JPS6349626B2 - - Google Patents

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JPS6349626B2
JPS6349626B2 JP56007724A JP772481A JPS6349626B2 JP S6349626 B2 JPS6349626 B2 JP S6349626B2 JP 56007724 A JP56007724 A JP 56007724A JP 772481 A JP772481 A JP 772481A JP S6349626 B2 JPS6349626 B2 JP S6349626B2
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JP
Japan
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liquid
head
supply
supply pipe
pressure
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Application number
JP56007724A
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English (en)
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JPS57120482A (en
Inventor
Masayoshi Miura
Hajime Oda
Kenji Akami
Hiroyuki Naito
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP56007724A priority Critical patent/JPS57120482A/ja
Priority to EP82300281A priority patent/EP0056735B1/en
Priority to DE8282300281T priority patent/DE3270198D1/de
Priority to US06/340,811 priority patent/US4422086A/en
Publication of JPS57120482A publication Critical patent/JPS57120482A/ja
Publication of JPS6349626B2 publication Critical patent/JPS6349626B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D15/00Component parts of recorders for measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D15/16Recording elements transferring recording material, e.g. ink, to the recording surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/17Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175Ink supply systems ; Circuit parts therefor

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、インクジエツト記録装置のような液
体を噴射させて、文字や図形を記録する液体噴射
装置の液体供給素子に関する。
文字や図形を記録する記録ペンには、記録ペン
自体を移動させて被記録物に記録を行うものが多
い。たとえばX−Yレコーダーのように2方向に
記録ペンが移動するものや、シリアルプリンタの
ように、記録ペン及び被記録物がそれぞれ直角方
向に移動し記録物を作成するものがあげられる。
本発明は上記のように移動する記録ペンとして液
体噴射装置を用いた場合に有用な液体供給素子に
関する。
液体噴射装置の噴射口を有する部分(以下ヘツ
ドと称す)が移動する場合、このヘツドに液体を
供給する供給管にも移動が要求される。このよう
な供給管の動きをなめらかにするために一般に行
なわれている方法に第1図のごとき配管がある。
すなわち、第1図にヘツド1が、図の左右に移動
するため液体供給管2はフレキシブルな材質のも
のを使用し、さらにU字形に折りまげることによ
り、配管の動きをなめらかにしたものである。
