JPS6358785B2 - - Google Patents
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- JPS6358785B2 JPS6358785B2 JP59130154A JP13015484A JPS6358785B2 JP S6358785 B2 JPS6358785 B2 JP S6358785B2 JP 59130154 A JP59130154 A JP 59130154A JP 13015484 A JP13015484 A JP 13015484A JP S6358785 B2 JPS6358785 B2 JP S6358785B2
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- piezoelectric ceramic
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電磁器組成物に係り、特に電圧印加
により、大きい機械的変位を必要とする電圧駆動
型圧電変位素子に好適な圧電磁器組成物に関す
る。 〔従来技術〕 近年電磁方式に代わる新方式の駆動源として圧
電磁器の電気歪効果を利用し、電気的エネルギー
を機械的エネルギーに変換する、いわゆる電圧駆
動型圧電変位素子(以下変位素子と称す)の実用
化がリレー、スイツチ、微小位置制御機器等、多
方面にわたつて進められてきている。この種の変
位素子としては例えば第1図に示す如く、金属製
弾性板1に両面から挾む様に、電極を付与した圧
電磁器板2,2′を貼り合わせたバイモルフ構造
を成すものが知られている。そしてこの変位素子
に直流或は交流電圧を印加すると電気歪効果(こ
の場合、圧電横効果)に伴なう機械的変位dS1或
はdS2が生ずる。この機械的変位は用途或は搭載
された際の機構にもよるが、一般的に変位素子と
しての機能上、できるだけ大きい事が望ましく、
従つてより大きな電気歪効果を有する圧電磁器組
成物が有利とされている。従来より、この目的に
合致する圧電磁器組成物としては、例えば比較的
圧電定数d31の大きいPb(Ni1/3Nb2/3)O3―
PbZrO3―PbTiO3等の3成分系のものがある。し
かしながら従来の組成物のものでは機械的変位が
必ずしも十分とは言えず変位素子としての利用が
極めて狭い範囲に限定されていた。従つて変位素
子として広範囲の用途に適応する上でより大きな
機械的変位をもたらす圧電磁器材料が望まれてい
た。 〔発明の目的〕 本発明はかかる要求に対し、十分応え得るもの
であり、電圧印加による電気歪効果が大きく、そ
の結果大きな機械的変位が発生し、変位素子とし
て広範囲な用途に応用できる圧電磁器組成物を提
供する事を目的とする。 〔発明の構成〕 すなわち本発明の圧電磁器組成物は一般式Pb
〔(Ni1/3Nb2/3)A(Y1/2Nb1/2)BZrCTiD〕O3で示され (但しA+B+C+D=1) 0.300≦A≦0.550 0.002≦B≦0.040 0.100≦C≦0.290 0.310≦D≦0.408 を満足する基本組成に対し、副成分としてNiO,
Fe2O3,Bi2O3から選ばれた1種を0.02〜1重量
%添加含有して成る事を特徴とする。 以下本発明の実施例について、参考例と比較し
ながら詳細に説明する。 〔実施例〕 出発原料として化学的純度99%以上のPbO,
NiO,Nb2O5,Y2O3,ZrO2,TiO2及び所定の添
加物を選び、第1表に示す組成になる様に精秤し
た。 次にこれら原料をボールミルで混合した後、乾
燥し、850℃で仮焼成した。 次いでボールミルによつて粉砕して得られた粉
末に、有機バインダを適量加えて造粒した後、
1ton/cm2の圧力で加圧成形し、1200〜1250℃の温
度で数時間焼成した。得られた焼結体を所定の形
状に切断、研磨した後、電極を付与し、シリコー
ン油中で温度60〜100℃の条件下で直流電場35〜
50kV/cmを30分間印加し、分極処理を施して圧
電的に活性化せしめた。次に所定の測定方法によ
り圧電的諸定数を求めた後、実質的な効果を確認
するために、更に研磨加工を施して2種類の形状
の矩形状圧電素子、すなわち長さ10mm、幅2
mm、厚さ1mm、長さ35mm、幅10mm、厚さ0.15mm
を得た。 この2種類の圧電素子のうち形状のものに、
分極方向と同方向に500Vの直流電圧を印加し、
その時に生ずる電気歪量(収縮歪)を測定し
Δl/l値で評価した(Δl…縮み量、l素子長
さ)。一方、形状の圧電素子については、更に
金属製弾性板に両面からサンドイツチして第1図
に示す様なバイモルフ型変位素子を作製し、これ
に30Vの直流電圧を印加して、一端固定、他端自
由状態での先端に発生する機械的変位(第1図に
おいてdS1に相当する変位)を測定した。
により、大きい機械的変位を必要とする電圧駆動
型圧電変位素子に好適な圧電磁器組成物に関す
る。 〔従来技術〕 近年電磁方式に代わる新方式の駆動源として圧
電磁器の電気歪効果を利用し、電気的エネルギー
を機械的エネルギーに変換する、いわゆる電圧駆
動型圧電変位素子(以下変位素子と称す)の実用
化がリレー、スイツチ、微小位置制御機器等、多
方面にわたつて進められてきている。この種の変
位素子としては例えば第1図に示す如く、金属製
