JPS6363041B2 - - Google Patents
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- JPS6363041B2 JPS6363041B2 JP6605582A JP6605582A JPS6363041B2 JP S6363041 B2 JPS6363041 B2 JP S6363041B2 JP 6605582 A JP6605582 A JP 6605582A JP 6605582 A JP6605582 A JP 6605582A JP S6363041 B2 JPS6363041 B2 JP S6363041B2
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- multilayer film
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- measuring
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- Expired
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ポリエステル材等のフイルム基材
にコーテイングした接着剤又は樹脂等のフイルム
膜厚を非破壊・非接触で測定するようにした多層
フイルムの膜厚測定方法に関する。
にコーテイングした接着剤又は樹脂等のフイルム
膜厚を非破壊・非接触で測定するようにした多層
フイルムの膜厚測定方法に関する。
一般に、プラスチツク等のフイルム基材に対し
てヒートシールできる塗膜を形成する場合、ある
いはフイルム基材自体の欠点を改善したり他の特
性を付与する場合、フイルム基材表面に接着剤又
は樹脂等で構成されたコーテイング層を形成して
いる。かかるコーテイング層の膜厚を一定に制御
することは、加工処理した製品の品質を高める重
要な要素技術となつている。しかして、従来のコ
ーテイング層の膜厚測定方法では、先ず赤外線を
フイルム基材及びコーテイング材にそれぞれ照射
し、フイルム基材の透過スペクトル特性（第１
図）及びコーテイング材の透過スペクトル特性
（第２図）をそれぞれ測定してフイルム基材の吸
収波長dλ1とは異なつたコーテイング材の吸収波
長dλ2を求める。そして、フイルム基材にコーテ
イング材を接合して多層フイルムを形成し、この
多層フイルムの透過スペクトル特性を第４図に示
す如く測定して、どのフイルム素材層にも吸収さ
れないリフアレンス波長dλ3を選出する。かくし
て得られた波長dλ2及びdλ3の光を狭帯域光学フ
イルタにより取出して種々の厚さのコーテイング
材を有する多層フイルムに照射せしめ、吸収波長
dλ2に測定した多層フイルムの透過率Ｔをリフア
レンス波長dλ3に測定した多層フイルムの透過率
T3で除算して透過率Ｔを求め、第３図に示すよ
うな検量線図を予め作成しておく。そして、コー
テイング材の厚さ未知の多層フイルムの透過率
Taを同様にして求め、この検量線図を、矢印の
方向に走査してコーテイング材の膜厚daを測定し
ていた。
てヒートシールできる塗膜を形成する場合、ある
いはフイルム基材自体の欠点を改善したり他の特
性を付与する場合、フイルム基材表面に接着剤又
は樹脂等で構成されたコーテイング層を形成して
いる。かかるコーテイング層の膜厚を一定に制御
することは、加工処理した製品の品質を高める重
要な要素技術となつている。しかして、従来のコ
ーテイング層の膜厚測定方法では、先ず赤外線を
フイルム基材及びコーテイング材にそれぞれ照射
し、フイルム基材の透過スペクトル特性（第１
図）及びコーテイング材の透過スペクトル特性
（第２図）をそれぞれ測定してフイルム基材の吸
収波長dλ1とは異なつたコーテイング材の吸収波
長dλ2を求める。そして、フイルム基材にコーテ
イング材を接合して多層フイルムを形成し、この
多層フイルムの透過スペクトル特性を第４図に示
す如く測定して、どのフイルム素材層にも吸収さ
れないリフアレンス波長dλ3を選出する。かくし
て得られた波長dλ2及びdλ3の光を狭帯域光学フ
イルタにより取出して種々の厚さのコーテイング
材を有する多層フイルムに照射せしめ、吸収波長
dλ2に測定した多層フイルムの透過率Ｔをリフア
レンス波長dλ3に測定した多層フイルムの透過率
T3で除算して透過率Ｔを求め、第３図に示すよ
うな検量線図を予め作成しておく。そして、コー
テイング材の厚さ未知の多層フイルムの透過率
