JPS6362348A - Conveying arm - Google Patents

Conveying arm

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JPS6362348A
JPS6362348A JP61207146A JP20714686A JPS6362348A JP S6362348 A JPS6362348 A JP S6362348A JP 61207146 A JP61207146 A JP 61207146A JP 20714686 A JP20714686 A JP 20714686A JP S6362348 A JPS6362348 A JP S6362348A
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JP
Japan
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parts
packet
opening
section
width
Prior art date
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Pending
Application number
JP61207146A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Hirokawa
広川 英夫
Ichiro Kuwabara
一郎 桑原
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6362348A publication Critical patent/JPS6362348A/en
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To convey parts having different sizes with one pickup arm, by providing a two-stage structure of a part conveying arm, and arranging the side corresponding to a part having a large width, on the lower side. CONSTITUTION:First hooking parts 231a, which hold a part having a large width, are arranged at the lower side. Second hooking parts 231b, which hold a part having a small width, are arranged at the upper side. The operating range of the opening and closing of pawl pieces 230 are set in correspondnece with the part having the large width. Then the operating range of the opening and closing for the part having the smaller width can be set within the part having the large range. Therefore, the operating range of the opening and closing can be commonly used. The parts having the large width and the small width can be held by the operating mechansim having the same opening and closing range. Thus, the parts having the different sizes can be picked up with the common opening and closing mechanism. Independent opening and closing control mechansims are not required for the different parts.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分寿コ この発明は、部品搬送アームに関し、特に、部品の自動
検査装置に組込まれて順次検査対象の部品を測定部に供
給し、検査終了後の部品を検査結果に応じて排出するI
Cのハンドラに適する部品搬送アームに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Lifespan] This invention relates to a parts conveying arm, and in particular, it is incorporated into an automatic parts inspection device to sequentially supply parts to be inspected to a measuring section, and after the inspection is completed. I discharge the parts according to the inspection results.
This invention relates to a component transfer arm suitable for a C handler.

[従来の技術] 第7図は、従来のICハンドラの基本的な構成を示すW
1要図である。
[Prior Art] Figure 7 shows the basic configuration of a conventional IC handler.
This is the main figure.

図中、Aは、未検査のICを収納して順次送り出すロー
ダ部であり、一般に、ICマガジン1が積層されている
。このICマガジンの1の内部には、連続的に、個々の
ICが配列されている。
In the figure, A is a loader section that stores untested ICs and sequentially sends them out, and generally has IC magazines 1 stacked on top of each other. Inside one of the IC magazines, individual ICs are continuously arranged.

ICマガジン1の中のICは、予熱処理部Bに順次自重
にてガイドレールにより案内されて滑降しつつ所定の検
査条件に適合する温度に予備処理される。この場合の予
備処理としては、予熱と予冷等がある。
The ICs in the IC magazine 1 are sequentially guided by their own weight by guide rails into the preheating processing section B and are preprocessed to a temperature that meets predetermined inspection conditions. Preliminary treatment in this case includes preheating, precooling, etc.

予熱処理部Bを通過したICは、同様にガイドレールに
より案内されて測定部Cを順次垂直下方に自重降下しつ
つ、自動測定器(検査ヘッド、図示せず)によって検査
される。
The ICs that have passed through the preheating processing section B are similarly guided by guide rails and are sequentially lowered vertically downward in the measurement section C under their own weight, and are inspected by an automatic measuring device (inspection head, not shown).

そして、検査を終えたICは、アンローダ部りに自重滑
降することになるが、その途中で、検査結果に応じて分
類部Eによって分類されて振分られ、平行に設けられた
複数のレーンを自重滑降して、アンローダ部りにセット
されている複数列のマガジンlaw  1b*  le
t  let  IL  Ig+1hのいずれか1つに
収納される。
After the inspection, the ICs slide under their own weight to the unloader section, but along the way, they are sorted and distributed by the sorting section E according to the inspection results, and are divided into multiple lanes set up in parallel. Multiple rows of magazines are slid down under their own weight and set on the unloader section Law 1b * le
It is stored in any one of t let IL Ig+1h.

[解決しようとする問題点] このようにガイドレールーヒを自重により滑降し、降下
して行く自然落下方式のものにあっては、加熱処理及び
測定処理等のためにIC自体を押さえてその流れを市め
たり、落下方向に合わせてIC自体の方向を転換するこ
とが必要となるため、ICピンの曲がりとかジャムが発
生し易いという欠点がある。
[Problems to be solved] In the case of the natural fall method in which the guide rail Ruhi slides down by its own weight and descends, the IC itself is held down for heat treatment, measurement processing, etc. Since it is necessary to change the direction of the IC itself according to the direction of falling or falling, there is a drawback that the IC pins are easily bent or jammed.

また、ガイドレールによるために複数のICを並列に検
査する場合には、その数に対応するガイドレールを並設
しけなければならず、並列に流れるIC相互の制御タイ
ミングが難しくなるとともに、装置が大型化する欠点が
ある。
In addition, when testing multiple ICs in parallel using guide rails, it is necessary to install guide rails corresponding to the number of ICs in parallel, which makes it difficult to control the mutual control timing of the ICs flowing in parallel, and the equipment The disadvantage is that it becomes larger.

さらに、ガイドレールのレール幅が固定式なので、サイ
ズの異なるICを同時に検査することは難しく、ICの
サイズが変化する場合には、ガイドレールをICのサイ
ズに合ったものに交換するか、それ専用のレーンを設け
る必要がある。
Furthermore, since the rail width of the guide rail is fixed, it is difficult to inspect ICs of different sizes at the same time.If the size of the IC changes, the guide rail must be replaced with one that matches the IC size, or Dedicated lanes must be provided.