第1図のように、液体供給管を配置した場合に
はヘツドが左端あるいは右端で折り返す際に、供
給管内の液体の慣性力によつて、ヘツドに供給さ
れる液体に圧力変動が生じることがわかつてい
る。第2図は、第1図のような液体供給管の配置
とした場合のヘツドに供給される液体の圧力変動
を示している。第2図に示すように、第1図のよ
うな液体供給管の配置では、一方の端では正の他
方の端では負の圧力変動が生じる。
上記のような圧力変動は、ヘツドからの液体の
噴射特性に大きな影響を与えることが多く、たと
えば、噴射量の変動や液滴の形成状態の変化等の
原因となる。
第3図は、液体供給管内の液体の慣性力を緩和
するための1つの手段を示しており、E.STEME
らによつて提案されたものである。(Division of
Computer Research,Research Report No.8
1972 Chalmers University ofTechnology)、す
なわち、ヘツド1に対して液体供給管を2経路に
分岐させ、U字形の配管を2つ合わせたような左
右対称の形状に配置したものであり、液体供給管
の左端より右端の長さは少なくともヘツドの移動
範囲の1/2以上である。このような形状の液体供
給管では液体の慣性力が左右で相殺されるため、
液体の圧力変動が減少すると言われている。しか
し実際には、液体供給管の内壁の流動抵抗や、液
体供給管の曲り部分での流動抵抗があるため、液
体の流動が圧力の変動に変換される率も大きく、
第3図にような液体供給管の形状でも十分な効果
をあげるには至らないのが現状である。
第4図は、第3図の形状の液体供給管の場合に
ヘツド1がヘツド1の移動範囲の左端に位置した
状態を示している。第4図において、ヘツド1よ
り液体供給管2の左端までの距離をx、液体供給
管2の左端より右端までの距離をlとすると、液
体供給管の分岐点42での慣性力Fは F=ρ(l−2x)Spα ……(1) と書ける。但し、αはヘツド1が左端で折返す時
の加速度、ρは液体の密度、Spは液体供給管の断
面積(液体のしめる部分の断面積)を示してい
る。慣性力Fが、分岐点42での圧力Pp及び液体
供給管内での液体の流れvpに変換されるとすると F/Sp=Pp+1/2ρvp 2=ρ(l−2x)α ……(2) と書ける。
(2)式より、ヘツド1に伝搬される圧力Ppがoで
あるためには、F/Sp=1/2ρvp 2を満足しなけれ ばならない。
しかし、F/Sp=1/2ρvp 2は、液体供給管の内 壁や、曲りによる流動抵抗がある限り、満足され
ない。
したがつて、第3図のような形状の液体供給管
においてもヘツド1の左右端での折返し点におい
て、正の圧力変動が生じることになる。
第5図は上記のような圧力変動を減少させる手
段の一例を示すものである。第1の液体通路3及
び第2の液体通路4が細管5によつて連結されて
おり、細管5の中央部には供給路6が設けられて
いる。第1の液体通路3、第2の液体通路4、細
管5、および供給路6には液体が満たされてい
る。今、外力によつて、液体の圧力変動及び流動
が生じたと仮定し、第1の液体通路3での圧力を
PA、流動速度vp、第2の液体通路4での圧力を
PB、流動速度をvpとする。但し、第1の液体通路
3および第2の液体通路4の断面積は等しくSp
する。また、細管5の断面積をSとし、その中で
の流動速度をv、細管5の中央部での圧力をPH
とする、ここで、細管5での流動抵抗係数をkと
おくと、 PA+1/2ρvp 2=PH+1/2ρv2+1/2kv =PB+1/2ρvp 2+kv ……(3) と書ける。但し、便宜上液体の流動は第1の液体
通路3から、第2の液体通路4の方向に生じてい
るとし、細管5での圧力損失は、細管5の至る所
で均一に生じているものとする。
(3)式より、細管5の中央部の圧力PHすなわち
供給路6内の圧力は PH=1/2(PA+PB)+1/2ρ(vp 2−v2) と書ける。流量一定の条件から v=Sp/Svp=Cvp を代入すると PH=1/2(PA+PB)+1/2ρ(1−C2)vp 2 ……(4) となる。
(4)式より、供給路6での圧力PHは、上記Cの
値を適当に設定することにより0もしくは、非常
に微小な値にできることがわかる。
本発明はこのような原理を利用することによつ
て、液体供給管の動きによる液体の圧力変動を減
少させる流体供給素子を提供するものである。
第6図は、第5図の構成の流体供給素子7を第
4図に液体供給配管方式に適用した状態を示すも
のである。
インク供給源に連結された、供給管11は分岐
点10より左右に分岐され、それぞれU字状に折
りまげられた供給管8および供給管9と連通して
いる。また、供給管8および供給管9は、第5図
