JPS583296A - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPS583296A JPS583296A JP56101872A JP10187281A JPS583296A JP S583296 A JPS583296 A JP S583296A JP 56101872 A JP56101872 A JP 56101872A JP 10187281 A JP10187281 A JP 10187281A JP S583296 A JPS583296 A JP S583296A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、Ｉ／−ｆ発振装置の改良に関するもので、
特にレーザ発振モードの変更を容易に操作することを目
的とする。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to improvement of an I/-f oscillation device,
In particular, the purpose is to easily change the laser oscillation mode.
従来、この種の装置として第１図、第、２図に示すもの
があった。Conventionally, there have been devices of this type as shown in FIGS. 1, 2, and 2.
とｎらの図において、山な発振器箱で、この発振器箱山
ｔ−貫通する複数の支持欅籠２）の＠部に一対のベース
板（３１が取付けられて匹る。上記支持棒（２）は低膨
張係数の合金材料で形成さｎ９発振器箱（１）の温習変
化に対するＷ度への影響を防ぐとともにベース板（３１
間の平行度を保持する。In the figures of ``and'' et al., a pair of base plates (31) are attached to the @ part of the oscillator box (t) and a plurality of support cages (2) passing through the oscillator box. ) is made of an alloy material with a low expansion coefficient to prevent the W degree from being affected by changes in temperature of the N9 oscillator box (1), and also to prevent the base plate (31
maintain parallelism between
そして、このベース板（３）上にミラー調整装置本体が
取付けられている。、＋４１は調整板で、この調整板（
４）はベース板（３１上に０点を基準点として配役ざ九
、調整板（４１に醐足された２個のマイクロメータ＋５
１ Ｋ工りＸｆｉ、Ｙ軸に関すし＃ｘ、りの回転方向に
角度調ｆできる構造となっている。、１６＋は上記調整
板（４）をガイドとする一組のスライダで、それぞれ対
向位置に配設さｎた４本の位置決めねじα＠によりＸ軸
、Ｙ軸の平面上を位［調整される。（７）け−組の水冷
ミラーホルダ、（８）は −このミラーホルダ（７）に
保臂されたミラーで、上記スライダ（６）に固定されて
匹る。１９＋は開口部を有したアパーチャ部で、上記ミ
ラー（８１の前圓位置に配設され、水冷ミラーホルダ（
７）にねじ締めされて固定される。A mirror adjustment device main body is mounted on this base plate (3). , +41 is an adjustment plate, and this adjustment plate (
4) is the base plate (31, with the 0 point as the reference point), the adjustment plate (2 micrometers added to 41 + 5)
1 K machining , 16+ are a set of sliders guided by the adjustment plate (4), and are adjusted in position on the planes of the . (7) A set of water-cooled mirror holders, (8) - A mirror held in this mirror holder (7) and fixed to the slider (6). 19+ is an aperture portion having an opening, which is disposed at the front circle position of the mirror (81) and is attached to the water-cooled mirror holder (
7) is fixed by tightening the screws.
ところで、上記レーザ発振装置によって発振されるレー
ザは、加工対象物に適応するよう例えばマルチモードか
らシングルモードに変更したり、あるいはこの逆の操作
を行なうことによって所望のレーザを発根させている。Incidentally, the laser oscillated by the laser oscillation device described above is changed to suit the object to be processed, for example, by changing from multi-mode to single-mode, or by performing the reverse operation to generate a desired laser beam.
なお、一般に、上記マルチモードのレーザは発振される
レーザ経が大きく、かつ高出力となり、シングルモード
のレーザはレーザ経が小さく、かつその出力も小さくな
る。In general, the multi-mode laser has a large laser diameter and high output, whereas the single-mode laser has a small laser diameter and output.
このようなレーザ発振モードを決定する工は。What is the process for determining such a laser oscillation mode?
ミラー（８）の前面に配設されたアパーチャ部（９）の
開口径に従ってなされるので、加工対象物に適応する開
口径を有するアパーチャ部（９）とその都度変更するこ
とが要求されるものである。This is done according to the opening diameter of the aperture section (9) arranged on the front surface of the mirror (8), so the aperture section (9) has an opening diameter that adapts to the workpiece and must be changed each time. It is.
