JPS6363086A - Dot matrix type display device - Google Patents

Dot matrix type display device

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Publication number
JPS6363086A
JPS6363086A JP61208453A JP20845386A JPS6363086A JP S6363086 A JPS6363086 A JP S6363086A JP 61208453 A JP61208453 A JP 61208453A JP 20845386 A JP20845386 A JP 20845386A JP S6363086 A JPS6363086 A JP S6363086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display device
dot matrix
matrix type
insulating film
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61208453A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
伸一 田中
藤井 克正
石突 知徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP61208453A priority Critical patent/JPS6363086A/en
Publication of JPS6363086A publication Critical patent/JPS6363086A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、単位画素をマ) IJワックス状配列し、各
画素毎に、表示体を駆動する駆動トランジスタと、駆動
のための映像信号を供給する書き込みトランジスタとを
有するドツトOマトリックス型表示装置であって、上記
駆動トランジスタ及び書き込みトランジスタを含む表示
体駆動回路が形成された半導体基板上に保護絶縁膜を介
して表示体構成要素を形成する構成のドツト・マ) I
Jソックス表示装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to unit pixels arranged in an IJ wax pattern, and each pixel includes a drive transistor for driving a display body, and a writing transistor for supplying a video signal for driving. A dot O matrix type display device having a transistor, the display device having a structure in which a display component is formed via a protective insulating film on a semiconductor substrate on which a display drive circuit including the drive transistor and write transistor is formed.・Ma) I
The present invention relates to a J-socks display device.

〈従来技術〉 第4図は上記構成を有する従来のドット・マトリックス
型表示装置の構成図である。図に於いて、Gi j (
i=1.L−m、j=L L−、n)はマトリックス状
に配列された各単位画素であり、画素毎に、表示体Di
jを駆動する駆動トランジスタTl1jと駆動のための
映像信号を供給する書き込みトランジスタT2ijとを
有する。なお、Cijは映像信号蓄積用キャパシタであ
る。また、Xiは走査信号供給ライン、Yjは映像信号
供給ラインである。
<Prior Art> FIG. 4 is a block diagram of a conventional dot matrix type display device having the above structure. In the figure, Gi j (
i=1. L-m,j=L L-,n) are each unit pixel arranged in a matrix, and each pixel is
It has a drive transistor Tl1j that drives the transistor Tl1j and a write transistor T2ij that supplies a video signal for driving. Note that Cij is a video signal storage capacitor. Further, Xi is a scanning signal supply line, and Yj is a video signal supply line.

上記駆動トランジスタ、書き込みトランジスタ等を含む
表示体駆動回路は単一の半導体基板上に形成され、該牛
導体基板上に、保護絶縁膜を介して表示体構成要素が形
成される。第4図に於いては画素部分のみを示している
が、走査回路等の周辺回路を含む場合もある。
A display drive circuit including the drive transistor, write transistor, etc. is formed on a single semiconductor substrate, and display components are formed on the conductor substrate with a protective insulating film interposed therebetween. Although only the pixel portion is shown in FIG. 4, it may also include peripheral circuits such as a scanning circuit.

例えば、ドット・マトリックス型蛍光表示装置の場合は
、第5図に示すように、各画素の表示体Dijは、画素
毎に設けられた蛍光体層Kij と、全画素に共通なフ
ィラメント・カンードC及びグリッドGとから構成され
る。
For example, in the case of a dot matrix type fluorescent display device, as shown in FIG. and grid G.

映像信号に応じて各画素の駆動トランジスタがオン・オ
フし、これに応じて蛍光体層が発光・非発光状態となり
、所望パターンの表示が行なわれる0 以上のようなドット・マトリックス型表示装置に於いて
は、画面上の画素の欠陥が表示品位に大きく影響し、製
品の歩留まりの観点からも、欠陥を減少させることが望
まれている。特に、常に発光状態にある白欠陥はOであ
ることが望ましい。
The drive transistor of each pixel is turned on and off in response to a video signal, and the phosphor layer changes into a light-emitting or non-light-emitting state accordingly, thereby displaying a desired pattern in a dot matrix type display device such as the above. In this case, defects in pixels on the screen greatly affect display quality, and it is desired to reduce defects from the viewpoint of product yield. In particular, it is desirable that the white defect, which is always in a light-emitting state, be O.

