JPS6345384A - エツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔発明ｑ）属する技術分野〕 本発明を；、実機を構成している金属部材り組織検査を
するために該部材を非破壊的にエツチングする装置、特
に腐食液の除去処理が容易でかつ金属部へ（対する適切
な１′千′グを行うことができる装置構成に関する。 〔従来技術とその問題点〕 金属部材σ）金属組織に対して該部材から試料を切り出
すことなく行う非破壊検査は、従来、前記部材σ）被検
面について研磨、鏡面バフ仕上げをｊ頁次行い、さらに
以下に説明する方法σ）うちｑ）いずれかｆ）方法でエ
ツチングして得られたエツチング面を、直接携帯用顕微
鏡で観察するか、またはエツチング面からレプリカを作
成してこれを顕微鏡で観察するかして行れている。上述
した従来のエツチング方法は次σ】通りである。 （１）検査対象部材（以後これを被検物ということがあ
る）＋７′）被検面にエツチング用腐食液を所定時間滴
下する第１方法。 （２腐食液を脱脂ＭＶｃ含ませて被検面を所定時間σ）
間繰り返して拭う第２方法。 （３）万年組状をした電解エツチング装置を用いる第３
方法。 上記第１方法は、たとえば、ＣｒＭｏＶジｔｉｖｃおけ
ろ炭火物析出状態を観察する場合に、腐食液とじ℃飽和
ピクリン酸アルコール溶液を５〜８分間滴下し℃エツチ
ングを行うというような方法であるが、こＤ場合腐食液
が被検面の周囲にも広く広がって彼検面以外ｑ〕検査に
不必要な部分まで腐食させるという問題がある。またエ
ツチングを行った後、被検面の洗浄、残存腐食液に対す
る中和処理、被検面０乾燥ならびに研磨等を行って充分
腐食液を除去する必要があるが、こり〕場合腐食液が広
範囲に広力；るので上記腐食液除去作業が大変面倒であ
るという問題もある。特に被検物が他部材に当接しく（
・てこり）当接部に腐食液がし入こんだような場合、上
記り問題は−Ｎ卵著である。 上記第２方法によれば、被検物の腐食範囲が必要な範囲
ｖｃ’７”ｌみ限定されて、第１方法におげろよりも狭
くなることは明らかである。故にこの方法には、エツチ
ングが所要部σ〕みで行われて、腐食Ｑ　ｒｒ）除去作
業が容易であるという利点があるが、一方脱脂綿で被検
面を繰り返し℃拭うので、金属組織における凹凸が（ず
れて該組織が不鮮明になり、エン千ング面の子細な観察
ができないという問題がある。 上記第３方法は、金ｐ″に４裂円筒の先端に電解液をし
み込ませたフェノレトまたｉヱ悦月旨綿を設け、こりう
フェルトまたは脱脂綿と金属円筒先端とを共ｒζ７．キ
検物に当接させた状態で、フェルトまたに脱脂１．′８
の金属円筒内にある部分に箋触させた２喰と金属円筒間
に電圧を印加してエツチングを行うようにしたもので、
この方法によれば、腐食αとして′７）電解液が被検物
に接触する範囲がフェルトまたは脱脂綿の接触範囲に限
られるので、電解液の除去が楽に行える利点がある。し
かしながら、この方法には、金属組織の形状をくずさな
いように被検物をエツチングして該組織を鮮明にすると
いうエツチングｆ）目的ＶＣ適合した腐食族を電解液と
して用いることができないことがあるので、枝検物σ〕
材料の種類が限定されるという問題がある。またこσ）
方法には、通常、電解電流σ〕密度が金属組Ｑにおけろ
割れなどＤ欠陥部の縁で大体くなって、この部分ケ）溶
解が他１ｌｒ）部分よりも促進されるび）で、正 前記欠陥部σ〕形状が不明瞭になっ′Ｃ尋しい金属組織
