JPS6362286A - Laser oscillator - Google Patents
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、レーザ発振器、特に該レーザ発振器から出
力されるレーザ光のビームモードの選択の際のレーザ出
力の制御に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser oscillator, and particularly to control of laser output when selecting a beam mode of laser light output from the laser oscillator.
［従来の技術］
第３図は、レーザ発振器の構成を示す平面図である。（
１）は真空容器を構成するレーザ発振器の筐体で、Ａは
筐体（りの前部、Ｂは後部である。[Prior Art] FIG. 3 is a plan view showing the configuration of a laser oscillator. (
1) is the casing of the laser oscillator that constitutes the vacuum vessel, A is the front part of the casing, and B is the rear part of the casing.
また（２） 、（３）はそれぞれレーザ発振器内に設け
られた上部電極、下部電極である。 （４）、（５）は
筐体（１）の後部Ｂに設けられた全反射鏡、内部折返し
用反射鏡であり、 （８）、（７）は筐体（１）の前部
Ａの全反射鏡（４）、内部折返し用反射鏡（５）に相対
向する位置に設けられた内部折返し用反射鏡、部分反射
鏡である。なお（１０）はこれらの鏡（４） 、（５）
。Further, (2) and (3) are an upper electrode and a lower electrode, respectively, provided within the laser oscillator. (4) and (5) are total reflection mirrors and internal folding reflectors installed at the rear part B of the housing (1), and (8) and (7) are the total reflection mirrors installed at the rear part B of the housing (1). These are a total reflection mirror (4), an internal reflection mirror and a partial reflection mirror provided at positions opposite to the internal reflection mirror (5). Note that (10) is these mirrors (4) and (5)
.
（８） 、（７）により共振されたレーザビームである
。This is a laser beam resonated by (8) and (7).
（８）は全反射ｍ （４）と内部折返し用反射鏡（５）
の前面に一体となって取付けられた後部アパーチャであ
る。 （８ａ）、（８ｂ）はレーザビーム（１０）（７
）通過路に合わせて後部アパーチャ（８）に設けられた
穴部で、穴部（８ａ） 、 （８ｂ）の穴径は必要とす
るモード次数に合わせて決定されている。 （９ａ）は
筐体（１）の前部Ａ側に設けられた回転方式のビームモ
ード切換装置、（９）は、このビームモード切換装置（
９ａ）、内部折返し用反射鏡（６）、部分反射鏡（７）
の筐体である。矢印（イ）は、共振されたレーザビーム
（１０）が部分反射鏡（７）から外部に射出される方向
を示している。 （１１）は下部電極（３）側に設けら
れた軸流送風機である。(8) is total reflection m (4) and internal folding reflector (5)
The rear aperture is integrally attached to the front of the (8a), (8b) are laser beams (10) (7
) A hole is provided in the rear aperture (8) in accordance with the passageway, and the hole diameters of the holes (8a) and (8b) are determined in accordance with the required mode order. (9a) is a rotating beam mode switching device provided on the front A side of the housing (1); (9) is this beam mode switching device (
9a), Internal folding reflector (6), Partial reflector (7)
This is the casing. The arrow (A) indicates the direction in which the resonated laser beam (10) is emitted from the partially reflecting mirror (7) to the outside. (11) is an axial blower provided on the lower electrode (3) side.
ここで、レーザ発振器のビームモードを切換え可能とす
る理由は１発振器のビームモード次数を変えられるよう
にすれば、１台の発振器でワークの切断、焼入れ、溶接
等が可能となり多目的に使用できることとなるからであ
る。The reason why the beam mode of the laser oscillator can be switched is that if the beam mode order of one oscillator can be changed, it becomes possible to cut, harden, weld, etc. a workpiece with one oscillator, and it can be used for multiple purposes. Because it will be.