で示された構造の流体供給素子の第1の液体通路
3および第2の液体通路4に連結されており、さ
らにヘツド1への液体供給は、供給路6に連結さ
れた供給管12によつてなされる。
このような供給配管方式において、ヘツド1お
よび流体供給素子7が左右に移動する場合を考え
る。簡単のためにヘツド1および流体素子7が、
左端で折り返す時のみを考えると、供給管8、供
給管9および流体供給素子7内では、左向きの液
体流動が生じる。また第1の液体通路3内の圧力
PAは、供給管8内の液体の慣性力によつて正の
値になり、第2の液体通路4内の圧力PBは、供
給管9の液体の慣性力により負の値を示すように
なる。そして供給管8および9と第1の液体通路
3、第2の液体通路4の断面積が等しいとすれば
これらの関係は、前述のように(4)式で表わされる
ため、Cの値を適当に設定し、PHを小さな値に
なるようにすれば、第6図で示された供給配管方
式における圧力変動をヘツド1に伝搬させないよ
うにすることができる。
実際の実験結果でも、(4)式から想定されるごと
く、Cの値を大きくしてゆくと、PH、すなわち、
ヘツド1に伝搬される圧力変動が急激に減少する
ことが確認された。(4)式の1/2ρ(1−C2)v2は、 Cに関する2次式であるので、Cを1より増大し
てゆくと1/2ρ(1−C2)v2の値は加速度的に減少 してゆく。実験においても、Cが約3より大にな
ると、ヘツド1に伝搬される圧力変動が急激に減
少することが分つた。
なお、Cは、原理説明の関係上、第1の液体通
路3(あるいは、第2の液体通路4)と、細管5
の内部断面積の比で表現したが、実際には、液体
供給管内の流動速度と、細管5における供給路6
近傍の流動速度が問題であり、Cは液体供給管の
断面積と細管5の供給路6近傍における面積との
比として定義されるべきものである。
次に細管5による流動抵抗係数kについて考え
てみると、kの値によつて、圧力成分PA,PB
速度成分vp,vの大きさに変化が生じると想定さ
れる。したがつて kの値についても、ヘツド1
に伝搬される圧力PHを低下させるための考慮が
必要である。しかしながら、kの値は、細管5の
断面積Sおよび、長さlに関して k∝ηl/S (但しηは液体の粘性係数) と表わされるため、前記Cの値と独立にその値を
決定できる。したがつて、kは、流体素子7の構
成のための絶対的に制約されるべき範囲はなく、
あくまで、前記Cの値に対応して決定されるべき
ものと考えられる。
次に液体の密度ρについて考えてみると、(4)式
からは、ρの値が大きい程、1/2ρ(1−C2)vp 2 の値に影響する程度が大きいため、ヘツド1に伝
搬される圧力PHの低減に関する効果に対しても
影響すると考えられるが、通常使用される液体噴
射装置用の液体に関し、密度ρを大きな範囲で変
化させることは不可能であり、せいぜい0.5〜2
の範囲に収まり、それを越えることは考えられな
い。したがつて、液体の密度ρに関しても、ヘツ
ド1に伝搬される圧力PHの低減に関する、必須
な構成要因ではない。
次に供給路6について考える。(4)式の関係式で
は、第5図における液体の流動は、図における左
右方向にのみ生じるとした。しかし実際には、供
給路6の形状によつては、細管5と供給管6の連
結部分において、流動に曲りが生じ、供給路6内
にも流動が生じ、ヘツド1に伝搬される圧力PH
を減少させることが困難となる場合がある。
実験結果によると、供給路6の細管5との連結
部分の面積をSHとすると、SHは小さい程良く SH/S2 ……(6) が適当であることが分つた。
以上詳細に説明したように、第5図において、
C=Sp/Sを1以上の値とすることによつて、圧
力変動の少ない液体をヘツドに供給することがで
きるが、さらに実用的な面から考えると、第5図
の構成は改善され得るべき点がある。
そのうちの1つは、(5)式のkに関するものであ
る。(4)式から分るように、より効果の高い流体素
子を実現するためには、Cの値をより大きな値に
する必要が生じる。すなわち、細管5の断面積を
非常に小さくするか、あるいは、液体供給管の断
面積を非常に大きくする必要がある。
実用的な面から見ると、液体供給管の断面積を
大きくすると、ヘツドの走査のなめらかさや供給
管を折れ曲り可能なものとするための材質の選択
等に困難があり、装置の小型化という面からも細
管5の断面積を小さくする方が好ましい。一方、
kの値は細管5の半径の自乗に反比例するため、
細管5の断面積を小さくするとkの値が大きくな
る傾向にある。kの値の影響については、一つは
ヘツドに伝搬される圧力変動に関するがその他に
も、液体のヘツドへの供給量に関して考慮が必要
である。すなわち、インク供給源からヘツドには
