JPS63502853A - 物理的な大きさを遠隔検出するためのオプトエレクトロニクス式方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 物理的な大きさを遠隔検出するためのオプトエレクトロニクス式方法と装置 技術分野 本発明は、そのスペクトラルトランスミッション（５ｐｅｃｔｒａｌ　ｔｒａｎ ｓｍｉｓｓｉｏｎ　）が測定すべき物理的大きさの関数として変化する検出エレ メントをそれぞれ含むセンサであって、非干渉性光線ビームにより照射され、光 線信号をスペクトル分析手段まで伝送するセンサにより物理的な大きさを遠隔検 出するオプトエレクトロニクス式方法と装置とに関する。

背景技術 光ファイバを利用できるようになって以来、例えば温度、化学成分、磁界等々の 物理的な大きさの変化を遠隔検出する目的で媒体中のスペクトラルトランスミッ ションの変化を利用することが一般的となった。

特に、温度変化が検出媒体の吸収スペクトルを太き（変化させるサーモクロミッ ク（ｔｈｇｒｍｏｃｈデ□ｙｉ＜ｃ）な溶液に基くセンサが存在している。その よっなセンサの一実施例が、１９８４年９月５〜７日の第２回光ファイバセンサ に関する国際会議の「サーモクロミック変換器の光フアイバセンサ」と題するエ ム、ブレチ他（Ｍ、Ｂｒａｃｉａｔ、　ａｌ、　ｇｎｔｉｆｌａｄ　”　Ｔｈｍ ｒｔｎｏｃ五ｒｏｍｉｃ　ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒＯｐｔｉｃａｌ　Ｆｉｂｅｒ　 ５ｇ５ｓｏｒ″、’；／ｓｄ　ＩｎｔｍｒｎａｔｉｏｓａｌＣｏｎｆｅｒｅ％ｃ ｅ　ｏｎ　０ｐｔｉｃａｌ　Ｆｉｂｅｒ　５ｅｎｉｏｒｓ　５　７Ｓｇｐｔａｍ ｂａｒ　１９８４　）の論文に記載されている。

また、検出媒体の温度変化により吸収帯の縁を運動させる、半導体エタロンによ るセンサも介在している。このタイプのセンサは１９８２年のＩＥＥＥ、ＱＥ− １８，６７６の［温度測定のための光フアイバ計器Ｊ　（”　ＦｉｂｇｒＯｐｔ ｉｃ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ　ｆｏｒ　Ｔｇｔｎｐａｒａｔｓｒｇ　Ｍａａａｕ ｒａ−ｍ１％ｔ”）と題する、ケイ、キュー７（Ｋ、Ｋｙｘｔｎα）、ニス、タ イ（８，７’ａｊ）、ティ、サワダ（Ｔ、　５ａｕａｄａ　）およびエム、ヌノ シタ（Ｍ、Ｎｕ％ｏｓｈｉｔａ　）による論文に記載されている。

また、二元混合（ｂｉｎａｒｙ　ｍ１ｘｔｕｒｅ　）成分の変化が三刺激値を変 化させる比色タイプセンサも存在している。

このタイプのセンサは１９８５年６月６日付の仏国特許第８，５０８，５５０号 に記載されている。

現在の方法は、使用されたスペクトルキャリヤが全て相互に混合される単一光フ ァイバにおいて簡単には前述のタイプの数個の同一のセンサからの情報を多重化 することはできない。

発明の開示 本発明の目的は共通の光源、従って共通のキャリヤを用いたスペクトル情報を共 通の光フアイバ上で多重化できるようにする、前述の問題に対する簡単な解決法 を提供することでおる。