の観察ができないことがあるという問題もある。 〔発明の目的〕 本発明は、上述したような従来σ】エツチング方法に１
６ける問題を解消し１、腐食液の除去処理が容易でかつ
金属組織に対する適切なエツチングを金属材料１７種類
を限定することな（行うことができる、金属材料製実機
部材に対する非破壊的エツチング装置を提供することを
目的とする。 〔発明の要点〕 本発明は、上記目的達成ｆ）ため、有底筒体の底部に開
口部を設け、さら娑１０部を筒体の内側から開閉する弁
体とこσ）弁体を筒体グ）外側から操作する弁操作機構
とを設けてエツチング装置を構成し、そＱ〕うえで、前
記筒体内に腐食液を入れた状態で開口部を金属材料製被
検物の被検面に押し付ｒＩ″、こＪ）状態で弁操作機構
により開口部を所定時間開いて腐食液を被検面ＶＣ接触
させ″′Ｃ破検面のエツチングを行うようにしたもので
ある。そうして、またこり）ようなエツチング装置にお
いて、上記のよ５ＶＣして開口部を開いた時被検物と開
口部との当接部分から１ｚ食液が被検面外に漏出しない
ようにするシール部材を開口部に設けたものである。 そうして、このように構成すると、シール部材のため［
腐食液が広（被検物に接触することが防止され、また被
検物は腐食液

【よつ℃金属組織がくずれろことなく自然
ｖｃｇ食され、さらに腐食液は被検物０材質に応じた適
正なものを自由ＶＣ選定することができろσ）で、こび
）剣果、被検物エツチング後の１腐食液の除去作業が容
易でかつ金属組織して対する適切なエツチングを金属材
料の種類を限定することなく行うことができる非破壊的
検査装置が得られるようにしたものである。 〔発明Ｉ）実施例〕 第１図は本発明の一実施例の縦断側面図である。 第１図ておい′Ｃ１は腐食ｇ、２を導入するようにした
有底筒体で、こＤ筒体の底！１１１　ａ［は内つｎが円
錐状に形成された円形貫通孔３が設けられている。 ４　＋＝円まζ状側面４ａを有する円柱状弁体、５にそ
σ〕軸軸心弁体４　ｑＩ軸軸心一致するようにしニ一端
が弁体４に固定され他端が筒体ｌの天井板１ｂを貫通さ
せられた駆動棒で、弁体４は、駆動棒５によって上下さ
せると、貫通孔３における円錐状内面３ａを弁座として
貫通孔３を開閉するようになっている。換言すれば、弁
体ｆｉｌ１面４ａが貫通孔内面３３［当接すると貫通孔
３が閉じられ、両面４ａと３ａとが引き離されると貫通
孔３が開くようになつ℃いる。６は駆動棒５が天井板１
ｂを貫通する部分に設けたＯリングで、こグ１０１ング
６は駆動棒５と天井板１ｂとｑ〕間に液密を形成しつつ
駆動棒５を上’ＦＫ動かせるようにするためｖｃ設けら
れている。７は筒体１内に腐食液２を注入するために天
井板１ｂに設けた腐食液注入口である。 １７に天井板１ｂから突出させられた駆動棒５の端部に
設けた把手で、１８は駆動棒５と把手１７とからなる弁
操作機構である。操作後横１８では把手１７をもつ工も
ＩｊｆＪ障５を上下させると弁体４してより）１コ再孔
３を開閉することができろ１７】で、こグ）磯・ｇｔｓ
＋＝弁体４を筒体ｌの外側から操作しうる機構である。 ８はそσ〕軸方向に着口されたリング状の永久磁石、９
は筒体底部１３に対向配置された永久磁石８と該底部１
ａとの間に介在させられた、底部に貫通孔を有する有底
円筒状の弾性部材で、この部材９はたとえばスポンジ状
に形成されている。そうしてこの部材９の底部外面ｖｃ
は磁石８が接着、固定され、またこの部材９の内部には
底部１ａが嵌挿され℃こり）底部１ａと部材９との間も
接着剤で固定されている。１０は上記び〕ようにして接
着された底部１ａと弾性部材９と永久磁石８とを一括し