上記の工うに構成されたレーザ発振装置において、レー
ザ発振モードを変更するには、真空封じされた発振装置
の内部圧力を大気圧に戻し。In the laser oscillation device configured as described above, in order to change the laser oscillation mode, the internal pressure of the vacuum-sealed oscillation device is returned to atmospheric pressure.
ミラーホルダをミラーｍ整部からはずし、さらにその後
、アパーチャ部を変換しなければならず、したがってこ
のアパーチャ部交換毎に排気や真窒引き、レーザガスの
封入操作、あるいは精密光学部の着脱操作が必要で、上
記アパーチャ部の交換操作が繁雑となる欠点があった。It is necessary to remove the mirror holder from the mirror adjustment section and then change the aperture section. Therefore, each time the aperture section is replaced, it is necessary to perform evacuation, purification, filling of laser gas, or attaching and detaching the precision optical section. However, there is a drawback that the operation for replacing the aperture section is complicated.
この発明は上記のような従来の欠点を除去するためにな
されたもので、開口形状が異なる複数の穴を有するアパ
ーチャ部を、レーザ発振器の外部から移動１り能に配設
し、レーザ発振装置内のＶ３部圧力を維持したまま、ミ
ラー前回の開口穴がＦＦｒ望の大きさのものに交Ｉｌ！
されて、容易にレーザ発振モードの変更ができるレーザ
発振装置を提供すること全目的としている。This invention was made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional laser oscillator. While maintaining the internal V3 pressure, change the opening hole of the previous mirror to the desired size of FFr!
The overall purpose of the present invention is to provide a laser oscillation device in which the laser oscillation mode can be easily changed.
以下、この発明の一実施例を第３図〜第５図について説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 3 to 5.
こ九らの図において、第１図、第２図と同一符号は同一
または相当部分を示してｉるので説明盆省略する。In these figures, the same reference numerals as in FIGS. 1 and 2 indicate the same or corresponding parts, so the explanation will be omitted.
ｔｌｌｌｔ：ｊハウジングで、このノーウジフグａυは
調整板（４；をガイドとするスライダ（６］に固定され
、角度および位置の微薊整をすることができる。ａｚは
ミラーホルダ取付板で、上記ハウジング（ｉｌｌの１Ｉ
ＩＩ面に配設され、水冷ミラーホルダ（７）ヲ介してミ
ラー（８）ｔ−固定する。（１３１は大小２個の開口径
の穴（１３ａＪ （１３ｂ）が形成された板状のアパー
チャ部で、このアパーチャＫ（ｌ ［１３１は上記）・
クジフグ（１１）に内蔵されている。圓は上記アパーチ
ャＩＪ ｔ１３１に連結された２本のガイド＊、 ０５
１はこのガイドｍ［１４１をガイドする軸受、（１υは
ハンドルで、−ヒ記アパーチャ部［１３１が軸受０５１
ヲガイドとして外部へ引出されたとき、ガイド憚αａの
内部がハンドル（１−によって固定される。口９は上記
アパーチャ部［３１の小開口径穴（１３Ｊの位置決めｔ
するストッハーナッ）、１１８１ｔｊ上記アパ一チヤ部
（１３１の大開口径穴（１３ａ）の位置決めをするスト
ッパーボルトである。なお、上記装置においてガイド俸
［１４１と軸受［１５１など発振装置Ｖ３部と外部部に
連通して摺動する部分には０リノグを配設することによ
って内部の気密を保持するようシールしている一次に、
この発明による装置において発振モードを変更する操作
手順につｉて説明する。tllllt:j In the housing, this nouji puffer aυ is fixed to a slider (6) guided by an adjustment plate (4), and the angle and position can be finely adjusted. az is a mirror holder mounting plate, which is attached to the above housing. (ill's 1I
A mirror (8) is disposed on the surface II and fixed via a water-cooled mirror holder (7). (131 is a plate-shaped aperture part in which holes (13aJ (13b)) with two large and small opening diameters are formed, and this aperture K (l [131 is above)
It is built into Kujifugu (11). The circle is two guides connected to the above aperture IJ t131*, 05
1 is a bearing that guides this guide m [141, (1υ is a handle, - H) aperture part [131 is a bearing 051]
When pulled out to the outside as a guide, the inside of the guide αa is fixed by the handle (1-).