次に、アパーチャの径が大となるとレーザ発振器の発振
効率が大となり、逆に上記径が小となると上記発振効率
が小となる性質があることを考慮しつつ、ビームモード
の切換えについて説明する。第４図は、第３図に示した
筐体（９）の断面図であり、ビームモード切換機構の一
例を示している。（２０）は筐体（９）内で内部折り返
し用反射鏡（６）、部分反射鏡（７）の前部に水平に設
けられた回転方式のセレクトシャフトで、（２１）はセ
レクトシャツ） （２０）の中央部に設けられたセレク
トシャフトの回転とともに回転するアパーチャである。Next, we will explain beam mode switching, taking into account that the oscillation efficiency of the laser oscillator increases as the diameter of the aperture increases, and conversely, as the diameter decreases, the oscillation efficiency decreases. . FIG. 4 is a sectional view of the housing (9) shown in FIG. 3, and shows an example of a beam mode switching mechanism. (20) is a rotating select shaft installed horizontally in front of the internal folding reflector (6) and partial reflector (7) within the housing (9), and (21) is a select shaft) ( 20) is an aperture that rotates with the rotation of the select shaft provided at the center of the screen.
（２２ａ） 、 （２２ｂ）はアバ−チー？ （２１）
に設けられたレーザビーム（１０）が通過する光軸方向
に平行な第１の左穴部、第１の右穴部（本実施例ではダ
ブルモードのレーザビームを選択）で、左穴部（２２ａ
）の穴径が右穴部（２２ｂ）の穴径よりも大きくなるよ
うに形成されている。 （２３ａ）、（２３ｂ）は左穴
部（２２ａ）、右穴部（２２ｂ）と直交するように設け
られた第２の左穴部、第２の右穴部（本実施例ではシン
グルモードのレーザビームを選択）で、それぞれが対応
する左穴部（２２ａ）、右穴部（２２ｂ）よりも小さい
穴径となっている。（２４）はセレクトシャツ） （２
０）の右端部に設けられ、セレクトシャツ） （２０）
を９０度の角度回転させる外部レバーである。Are (22a) and (22b) Abachi? (21)
A first left hole section parallel to the optical axis direction through which the laser beam (10) provided at 22a
) is formed so that the hole diameter is larger than the hole diameter of the right hole portion (22b). (23a) and (23b) are a second left hole and a second right hole (in this example, single mode laser beam selection), each has a smaller hole diameter than the corresponding left hole (22a) and right hole (22b). (24) is a select shirt) (2
(20)
This is an external lever that rotates the 90 degree angle.
（２５ａ） 、（２５ｂ）はセレクトシャフト（２０）
を筐体（８）の両側で支持する軸受箱、（２８ａ） 、
（２１１ｔｈ）は軸受箱（２５ａ） 、 （２５ｂ）
の両外側に設けられた軸受外箱である。 （２？ａ）、
（２７ｂ）は軸受外箱（２８ａ） 、 （２８ｂ）に設
けられアパーチャ（２１）を冷却する冷却装置で、冷却
水は（ｒｌ）方向から入りセレクトシャツ） （２０）
内を通リアパーチャ（２１）を冷却後（ハ）方向から排
出される。（２８ａ） 、 （２８ｂ）は−ｔｌｚクト
シャフト（２０）と軸受箱（２５ａ） 、 （２５ｂ）
の間に設けられたベアリングである。(25a) and (25b) are select shafts (20)
a bearing box (28a) supporting the housing (8) on both sides of the housing (8);
(211th) is the bearing box (25a), (25b)
This is a bearing outer box provided on both outside sides of the bearing. (2?a),
(27b) is a cooling device installed in the bearing outer box (28a) and (28b) to cool the aperture (21), and the cooling water enters from the (rl) direction (select shirt) (20)
After cooling the rear aperture (21), it is discharged from the direction (c). (28a), (28b) -tlz shaft (20) and bearing box (25a), (25b)
This is a bearing installed between the
なお、第３図に示す筐体（１）の後部Ｂ［全反射鏡（４
）側］に設けられた後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ
）、（８ｂ）の穴径は、第４図に示したビームモード切
換装置（９ａ）のアパーチャ（２１）の穴部のうち穴径
の大きい方［第４図では第１の左穴部（２２ａ） ］の
径すなわちビームモード次数の大の方の径に合せている
。Note that the rear part B of the housing (1) shown in Fig. 3 [total reflection mirror (4)
) side] of the rear aperture (8)
) and (8b) are the larger diameter holes of the aperture (21) of the beam mode switching device (9a) shown in FIG. 4 [in FIG. 4, the first left hole ( 22a) ], that is, the diameter of the larger beam mode order.
