ここで
は、偏差電圧が大なるほどパルス周波数が大であり、従
って、ワンショット回路102の出力には、デユーティ
の大なるパルス信号が導出される。しかし、ゲート回路
103が開かれていないので、電磁弁3は開かれない。
次に、スイッチ83をMEAS側に倒すと共に、スイッ
チ84をオンする。これにより、出力路4の圧力がスイ
・ノチ83を経てA/D変換器111に入力され、デジ
タル表示器113に表示される。
また、フリップフロップ105がセントされ、ワンショ
ット回路102のパルス出力がゲート回路103を経て
、電磁弁3をデユーティに応じて開閉する。そのため、
タンク2内の圧力が切替弁5、電磁弁3を通して出力路
4に送出され、被試験器12に供給される。当初、出力
路4の圧力が低く、ゲート回路103からのパルス信号
のジューティが大なので、電磁弁3は高頻度に開閉され
るから、出力圧は急上昇してゆく。そのため、演算回路
90より出力される偏差電圧E+  EX  E3は減
少してゆく。出力圧の上昇が続き、やがて950mm1
(zoを越えると、偏差電圧El −EX−E:lが0
よりも小さくなり、比較器104の出力がハイに立上り
、フリップフロップ105がリセットされる。これによ
り、出力路4にはタンク2よりそれ以上の圧力の供給が
なくなる。そのため、出力圧は950mm1l□0を越
えた時点で上界が停止し、デジタル表示器113には、
950mmHzOを越えた値が静止的に表示される。
オペレータは、今度はデジタル表示器113の表示を見
ながら、ベローズ6の変位調節器13を調節して、ベロ
ーズ6の容積を小さくし、出力路4内の圧力を上げ、デ
ジタル表示器113の表示が1000mmH□0となる
までこの操作を続け、表示が1000mmHzOとなる
と、それが目標とする設定圧力である。
出力圧を下げる場合、例えば設定圧を1000mm10
0Oから800mmFIzOに落とす場合には、切替弁
5を大気側に切替える。一方、スイッチ83をSET側
に倒し、設定部8によりデジタル表示器113に800
mmH2Oの表示がなされるように設定入力する。
演算回路90では、  (EI  EI +E:I)の
演算結果が出力されるように符号変換を行う。この演算
値は、−(800−1000+59)>0となる。ここ
でスイッチ84をオンすると、フリップフロップ105
がセットされ、ゲート回路103が開かれる。そのため
、電磁弁3が上記と同様にして開閉され、出力路4内の
圧力は電磁弁3、切替弁5を通して大気に逃がされる。
これにより、出力圧は下降してゆく。やがて出力圧が8
50mmH,0になると、  (EI −Ex + 2
3)=  (800−850+50)=0となり、これ
より出力圧が小さくなると−(Et −EI +23)
<Oとなる。
そのため、比較器104の出力がハイとなり、フリップ
フロップ105がリセットされ、ゲート回路103は閉
じられ、応じて電磁弁3も閉じられる。これにより、出
力路4の圧力の大気への逃がしは停止するので、デジタ
ル表示器113には850mm)bOが表示される。オ
ペレータは、この表示を見ながらベローズ6の変位調節
器13を調節して、ベローズ6の容積を大きくして出力
路4内の圧力を下げ、デジタル表示器113の表示が8
00mmHzOとなるまでこの操作を続け、表示が80
0 mmHzOとなると、それが目標とする設定圧力で
ある。
なお、上記実施例において、ポンプ1として手動ポンプ
を使用したが、これに代えて、足踏み式ポンプを用いて
もよい。
(ト)発明の効果 この発明によれば、タンク内の圧力を被試験器に供給す
る量を調節し、あるいは大気に開放して出力圧を調節す
る調節弁の開閉を、設定圧力よりも調節前の出力圧に微
小圧だけ近い圧力に相当する電圧と出力圧に相当する電
圧の偏差に応じて制御し、出力圧を近似設定圧力まで自
動的に調整し、その後は手動変位調節手段により、ベロ
ーズの容積を変化させて、設定圧力のRiBIJを行う
ものであるから、調節弁の開閉制御が自動的になせ、従
来のニードル弁による調節のように、多回転による回転
数の確認等の煩わしさがない。それでいて、設定圧力の
微調は、手動変位調節手段で行うものであるから、構成
が簡易であり、前便・安価な試験用圧力発生器を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の試験用圧力発生器の構成を示すブ
ロック図、第2図は、実施例試験用圧力発生器のブロッ
ク図、第3図は、従来の試験用圧力発生器を示すブロッ
ク図である。 に手動ポンプ、  2:逆止弁付タンク、3:電磁弁、
     4:出力路、 5:切替弁、     6:ベローズ、7:圧力センサ
、  8:設定部、 9:演算部、    10:電磁弁制御回路、11:表
示部、    12:被試験器、13:手動変位調節器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)操作式ポンプと、この操作式ポンプより供給され
    る圧力を貯えるタンクと、このタンクと出力路間に設け
    られる調節弁と、この調節弁を大気と前記タンクに切替
    接続する切替弁と、前記出力路に設けられる微圧調整用
    のベローズと、前記出力路の出力圧を検出する圧力検出
    部と、出力圧を設定するための設定部と、前記圧力検出
    部の出力電圧と前記設定部の設定電圧を所定圧力に相当
    する電圧で補正した電圧との差を演算する演算手段と、
    この演算手段出力を受け、前記差電圧に応じて前記調節
    弁を制御する弁制御回路と、前記圧力検出部の出力に対
    応する電圧を出力圧として表示する表示器とからなる試
    験用圧力発生器。
JP21118886A 1986-09-08 1986-09-08 試験用圧力発生器 Pending JPS6366432A (ja)

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JPS6366432A true JPS6366432A (ja) 1988-03-25

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0694774A1 (en) * 1994-07-27 1996-01-31 Ametek Denmark A/S Apparatus and method for the calibration of a pressure responsive device
KR100706857B1 (ko) 2006-11-28 2007-04-13 주식회사 피디케이 압력조절장치
US7468238B2 (en) 2001-06-27 2008-12-23 University Of South Florida Maskless photolithography for using photoreactive agents

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