このような欠点を解消する方式として、ガイドレールを
使用しないで搬送する強制搬送方式が考えられるが、こ
の場合、ローダ8I≦から強制搬送機構に部品を載置す
るためにローダ部側にビ・ツクアップアーム笠の部品取
出し機構を設けることが必要となる。しかもサイズの相
違するICを検査する場合には、サイズに合わせてピッ
クアップアームを複数用意する7安がある。また、強制
搬送機構側もサイズの相違するピックアップアームに合
わせてそれぞれが受けられる構造としなければならず、
その結果、ガイドレールを用いるときの欠点があまり解
消されずに、装置を小型化し難く、搬送制御が複雑とな
ってしまう問題が生じる。
A forced conveyance system that does not use guide rails may be considered as a method to overcome these drawbacks, but in this case, in order to place the parts on the forced conveyance mechanism from loader 8I≦, there is a beam on the loader side. It is necessary to provide a component extraction mechanism for the pick-up arm cap. Moreover, when inspecting ICs of different sizes, there is a 7-piece system that prepares multiple pickup arms according to the sizes. In addition, the forced transfer mechanism side must be structured so that it can accommodate pickup arms of different sizes.
As a result, the disadvantages of using guide rails are not resolved very well, making it difficult to miniaturize the device and complicating conveyance control.

[発明の目的コ 従って、本発明の[1的は、このような従来技術の問題
点を解決するものであって、1つのピックアップアーム
でサイズの相違する部品を搬送することができる部品搬
送アームを提供することにある。
[Purpose of the Invention] Accordingly, the first object of the present invention is to solve the problems of the prior art, and to provide a parts transport arm that can transport parts of different sizes with one pickup arm. Our goal is to provide the following.

[問題点を解決するための手段] このような目的を達成するためのこの発明の部品搬送ア
ームは、幅の相違する複数の部品をピックアップして搬
送するアームであって、大きい幅の部品を保持する第1
のフック部分と、第1のフック部分の上に形成された小
さい幅の部品を保持する第2のフック部分とを有する一
対の爪片からなる爪を備えていて、一対の爪片を開閉さ
せて大きい幅の部品又は前把手さい幅の部品のいずれか
を選択的に把持するというものである。
[Means for Solving the Problems] To achieve the above object, the component transport arm of the present invention is an arm that picks up and transports a plurality of parts with different widths, and is capable of picking up and transporting a plurality of parts with different widths. 1st to hold
and a second hook portion formed on the first hook portion for holding a small-width component, the claw is configured to open and close the pair of claw pieces. This method selectively grips either a large-width part using the handle or a part with a small front handle width.

[作用] このように部品搬送アームの爪を2段構造とし、かつ幅
の大きい方の部品に対応する側を下側とすることにより
、爪を大きい幅の側に合わせれば、小さい幅の部品も大
きい幅の場合とほぼ同様な動作で部品をピックアップす
ることができ、複数のピックアップアームを設けなくて
いも済む。
[Function] In this way, the claws of the component transfer arm have a two-tiered structure, and the side corresponding to the larger width component is placed at the bottom, so that by aligning the claws with the larger width side, parts with a smaller width can be transferred. Components can be picked up with almost the same operation as when the width is large, and there is no need to provide multiple pickup arms.

その結果、サイズの相違する部品でも、専用のガイドレ
ール等を用いる必要がなく、装置が大型化せず、搬送制
御もlit純なものとなる。
As a result, there is no need to use a dedicated guide rail or the like for parts of different sizes, the device does not become large, and transport control becomes simple.

したがって、ICハンドラに適用すれば、ガイドレール
等による落下搬送をせずに済み、部品自体の方向転換も
する必要がなく、ジャムとか、部品のピンの曲がりがほ
とんど発生しないハンドラを実現でき、サイズの相違す
る部品を複数個並列処理しなけらばならない場合であっ
ても、簡り1に、複数個の部品を同時に検査処理でき、
装置自体の大きさもあまり大きくせずに済む。
Therefore, if applied to an IC handler, it is possible to realize a handler that eliminates the need for falling transport using guide rails, etc., eliminates the need to change the direction of the component itself, and almost never jams or bends the pins of the component. Even when multiple parts with different types must be processed in parallel, it is easy to inspect and process multiple parts at the same time.
The size of the device itself does not need to be increased too much.

[実施例コ 以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。
[Example 1] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図(a)は、この発明の部品搬送アームを適用した
一実施例のICハンドラのピックアップアームの爪の説
明図、第1図(b)は、前記ICハンドラのローダ部か
らパケット搬送部へICを供給するハンドリング操作の
説明図、第2図は、この発明の部品搬送アームを適用し
た一実施例のICハンドラの−L部取外し平面図、第3
図はその側面断面図、第4図(a)及び(b)はそのロ
ーダ部の説明図、第5図(a)及び(b)は、パケット
搬送機構の側面断面図及び正面断面図、第6図(aL 
 (b)及び(C)はパケットの説明図である。
FIG. 1(a) is an explanatory diagram of the claw of the pickup arm of an IC handler according to an embodiment to which the component transport arm of the present invention is applied, and FIG. FIG. 2 is an explanatory diagram of the handling operation for supplying ICs to the IC handler, and FIG.
The figure is a side sectional view, FIGS. 4(a) and 4(b) are explanatory diagrams of the loader section, FIGS. 5(a) and (b) are side sectional views and front sectional views of the packet transport mechanism, and FIGS. Figure 6 (aL
(b) and (C) are explanatory diagrams of packets.

なお、これら各図において同一のものは同一の符号で示
す。
Note that in each of these figures, the same parts are indicated by the same reference numerals.

第2図〜第3図において、10は、ICハンドラであり
、2はそのICローダ部、3はICローダ部からICの
供給を受け、ICを収納して搬送するパケット搬送機構
部、4はパケット搬送機構部3の搬送路を包み込む恒温
槽、5は、パケット搬送機構部3から部品の供給を受け
て、その部品を検査する測定部、6は、検査後のICを
パケット搬送機構部3から受けてほぼ水平搬送し、検査
結果に対応して収納部7のラックに収納する分類部、8
はローダ部2及び収納部7に装着され、検査部品(ここ
ではIC)を収納するラック、そして5aは、測定部5
に設けられ、ICの電気的特性等を測定するテストヘッ
ドである。
2 and 3, 10 is an IC handler, 2 is an IC loader section thereof, 3 is a packet transport mechanism section that receives IC supply from the IC loader section, stores and transports the IC, and 4 is an IC handler. A constant temperature bath enveloping the transport path of the packet transport mechanism section 3; 5 a measuring section that receives parts supplied from the packet transport mechanism section 3 and inspects the components; 6 a measurement section that transports the inspected ICs to the packet transport mechanism section 3; a sorting section 8 that receives the data from the storage section 7, transports it almost horizontally, and stores it in the rack of the storage section 7 according to the inspection results;
5a is a rack that is attached to the loader section 2 and the storage section 7 and stores test parts (ICs in this case), and 5a is a rack that is attached to the loader section 2 and the storage section 7
This is a test head that is installed in the IC and measures the electrical characteristics, etc. of the IC.