上記のように構成したビームモード切換機構の作用を説
明すれば次の通りである。上部電極（２）及び下部電極
（３）間で励起されたレーザビーム（ｌＯ）は全反射鏡
（４）、内部折返し用反射鏡（６）。The operation of the beam mode switching mechanism configured as described above will be explained as follows. The laser beam (lO) excited between the upper electrode (2) and the lower electrode (3) passes through a total reflection mirror (4) and an internal reflection mirror (6).
（５）、部分反射鏡（７）間で共振される。このときレ
ーザビーム（１０）は後部アパーチャ（８）に設けられ
た各々の穴部（８ａ） 、 （８ｂ）の穴径及び前部ア
パーチャ（２１）の穴径によりモード（次数）を制限さ
れることから、レーザビームモードを選択できるように
ビームモード切換装置（８ａ）が設けられている。即ち
、この共振されたレーザビーム（ｌＯ）は、後部アパー
チャ（８）の穴部（８ａ）、（８ｂ） 、アパーチャ（
２１）の第１の左穴部（２２ａ） 、第１の右穴部（２
２ｂ）を通過し、ここでダブルモードのビームモードが
選択されレーザビーム（１０）の一部は部分反射鏡（７
）を通り（イ）方向に射出される。(5), and the partial reflecting mirror (7) resonates. At this time, the mode (order) of the laser beam (10) is limited by the hole diameters of the holes (8a) and (8b) provided in the rear aperture (8) and the hole diameter of the front aperture (21). Therefore, a beam mode switching device (8a) is provided so that the laser beam mode can be selected. That is, this resonant laser beam (lO) is transmitted through the holes (8a) and (8b) of the rear aperture (8) and the aperture (
21), the first left hole part (22a), the first right hole part (22a)
2b), where the double mode beam mode is selected and a part of the laser beam (10) passes through the partially reflecting mirror (7).
) and is ejected in the direction (A).
次にシングルモードのビームモードを選択したい場合は
、まずレーザビーム（１０）の発生を停止させ、次に第
５図し第４図のＣ−Ｃ断面図１に示す外部レバー（２４
）を矢印（ニ）方向に９０度回転させ、（２４ａ）の位
置に停止させる。この回転にともなって第１の左穴部（
２２ａ） ［第１の右穴部（２２ｂ） ］及び第２の
左穴部（２３ａ） ［第２の右穴部（２３ｂ） ］も
（ニ）方向に９０度回転し、第２の左穴部（２３ａ）
［第２の右穴部（２３ｂ） ］がレーザビーム（１０
）の尖軸上に停止される。この状態で再度上部電極（２
）及び下部電極（３）間のレーザ媒質を励起してレーザ
ビ−ムを発生させるとレーザビームは先の場合と同様に
全反射鏡（４）、内部折返し用反射鏡（８）、（５）
、部分反射鏡（７）間で共振され、第５図に示す矢印（
イ）方向に進行する。このとき第２の左穴部（２３ａ）
、［第２の右穴部（２３ｂ） ］の穴径によりレーザビ
ーム（１０）のビームモードがシングルビームに限定さ
れ、その後矢印（イ）方向に射出される。Next, if you want to select the single mode beam mode, first stop the generation of the laser beam (10), then use the external lever (24) shown in FIG.