ある一定量以上の液体を供給する必要があるが、
kの値が大であると、インク供給源とヘツド近傍
に相当大きな圧力差が必要となる。このような圧
力差が必要であることは、液体噴射装置の構成に
もよるが、一般的には実用上困難な点が多く、特
にインク・オン、デマンド型と呼ばれている液体
噴射装置では、液滴の吐出が不可能となる。した
がつて、性能的にも、実用的にも、優れた流体供
給素子を提供するには、Cが大であり、かつkの
小さな構造が要求される。すなわち、細管5の径
を小さくし、細管の長さlを小さくすることが必
要である。ここで問題となることは、細管の長さ
lを小さくする必要があるため、供給路6の断面
積を大きくとれなくなることである。さらに供給
路6の断面積が小であると、供給路6での流動抵
抗が大きくなることがあきらかであり、結局、液
体の供給量に関して問題が生じる。
本発明は、このような欠点を改良し、前記Cが
大であり、かつkの小さな流体供給素子を容易に
実現させることを目的とする。
以下、第8図を用いてその一実施例に従つて説
明を行う。
開口23,24をそれぞれ有する液室17,1
8が、互いに一定の間隔をもつて対向した2つの
ノズル板26,27によつて分割されており、か
つ、2つの液室17,18が互いに一直線上にあ
るオリフイス21,22によつて、ノズル板2
6,27により形成される液層19を介して連結
されており、この液層19は、開口25を有する
液室20に連通している。
第8図から容易に想定されるごとく、第5図に
おける、液体通路3および4は、液室17,18
に、細管5はオリフイス21および22に、また
供給路6は、液層19にそれぞれ対応している。
したがつて、第5図において成立した(3)式および
(4)式が第8図においても成立する。
第8図においては、(3)式に示すkの値をオリフ
イス21,22の形状を変更することなく、ノズ
ル板26,27の厚みを小とすることによつて容
易に小さくすることが可能であり、また、液体の
流動方向のオリフイス21,22近傍での曲りの
影響を少なくすることも、ノズル板26,27の
間隔を調整することによつて、液層19の幅を制
御すれば容易である。しかもこの場合、液室17
および18から液室20への液体供給がオリフイ
ス21,22より円周方向になされるため、液層
19の幅を狭くした場合にも、供給量に関する問
題が生じない。なお、液室23,24,25の内
容積は特に規制されず、たとえば開口23,2
4,25と同一断面積のものでも良いが、上記開
口に接続される供給管の断面積に比較して大きい
程、容量的なダンパーとして、圧力変動を低下さ
せる効果が期待できる。さらに述べると、液室2
0の形状は環状であり、その内容積が大であると
その効果が増大する。
また、流体素子の性能を均一化するため、液層
19の幅を精度よく構成したい場合には、ノズル
板26,27の間に一定の厚みのスペーサを入れ
て組立てることも有益である。
また、第8図では、オリフイスの数が1対(オ
リフイス21及び22)だけであるが、複数個の
オリフイスを設けることも可能である。
以上詳細な説明のように、第8図に示したよう
に構成することにより容易に高性能な流体素子を
提供するものである。
次に、第8図の構成の流体供給素子を利用した
具体例について述べる。
第7図は特開昭48−9622に記載されている、い
わゆるインク・オン・デマンド方式のインクジエ
ツト記録ヘツドの断面図であり、インクジエツト
記録ヘツド内のインク室が、吐出口13に隣接し
ていて、かつ液状インクの流入通路28と直接に
結合している外方の室29と圧力上昇を生じさせ
る装置30を有している内方の室31に分割され
ており、これらの両方の室が吐出口13と一直線
上ある結合通路32を介して互いに結合されてお
り、電気信号に応じて微小インク液滴を吐出、停
止させるものである。
ここでは、第7図の動作原理についての詳細な
説明を省略するが、このような液体噴射装置にお
いては、電気信号が印加されていない時には、液
体が吐出口13に生じる液体のメニスカスによる
表面張力によつて保たれている。その表面張力に
よる保持力ΔPは、吐出口13が円形で、その半
径をrとすると、 ΔP=2T/rcosθ と書ける。但し、ΔPは圧力単位であり、Tは液
体の表面張力、θは液体と吐出口の接触角であ
る。ここで、r=25μm、θ=0、T=40dyn/
cmの時を考えると、 ΔP≒0.033Kg/cm2 となる。この値は、インクジエツト記録ヘツド内
に充填されている液体の圧力変動の許される上限
値を示していることが明らかであり、このインク
ジエツト記録ヘツドを駆動させるためには、かな
らず守らなければならない範囲を示す値である。