この目的に対して、本発明はそのスペクトラルトランスミツションが測定すべき 物理的大きさの関数として変化する検出エレメントをそれぞれ含み、非干渉性光 線により照射され、光線信号をスペクトル分析手段へ伝送するセンサにより物理 的大きさを遠隔検出するオプトエレクトロニクス式方法であって該当するセンサ の特性である周波数におけるスペクトルの周期的変調あるいは疑似周期的変調を 、各センサの検出エレメントにより伝送されて光線に重ねることにより各センサ からの信号を符号化し、このように変調された信号を光ファイバを介して前記の スペクトル分析手段まで伝送し、各センサに係る信号を隔離するために光学的に フーリエ変換を行うことにより信号を復号化即ち非多重化し、そして次にこの信 号を処理して対応する物理的大きさの値を得ることを特徴とするオプトエレクト ロニクス式方法を提供する。

スペクトル変調の符号化は、例えばセンサの検出エレメントに関連した所定の構 成の複屈折プレートから構成される二液干渉計により各センサにおいて実施され 、非多重化は、例えばセンサの複屈折プレートと同一の複屈折プレートからなる 二液干渉計により有利に行われる。

このように１種々のセンサから来る信号は光学的手段により極めて簡単に多重化 されたり、非多重化される。

また、この方法は各センサに対して完全に静的に実行できるという利点を有する 。

本発明の別の特徴によれば、フーリエ変換から得られる信号は各センサに対して 記録され、逆フーリエ変換タイプの数学的演算がデジタル手段により実行される 。

このように、センサの挙動を示す情報、即ちセンサの検出エレメントに作用する 物理的大きさの値にアクセスすることが可能となる。

本発明の別の特徴によれば、センサのスペクトル変調周波数はセンサの検出エレ メントに作用する大きさとは異る第２の物理的大きさの関数として変動し信号を フーリエ変換により非多重化して前記の双方の大きさの値に同時にアクセスでき るようにする。

変形においては、センサの検出エレメントは対応する物理的大きさの所定値の近 くでオン／オフモードで作動し、各センサから非多重化された信号の見掛けの強 さがその所定値に関係する物理的大きさの状態を推定するために記録される。

また、本発明はそのスペクトラルトランスミッションが測定すべき物理的大きさ の関数として変動する検出エレメントをそれぞれ含み、光ファイバによりスペク トル分析手段に接続されるセンサに光ファイバにより接続された非干渉性光源を 含む、物理的な大きさを遠隔するオプトエレクトロニクス式装置であって、各セ ンサが、該当するセンサの特性である周波数において検出エレメントにより伝送 された光線を周期的あるいは疑似周期的に変調する、スペクトル変調符号化手段 を含み、各センサが全てのセンサに共通の光ファイバによりスペクトル分析手段 に接続されており、スペクトル分析手段がセンサから受取った信号に光学的にフ ーリエ変換を行ってその特性的な周波数により各センサからの信号を区別する二 液干渉計を含み、また、非多重化信号を検出し、これらの信号を処理して検出さ れた物理的大きさの値を推定する検出器および処理手段を含むことを特徴とする オプトエレクトロニクス式装置を提供する。

本発明の別の特徴によれば、スペクトル変調符号化手段が、対応するセンサの特 性である、２波間の光路差を導入するに適した二液干渉計である。

好適には、各スペクトル変調符号化手段はセンサの検出エレメントの直近におい て交差、あるいは平行の偏光子の間に位置した所定の構成の複屈折プレートを含 む。

その場合、非多重化干渉計は、それぞれが対応するセンサの複屈折プレートと同 一の一組の複屈折プレートを、これらプレートを１個づつ干渉計の光軸に合わせ る手段と共に含む。検出手段は、各センサに係る有用な非多重化信号の全てを記 録する手段を含み、かつ処理手段は記録された信号に付与された逆フーリエ変換 をデジタル的に実施する手段を含む。

変形においては、センサの検出エレメントは対応する物理的大きさの所定値の近 （で切換わるオン−オフタイプである。この場合、当該物理的大きさが所定値よ り大きいか、小さいかは、各セ／すに関係する非多重化信号の見掛けの強さを単 に記録することにより検出することができる。

一般的に、本発明は共通の光ファイバにおいて、物理的大きさに応答する複数の センサにより伝送された信号を多重化し、前記信号を非多重化し、かつそれらを 処理して複数の計測点において少なくとも２個の物理的大きさの値を得ることが できるようにする。