Taを同様にして求め、この検量線図を、矢印の
方向に走査してコーテイング材の膜厚daを測定し
ていた。
しかしながら、かかる従来の膜厚測定方法では
多層フイルムの構成素材が変わるごとに各素材の
透過スペクトル特性を測定し、吸収波長の一致し
ない光学フイルタを選択しなければならないの
で、多種類の素材を扱うコーテイング加工装置に
は従来の膜厚測定方法を効果的に応用できないと
いう欠点があつた。よつて、この発明の目的は上
述の如き欠点を除去した多層フイルムの膜厚測定
方法を提供することにある。
多層フイルムの構成素材が変わるごとに各素材の
透過スペクトル特性を測定し、吸収波長の一致し
ない光学フイルタを選択しなければならないの
で、多種類の素材を扱うコーテイング加工装置に
は従来の膜厚測定方法を効果的に応用できないと
いう欠点があつた。よつて、この発明の目的は上
述の如き欠点を除去した多層フイルムの膜厚測定
方法を提供することにある。
以下にこの発明を説明する。
この発明は多層フイルム及び多層フイルムを構
成する各層素材の吸収スペクトル特性を光学的に
測定して演算制御装置により各層素材のフイルム
膜厚を非接触で算出するようにした多層フイルム
の膜厚測定方法に関し、前記多層フイルムのない
状態において光源スペクトルI0（λ）を測定する
工程と、各層素材（ｉ＝１〜ｎ）の光学的吸収ス
ペクトルの離散波長λj（ｊ＝１〜ｍ、ただしｍ≧
ｎ）における透過係数Ci（λj）及び吸収係数αi
（λj）をそれぞれ測定する工程と、各層素材を接
合せしめ多層フイルムを形成すると共に、この多
層フイルムの透過スペクトルＴ（λj）を測定する
工程と、各層素材の透過係数Ci（λj）と吸収係数
αi（λj）と前記光源スペクトルI0（λ）とを組合わ
せて多層フイルムの推定合成スペクトルを算出す
る工程と、この推定合成スペクトルと多層フイル
ムの透過スペクトルＴ（λj）の差に基づき２乗和
を算出する工程とを設け、かかる２乗和を最小に
せしめることにより各層素材の膜厚を測定するよ
うにしたものである。
成する各層素材の吸収スペクトル特性を光学的に
測定して演算制御装置により各層素材のフイルム
膜厚を非接触で算出するようにした多層フイルム
の膜厚測定方法に関し、前記多層フイルムのない
状態において光源スペクトルI0（λ）を測定する
工程と、各層素材（ｉ＝１〜ｎ）の光学的吸収ス
ペクトルの離散波長λj（ｊ＝１〜ｍ、ただしｍ≧
ｎ）における透過係数Ci（λj）及び吸収係数αi
（λj）をそれぞれ測定する工程と、各層素材を接
合せしめ多層フイルムを形成すると共に、この多
層フイルムの透過スペクトルＴ（λj）を測定する
工程と、各層素材の透過係数Ci（λj）と吸収係数
αi（λj）と前記光源スペクトルI0（λ）とを組合わ
せて多層フイルムの推定合成スペクトルを算出す
る工程と、この推定合成スペクトルと多層フイル
ムの透過スペクトルＴ（λj）の差に基づき２乗和
を算出する工程とを設け、かかる２乗和を最小に
せしめることにより各層素材の膜厚を測定するよ
うにしたものである。
すなわち、第５図はこの発明の一実施例を示す
ものであり、赤外線ランプ１から放射された光
は、レンズ２により平行光線にされて被測定多層
フイルム３に照射され、その透過光はプリズム４
により所定の波長ごとに分光された後、集光レン
ズ５を介してライン状のイメージセンサ６に投射
されるようになつている。しかして、イメージセ
ンサ６により測定された多層フイルム３の透過ス
ペクトルＴ（λj）は演算制御装置７から出力され
る同期信号Ｓに同期して読出され、予めメモリ８
に格納された各層素材の透過係数及び吸収係数を
利用した最小２乗処理により各層の膜厚が算出さ
れるようになつている。
ものであり、赤外線ランプ１から放射された光
は、レンズ２により平行光線にされて被測定多層
フイルム３に照射され、その透過光はプリズム４
により所定の波長ごとに分光された後、集光レン
ズ５を介してライン状のイメージセンサ６に投射
されるようになつている。しかして、イメージセ
ンサ６により測定された多層フイルム３の透過ス
ペクトルＴ（λj）は演算制御装置７から出力され
る同期信号Ｓに同期して読出され、予めメモリ８
に格納された各層素材の透過係数及び吸収係数を
利用した最小２乗処理により各層の膜厚が算出さ
れるようになつている。
ところで、波長λの光を膜厚ｄのフイルムに照
射した場合、その透過率Ｔ（λ）は素材固有の吸
収係数をα（λ）としてランベルトの法則により、
次式の如く表わされる。
射した場合、その透過率Ｔ（λ）は素材固有の吸