ここで、ローダ部2は、第2図及び第4図(a)に見る
ようにラック載置テーブル21と、リニアフィーダ22
、ピックアップアーム23(第1図(b)参照)、ラッ
ク載置テーブル21の下に設けられ、ラック載置テーブ
ル21を上下移動させるエレベータ機構24とを備えた
ICロード機構20が複数並設(図では3個)されてい
て、各ICロード機構20のそれぞれのラック載置テー
ブル21にはラック8がそれぞれ装着されている。
Here, the loader section 2 includes a rack mounting table 21 and a linear feeder 22 as shown in FIGS. 2 and 4(a).
, a pickup arm 23 (see FIG. 1(b)), and an elevator mechanism 24 that is provided under the rack mounting table 21 and moves the rack mounting table 21 up and down. In the figure, there are three racks 8), and a rack 8 is mounted on each rack mounting table 21 of each IC loading mechanism 20.

ラック8は、−1−下方向に複数段積み上げられた複数
のIC収納溝81,81.  ・・・が連続的に形成さ
れていて、谷溝81に個々のIC(ここではその例とし
てPGAタイプのIC,ハイブリットIC)9をそのピ
ンが上側となるようにして溝方向及び上下方向に連続的
に配列した形態で収納している。そして、第4図(b)
の断面図に見る押出し爪82が爪送り機構83により溝
81に沿って部品−個の幅相当分だけのピッチで水平方
向に移動する。この爪82が移動する溝81は、リニア
フィーダ22のレール22aの送り面に一致する位置に
位置付けられている。なお、押出し爪82の1ピツチ分
の移動制御は、制御部(図示せず)からの制御信号によ
りその送出の都度行われる。また、爪送り機構83は、
第4図(b)に見るように、クランク状の押出し爪82
を挟持していて、第4図(a)に見るように、ベルト8
5を介してプーリ86により駆動され、水平軸84上を
スライドして水平移動する。
The rack 8 has a plurality of IC storage grooves 81, 81 . ... are formed continuously, and individual ICs (here, PGA type ICs and hybrid ICs as an example) 9 are placed in the grooves 81 in the groove direction and in the vertical direction with their pins facing upward. They are stored in a continuous array. And Fig. 4(b)
The push-out pawl 82 shown in the cross-sectional view is moved horizontally along the groove 81 by a pawl feeding mechanism 83 at a pitch corresponding to the width of the parts. The groove 81 in which the pawl 82 moves is located at a position that coincides with the feeding surface of the rail 22a of the linear feeder 22. The movement of the push-out claw 82 by one pitch is controlled by a control signal from a control section (not shown) each time the push-out claw 82 is sent out. Further, the claw feeding mechanism 83 is
As shown in FIG. 4(b), a crank-shaped push-out pawl 82
As shown in Fig. 4(a), the belt 8
5 and is driven by a pulley 86, and slides on a horizontal shaft 84 to horizontally move.

そこで、パケット搬送部3側に供給されるIC9は、押
出し爪82の1ピツチ分の移動に従って先端側の1つが
、リニアフィーダ22のレール22a上に押出され、こ
のリニアフィーダ22により、その先端のピックアップ
位置Pまで移送される。このことにより送出されたIC
9が先端の部品ピックアップ待機位置にセットされる。
Therefore, one of the ICs 9 to be supplied to the packet transport section 3 side is pushed out onto the rail 22a of the linear feeder 22 according to the movement of the push-out claw 82 by one pitch, and the linear feeder 22 causes the tip of the IC9 to be pushed out onto the rail 22a of the linear feeder 22. It is transported to the pickup position P. The IC sent out by this
9 is set at the tip part pickup standby position.

ここで1ラツク8は、ラック載置テーブル21に着脱可
能に装着され、ラック載置テーブル21がエレベータ機
構24により上下移動されることによりラック8が上上
゛移動して、溝81のIC9がすべて排出されるとその
十、の溝81へと順次下側の溝81からその底面がリニ
アフィーダ22のレール22aの送り而に一致する位置
に次々に位置決めされる。なお、25.25は、ラック
8の両端を縦に貫通している部品数は落ち防1ヒピンで
あって、吊り下げ保持されていて、その先端側がリニア
フィーダ22のレール22aの面に一致する位置に位置
付けられた溝81を塞がない状態(部品数は落ち防出ピ
ン25の長さがそれに対応している)となっている。
Here, one rack 8 is removably attached to a rack mounting table 21, and as the rack mounting table 21 is moved up and down by an elevator mechanism 24, the rack 8 is moved up and down, and the IC 9 in the groove 81 is moved up and down. When all of them are discharged, the tenth groove 81 is successively positioned from the lower groove 81 to a position where the bottom surface thereof coincides with the feed direction of the rail 22a of the linear feeder 22. In addition, 25.25 is the number of parts vertically penetrating both ends of the rack 8, which is one fall prevention pin, is held suspended, and its tip side coincides with the surface of the rail 22a of the linear feeder 22. The groove 81 located at the position is not blocked (the number of parts corresponds to the length of the fall prevention pin 25).