て被うようにしたゴム被覆で、１１は貫通孔３およびそ
の近傍の底ｅｔａと弾性部材９と永久磁石８とからなる
開口部である。１２はエツチングの対象となる磁性材料
製被検物である。 第１図では各部が上記のように構成され℃いるので、こ
のようなエツチング装置を用いて被検物１２グ）エツチ
ングを行う時は次のようにする。すなわち、まず開口部
１１を被検物１２に対向、乞近させる。すると永久磁石
８のためｖｃ開口部１１が被検物１２に吸引されて該被
検物１２に当接する。ところがこの場合開口部１１の被
検物１２に当接イろ部分を工ゴム披横１０で形成されて
いるケ）で、こり〕ゴム彼ＮｔＯが被検物１２に密着し
てこ二π液′缶載子”４が；杉す又される。こり】液密
機（廊σ）液密性は筒体ｌを手で被検物１２に押し付け
るようにすることによって光分推持される。次に弁体４
によつ１貫通孔３、換言すれば開口部１１を塞いだ伏叩
で腐食液注入ロアからり食α２を筒体１内に注入する。 ′２Ａ食液２は開口どδ１１を被検物１２に当接させる
＠て予め筒体ｌ内に注入されていてもよい。次に弁体４
によって開口ｉｔｔを開く。すると腐食α２が被検物１
２σ〕彼検面１２ａに接触してエツチングが開始される
。この時被検閲１２ａに接触した腐實孜２がゴム被覆ｌ
Ｏと被検物１２とグ）名望面を通して被検閲１２３外に
しみ出さないよって永久磁石８０〕起磁力や奮え准２の
量などカロ）１．定され℃いる。したがって、ゴム被１
１Ｏはｊ食碩２７）；、々倹：ｆｆ１１２ａ外ヘゲ）こ
１出を防止するシールｆｕ材′ｒ１咋用を失しているこ
とになる。また弁体４　ｉｃ　；つ″Ｃ真ロｒ：ｊ　ｔ
　ｔウ−開かれた時、たとえば腐食・ｙ、２つ一コムモ
、鷹１つＴ〕内’Ｊ’ｊ　’でまわりこんだ後底部１ａ
と弾性部材９との間等を通って筒体１外にしみ出すこと
η）ないように要部が構成され又いる。腐食液２が被検
閲１２３［接触している時間が所定時間を経過すると弁
体４ｖＣよって開口３３１１を閉じ、しかる後口７）エ
ツチング装置を被検物１２から引き離す。そうＬ℃直ち
に核検面１２ａｖＣ残留している腐食数２を充分に除去
する。この時エツチングされた面の状態をくずさないよ
うに注意する。そうしてこの面ｖｃ対する組織観察を実
行する。 第１図に示したエツチング装置によれば上述のようにし
てエツチングが行わ：ｈる。そうし℃こ０）場合ゴム被
覆１０によって取り囲まれた円形０被検面１２　Ａｏ＋
破Ｓ物１２グ）部分に、腐食Ｊ浅２が接触すること９工
ない。したがってこ７）ようなエツチング装置において
に、エンチングリｆ１後に、腐食α２が残留する被検面
１２ａ０面積が小さいσ〕で、腐食孜の除去作業が［ν
て容易である。またこの場合エツチングは金Ｊ属組、戊
を強制的シてビずすことなく閏食復・こよって自、：３
７こ行われるヴ）で、彼Ｔべよ１２２［対して適切なエ
ツチングが行われることになる。またこＱ］ようなエツ
チング装置では、腐食液２σ）種類を被検物１２’７１
材質に応じて自由に選択しうろことが明白である。すな
わち、こび）ようなエツチング装置によれば被検物１２
ｎ材質が限定されることはない。 第２図はｉｔ図に示したエツチング装置を、人手によら
ず、支持機構１３ＶＣよって支持するようにした場合の
支持態様説明図である。図において、１４は被検物１２
に吸着されるよ５Ｖｃしたマグネットベース、１５は駆
動棒５の筒体天井板ｌｂから突出した部分に嵌めこんだ
コイルスプリングで、１６は一端がマグネットベース１
４ＶＣ固定され他端でコイルスプリング１５を押圧する