弾性板1に両面から挾む様に、電極を付与した圧
電磁器板2,2′を貼り合わせたバイモルフ構造
を成すものが知られている。そしてこの変位素子
に直流或は交流電圧を印加すると電気歪効果(こ
の場合、圧電横効果)に伴なう機械的変位dS1或
はdS2が生ずる。この機械的変位は用途或は搭載
された際の機構にもよるが、一般的に変位素子と
しての機能上、できるだけ大きい事が望ましく、
従つてより大きな電気歪効果を有する圧電磁器組
成物が有利とされている。従来より、この目的に
合致する圧電磁器組成物としては、例えば比較的
圧電定数d31の大きいPb(Ni1/3Nb2/3)O3―
PbZrO3―PbTiO3等の3成分系のものがある。し
かしながら従来の組成物のものでは機械的変位が
必ずしも十分とは言えず変位素子としての利用が
極めて狭い範囲に限定されていた。従つて変位素
子として広範囲の用途に適応する上でより大きな
機械的変位をもたらす圧電磁器材料が望まれてい
た。 〔発明の目的〕 本発明はかかる要求に対し、十分応え得るもの
であり、電圧印加による電気歪効果が大きく、そ
の結果大きな機械的変位が発生し、変位素子とし
て広範囲な用途に応用できる圧電磁器組成物を提
供する事を目的とする。 〔発明の構成〕 すなわち本発明の圧電磁器組成物は一般式Pb
〔(Ni1/3Nb2/3)A(Y1/2Nb1/2)BZrCTiD〕O3で示され (但しA+B+C+D=1) 0.300≦A≦0.550 0.002≦B≦0.040 0.100≦C≦0.290 0.310≦D≦0.408 を満足する基本組成に対し、副成分としてNiO,
Fe2O3,Bi2O3から選ばれた1種を0.02〜1重量
%添加含有して成る事を特徴とする。 以下本発明の実施例について、参考例と比較し
ながら詳細に説明する。 〔実施例〕 出発原料として化学的純度99%以上のPbO,
NiO,Nb2O5,Y2O3,ZrO2,TiO2及び所定の添
加物を選び、第1表に示す組成になる様に精秤し
た。 次にこれら原料をボールミルで混合した後、乾
燥し、850℃で仮焼成した。 次いでボールミルによつて粉砕して得られた粉
末に、有機バインダを適量加えて造粒した後、
1ton/cm2の圧力で加圧成形し、1200〜1250℃の温
度で数時間焼成した。得られた焼結体を所定の形
状に切断、研磨した後、電極を付与し、シリコー
ン油中で温度60〜100℃の条件下で直流電場35〜
50kV/cmを30分間印加し、分極処理を施して圧
電的に活性化せしめた。次に所定の測定方法によ
り圧電的諸定数を求めた後、実質的な効果を確認
するために、更に研磨加工を施して2種類の形状
の矩形状圧電素子、すなわち長さ10mm、幅2
mm、厚さ1mm、長さ35mm、幅10mm、厚さ0.15mm
を得た。 この2種類の圧電素子のうち形状のものに、
分極方向と同方向に500Vの直流電圧を印加し、
その時に生ずる電気歪量(収縮歪)を測定し
Δl/l値で評価した(Δl…縮み量、l素子長
さ)。一方、形状の圧電素子については、更に
金属製弾性板に両面からサンドイツチして第1図
に示す様なバイモルフ型変位素子を作製し、これ
に30Vの直流電圧を印加して、一端固定、他端自
由状態での先端に発生する機械的変位(第1図に
おいてdS1に相当する変位)を測定した。
【表】
【表】
この様に、本発明は
Pb〔(Ni1/3Nb2/3)A(Y1/2Nb1/2)BZrCTiD〕O3を基
本組成とし、A,B,C,Dを各々適度な範囲に
設定し、且つ副成分としてNiO,Fe2O3,Bi2O3
の1種を適度な範囲で添加含有したものであり、
特に基本組成におけるPb(Y1/2Nb1/2)O3成分と、
副成分との相乗効果により、従来組成物では成し
得なかつた、より大きな電気歪量、機械的変位が
実現したものである。 又本発明においては、副成分であるNiO,
Fe2O3,Bi2O3のうち、2種以上添加しても総添
加含有量が0.02〜1重量%の範囲であれば、同様
な効果が得られる。 尚0.300>A,A>0.550,B>0.040,0.100>
C,C>0.290,0.310>D,D>0.408から成る基
本組成物及び副成分の選ばれた1種が1重量%よ
り多い組成物のものでは電気歪量、機械的変位が
低下してしまい、目的とする変位素子としては好
ましくなく、又0.002>B及び副成分の選ばれた
1種が0.02重量%より少ない組成物では大幅な改
善効果が認められないため本発明の範囲から除外
した。 本発明の圧電磁器組成物によれば以下に挙げる
用途への適用が期待できる。 (1) 大きな機械的変位を発生するので、小型、軽
量化及び低電圧駆動が可能であり、省エネルギ
ー時代にマツチした新しい変位素子分野に適用
できる。 (2) 比較的低電圧で大きな機械的変位を必要とす
る変位素子への応用が可能である。 (3) 片側駆動方式(圧電素子の分極方向と同方向
の直流電圧のみ印加)の採用による大きな機械
的変位を必要とする変位素子に適用できる。尚
この場合、印加電圧の大きさは用途に応じて自
由に選択できる。 (4) 比較的高い圧電定数(例えば圧電d定数)を
有しているので、高圧電定数を必要とする各種
圧電製品への適用が可能である。 尚本発明の実施例においては、圧電横効果に伴
なう電気歪量、機械的変位について特にバイモル