ICロード機構20は、このようなラック8及びそのエ
レベータ機構24、爪送り機構83、そしてラック装着
状態検出/位置決めガイド機構26等からなり、ここで
はローダ部2に3個並設されている。初期状態では、I
Cロード機構20のラック8は、−層下の溝81の底面
がレール22aの上面に一致していて、この溝81から
ICが送出されて、その溝81が空になると、溝81の
積み上げピッチ(1ピツチ)分だけ下げられる。
The IC loading mechanism 20 is composed of the rack 8, its elevator mechanism 24, a pawl feeding mechanism 83, a rack mounting state detection/positioning guide mechanism 26, etc., and here three of them are arranged in parallel in the loader section 2. In the initial state, I
In the rack 8 of the C loading mechanism 20, the bottom surface of the groove 81 under the - layer corresponds to the top surface of the rail 22a, and when the IC is sent out from this groove 81 and the groove 81 becomes empty, the groove 81 is stacked. It can be lowered by one pitch.

すなわち、あるラック8の溝81のICが空になった時
点で、ラック8は、エレベータfi+llI24ニより
下へと移動してその一ヒにある溝81の底面がレール2
2aの−L面の位置に位置付けられる。
That is, when the ICs in the groove 81 of a certain rack 8 become empty, the rack 8 moves below the elevator fi+llI24, and the bottom surface of the groove 81 in that one reaches the rail 2.
It is located at the position of the -L plane of 2a.

さて、ラック8から送出されてリニアフィーダ22のレ
ール22aの先端で待機しているIC9は、第1図(b
)及び第5図(a)に見るようにピックアップアーム2
3の爪231が開かれた状態で降下し、閉じられること
により把持され、パケット搬送機構部3のパケット31
の各収納位置までレール22a上を移動して順次運ばれ
る。そして爪231が開かれてIC9がそれぞれの収納
開口部32にセットされる。ここで収納開口部32は、
1つのパケット31に4つ設けられていて、第5図(a
)に示すようにパケット31の端から順次4個のIC9
が収納開口部32に収納されて行く。したがって、ピッ
クアップアーム23のハンドリング時間に合わせたタイ
ミングでラック8から4個のIC9が一個一・個間欠的
に送出され、リニアフィーダ22の先端の待機位置Pに
搬送されて、ピックアップアーム23により順次リニア
フィーダ22からIC9が一個一個次々に、合計で4個
取り[−げられてバケッ)31に個々に搬送される。
Now, the IC 9 sent out from the rack 8 and waiting at the tip of the rail 22a of the linear feeder 22 is shown in FIG.
) and the pickup arm 2 as shown in Fig. 5(a).
The claw 231 of No. 3 descends in an open state and is gripped by closing, and the packet 31 of the packet transport mechanism section 3 is grasped.
are sequentially transported on the rail 22a to each storage position. Then, the claws 231 are opened and the ICs 9 are set in their respective storage openings 32. Here, the storage opening 32 is
Four packets are provided in one packet 31, as shown in FIG.
), the four ICs 9 are connected sequentially from the end of the packet 31.
is stored in the storage opening 32. Therefore, the four ICs 9 are intermittently fed out one by one from the rack 8 at a timing that matches the handling time of the pickup arm 23, and transported to the standby position P at the tip of the linear feeder 22, where they are sequentially delivered by the pickup arm 23. A total of four ICs 9 are picked up one by one from the linear feeder 22 and transported to a bucket 31 .

爪231は、第1図(a)、(b)に見るように、大き
い幅のIC9を保持するために形成された第1のフック
部分231aと、第1のフック部分231aの一ヒに形
成された小さい幅のICを保持するための第2のフック
部分231bとが設けられた一対の爪片230からなる
。232は、ピックアップアーム23の爪231を閉じ
る方向に付勢するばねであって、第2のフック部分23
1bの上部において爪片230,230の間に伸張され
た状態で架は渡されている。また、233゜233は、
爪231を開く方向に回動させるカム面であり、カム板
236に設けられている。ここでカム面233には爪片
230の先端フック側と反対側に設けられたローラ23
4.234が係合し、爪先端側の開閉機構を構成してい
る。
As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the claws 231 are formed on a first hook portion 231a formed to hold the IC9 having a large width, and on one of the first hook portions 231a. It consists of a pair of claw pieces 230 and a second hook portion 231b for holding a small width IC. 232 is a spring that biases the claw 231 of the pickup arm 23 in the direction of closing the second hook portion 23;
The rack is stretched between the claw pieces 230, 230 at the upper part of 1b. Also, 233°233 is
This is a cam surface that rotates the claw 231 in the opening direction, and is provided on the cam plate 236. Here, a roller 23 is provided on the cam surface 233 on the side opposite to the end hook side of the claw piece 230.
4.234 engages to form an opening/closing mechanism on the tip end side of the claw.

235.235は、爪231の2つの各爪片230のほ
ぼ中央部に設けられら回動支点であり、各爪片230を
ベース237と固定板238とにより挟持してビンによ
り枢着したものである。
235. 235 is a rotation fulcrum provided approximately in the center of each of the two claw pieces 230 of the claw 231, and each claw piece 230 is sandwiched between a base 237 and a fixing plate 238 and pivoted by a pin. It is.

ここで、ベース237とカム板236とは、カム板23
6を固定側として上下移動機構(図示せず)によりベー
ス237が相対的に上下移動する関係にある。そしてベ
ース237が上昇位置にあるときにはローラ234,2
34が相互に内側に回動して、これらの間隔が狭くなり
、各爪片230の先端は開(。一方、第1図(b)に見
る下降状態にあるときには、ローラ234.234の間
隔が開いていて各爪片230の先端は閉じた状態となり
、この状態でIC9が把持される。
Here, the base 237 and the cam plate 236 are the cam plate 23
6 is a fixed side, and the base 237 is relatively moved up and down by a vertical movement mechanism (not shown). When the base 237 is in the raised position, the rollers 234, 2
34 mutually rotate inward, the distance between them narrows, and the tip of each claw piece 230 opens (on the other hand, when in the downward state shown in FIG. 1(b), the distance between the rollers 234 and 234 decreases are open and the tips of each claw piece 230 are in a closed state, and the IC 9 is gripped in this state.