) is rotated 90 degrees in the direction of arrow (d) and stopped at position (24a). Along with this rotation, the first left hole (
22a) [First right hole part (22b)] and second left hole part (23a) [Second right hole part (23b)] are also rotated 90 degrees in the (d) direction, and the second left hole part (22b) is rotated 90 degrees in the (d) direction. Section (23a)
[Second right hole (23b)] is the laser beam (10
) is stopped on the cusp axis. In this state, the upper electrode (2
) and the lower electrode (3) to generate a laser beam, the laser beam passes through the total reflection mirror (4), internal folding reflection mirrors (8), (5) as in the previous case.
, the partial reflecting mirror (7) resonates, and the arrow (
b) Proceed in the direction. At this time, the second left hole part (23a)
The beam mode of the laser beam (10) is limited to a single beam by the hole diameter of the second right hole (23b), and is then emitted in the direction of arrow (A).
こうして射出されたレーザビーム（１０）の出力値の検
出とその制御は、従来は、第６図に示すレーザ出力制御
装置により行なっていた。即ち、電源（３０）により電
極（２） 、（３）に高電圧が印加されており、その電
源（３０）の制御としては、所定の電源出力指令値（３
１） （例えば電流設定値）と、電源（３０）の出力値
とを比較器（３２）で比較し、その出力信号を増幅器（
３３）で増幅して電源（３０）の出力電圧又は出力電流
を制御するようにしている。Detection and control of the output value of the laser beam (10) thus emitted has conventionally been performed by a laser output control device shown in FIG. That is, a high voltage is applied to the electrodes (2) and (3) by a power source (30), and the power source (30) is controlled by a predetermined power output command value (3
1) Compare the output value of the power supply (30) with the output value of the power supply (30) using the comparator (32), and send the output signal to the amplifier (
33) to control the output voltage or output current of the power supply (30).
一方、レーザ光の出力の検出について説明すると、全反
射鏡（４）はレーザ光（１０りの殆どを反射するが、約
１％程度は透過する性質を有するものを用いているため
、この全反射鏡（４）側より検出レーザ光（１０ｙ）が
出力される。この検出レーザ光（１０ｙ）の強度はレー
ザ光（１０）の強度に比例しているため、レーザ光検出
器（３４）により該検出レーザ光（１０ｙ）を検出する
とともに、この検出結果を電気信号に変換し、この検出
信号に基づいて指示器（レーザパワーメータ） （３５
）にレーザ出力の表示（例えばｒｌｏｏｏＷ Ｊと表示
）を行なっている。なお、このレーザ光検出器（３４）
は積分球（３４ａ）と微小レーザ検出器（３４ｂ）とか
ら構成されている。On the other hand, to explain the detection of the output of the laser beam, the total reflection mirror (4) is a mirror that has the property of reflecting most of the laser beam (10%, but transmitting about 1%). A detection laser beam (10y) is output from the reflecting mirror (4) side.The intensity of this detection laser beam (10y) is proportional to the intensity of the laser beam (10), so it is detected by the laser beam detector (34). The detection laser beam (10y) is detected, the detection result is converted into an electric signal, and an indicator (laser power meter) (35
) displays the laser output (for example, rloooW J). In addition, this laser photodetector (34)
is composed of an integrating sphere (34a) and a minute laser detector (34b).
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のレーザ発振器は、外部レバー（２４
）を操作することによりアパーチャ（２１）の径を外部
から切換えて、ビームモードを選択している。[Problems to be Solved by the Invention] The conventional laser oscillator as described above has an external lever (24
) to switch the diameter of the aperture (21) from the outside and select the beam mode.