図面の簡単な説明 本発明は、添付図面を参照した以下の例示的説明を読めばよりよく理解され、か つその他の詳細、特性および利点が明らかとなる。

第１Ａ図は本発明による装置の線図、 第１Ｂ図は前記装置の全体的な作動原理を示す線図、第２Ａ図、第２Ｂ図、第２ Ｃ図および第２Ｄ図はセンサにより伝送される信号を符号化するために用いる変 調周波数の役割を示す図、 第３Ａ図、第３Ｂ図、第３Ｃ図および第３Ｄ図はセンサにより伝送されるスペク トルと変調後に得られる信号との間の関係を示す図、 第４図は本発明によるセンサの一実施例の線図、および 第５図は本発明によるスペクトル分析手段の基本的部分の実施例の線図である。

添付図面は少な（ともある程度までは具体的であって、本発明の理解を助けるの みならず、適宜本発明を規定する上で役立つ説明を伴っている。

発明を実施するための最良の形態 本発明による装置は第１Ａ図において線図で示され、かつ例えばフィラメントラ ンプあるいは発光ダイオード（ＬＥＤ）のような非干渉性光源１０を含み、該光 源は、測定すべき物理的大きさに感応する、対応のセンサエレメントにより伝送 される光線をスペクトル変調符号化するために符号化装置ＤＣ，、ＤＣ，、・・ ・・・・、　Ｄ　Ｃｉ　、・・・・・・とそれぞれ関連しているセンサＣ１ｒ　 Ｃ＊　＋・・・・・・Ｃｉ、に放射光ファイバ１２と接続ファイバ１４とを介し て接続されている。組立体Ｃ，−ＤＣ，、Ｃ，−ＤＣ，、・・・・・・は光接続 ファイバ１６により共通の受光光ファイバ１８に接続されており、該ファイバ１ ８は検出および処理のため回路２２と関連した復調装置２０に連っている。

センサと符号化装置との組立体は第１Ｂ図に線図で示す要領で作動する。この図 において、Ｅ（σ）はセンサにおいて入射される光線信号のスペクトルを示し、 σは波数である。センサＣｉの検出エレメントが、例えば温度のような測定すべ き物理的大きさＸにあてられ、そのスペクトル伝送なＴｉ（σ、Ｘ）で示す。

符号化装置ＤＣｉは、当該センサの特性を示す２つの波の間の光路差△（を挿入 するための二液干渉計装置である。

センサは、該センサにおける物理的大きさＸの状態を示す包絡線Ｂ（σ）Ｔｉ　 （σ、Ｘ）のスペクトルを伝え、当該センサの特性である周波数Δｉの周波的な 正弦波変調がそれに対して付与される。

このように対応する光ファイバ１６により集められる光束は全体的に以下のよう に表現される。

１３　’　（σ、　Ｘ　、　ｉ　）”Ｊ４　Ｅ　（σ）Ｔｉ　（σ、Ｘ）（１＋ ｃｏｓ２πσ△ｉ）この光束は光ファイバ１８により復調装置２０に伝送され、 該復調装置は二液干渉計によりこの光束に対して光学的にフーリエ変換を行う。

組立体Ｃｉ　−ＤＣｉに関して得られる信号は以下のように表現される。

１　（Ｄ’）＝３ＡＪＢ’　（σ＊Ｘ、１）Ｃ１＋ｃｏａ２ｒｃａＤ３ｄσ＝Ｋ ＣＢＴｉ（の＋ＢＴｉ（Ｄ）十！ＡＢＴｉ（Ｄ−△ｉ）＋３ＡＥＴｉ（０−Δｊ ）） Ｄは復調干渉計における光路差であって、ＥＴｉ（Ｄ）はＢ（σ）Ｔｉ（σ、Ｘ ）の余弦フーリエ変換である。