なお、ベース237とカム板236とはともに、他の上
下移動機構により上下移動されて、リニアフィーダ22
からIC9をピックアップしてパケット31へと搬送す
る。また、幅(サイズ)の相違するICを搬送するとき
には、対応するサイズに応じて幅の大きなものでは第1
のフック部分231aがそのICの位置に位置付けられ
るように爪231の上下方向の位置決めがなされ、幅の
小さいものでは第2のフック部分231bがそのICの
位置に位置付けられるように爪231の−1−下方向の
位置決めがなされる。
Note that both the base 237 and the cam plate 236 are moved up and down by another up and down movement mechanism, and the linear feeder 22
The IC 9 is picked up from the IC 9 and transported to the packet 31. In addition, when transporting ICs with different widths (sizes), depending on the corresponding size, it is necessary to
The claw 231 is positioned in the vertical direction so that the second hook portion 231a is positioned at the position of the IC, and in the case of a small width hook portion 231b, the -1 of the claw 231 is positioned so that the second hook portion 231b is positioned at the position of the IC. - A downward positioning is performed.

ところで、このように幅の大きな部品を把持する第1の
フック部分231aを下側とし、幅の小さい部品を把持
する第2のフック部分231bを上側とすることにより
爪片230の開閉の動作範囲を幅の大きいものに合わせ
て設定すれば、幅の小さいものもは、幅の大きなものの
範囲内で部品把持のための開閉動作の範囲を設定するこ
とが可能となる。したがって、これらの開閉動作の範囲
を共通化でき、はぼ同じ開閉動作機構により幅の大きい
ものも、幅の小さいものも把持することができる。
By the way, by setting the first hook portion 231a that grips a wide component on the lower side and the second hook portion 231b that grips a small width component on the upper side, the operating range of opening and closing of the claw piece 230 is reduced. If it is set according to a wide object, it becomes possible to set the range of opening/closing operation for grasping a part within the range of a large width object for a small width object. Therefore, the range of these opening/closing operations can be made common, and both large and small items can be gripped using almost the same opening/closing mechanism.

その結果、第1図(b)に見るように共通の爪開閉機構
により、異なるサイズの部品をピックアップすることが
可能であって、それぞれ独立に開閉制御機構を設ける必
要はない。
As a result, as shown in FIG. 1(b), it is possible to pick up parts of different sizes using a common claw opening/closing mechanism, and there is no need to provide separate opening/closing control mechanisms for each component.

さて、ピックアップアーム23により搬送されたIC9
が1つのパケット31にIC4個がセットされると、パ
ケット31が1つ前へと進み、次の空のパケット31が
リニアフィーダ22に対応するIC供給位置に位置付け
られる。ここで、あるICロード機構20のラック8の
ICがすべて空になると、制御部からの制御信号に応じ
てエレベータ機構24が上昇制御されてラック8が上へ
と移動して元の初期状態に戻り、ピックアップアーム2
3が次のICロード機構20の位置へと移動してそのI
Cロード機構20のラック8からICが供給され、空に
なったラック8は、取り外される。そしてICが一杯詰
まった新しいラック8が、取り外されたICロード機構
20に新たに装着される。
Now, the IC9 carried by the pickup arm 23
When four ICs are set in one packet 31, the packet 31 moves forward by one, and the next empty packet 31 is positioned at the IC supply position corresponding to the linear feeder 22. Here, when all the ICs in the rack 8 of a certain IC loading mechanism 20 become empty, the elevator mechanism 24 is controlled to rise in response to a control signal from the control section, and the rack 8 moves upward to return to its original initial state. Return, pickup arm 2
3 moves to the next IC loading mechanism 20 position and its I
ICs are supplied from the rack 8 of the C loading mechanism 20, and the empty rack 8 is removed. A new rack 8 filled with ICs is then newly attached to the removed IC loading mechanism 20.

ところで、このパケット31は、第5図(a)。By the way, this packet 31 is shown in FIG. 5(a).

(b)に見るように、複数個が所定間隔をおいて両端で
無端のチェーン32a、32bにより連結されている。
As shown in (b), a plurality of pieces are connected at both ends by endless chains 32a and 32b at predetermined intervals.

そして第3図に見るように、このチェーン32 a +
  32 aがパケット搬送機構部3の両端に設けられ
たスプロケット33a、33bに咬み合って送られるこ
とで順次搬送される。すなわち、これらはチェーン伝動
機構を構成している。
As shown in Figure 3, this chain 32 a +
32a is engaged with sprockets 33a and 33b provided at both ends of the packet transport mechanism section 3, and the packets are sequentially transported. That is, these constitute a chain transmission mechanism.

したがって、パケット31は、チェーン32a。Therefore, packet 31 is connected to chain 32a.

32bに架は渡されて支持され、前側のスプロケット3
3aが間欠的にモータ34によりタイミングベルト35
を介して駆動され、各パケット31が所定のピッチで間
欠送りされる。
The frame is supported by the front sprocket 32b.
3a is intermittently driven by the motor 34 to the timing belt 35.
, and each packet 31 is sent intermittently at a predetermined pitch.

ここで、パケット31は、熱伝導性のよい金属等の部材
、例えばアルミニウム等で構成されていて、その形状は
、第6図(a)に見るように、四角棒状のものであって
、4つの収納開口部32が所定間隔おきに設けられてい
て、その両端には、チェーン32a、32bにねじピン
を介して固定され、そのためのねじ孔311,311,
312゜312が両端側面に開けられている。このパケ
ット31は、これらのねじ孔311,312において、
チェーン32a (32b)の各リンク321に固定さ
れているブラケットを介してねじピンにより搬送面に対
して収納開口部32が垂直に位置付けられるように固定
される。
Here, the packet 31 is made of a member such as a metal having good thermal conductivity, such as aluminum, and its shape is a square bar shape as shown in FIG. 6(a). Two storage openings 32 are provided at predetermined intervals, and screw holes 311, 311,
312°312 are opened on both end sides. This packet 31 has screw holes 311 and 312,
The chain 32a (32b) is fixed to each link 321 of the chain 32a (32b) by means of a screw pin via a bracket fixed to each link 321 so that the storage opening 32 is positioned perpendicularly to the conveying surface.