This is a stopper bolt for positioning the large diameter hole (13a) of the aperture part (131).In addition, in the above device, the guide ball [141 and bearing [151] are connected to the oscillation device V3 part and the external part. The primary part, which is sealed to maintain internal airtightness by installing Olinogu on the communicating and sliding parts,
The operating procedure for changing the oscillation mode in the device according to the present invention will be explained.
φま、ミラー（１秒の前面にはアパーチャ部００大開日
経穴（１３ａ）が位置し、マルチセードのレーザが発振
さｎているものとする。これを７７グルモードに変更す
るには、ストッパーボルトＧ３１ｔゆるめ、ハンドル（
１６１によりガイドｔｌＧ４１を介してアパーチャ部１
Ｎ３１を第３図中左方ＶＣ移動させストッパーボルトａ
ｌｌｌｌを締付ける。これにエリミラー（８）の前面に
上記アパーチャｇ圓ｊの小開口径穴（１：３ｂ）が位置
し、シングルモードのレーザが発振される。It is assumed that the aperture part 00 large opening acupuncture hole (13a) is located in front of the mirror (1 second) and the multi-sade laser is oscillating.To change this to 77g mode, press the stopper bolt. G31t loosen, handle (
161 through the guide tlG41 to the aperture section 1.
Move N31 to the left VC in Figure 3 and remove stopper bolt a.
Tighten lllll. In addition, a small diameter hole (1:3b) with the above-mentioned aperture g is located in front of the Elimirror (8), and a single mode laser is oscillated.
さらに、シングルモードからマルチモードに変更する操
作は、上述の操作と逆にアパーチャ部（Ｉｎ−＠３図甲
右万に移動させることに工っで行なえばよい。Furthermore, the operation for changing from the single mode to the multi-mode can be performed by moving the aperture part (In-@3 to the right of Figure 3) in the opposite manner to the above-mentioned operation.
上記レーザ発振モードの変￥操作において。In the operation of changing the laser oscillation mode mentioned above.
カイトｍａΦと軸受ｄ５１との摺動部はンール状態とな
っており、レーザ発振装置内のレーザガス圧＃′ｉ変動
しない。The sliding part between the kite maΦ and the bearing d51 is in a closed state, and the laser gas pressure #'i in the laser oscillation device does not fluctuate.
なお、上記実施例ではアパーチャ部に大小２個の開口径
の穴を形成した場合について説明したが、開口形状の異
なる複数の開口穴を有するアパーチャ部とすｎば、レー
ザ発振モードの変更範囲が拡大さ几、それだけ加工適用
範囲を増すことができる。In the above embodiment, a case was explained in which holes with two large and small opening diameters were formed in the aperture section, but if the aperture section has a plurality of opening holes with different opening shapes, the range of changing the laser oscillation mode can be changed. The more the process is expanded, the more the processing range can be increased.
以上のようにこの発明は、開口形状の異なる複数の穴を
有するアパーチャ部を装置の外部から操作し、ミラーの
前面に位置する穴を他の穴と交換できるようにしたので
、装置１７３邪のレーザガス交換の必要がなく、レーザ
発振モードの変更を容易に行なうことができる効果があ
る。As described above, in the present invention, the aperture portion having a plurality of holes with different opening shapes can be operated from outside the device and the hole located on the front side of the mirror can be replaced with another hole. There is no need to replace the laser gas, and the laser oscillation mode can be easily changed.