その結果、伝送された光束のスペクトル幅に反比例し、かつ各センサの光路差Ｃ １十△ｉ、−△ｉに集中する３個の空間拡張応答（５ｐａｃｅ　ｅｘｔｅｎｓｉ ｏｎ　ｒａｓｐｏ％８−）が得られる。

第２Ａ図、第２Ｂ図、第２Ｃ図および第２Ｄ図は光束における変調周波数へ（の 値に対する作用を示す。第２Ａ図と第２Ｃ図とは、２つの異った変調周波数によ り符号化された任意の光線スペクトルの線図である。第２Ｂ図と第２Ｄ図とはフ ーリエ変換により復調後に得られた信号を示し、第２Ｂ図の信号は第２Ａ図の光 束に対応し、第２Ｄ図の信号は第２Ｃ図の光束に対応する。フーリエ変換後は、 同じ光路差の値りにおいては横方向の応答は得られず、いずれか２個のセンサ間 の符号化周波数の差が、各センサにより伝送される光束のフーリエ変換の空間範 囲ＢＴより大きい限りは簡単に識別し、かつ隔離することが可能なることが判る 。

第３Ａ図、第３Ｂ図、第３Ｃ図および第３Ｄ図は、フーリエ変換復調後に得られ た横方向応答＋Δｉの波形に対スルセンサのスペクトラルトランスミッションの 変化の作用を示す。センサの検出エレメントにより伝送されるスペクトルが第３ Ａ図と第３Ｃ図とに示され、対応する横方向の応答＋△ｉが第３Ｂ図と第３Ｄ図 とに示されている。センサの検出エレメントにより伝送されるスペクトルにおい て得られた情報は復調された信号において得られた情報に直接関係し、その関係 は７−リエ変換タイプである。

その結果、本発明による方法と装置とは共通の非干渉性キャリヤを用いて、共通 の光学ライン上で複数のセンサからのスペクトル情報を多重化するために用いる ことができる。

非多重化された信号は以下のように処理される。

回路２２の検出手段が、各種のセンサに関係する横方向応答子△ｉに対応する干 渉ゾーンを記録する。各センサに対して、有用な信号は以下の形態をとる。

５ｉ（Ｄ）＝ΣＢＴｉ（の＋％　ＢＴ　ｉ　（Ｄ−△（）この関係において、最 初の項は重ねられつつある各種センサの直接的成分に対応し、第２の項は対応す るセンサＣ（の挙動に直接関係する。

例えば差動増幅、あるいはＡＣ結合、あるいはまたデジタル減算による、適当な アナログあるいはデジタル処理により、前記関係式における第１の項の総計に対 する直接的なバックグラウンドが除去され、有用な信号即ち前記関係式の第２の 項のみがデジタル化される。

その後、特性的な光路差Δｉの近くで得られる値に対して逆フーリエ変換を得る ようデジタル化方法（コンピュータプログラム、あるいは特殊ＦＦＴタイプ回路 ）が採用され、このようにして、センサＣｉの挙動即ちＢ（σ）Ｔｉ（σ、Ｘ） を表わす情報にアクセスできるようにする。

光源１０におけるドリフトの可能性を排除するために、構成が組立体Ｃｔ　−Ｄ Ｃｉ　と類似であるが、検出エレメントを含まない参照経路を利用することが有 利である。この参照経路に対応する非多重化信号を処理して光源からのスペクト ルでのエネルギ分布即ちＢ（σ）を検出し、かつ各種のセンサに有効に関係する 、伝送における変動Ｔｉ（σ、Ｘ）Ｋ関する精度を上げるようにする。

変形においては、各種のセンサＣｉの検出エレメントは、スペクトラルトランス ミッションが測定すべき物理的大きさＸの所定値の近くで急に変動するオン／オ フタイプとすればよい。そのような検出エレメントの挙動は概ね以下の式により 表現し５る。

Ｔｉ（ａ、Ｘ）＝Ｏ（Ｘ＜Ｘｏの場合）Ｔｉ　（ａ　、Ｘ　）＝Ｔｊ　（σ）（ Ｘ＞ＸＯの場合）これらの状況下において、スペクトル情報自体は相対的に余り 重要でないが、検出エレメントのスペクトラルトランスミッションが急に変動す るときの所定値Ｘｏに関係する物理的大きさＸの状態は岸に検出エレメントから の一貫した伝送を評価することにより検出できる。