収納開口部32は、第6図(b)に見る同図(a)のI
−I断面図及び第6図(C)に見る同図告(a)の■−
■断面図に示されるように、二重に設けられた段付きの
くぼみ310と、このくぼみ310の両側に部品ハンド
リングアームの爪231が挿入されるヒ字溝315とが
設けられていて、十字溝315はパケット31を垂直に
貫通している。
The storage opening 32 is located at I in FIG. 6(a) as seen in FIG. 6(b).
-■- of the same figure (a) seen in the I sectional view and Figure 6 (C)
■As shown in the cross-sectional view, there is a double stepped recess 310 and an H-shaped groove 315 on both sides of this recess 310 into which the claw 231 of the component handling arm is inserted. Groove 315 passes vertically through packet 31.

そして、くぼみ310のうち上段のくぼみ313と下段
のくぼみ314とは兄なる大きさの部品の>11面形状
に対応する開口をもって形成されていて、それぞれの開
口が表面まで延びていてる。第5図(b)に見るように
、これら開口が上に向くようにチェーン32a、32b
に取付られる。そして上側のくぼみ313及び下側のく
ぼみ314のいずれか一方に異なる種類のICを収納す
る。
Of the recesses 310, the upper recess 313 and the lower recess 314 are formed with openings corresponding to the >11-sided shape of the larger-sized component, and each opening extends to the surface. As shown in FIG. 5(b), the chains 32a and 32b are arranged so that these openings face upward.
attached to. Then, different types of ICs are stored in either the upper recess 313 or the lower recess 314.

具体的には、この実施例では、下段のくぼみ314がS
OJタイプのICを収納するのに対応する大きさとなっ
ていて、上段のくぼみ313がPGAタイプのIC,特
にハイブリットICを収納する大きさの収納部となって
いる。
Specifically, in this embodiment, the lower recess 314 is
It is sized to accommodate an OJ type IC, and the upper recess 313 is a storage portion sized to accommodate a PGA type IC, especially a hybrid IC.

なお、これらくぼみ313.314を貫通している1字
溝315は、これら(ぼみ313.314の中心にその
クロス点の中心がほぼ一致するように設けられ、後述す
る押さえビン37がこのパケットに貫通する十字溝31
5の下から進入して測定対象のIC9を押さえて持ち−
Lげ1.ヒへと抜ける。そのための押さえビン通過孔と
なる。
Note that the single-shaped groove 315 penetrating these depressions 313 and 314 is provided so that the center of its cross point almost coincides with the center of these depressions 313 and 314, and the presser pin 37 described later is attached to this packet. A cross groove 31 that penetrates the
Enter from below 5 and press and hold the IC9 to be measured.
L-ge1. Exit to Hi. This is the holding bottle passage hole for this purpose.

さて、第2図、第3図に見るようにパケット搬送機構部
3は、チェーン32a、32bも含めてパケットが恒温
槽4の中に収納され、恒温槽4の底部に設けられたヒー
タ41により加熱される。
Now, as shown in FIGS. 2 and 3, the packet transport mechanism section 3 stores the packets, including the chains 32a and 32b, in the thermostatic chamber 4, and is operated by a heater 41 provided at the bottom of the thermostatic chamber 4. heated.

したがって、パケット31に収納されたIC9は、この
送り過程で所定の温度まで加熱される。
Therefore, the IC 9 housed in the packet 31 is heated to a predetermined temperature during this feeding process.

そして、第5図(b)に見るように、測定部5の下まで
送られ、測定部5にパケット31が位置したときに、間
欠送りの停止した状態に一致したスプロケッ)33aの
駆動の停止状態において、この停止期間中の初期に測定
部5に対応するパケット31の下側に配置された直動カ
ム36aによるビン押上機構36によりチャック付き押
さえビン37が上へ駆動されて、各収納開口部32を貫
通して測定部5側へとIC9を把持して押−ヒげ押付け
る。なお、このピン押上機構36及び押さえビン37は
それぞれ各収納開口部32の下側に位置して4つ並設さ
れていて、押さえピン37の先端のチャック部分はピッ
クアップアームの爪23と同様な形状をしている。
Then, as shown in FIG. 5(b), when the packet 31 is sent to the bottom of the measuring section 5 and positioned at the measuring section 5, the driving of the sprocket 33a, which corresponds to the state where the intermittent feeding has stopped, is stopped. In this state, at the beginning of this stop period, the holding bottle 37 with a chuck is driven upward by the bottle pushing mechanism 36 using the direct-acting cam 36a disposed below the packet 31 corresponding to the measuring section 5, and the holding bottle 37 with a chuck is driven upward. The IC 9 is penetrated through the section 32 and pushed toward the measuring section 5 side with a pusher. The pin push-up mechanism 36 and the holding pin 37 are located below each storage opening 32, and four of them are arranged in parallel, and the chuck portion at the tip of the holding pin 37 is similar to the claw 23 of the pickup arm. It has a shape.

ここで、測定部5には、その天井側から下側に向けて固
定されたコンタクトユニッ)51(又はソケット51)
が各収納開口部32の位置に対応するように設けられて
いて、第2図(b)の点線で示すように前記押さえピン
37により押上られたIC9がこのコンタクトユニット
のコンタクトに接触して電気的に接続される。そしてコ
ンタクトユニット51に結合されたテストヘッド5aに
より押上られ接触したIC9の測定処理がなされる。
Here, the measuring unit 5 has a contact unit 51 (or socket 51) fixed from the ceiling side to the bottom side.
are provided so as to correspond to the positions of the respective storage openings 32, and as shown by the dotted line in FIG. connected. Then, the test head 5a coupled to the contact unit 51 pushes up and contacts the IC9, and a measurement process is performed.