ところが、第1図あるいは、第3図のような構
成の液体供給系において、上記インクジエツト記
録ヘツドを移動させた場合、すなわち、流入通路
14に連結されたインク供給管を第1図あるいは
第3図のような形状に配置した場合、圧力変動を
0.033Kg/cm2以下に保つことは、非常に困難であ
つた。
すなわち、第1図あるいは、第3図にような従
来構成の液体供給系では、インクジエツト記録ヘ
ツドの移動速度を約30cm/S以下程度に留めなけ
れば圧力変動の大きさを許容範囲に納めることが
できず、それ以上の移動速度では、吐出口13に
生じるメニスカスが破壊され、インクの吐出ある
いはインクジエツト記録ヘツド内への気泡の混入
等が生じ、記録特性に悪影響を及ぼす。
第7図のインクジエツト記録ヘツドのインク液
滴の吐出特性は、約20000個/Sの性能をもつて
おり、例えば6dot/mmの画像を形成したい場合に
は、インクジエツト記録ヘツドと、記録媒体の相
対速度が、3.33m/Sまで可能である。
したがつて、前記のように、インクジエツト記
録ヘツドの移動速度を約30cm/S以下に留めるこ
とは、このインクジエツト記録ヘツドのもつ性能
の約1/10以下の記録速度で使用することになる。
一方、第7図に示すインクジエツト記録ヘツド
を第6図の液体供給系に採用し、かつ流体素子7
として第8図の構成のものを使用した場合、すな
わち、供給管8および9が開口23および24に
連結されており、供給管12は、一端を開口25
に他端を流入通路28にそれぞれ連通しており、
供給管8および9の内径を約1mmオリフイス2
1,22の径を約0.2mm、液層19の幅を約0.08
mmに設定した場合には、インクジエツト記録ヘツ
ドの移動速度を大幅に上昇でき約2.5m/Sまで
の走査速度が可能となつた。第9図は第8図で示
されるような流体供給素子7を用いた他の液体供
給系の構成例を示し、第8図で示された流体供給
素子7の開口23および24のいずれか一方が、
液体供給源に連通している供給管15に連結され
ており、他方が、他端が閉塞した液体貯蔵管16
に連結されている。また開口25は、ヘツド1に
連結されている。液体貯蔵管16は、ヘツド1が
左端、あるいは右端で折り返す時に流体素子7内
にインクの流動が生じるように、内部の流体の流
動が可能な構成となつている。たとえば、液体貯
蔵管16の一部分には、液体の充満されない中空
部14が形成されており、ヘツド1が左端あるい
は右端で折り返す時に、中空部14が伸縮するこ
とによつて、流体供給素子7内にインクの流動が
生じさせられる。その他、内部の液体を流動とす
る方法として液体貯蔵管16の材質をやわらかい
ものにすることも考えられる。
第9図にような構成の液体供給系では、供給管
15内の液体の慣性力による圧力変動を、第6図
における場合とほぼ同様に低減させることができ
る。
第9図において、ヘツド1が右端に位置した場
合を考えると、この時に生じる圧力変動は、ヘツ
ド1より右側の供給管15内の液体と、液体貯蔵
管16内の液体の慣性力に基因する。したがつ
て、この2つの慣性力をバランスさせることによ
り、圧力変動を微少なものとすることができる。
ヘツド1が右端に位置した時の、ヘツド1と供給
管15の右端との距離は容易に小さなものとする
ことができるため、前記慣性力のバランスをとる
手段としては、このヘツド1と供給管15の右端
との距離を調整する方法も可能であり、また、液
体貯蔵管16の形状、および内部の液体の容積を
調整する方法も可能である。
次に第9図において、ヘツド1が左端に位置し
た場合を考えると、供給管15内の液体の慣性力
は液体貯蔵管16内の液体が流動可能であるため
に、流体供給素子内の圧力変動及び液体の流動に
変換される。流体供給素子7内の圧力変動と液体
の流動速度は、液体貯蔵管16の特性及び液体供
給素子7の形状等によつて異なるが、原理的に
は、第6図における説明と全く同様であり、適切
な条件を選択することにより、ヘツド1に伝搬さ
れる圧力変動を0または微小な値とすることがで
きるものである。
なお、第9図の構成では、液体供給源を変動の
ある圧力源に置きかえると、ヘツド1に出力され
る圧力が変動の少ないものになる効果をもつこと
が容易に想定される。すなわち、前記説明では、
液体供給源は一定の静圧力を保つており、液体供
給管の移動により圧力変動が生じると仮定した
が、この圧力変動は、液体供給管の移動が原因と
なるものでなく、元来液体供給源に存在するもの
と仮定をしても、前記流体供給素子の効果が減少
することはない。このように、第8図に示す流体
供給素子は、単なる圧力変動除去装置としての用
途にも使用可能なものである。
以上詳細な説明のごとく、本発明は少なくとも