ところが、例えばビームモードを低次から高次に切換る
と、高次のビームモードのレーザ発振効率の方が高いた
めに、レーザ出力と放電電流（電力）の関係が変っしま
う。例えばある電流（電力）設定値に対してシングルモ
ードで５００Ｗのレーザ出力が得られている時に、モー
ド切換えによりモードをマルチモードに切換えると１０
０ＯＷのレーザ出力となる。そのため同−設定値では、
レーザ出力値が変化してしまうこととなる。However, when the beam mode is switched from a low-order to a high-order beam mode, for example, the relationship between the laser output and the discharge current (power) changes because the laser oscillation efficiency of the high-order beam mode is higher. For example, when a laser output of 500W is obtained in single mode for a certain current (power) setting value, if the mode is switched to multimode by mode switching, 10W of laser output is obtained in single mode.
The laser output is 0OW. Therefore, with the same setting value,
This results in a change in the laser output value.
従って、望むレーザ出力を得るためには、ビーモードを
切換えるたびに、電源出力指令値（３１）を所定のレー
ザ出力が得られる値に再設定することにより、レーザ媒
質励起強度を調整する必要があり、又上記切換えのたび
にレーザ媒質励起強度とレーザ出力との関係が変化する
ので、レーザ出力とレーザ媒質励起強度の校正を行なう
必要があり、操作が煩雑となり、多大な労力と時間が要
求されるという問題点があった。Therefore, in order to obtain the desired laser output, it is necessary to adjust the laser medium excitation intensity by resetting the power supply output command value (31) to a value that allows the predetermined laser output to be obtained each time the bee mode is switched. Also, since the relationship between the laser medium excitation intensity and the laser output changes each time the above switching is performed, it is necessary to calibrate the laser output and the laser medium excitation intensity, which makes the operation complicated and requires a lot of labor and time. There was a problem that
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、ビームモードの切換え時に、電源出力指令値を再
設定する必要のないレーザ発振器を得ることを目的とす
る。The present invention was made to solve this problem, and an object of the present invention is to provide a laser oscillator that does not require resetting the power output command value when switching beam modes.
［問題点を解決するための手段］
この発明に係るレーザ発振器は、アパーチャの穴径を切
換えてビームモードを選択するビームモード切換機構を
備え、レーザ光検出器によりレーザ光の出力値を測定し
、比較器によりレーザ光検出器からの検出値と所定のレ
ーザ出力指令値とを比較し、この比較器からの出力信号
に基づきレーザ媒質を励起させる電源出力を制御するよ
うにしたものである。[Means for Solving the Problems] A laser oscillator according to the present invention includes a beam mode switching mechanism that selects a beam mode by switching the hole diameter of the aperture, and measures the output value of the laser beam with a laser photodetector. A comparator compares the detected value from the laser photodetector with a predetermined laser output command value, and the power output for exciting the laser medium is controlled based on the output signal from the comparator.
［作用］
この発明では、レーザ発振器を出力制御することにより
、同−設定値で同一パワーのレーザビー−ムを得ること
ができる。[Function] According to the present invention, by controlling the output of the laser oscillator, it is possible to obtain a laser beam with the same set value and the same power.
、［実施例］
以下、第１図に示したこの発明の一実施例に基づいて、
従来と同−又は相当部分には同一符号を付して、この発
明の特徴を中心に説明する。第１図は、この発明を示す
回路図であり、図示のように、全反射鏡（４）を透過し
てきた検出レーザ光（ｌｏｙ）をレーザ光検出器（３４
）により検出する。なお、この検出レーザ光（１０ｙ）
の強度はレーザ光（ｌＯ）の強度に比例するため、検出
レーザ光（１０ｙ）を測定することにより、レーザ光（
１０）の出力値を測定することができる。, [Example] Hereinafter, based on an example of the present invention shown in FIG.
The same reference numerals will be given to the same or equivalent parts as in the prior art, and the description will focus on the features of the present invention. FIG. 1 is a circuit diagram showing the present invention. As shown in the figure, the detection laser beam (loy) transmitted through the total reflection mirror (4) is detected by the laser beam detector (34).