このようにして、測定部5にIC9が供給され、測定部
5により各IC9の測定が行われ、測定が終了した時点
でビン押−ヒ機横36が直動カム36aの戻り移動によ
り下降作動して押さえピン37が降下して、コンタクト
ユニット51との接続が解かれる。そして各IC9がパ
ケット31の元の収納開口部32に戻される。なお、こ
の時点では、押さえピン37の先端部のチャックは、パ
ケット31の底面より下側に位置している。
In this way, the IC9 is supplied to the measuring section 5, and the measuring section 5 measures each IC9. When the measurement is completed, the horizontal bottle pushing machine 36 is lowered by the return movement of the linear cam 36a. Then, the holding pin 37 descends and the connection with the contact unit 51 is released. Each IC 9 is then returned to the original storage opening 32 of the packet 31. Note that, at this point, the chuck at the tip of the holding pin 37 is located below the bottom surface of the packet 31.

その後、間欠送りの停市期間が終了して、次の送り状態
に入り、パケット31がチェーン32a。
After that, the stop period of intermittent sending ends and the next sending state is entered, and the packet 31 is transferred to the chain 32a.

32bを介して次に送られる。そして次のパケット31
が測定部5の下に位置してコンタクトユニット51のコ
ンタクトに次のIC9の端子を接触させて、同様な測定
する。このようにしてICの測定部5に対する供給処理
がなされる。
32b. and the next packet 31
is located below the measuring section 5, and the terminal of the next IC 9 is brought into contact with the contact of the contact unit 51, and a similar measurement is made. In this way, the IC is supplied to the measuring section 5.

次に、測定の終了したIC9は、再びパケット31に収
納されて4つのICがともに搬送され、前側のスプロケ
ット33aの近傍にある部品ピックアップ位置に来たと
きに、第3図及び第5図(b)に見るように、分類部6
のピックアップアーム61によりそれぞれの4個のIC
9がパケット31から取出されて、ベルト62a上に搬
送される。なお、ピックアップアーム61は、ピックア
ップアーム23と同様な構成をしていて、611は、そ
の爪である。
Next, the IC 9 whose measurement has been completed is again stored in the packet 31 and the four ICs are transported together, and when they come to the component pickup position near the front sprocket 33a, they are placed in the packet 31 (see FIGS. 3 and 5). As shown in b), the classification section 6
The pickup arm 61 picks up each of the four ICs.
9 is taken out from the packet 31 and conveyed onto the belt 62a. Note that the pickup arm 61 has a similar configuration to the pickup arm 23, and 611 is a claw thereof.

ここで、前記分類部のピックアップ61がパケット31
の各収納開口部32に4つの各ICをセヅトする作業時
間及びここでのパケット31の各収納開口部32から4
つの各IC9を取り出す作業時間は、前記測定部5のI
C測定時間より短い時間であり、IC9の測定中であっ
てパケット31の送りが停!ヒしている間に行われる。
Here, the pickup 61 of the classification section picks up the packet 31.
The working time for setting each of the four ICs into each of the storage openings 32 of the packet 31 and the four ICs from each storage opening 32 of the packet 31 here.
The working time for taking out each IC9 is as follows:
The time is shorter than the C measurement time, and the sending of packet 31 has stopped while IC9 is being measured! It is done while you are sleeping.

分類部6は、ピックアップアーム61と、ベルト搬送機
構62、分類数に対応する複数のIC押出機構63とか
らなり、第2図に見るように、ベルト搬送機構62は、
搬送方向に対して直角となる横方向に横断する溝62b
の付いた溝付きのベルト82aををしている。そしてこ
のベルト62aの溝82bにIC9を収納し、IC9を
対応するラック8の位置において、分類に対応するIC
押出機構63を作動してその押込みピン83aを伸張さ
せることでベルトの溝62bを案内としてラック8の溝
81にIC9を押込む。このことによりIC9が検査結
果に応じて分類される。この場合、この溝付きのベルト
82aに代えて、パケット31の収納開口部32の溝に
対応するような横断溝を持ったパケットを用いて搬送し
てもよい。
The sorting section 6 consists of a pickup arm 61, a belt conveyance mechanism 62, and a plurality of IC extrusion mechanisms 63 corresponding to the number of classifications.As shown in FIG.
Groove 62b that crosses in the transverse direction perpendicular to the conveying direction
It has a grooved belt 82a. Then, the IC 9 is stored in the groove 82b of the belt 62a, and the IC 9 is placed in the corresponding position of the rack 8.
By operating the pushing mechanism 63 and extending its pushing pin 83a, the IC 9 is pushed into the groove 81 of the rack 8 using the groove 62b of the belt as a guide. This allows IC9 to be classified according to the test results. In this case, instead of the grooved belt 82a, a packet having a transverse groove corresponding to the groove of the storage opening 32 of the packet 31 may be used for conveyance.

この場合のパケットは、パケット31と同様にチェーン
により連結しても、また、ベルト上に直接固定してもよ
い。
The packets in this case may be connected by chains like the packet 31, or may be fixed directly on the belt.

なお、先のエレベータ機構24のエレベータ機構の上下
動の作動制御及びそのタイミング、ピックアップアーム
23の爪231及びピックアップアームの爪の開閉作動
の制御及びそのタイミング、そして分類部のIC押込み
機構の押込みピンの進退作動制御及びそのタイミング、
そしてピン押上機構36の直動カム36aの往復作動制
御及びそのタイミングとは、それぞれマイクロプロセッ
サを内蔵した制御部からの電気信号により決定され、制
御されるものである。
In addition, the control and timing of the vertical movement of the elevator mechanism 24, the control and timing of the opening/closing operation of the claw 231 of the pickup arm 23 and the claw of the pickup arm, and the push pin of the IC push mechanism of the sorting section. forward/backward movement control and its timing;
The reciprocating operation control and timing of the direct-acting cam 36a of the pin push-up mechanism 36 are determined and controlled by electrical signals from a control section incorporating a microprocessor, respectively.