光源１０が、中央の波長がλ０で、スペクトルの幅が△λである均一タイプのも のであると想定すれば、有用な信号は以下のように表現される。

同調位置△ｉによる単純な２π位相変調で、有用な信号の振幅ＥＴｏ　を評価し 、かクセンサの検出エレメントが、￥＜、￥ｏの値に対応するスペクトラルトラ ンスミッションの状態にあるか、Ｘ＞ＸｏＯ値に対応するスペクトラルトランス ミッション状態にあるか推定する上で十分である。前述のように、各種センサの 伝送を永久的にモニタし、そのため光源の作動上の変動による問題を排除できる のであれば、何ら検出エレメントを含まない参照経路を用いることが有利であろ う。

−第４図は本発明によるセンサ符号化装置組立体の好適な実施例を示す。

光源１０をセンサに接続する光ファイバ１４の端は、偏光子ｐに付与される平行 光線のビームを提供するコリメータ２４の焦点位置に位置付けされる。偏光子に は、その軸線に対して平行に切断された一方向性の複屈折材のプレート２６が続 き、次に分析器Ａが続き、その次にそのスペクトラルトランスミッションが測定 すべき物理的大きさＸの関数で変動するセンサの検出エレメントが続（。前記組 立体により伝送される光線は、復調装置２０の光ファイバ１８に接続された光フ ァイバ１６の端に焦点が来る出側光学装置３ｏにより集められる。前記プレート ２６は舊り軸が緩かで、ｎＲ軸が急であることを特徴とする。偏光方向は軸が緩 かで４５度の角度にあり、偏光子ｐと分析器Ａとの組立体は交差、あるいは平行 に配置される。光線の２つの偏光状態の間の干渉のために、前記センサと符号化 装置との組立体により伝送される光束は、それにより提供される光路差に′等し い周波数として周期的、あるいは擬似周期的スペクトルを明示する。但し前記光 路差Δが光源１０の干渉性の長さより大きく、△が以下の式により与えられる場 合である。

△；＃（％Ｌ−ｎＲ）＝ｇ、Δ％（σ）ここで１＝プレート２６の厚さである。

前記の光路差はある程度まではスペクトルによって変わり、そのため復調装置に おいて、同じ構成を有しスペクトルに対する依存性の類似な複屈折干渉計を用い てその作用を微分的に補正すれば有利である。そのような補正は、特に使用光源 が幅の広いスペクトル（例えばフィラメントランプ）を提供する場合は有用であ る。

情報を復調するために用いる複屈折干渉計は（例えばブラバスーＢｒａτａｉｓ 　タイプの）走査干渉計ちるいは（バビネット−ＥａｂｉｙＬｇｇ　あるいはウ ォラストンーＷｏｔＬａｇｔｏｓ　タイプの）固定干渉側でよい。走査干渉計連 続的に変えるに適した運動エレメントの移動量によって左右される単一の光電式 検出器により記録される。固定干渉計が用いられた場合、各センサに関係する有 用な信号は、該干渉計における光路差が、可動経路を移動させることなく得られ る、例えば荷電転送ＣＯＤダイオードの帯片のような多点式検出器により記録さ れる。

復調干渉計の好適な実施例を第５図に示す。

この図において、光ファイバ１８の端はコリメータ３２の焦点位置に位置され、 偏光子ｐに付与される光線の平行ビームを提供する。この偏光子に、第４図のプ レート２６と構成が同一の複屈折材のプレート３４が続（。