1つの開口を有する2つの室が、互いに対向した
2つの板によつて分割されており、かつ、この2
つの板に穿孔された少なくとも1対のオリフイス
によつて、この2つの板により形成されるすき間
を介して連結されており、そのすき間が、オリフ
イスを除く、少なくとも1つの開口に連通してい
ることを特徴とする流体供給素子であり、ヘツド
の移動に伴なつて生じる液体の圧力変動の影響を
減少させることができ、安定して高速記録が可能
な液体噴射装置が実現できるものである。
さらに、上記すき間が、環状の室を介して少な
くとも1つの開口に連通している構造を採用する
ことおよび上記2つの板が一定の厚みを有するス
ペーサを介して対向している構造を採用すること
はきわめて有用である。
また、該流体供給素子を使用する方法としては
上記2つの室の開口が液体供給源に連結されてお
り、上記すき間に連通した開口が、液体噴射装置
に連結されている構成や、また上記2つの室の一
方の室の開口が液体供給源に連結されており、他
方の室の開口が、内部液体の流動が可能である液
体貯蔵室に連結されており、該すき間を連通した
該開口が液体噴射装置に連結されている構成等、
種々の利用方法があり、広範囲な用途を有してい
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の液体噴射装置の構成図、第2
図は、第1図の装置における圧力変動の様子を示
す図、第3図、第4図は、従来の液体噴射装置の
他の構成図、第5図は液体噴射装置における液体
供給素子の原理説明図、第6図は液体供給素子を
備えた液体噴射装置の構成図、第7図はインクジ
エツト記録ヘツドの断面図、第8図は本発明の液
体供給素子の断面構成図、第9図は本発明の液体
供給素子を備えた他の液体噴射装置の構成図であ
る。 1……ヘツド、2……液体供給管、3……第1
の液体通路、4……第2の液体通路、5……細
管、6……供給路、7……流体素子、8,9……
供給管、10……分岐点、11,12……供給
管、13……吐出口、14……中空部、15……
供給管、16……液体貯蔵管、17,18,20
……液室、19……液層、21,22……オリフ
イス、23,24,25……開口、26,27…
…ノズル板、28……流入通路、29……外方の
室、30……圧力上昇を生じさせる装置、31…
…内方の室、32……結合通路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 少なくとも1つの開口を有する第1及び第2
    の液室が、互いに対向した2つの板によつて分割
    形成されており、前記2つの板に穿孔された少な
    くとも1対のオリフイスを有し、前記オリフイス
    と前記2つの板の間に形成される間隙とを介して
    前記第1及び第2の液室が連結されており、前記
    間隙がオリフイス以外の少なくとも1つの開口に
    連通されていることを特徴とする流体供給素子。 2 上記間隙が、環状の第3の液室を介して、少
    なくとも1つの開口に連通されていることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の流体供給素
    子。 3 上記2つの板が、一定の厚みを有するスペー
    サを介して対向していることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の流体供給素子。
JP56007724A 1981-01-20 1981-01-20 Fluid supplying element Granted JPS57120482A (en)

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JP56007724A JPS57120482A (en) 1981-01-20 1981-01-20 Fluid supplying element
EP82300281A EP0056735B1 (en) 1981-01-20 1982-01-19 Device for feeding constant pressure fluid
DE8282300281T DE3270198D1 (en) 1981-01-20 1982-01-19 Device for feeding constant pressure fluid
US06/340,811 US4422086A (en) 1981-01-20 1982-01-19 Device for feeding constant pressure fluid

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