第１１ｇは従来のレーザ発振装装を示す平面図。
第２図Ｆｉ第、１図の１１！ｌによる断面図、第３図は
この発明の一実施例にするレーザ発振装置の平面図、第
４肉は第３図のＩＶ−ＩＶ線による断面図、第５図は第
３因のｖ−■−による断面図である。
図において、同一符号は同一または相当部分を示し、
＋１１ｔ′ｉ発振器箱、（４）は調整板、（７）は水冷
ミラーホルダ、（８）はミラー、 （ＩＩは位置決めね
じ。
ｔｉｌｌはハウジング、α２ＪＦ′ｉミラホルダ取付板
、 ｔ１３はアパーチャ部、 （１３ａ） （１４ａ
）は穴、 （１４＋はガイド俸。
（１５１は軸受、ｕｅはハフドル、ａηはストッパーナ
ラ）、Ｇａ４はストッパーボルトでアル。
代理人 葛野信−
１１４図
ＩＩｓ図
手続補正書（自発）
昭和 ５へ ９月 １０日
１、事件の表示 特願昭５６−１０１８７２号２
、発明の名称 レーザ＠娠装厘３、補正をする者
＆ 補正の対象
１１）明ａ書の発明の詳細な説明の欄
＋２１ １ｊ１１ｍｌの図面の簡単な説明の掴６ 補正
の内容
（１１明細書の第２ページ第１２行目のｒＸ軸。
Ｙ軸に関すしＪｔｒＸ軸、Ｙ軸に関して」と訂正する。
（２１同上第３ページ第１２行目の「決定するよけ」を
「決定するのは」と訂〆正する。
（３）同上第５ページ第１７行目の「外部部に遅過して
」ヲ「外部［）１通して」と訂正する。
（４） 同上第５ページ第２０行目の「装置ＮＫあｈ
て」會「装置において」と訂正する。
（５１同上第６ペ一ジ第２行目の「ミラーＱ８のＪｔ−
ｒミラー（８）の」と訂正する。
（６）同上第８ページ第３行目のｒ （１３ａＪ （１
４ａＪは穴ｅ Ｊ ｔ ｒ （１３ａ）（１３ｂ）
ｉ；ｊ穴、」ト訂正する。
以上No. 11g is a plan view showing a conventional laser oscillation equipment. Figure 2 Fi No. 11 of Figure 1! 3 is a plan view of a laser oscillation device according to an embodiment of the present invention, the fourth portion is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3, and FIG. ■It is a sectional view according to -. In the figures, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts,
+11t'i oscillator box, (4) is adjustment plate, (7) is water-cooled mirror holder, (8) is mirror, (II is positioning screw. till is housing, α2JF'i mirror holder mounting plate, t13 is aperture part, ( 13a) (14a
) is the hole, (14+ is the guide salary. (151 is the bearing, ue is the huff dollar, aη is the stopper nut), Ga4 is the stopper bolt. Agent Makoto Kazuno - 114 Figure IIs figure procedure amendment (self-motivated) To 1939 September 10th 1, Indication of the incident Patent Application No. 1983-101872 2
, Title of the invention Laser @ Pregnancy Equipment 3, Person making the amendment & Subject of the amendment 11) Column for detailed explanation of the invention in the specification a + 21 1j 11ml brief explanation of the drawings 6 Contents of the amendment (11 specification rX-axis in the 12th line of the 2nd page of . (3) Correct "Delayed to the external section" in the 17th line of the 5th page of the same above as "through the outside [)1". (4) 5th page of the same above Line 20: “Device NKah
Correct "at the equipment". (51 Same as above, page 6, line 2, “Mirror Q8 Jt-
r mirror (8)'. (6) r (13aJ (1
4aJ is hole e J t r (13a) (13b)
Correct the i;j holes. that's all
Claims (2)
配設され、開口形状が異なる複数の穴を有するアパーチ
ャ部と、このアパーチャ部に連結され、装置外部から上
記アパーチャ部を移動させる操作手段と、上記アパーチ
ャ部の穴のひとつがミラーの前面位置に停止するよう固
定させる固定手段と全備えたレーザ発振装置。(1) A mirror for laser oscillation, an aperture section disposed on the front surface of the mirror and having a plurality of holes with different opening shapes, and an operating means connected to the aperture section for moving the aperture section from outside the device. , a laser oscillation device fully equipped with a fixing means for fixing one of the holes of the aperture portion to a position in front of the mirror;
することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のレ
ーザ発振装置。(2) The laser oscillation device according to claim 1, wherein the operating means and the device body slide while maintaining airtightness.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101872A JPS583296A (en) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101872A JPS583296A (en) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | Laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS583296A true JPS583296A (en) | 1983-01-10 |
| JPS6317234B2 JPS6317234B2 (en) | 1988-04-13 |
Family
ID=14312066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56101872A Granted JPS583296A (en) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583296A (en) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317234B2 (en) | 1988-04-13 |
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