収係数をα（λ）としてランベルトの法則により、
次式の如く表わされる。
Ｔ（λ）＝e-〓(〓)
Claims (1)
- １ 多層フイルム及び多属フイルムを構成する各
層素材の吸収スペクトル特性を光学的に測定し
て、演算制御装置により各層素材のフイルム膜厚
を非接触で算出するようにした多層フイルムの膜
厚測定方法において、前記多層フイルムのない状
態において光源スペクトルI0（λ）を測定する工
程と、前記各層素材（ｉ＝１〜ｎ）について、光
学的吸収スペクトルの離散波長λj（ｊ＝１〜ｍ、
ただしｍ≧ｎ）における透過係数Ci（λj）及び吸
収係数αi（λj）をそれぞれ測定する工程と、前記
各層素材を接合せしめる多層フイルムを形成する
と共に、この多層フイルムの透過スペクトルＴ
（λj）を測定する工程と、前記各層素材の透過係
数Ci（λj）、吸収係数αi（λj）、前記光源スペクト
ル
I0（λ）を組合わせて前記多層フイルムの推定合
成スペクトルを算出する工程と、この推定合成ス
ペクトル及び前記多層フイルムの透過スペクトル
Ｔ（λj）の差に基づき２乗和を算出すると共に、
この２乗和を最小にせしめることにより前記各層
素材の膜厚を算出する工程と、で成ることを特徴
とする多層フイルムの膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6605582A JPS58182503A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 多層フイルムの膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6605582A JPS58182503A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 多層フイルムの膜厚測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58182503A JPS58182503A (ja) | 1983-10-25 |
| JPS6363041B2 true JPS6363041B2 (ja) | 1988-12-06 |
Family
ID=13304799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6605582A Granted JPS58182503A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 多層フイルムの膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58182503A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4631408A (en) * | 1984-09-24 | 1986-12-23 | Kollmorgen Technologies Corporation | Method of simultaneously determining gauge and orientation of polymer films |
| US6366861B1 (en) * | 1997-04-25 | 2002-04-02 | Applied Materials, Inc. | Method of determining a wafer characteristic using a film thickness monitor |
| JP5326174B2 (ja) * | 2010-08-26 | 2013-10-30 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 | 亀裂開口幅と亀裂形状の同時測定方法及び装置 |
| CN106123792A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 中冶北方（大连）工程技术有限公司 | 一种链篦机料层厚度成像系统及方法 |
-
1982
- 1982-04-20 JP JP6605582A patent/JPS58182503A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58182503A (ja) | 1983-10-25 |
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