この白欠陥の発生する原因として1駆動トランジスタT
l1jの不良が考えられるが、その対策としては、既に
出願した特許がある(特願昭6l−76339)。
One of the causes of this white defect is the 1 drive transistor T.
It is possible that l1j is defective, but there is a patent that has already been filed as a countermeasure (Japanese Patent Application No. 61-76339).

しかしながら、このような回路的な方法では対応できな
い不良モードがある。
However, there are some failure modes that cannot be handled by such a circuit method.

それは、第6図に示す如く、蛍光体層Kijの下層の保
護絶縁膜(PSG等)9に穴があいたり、クラック等の
欠陥(以下、「クラック」と呼ぶ)があったときである
。第6図では、クラック10の存在によって、蛍光体層
Ktjが、駆動トランジスタTl1jのソース5と接続
されている導電体(A77等)8とショートしている。
As shown in FIG. 6, this occurs when the protective insulating film (PSG or the like) 9 underlying the phosphor layer Kij has defects such as holes or cracks (hereinafter referred to as "cracks"). In FIG. 6, due to the presence of the crack 10, the phosphor layer Ktj is short-circuited to the conductor (A77 or the like) 8 connected to the source 5 of the drive transistor Tl1j.

これにより、白欠陥となる。なお、同図において、1は
St基板、2はゲート絶縁膜、3は駆動トランジスタの
ゲート、4は同ドレイン、6は絶縁膜(S i 02 
This results in white defects. In addition, in the figure, 1 is an St substrate, 2 is a gate insulating film, 3 is a gate of a driving transistor, 4 is a drain thereof, and 6 is an insulating film (S i 02
.

PSG等)、7は導電体(Ae 等)である。PSG, etc.), 7 is a conductor (Ae, etc.).

〈発明の目的〉 本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、クラッ
ク等があっても白欠陥とならない方法を提供するもので
ある。すなわち、本発明は、従来の表示装置では単層膜
であった保護絶縁膜を、絶縁膜−導電膜−絶縁膜構造の
積層膜とすることにより、クランク等に基づく白欠陥の
発生を防止したドット・マトリックス型表示装置を提供
するものである。
<Object of the Invention> The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and provides a method that does not cause white defects even if there are cracks or the like. That is, the present invention prevents the occurrence of white defects due to cranks, etc. by changing the protective insulating film, which is a single layer film in conventional display devices, to a laminated film having an insulating film-conductive film-insulating film structure. A dot matrix type display device is provided.

〈実施例〉 以下、実施例に基づいて本発明の詳細な説明する0 第1図は本発明の一実施例のドット・マトリックス型蛍
光表示装置の構造を示す断面図である。
<Example> Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a dot matrix type fluorescent display device according to an example of the present invention.

図に於いて、第6図と同一機能部分には同一番号を付し
、詳細な説明は省略する。
In the figure, the same functional parts as in FIG. 6 are given the same numbers and detailed explanations will be omitted.

図に示すように、保護絶縁膜として、絶縁膜(PSG等
)11−金属膜(AI!等)12t、−122−絶縁膜
(PSGまたはSiN等)13構造の積層膜を設けてい
る。金属膜は各画素毎に独立して設けられている。その
パターンを第2図に示す。第2図は一画素部の平面レイ
アウト図である。図に於いて、Pkは蛍光体層Kijの
パターン、Plr Pzは、それぞれ、金属膜12t 
、122のパターンである。蛍光体層Kijは金属膜1
2+を介して導電体7と電気的に接続されている。一方
、金属膜122は電気的に浮いている。したがって、絶
縁膜13にクラック14があって、蛍光体層Kijと金
属膜122とがつながっても、従来装置の如く白欠陥と
はならない。
As shown in the figure, a laminated film having a structure of 11 insulating films (PSG, etc.), 12 metal films (AI!, etc.), -122 - 13 insulating films (PSG, SiN, etc.) is provided as the protective insulating film. The metal film is provided independently for each pixel. The pattern is shown in FIG. FIG. 2 is a plan layout diagram of one pixel section. In the figure, Pk is the pattern of the phosphor layer Kij, Plr Pz is the metal film 12t, respectively.
, 122 patterns. The phosphor layer Kij is a metal film 1
It is electrically connected to the conductor 7 via 2+. On the other hand, the metal film 122 is electrically floating. Therefore, even if there is a crack 14 in the insulating film 13 and the phosphor layer Kij and the metal film 122 are connected, it does not become a white defect as in the conventional device.