フ型圧電変位素子に関連して説明したが、同組成
物を用い圧電縦効果についても調べ、その改善効
果が確認されており、従つて例えば積層型圧電変
位素子への適用も十分可能である。 以上詳述した様に、本発明の圧電磁器組成物は
広範囲な用途に利用できる変位素子に好適なもの
であり、産業上極めて価値大なるものである。
本組成とし、A,B,C,Dを各々適度な範囲に
設定し、且つ副成分としてNiO,Fe2O3,Bi2O3
の1種を適度な範囲で添加含有したものであり、
特に基本組成におけるPb(Y1/2Nb1/2)O3成分と、
副成分との相乗効果により、従来組成物では成し
得なかつた、より大きな電気歪量、機械的変位が
実現したものである。 又本発明においては、副成分であるNiO,
Fe2O3,Bi2O3のうち、2種以上添加しても総添
加含有量が0.02〜1重量%の範囲であれば、同様
な効果が得られる。 尚0.300>A,A>0.550,B>0.040,0.100>
C,C>0.290,0.310>D,D>0.408から成る基
本組成物及び副成分の選ばれた1種が1重量%よ
り多い組成物のものでは電気歪量、機械的変位が
低下してしまい、目的とする変位素子としては好
ましくなく、又0.002>B及び副成分の選ばれた
1種が0.02重量%より少ない組成物では大幅な改
善効果が認められないため本発明の範囲から除外
した。 本発明の圧電磁器組成物によれば以下に挙げる
用途への適用が期待できる。 (1) 大きな機械的変位を発生するので、小型、軽
量化及び低電圧駆動が可能であり、省エネルギ
ー時代にマツチした新しい変位素子分野に適用
できる。 (2) 比較的低電圧で大きな機械的変位を必要とす
る変位素子への応用が可能である。 (3) 片側駆動方式(圧電素子の分極方向と同方向
の直流電圧のみ印加)の採用による大きな機械
的変位を必要とする変位素子に適用できる。尚
この場合、印加電圧の大きさは用途に応じて自
由に選択できる。 (4) 比較的高い圧電定数(例えば圧電d定数)を
有しているので、高圧電定数を必要とする各種
圧電製品への適用が可能である。 尚本発明の実施例においては、圧電横効果に伴
なう電気歪量、機械的変位について特にバイモル
フ型圧電変位素子に関連して説明したが、同組成
物を用い圧電縦効果についても調べ、その改善効
果が確認されており、従つて例えば積層型圧電変
位素子への適用も十分可能である。 以上詳述した様に、本発明の圧電磁器組成物は
広範囲な用途に利用できる変位素子に好適なもの
であり、産業上極めて価値大なるものである。
第1図はバイモルフ型圧電変位素子の一例を示
す図、第2図a〜第2図dは本発明圧電磁器組成
物の変位素子特性における効果の一例を示すグラ
フである。 1……金属製弾性板、2,2′……圧電磁器板。
す図、第2図a〜第2図dは本発明圧電磁器組成
物の変位素子特性における効果の一例を示すグラ
フである。 1……金属製弾性板、2,2′……圧電磁器板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一般式 Pb〔(Ni1/3Nb2/3)A(Y1/2Nb1/2)BZrCTiD〕O3 (但しA+B+C+D=1)で示され、 0.300≦A≦0.550 0.002≦B≦0.040 0.100≦C≦0.290 0.310≦D≦0.408 を満足する基本組成に対し、副成分としてNiO,
Fe2O3,Bi2O3から選ばれた1種を0.02〜1重量
%添加含有して成る事を特徴とする圧電磁器組成
物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59130154A JPS6110060A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59130154A JPS6110060A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6110060A JPS6110060A (ja) | 1986-01-17 |
JPS6358785B2 true JPS6358785B2 (ja) | 1988-11-16 |
Family
ID=15027276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59130154A Granted JPS6110060A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6110060A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5018649B2 (ja) * | 2008-05-29 | 2012-09-05 | Tdk株式会社 | 圧電磁器、圧電素子及び積層型圧電素子 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP59130154A patent/JPS6110060A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6110060A (ja) | 1986-01-17 |
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