) is detected. In addition, this detection laser beam (10y)
Since the intensity of is proportional to the intensity of the laser beam (lO), by measuring the detected laser beam (10y), the laser beam (
10) can be measured.
しかして、レーザ光検出器（３４）により上記検出結果
を電気信号に変換するとともに比較器（３２）に出力し
、比較器（３２）は、レーザ出力をモニタするレーザ光
検出器（３４）からの検出値と、所定のレーザ出力指令
値（３１）とを比較し、その出力信号を増幅器（３３）
により増幅し、この出力信号に基づきレーザ媒質（Ｇ）
を励起させる電源（３０）の出力電圧又は出力電流を制
御することにより、レーザ媒質（Ｇ）の励起強度を制御
し、これにより、レーザ光（１０）の出力制御を行なう
。The laser photodetector (34) then converts the detection result into an electrical signal and outputs it to the comparator (32). The detected value is compared with a predetermined laser output command value (31), and the output signal is sent to an amplifier (33).
Based on this output signal, the laser medium (G)
By controlling the output voltage or output current of the power source (30) that excites the laser medium (G), the excitation intensity of the laser medium (G) is controlled, thereby controlling the output of the laser light (10).
したがって、ビームモード切換時にレーザ発振効率が変
化しても、レーザ出力を再設定し直さなくてもよいこと
になる。また、この発明では、ビームモードを切換えて
もレーザ出力が自動的に制御されるので、レーザ出力と
媒質励起強度の再校正は不要となり、ワンタッチ操作が
できる。Therefore, even if the laser oscillation efficiency changes when switching the beam mode, there is no need to reset the laser output. Further, in this invention, since the laser output is automatically controlled even when the beam mode is switched, there is no need to recalibrate the laser output and the medium excitation intensity, and one-touch operation is possible.
なお、レーザ光検出器（３０は、第１図に示すような入
射した光を拡散する積分球（３４ａ）とこの積分球（３
４ａ）で拡散されたレーザ光を検出する微小レーザ検出
器（３４ｂ）とから構成されるものの他、第２図に示す
構成のものがある。即ち、放熱器（３４ｃ）とレーザ光
吸収板（３４ｅ）との間に熱電対（サーモパイル） （
３４ｄ）が密着して配設されており、レーザ光（１０ｙ
）をレーザ光吸収板（３４ｅ）に当てると、このレーザ
光吸収板（３４ｅ）の温度が上昇し、熱電対（３４ｄ）
を通って放熱器（３４ｃ）に熱が流れる。このため、レ
ーザ光吸収板（３４ｅ）と放熱器（３４ｃ）との間には
温度差が生じ、熱電対（３４ｄ）はこの温度差に比例し
た熱起電力を発生することになるので、熱電対（３４ｄ
）の出力電圧を増幅器（３４Ｆ）によって増幅し、レー
ザ光（１０ｙ）の強度を示す出力信号（３４ｇ）を得る
ことにより、レーザ光（１０ｙ）の強度を測定すること
ができる。Note that the laser light detector (30 is composed of an integrating sphere (34a) that diffuses incident light as shown in FIG.
In addition to the one consisting of a minute laser detector (34b) for detecting the laser beam diffused in step 4a), there is another one having the configuration shown in FIG. That is, a thermocouple (thermopile) (
34d) are placed in close contact with each other, and the laser beam (10y
) is applied to the laser light absorption plate (34e), the temperature of this laser light absorption plate (34e) rises, and the thermocouple (34d)
Heat flows through it to the radiator (34c). Therefore, a temperature difference occurs between the laser light absorption plate (34e) and the radiator (34c), and the thermocouple (34d) generates a thermoelectromotive force proportional to this temperature difference. pair (34d
) is amplified by an amplifier (34F) to obtain an output signal (34g) indicating the intensity of the laser beam (10y), thereby making it possible to measure the intensity of the laser beam (10y).