ところで、リニアフィーダ22のレール22aの溝は、
パケット31の縦断面を示す第6図(C)と同様な段付
きの溝形状をしていて、その上段の溝がハイブリットI
C等の部品に対応した開口幅となっており、下段の溝が
SGO形IC等の部品に対応した開11幅となっている
。したがって、ラック8をICロード機横20に差し換
えるだけで、パケット31に異なる部品を供給すること
ができ、異なる部品を検査することが可能である。なお
、この場合、測定部のコンタクトユニット51は、これ
ら異なる部品が接続できるようなものとなっているか、
コンタクトユニット51をその都度測定部品に合わせて
差し換える。
By the way, the groove of the rail 22a of the linear feeder 22 is
The packet 31 has a stepped groove shape similar to that shown in FIG. 6(C) showing a longitudinal section, and the upper groove is a hybrid I.
The opening width corresponds to parts such as C, and the lower groove has an opening width of 11, which corresponds to parts such as SGO type IC. Therefore, simply by replacing the rack 8 with the IC loading machine side 20, different parts can be supplied to the packet 31, and different parts can be inspected. In this case, is the contact unit 51 of the measuring section capable of connecting these different parts?
The contact unit 51 is replaced each time according to the part to be measured.

以上説明してきたが、爪におけるフックの形状は種々の
ものが考えられ、実施例に限定されるものではない。ま
た、その開閉機構も種々の構造のものを用いることがで
きる。
As described above, the shape of the hook in the claw can be various, and is not limited to the examples. Moreover, various structures can be used for the opening/closing mechanism.

実施例では、ICハンドラを中心に説明しているが、こ
の発明は、部品の取扱装置一般の部品搬送アームに適用
することができることはもちろんである。
Although the embodiments mainly describe an IC handler, the present invention can of course be applied to a component transfer arm of a component handling device in general.

[発明の効果コ 以上の説明から理解できるように、この発明にあっては
、部品搬送アームの爪を2段構造とし、かつ幅の大きい
方の部品に対応する側を下側とすることにより、爪を大
きい幅の側に合わせれば、小さい幅の部品も大きい幅の
場合とほぼ同様な動作で部品をピックアップすることが
でき、複数のピックアップアームを設けなくていも済む
[Effects of the Invention] As can be understood from the above explanation, in this invention, the claws of the component transfer arm have a two-stage structure, and the side corresponding to the wider component is the lower side. By aligning the claws with the larger width side, it is possible to pick up small width parts with almost the same operation as for larger width parts, and there is no need to provide multiple pickup arms.

その結果、サイズの相違する部品でも、専用のガイドレ
ール等を用いる必要がな(、装置が大型化せず、搬送制
御も弔純なものとなる。
As a result, there is no need to use a dedicated guide rail or the like for parts of different sizes (the device does not become large and the transport control becomes simpler).

したがって、ICハンドラに適用すれば、ガイドレール
等による落下搬送をせずに済み、部品自体の方向転換も
する必要がなく、ジャムとか、部品のビンの曲がりがほ
とんど発生しないハンドラを実現でき、サイズの相違す
る部品を複数個並列処理しなけらばならない場合であっ
ても、簡単に、複数個の部品を同時に検査処理でき、装
置自体の大きさもあまり大きくせずに済む。
Therefore, if applied to an IC handler, it is possible to realize a handler that does not have to be transported by falling using guide rails, etc., does not need to change the direction of the parts themselves, and almost never jams or bends the parts bin. Even when a plurality of different parts must be processed in parallel, the plurality of parts can be easily inspected and processed at the same time, and the size of the apparatus itself does not need to be increased too much.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)は、この発明の部品搬送アームを適用した
一実施例のICハンドラのピックアップアームの爪の説
明図、第1図(b)は、前記ICハンドラのローダ部か
らパケット搬送部へICを供給するハンドリング操作の
説明図、第2図は、この発明を適用した一実施例のIC
ハンドラの上部取外し平面図、第3図はその側面断面図
、第4図(a)及び(b)はそのローダ部の説明図、第
5図(a)及び(b)はパケット搬送機構の側面断面図
及び正面断面図、第6図(a)、(b)及び(C)はパ
ケットの説明図、第7図は、従来のICハンドラの外観
図である。 1・・・ICハンドラ、2・・・ICロータ部、3・・
・パケット搬送機構部、4・・・恒温槽、5・・・測定
部、6・・・分類部、 7・・・収納部、8・・・ラック、 9・・・IC,10・・・ICハンドラ、20・・・I
Cロード機構、 21・・・ラック載置テーブル、 22・・・リニアフィーダ、23・・・ピックアップア
ーム、24・・・エレベータ機構、31・・・パケット
、32・・・収納量[1部、81・・・溝。
FIG. 1(a) is an explanatory diagram of the claw of the pickup arm of an IC handler according to an embodiment to which the component transport arm of the present invention is applied, and FIG. FIG. 2 is an explanatory diagram of the handling operation for supplying an IC to an IC of an embodiment to which the present invention is applied.
3 is a side sectional view of the handler, FIGS. 4(a) and 4(b) are explanatory views of the loader section, and FIGS. 5(a) and 5(b) are side views of the packet transport mechanism. A sectional view and a front sectional view, FIGS. 6(a), 6(b), and 6(C) are explanatory diagrams of a packet, and FIG. 7 is an external view of a conventional IC handler. 1...IC handler, 2...IC rotor section, 3...
・Packet transport mechanism section, 4... Constant temperature chamber, 5... Measurement section, 6... Sorting section, 7... Storage section, 8... Rack, 9... IC, 10... IC handler, 20...I
C load mechanism, 21... Rack mounting table, 22... Linear feeder, 23... Pick up arm, 24... Elevator mechanism, 31... Packet, 32... Storage amount [1 copy, 81... Groove.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)幅の相違する複数の部品をピックアップして搬送
するアームであって、大きい幅の部品を保持する第1の
フック部分と、第1のフック部分の上に形成された小さ
い幅の部品を保持する第2のフック部分とを有する一対
の爪片からなる爪を備え、前記一対の爪片を開閉させて
前記大きい幅の部品又は前記小さい幅の部品のいずれか
を選択的に把持することを特徴とする部品搬送アーム。
(1) An arm that picks up and transports multiple parts with different widths, including a first hook part that holds a large-width part and a small-width part formed on the first hook part. and a second hook portion for holding the nail, and selectively grips either the large-width component or the small-width component by opening and closing the pair of nail pieces. A parts transfer arm characterized by:
JP61207146A 1986-09-03 1986-09-03 Conveying arm Pending JPS6362348A (en)

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