複屈折材のプレート３４には、ウォラストン（Ｗｏｌｌａｓ−ｔｏｎ　）　７” Ｊダム３６が続き、該プリズムは、当該装置の光軸に対して傾斜している面に沿 って相互に積重ねられ、かつ要素プリズム４０の速い軸に要素プリズム３８の遅 い軸を一致させて交差（〜て配置した２個の複屈折要素プリズム３８と４０とに より構成されている。（当該装置の光軸上の）領域の中心においては前記２個の プリズムの厚さは同じである。ウォラストンプリズム３６には分析器Ａが続き、 該分析器は、例えばＣＣＤタイプの多点式直線検出器４２上に干渉フリンジ領域 の像を形成する出側光学装置４１と関連している。偏光子ｐと分析器Ａとの組立 体は交差の形態かあるいは平行の形態であって、偏光の方向は複屈折プレート３ ４の中立軸に対して４５度の角度にある。

これらの状態において、復調装置２０による光路差りは光軸に対して垂直であっ て、かつそれに沿って多点式検出器４２の感光エレメントが整合している優先的 な光学的方向Ｘに沿って直線的に変化する。

実際にはセンサと符号化装置との組立体の−、方の複屈折プレート２６に対応す る復調装置の各々の複屈折プレート３４は変調装置の光軸に対して平行の細心の 周りを回転するよう装着されたディスクであって、各種の複屈折プレートを当該 装置の光軸に連続的に持って来て、受光光ファイバ１８により伝送される光線信 号を非多重化するようディスクを回転させる駆動装置と関連したディスクにより 担持されている。

さらに、本発明による装置において用いられるセンサは測定すべき第１の物理的 大きさＸ、例えば二元混合の濃度に対して感応するエレメントを含み、一方各セ ンサの特性である変調周波数は何らかの他の物理的大きさＹ。

例えば温度の関数として変動する。この場合、本発明において用いられる非多重 化、検出および処理手段は双方の物理的大きさの値に同時にアクセスできるよう にする。

但し、復調された信号における横方向応答の位置十△は符号化する（したがって 物理的大きさＹの値を得る）ために使用する変調周波数の値を定量化するに適し 、センサの検出エレメントのスペクトラルトランスミッション（したがって大き さＸの値も）が適当な処理（零周波数のバックグラウンドおよび逆フーリエ変換 の除去）の後光路差＋△について記録された復調信号から検出できることである 。

さらに、センサの検出エレメントのスペクトル伝送が双方の物理的大きさＸとＹ との関数であるとすれば、第２の物理的大きさＹを独立して測定できる可能性に よって、Ｙによって作用されるスペクトラルトランスミッションの効果を除去し 、したがって物理的大きさＸの値を正確に得ることができる。