［発明の効果］
この発明は以上説明したとおり、レーザ光の出力値を測
定するレーザ光検出器からの検出値と、所定のレーザ出
力指令値とを比較するようにしたことから、アパーチャ
の穴径を切換えてビームモードを選択しても、レーザ出
力を再設定する必要がなくなり、操作が簡素化されると
いう効果がある。[Effects of the Invention] As explained above, the present invention compares the detected value from the laser light detector that measures the output value of the laser beam with a predetermined laser output command value, so that the hole in the aperture Even if the beam mode is selected by switching the diameter, there is no need to reset the laser output, which has the effect of simplifying the operation.
第１図はこの発明の一実施例を示すレーザ発振器のレー
ザ出力制御装置を示す回路図、第２図はこの発明に係る
レーザ光検出器の一例を示す概略構成図、第３図はレー
ザ発振器の構成を示す平面図、第４図はビームモード切
換機構を示す断面図、第５図は第４図中のＣ−ｃ線に沿
う断面図、第６図は従来のレーザ発振器のレーザ出力制
御装置を示す第１図相当の回路図である。
図において
（２１）はアパーチャ、 （３ｏ）は電源。
（３１）はレーザ出力指令値、（３２）は比較器、（３
４）はレーザ光検出器、 （３４ａ）は積分球、（３４
ｂ）は微小レーザ検出器、
（Ｇ）はレーザ媒質。
なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
代 理 人 大 岩 増 雄１ｇ１１
図
第３図
第４図
第５図
第６図Fig. 1 is a circuit diagram showing a laser output control device for a laser oscillator according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a laser photodetector according to the invention, and Fig. 3 is a laser oscillator. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the beam mode switching mechanism, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line C-c in FIG. 4, and FIG. 6 is a diagram showing the laser output control of a conventional laser oscillator. FIG. 2 is a circuit diagram corresponding to FIG. 1 showing the device. In the figure, (21) is the aperture, and (3o) is the power supply. (31) is the laser output command value, (32) is the comparator, (3
4) is a laser photodetector, (34a) is an integrating sphere, (34
b) is a micro laser detector, (G) is a laser medium. In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Agent Masu Oiwa 1g11
Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6
Claims (2)
するビームモード切換機構を備えたレーザ発振器におい
て、レーザ光の出力値を測定するレーザ光検出器と、こ
のレーザ光検出器からの検出値と所定のレーザ出力指令
値とを比較する比較器とを備え、この比較器からの出力
信号に基づきレーザ媒質を励起させる電源出力を制御す
ることを特徴とするレーザ発振器。(1) In a laser oscillator equipped with a beam mode switching mechanism that selects a beam mode by switching the aperture hole diameter, there is a laser photodetector that measures the output value of the laser beam, and a detection value from the laser photodetector. A laser oscillator comprising: a comparator for comparing a laser output command value with a predetermined laser output command value; and controlling a power output for exciting a laser medium based on an output signal from the comparator.
する積分球と、この積分球で拡散されたレーザ光を検出
する微小レーザ検出器とにより構成されることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。(2) The laser light detector is comprised of an integrating sphere that diffuses the incident laser light, and a minute laser detector that detects the laser light diffused by the integrating sphere. A laser oscillator according to range 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206156A JPS6362286A (en) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206156A JPS6362286A (en) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362286A true JPS6362286A (en) | 1988-03-18 |
Family
ID=16518726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61206156A Pending JPS6362286A (en) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6362286A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007190627A (en) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Nissan Motor Co Ltd | Work positioning device and work positioning method |
| JP2010212549A (en) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | Laser oscillation device and laser beam machine |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS583296A (en) * | 1981-06-30 | 1983-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | Laser oscillator |
| JPS60217683A (en) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | Laser output controller |
-
1986
- 1986-09-02 JP JP61206156A patent/JPS6362286A/en active Pending
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