また、本構造によれば、金属膜の遮光性により、外部の
光または蛍光体層より発した光が駆動トランジスタ、そ
の他のトランジスタに届かず、光による誤動作等が防止
される効果もある。
Further, according to this structure, the light-shielding property of the metal film prevents external light or light emitted from the phosphor layer from reaching the drive transistor and other transistors, thereby preventing malfunctions caused by light.

第3図に池の実施例の構造を示す。FIG. 3 shows the structure of an embodiment of the pond.

上記各実施例に於ける金属膜121 + 122又は1
2の代わりに他の導電膜を用いる構成としてもよい。
Metal film 121 + 122 or 1 in each of the above embodiments
2 may be replaced with another conductive film.

上記実施例はドット・マトリックス型蛍光表示装置に於
いて本発明を実施したものであるが、本発明は他のドッ
ト・マトリックス型表示装置、例えばEL表示装置、液
晶表示装置等に於いても有効に実施することができるも
のであることは言うまでもない。
Although the above embodiment is an example in which the present invention is implemented in a dot matrix type fluorescent display device, the present invention is also effective in other dot matrix type display devices, such as EL display devices, liquid crystal display devices, etc. Needless to say, it is something that can be implemented.

〈発明の効果ン 以上詳細に説明したように、本発明によれば、白欠陥の
発生を防止することができ、歩留まりを著しく向上させ
ることができるものである。
<Effects of the Invention> As explained in detail above, according to the present invention, the occurrence of white defects can be prevented and the yield can be significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の構造を示す断面図、第2図
は同実施例に於ける保護絶縁膜を構成する金属膜のパタ
ーンを示す平面レイアウト図、第3図は他の実施例の構
造を示す断面図、第4図はドツト・マ) IJフックス
表示装置の構成図、第5図はドット・マトリックス型蛍
光表示装置の一画素部の構成図、第6図は従来のドツト
・マ) IJフックス表示装置の構造を示す断面図であ
る。 符号の説明 11:絶縁膜、 12+ 、122.12:金属膜、 
13:絶縁膜。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)第 2 図 第3図 $4 図
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan layout diagram showing the pattern of the metal film constituting the protective insulating film in the same embodiment, and FIG. 3 is a diagram showing another embodiment. A cross-sectional view showing the structure of an example, Fig. 4 is a block diagram of a dot matrix IJ hooks display device, Fig. 5 is a block diagram of one pixel part of a dot matrix type fluorescent display device, and Fig. 6 is a block diagram of a conventional dot matrix type fluorescent display device. -M) It is a sectional view showing the structure of an IJ Fuchs display device. Explanation of symbols 11: Insulating film, 12+, 122.12: Metal film,
13: Insulating film. Agent Patent Attorney Takeshi Sugiyama (and 1 other person) Figure 2 Figure 3 $4 Figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、単位画素がマトリックス状に配列され、各画素毎に
、表示体を駆動する駆動トランジスタと、駆動するため
の映像信号を供給する書き込みトランジスタとを有する
ドット・マトリックス型表示装置であって、上記駆動ト
ランジスタ及び書き込みトランジスタを含む表示体駆動
回路が形成された半導体基板上に保護絶縁膜を介して表
示体構成要素が形成される構成のドット・マトリックス
型表示装置に於いて、上記保護絶縁膜として、絶縁膜−
導電膜−絶縁膜構造の積層膜を設ける構成としたことを
特徴とするドット・マトリックス型表示装置。
1. A dot matrix type display device in which unit pixels are arranged in a matrix, and each pixel has a drive transistor for driving a display body and a writing transistor for supplying a video signal for driving, the above-mentioned In a dot matrix display device in which a display element is formed via a protective insulating film on a semiconductor substrate on which a display driving circuit including a drive transistor and a write transistor is formed, as the protective insulating film. , insulation film-
A dot matrix type display device characterized by having a structure in which a laminated film having a conductive film-insulating film structure is provided.
JP61208453A 1986-09-03 1986-09-03 Dot matrix type display device Pending JPS6363086A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06194690A (en) * 1992-10-08 1994-07-15 Hitachi Ltd Liquid crystal light valve and projection type display formed by using the valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06194690A (en) * 1992-10-08 1994-07-15 Hitachi Ltd Liquid crystal light valve and projection type display formed by using the valve

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