国際調査報告

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. １．そのスペクトラルトランスミッションが測定すべき物理的大きさＸの関数と して変化する検出エレメント（２８）をそれそれ含み非干渉性光線ビームにより 照射されるセンサを含み、光線信号をスペクトル分析手段（２０，２２）に伝送 するヤンサ（Ｃ１，Ｃ２・・・・・・Ｃｉ）により物理的大きさを遠隔検出する オプトエレクトロニクス式方法において、該当センサの特性である周波数におけ るスペクトルの周期的あるいは擬似周期的変調を各センサの検出エレメントによ り伝送される光線上に重ね、このように変調された信号を光ファイバ（１８）を 介して前記スペクトル分析手段（２０，２２）まで伝送し、各ヤンサに関係する 信号を隔離するために光学的にフーリエ変換を行うことにより信号を復号化即ち 非多重化し、次いで対応する物理的大きさＸの値を得るために前記信号を処理す ることを特徴とする物理的大きさを遠隔検出するオプトエレクトロニクス式方法 。
2. ２．請求の範囲第１項に記載の方法において、スペクトル変調符号化が、センサ の検出エレメント（２８）に関連した所定構造の例えば複屈折プレート（２６） を含む二波干渉計（ＤＣ）ｉにより各センサにおいて実施され、非多重化が、例 えばセンサの前記プレート（２６）に同一の複屈折プレート（３８）を含む二波 干渉計（２０）により提供されることを特徴とするオプトエレクトロニクス式方 法。
3. ３．請求の範囲第１項または第２項に記載の方法においてフーリエ変換から得ら れる信号が各ヤンサに対して記録され、かつ逆フーリエ変換タイプの数学的演算 がデジタル手段によつて該信号に対して実施されることを特徴とするオプトエレ クトロニクス式方法。
4. ４．請求の範囲第３項に記載の方法において、センサのスペクトル変調周波数が センサの検出エレメントに作用するものと相違する第２の物理的大きさの関数と して変動し、信号がフーリエ変換により非多重化されて双方の大きさの値に同時 にアクセスできるようにすることを特徴とするオプトエレクトロニクス式方法。
5. ５．請求の範囲第１項または第２項に記載の方法において、センサの検出エレメ ント（２８）が対応する物理的大きさの所定値の近くでオン／オフモードで作動 し、各センサからの非多重化された信号の見掛けの強さがその所定値に関連する 物理的大きさの状態を推定するよう記録されることを特徴とするオプトエレクト ニクス式方法。
6. ６．そのスペクトラルトランスミッシヨンが測定すべき物理的大きさの関数とし て変化する検出エレメント（２８）をそれそれ含み、光フアイバ（１６，１８） によりスペクトル分析手段に接続されているセンサ（Ｃ１，Ｃ２，・・・Ｃｉ） に光ファイバ（１２，１４）により接続された非干渉性光源（１０）を含み、各 ヤンサが当該センサの特性である周波数において検出エレメントにより伝送され た光線を周期的あるいは擬似周期的に変調するスペクトル変調符号化手段（ＤＣ １，ＤＣ２，・・・・・・，ＤＣｉ）を含み、各センサは全てのヤンサに対して 共通の光ファイバ（１８）によりスペクトル分析手段（２０，２２）に接続され ており、前記スペクトル分析手段がその特性的な周波数によつて各ヤンサからの 信号を区別するために、センサから受取つた信号にフーリエ変換を光学的に実施 する二波干渉計（２０）を含み、また非多重化された信号を検出し、かつこれら の信号を処理し検出された物理的大きさの値を推定するための検出および処理手 段（２２）を含むことを特徴とする、物理的大きさを遠隔検出するオプトエレク トロニクス式装置。
7. ７．請求の範囲第６項に記載の装置において、各々のスペクトル変調符号化手段 ＰＣｉが、対応するセンサの特徴である２つの波の間の光路差を導入するに適し た二波干渉計であることを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置。
8. ８．請求の範囲第６項または第７項に記載の装置において、各々のスペクトル変 調記号化手段ＤＣｉが、センサの検出エレメント（２８）の直近において交差、 あるいは平行の偏光子ｐ、４の間に位置され所定構造の複屈折プレート（２６） を含むことを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置。
9. ９．請求の範囲第８項に記載の装置において、非多重化干渉計（２０）が、それ ぞれ対応する方のセンサの複屈折プレート（２６）と同一である一組の複屈折プ レート（３４）を、これらのプレートを１個づつ干渉計（２０）の光軸に合わせ る手段と共に含むことを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置。
10. １０．請求の範囲第６項から第９項までのいずれか１項に記載の装置において、 検出手段が各ヤンサに関連する有用な非多重化した信号の全てを記録する手段（ ３０）を含み、かつ処理手段が記録された信号に付与された逆フーリエ変換をデ ジタル的に実施する手段を含むことを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置 。
11. １１．請求の範囲第１０項に記載の装置において、スペクトル変調符号化手段（ ＤＣｉ）がセンサの検出エレメント（２８）に作用するものと相違する第２の物 理的大きさに感応し、かつ前記処理手段が前記大きさの双方の値を同時に検出で きることを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置。
12. １２．請求の範囲第６項から第９項までのいずれか１項に記載の装置において、 センサの検出エレメント（２８）が対応する物理的大きさの所定の値の近くでオ ン／オフモードで作動するタイプであり、かつ検出手段（２２）が各ヤンサに関 連する非多重化した信号の見掛げの強さを記録する手段を含むことを特徴とする オプトエレクトロニクス式装置。