よ５ｖｃした保合機構である。支持機構１３は上述グツ
マグネットベース１４とコイルスプリング１５と保合機
構１６とで構成されている。支持機構１３はこＣ〕よう
ＶＣ構成されているび】で、このような支持機構１３に
よりて第１図σ】エツチング装置を支持するようにする
と、手を添えなくてもゴム被覆１０と被検物１２との間
の液密性を維持することができ工、エツチング操作が楽
に行えることになる。 上述力説明におい′Ｃは被検物１２がｍ性材料製である
ものとしたが１本発明におい′Ｃは％被検物１２は必ず
しも磁性材料製である必要はなく、非磁性材料製であっ
ても差し支えないものである。 その場合、第１図のエツチング装置では、エツチングを
行っている時間の聞手操作によって継続して開口部１１
を被検物１２に押し付ける操作が必要である。また第１
図のエツチング装置におい℃永久何方８が必ずしも必要
でないことは上記した所から明らかである。またエツチ
ングを行う際腐食液２を被検面１２ａ外に漏出させない
ようにするシール部材は、本発明においては、上述した
ようなゴム被覆１０以外の構成によって実現されても差
し支えないものである。 〔発明の効果〕 上述したように、本発明におい′″Ｃは、有底筒体の底
部に開口部を設け、さらにこの開口部を筒体の内側から
開閉する弁体とこり）弁体な筒体の外側から操作する弁
操作機構とを設けてエツチング装置を構成し、そグ）う
えで、前記筒体内［腐食液を導入した状態で開口部を金
属材料製被検物の被検面に押し付け、こＱ）状態で弁操
作機構により開口部を所定時間開いて腐食液を被検面に
接触させて該面σ）エツチングを行うようにした。また
こσ〕ようなエツチング装置において、上記Ｑ）ように
し１開ロ部を開いた時被検物と開口部との肖康部分から
腐食液が被検皿外に漏出しないようにするシーも ル部材を開口部に設けろようンガ５だ。このため、本発
明によれば、シール部材０ためＶＣ腐食液が広く被検物
して接触することがなくなり、また被検物は腐食液によ
つ１金属組織がくずれることなく自然に腐食され、さら
に、に食液は被検物σ）材質に応じた過圧なもσ）が自
由に選定されうるＱ〕で、被検物エツチング後１７）ｉ
腐食′ｒＬ１７′）除去作業を極めて容易に行いうる効
果があり、また金属材料Ｑ）種類を限定することな（各
金属材料に対してそれぞれ適切なエツチングを行いうる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断側面図、第２図は第１
図の実施例を機械的に支持する場合グ）支持態様説明図
である。 １・・・・・・筒体、ｌａ・・・・・・底部、２・・・
・・・、腐食液、４・・・・・・弁体、ＩＯ・・・・・
・ゴム被覆、１１・・・・・・開口部、１２・・・・−
・被検物、１２ａ・・・・・・被検面、１８・・・・・
・弁操作機構。 被ａｆ１ 席　　１　　図 箋　　２　　圀

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 底部に開口部が設けられかつ内部に腐食液が導入される
   筒体と、前記開口部を前記筒体の内側から開閉する弁体
   と、前記弁体を前記筒体の外側から操作する弁操作機構
   とを備え、前記開口部を被検物の被検面に押し付けた状
   態で前記弁操作機構により前記開口部を開いて前記筒体
   に導入した前記腐食液で前記被検面をエッチングするも
   のにおいて、前記被検面に押し付けられた前記開口部の
   部分に前記腐食液の前記被検面外への漏出を防止するシ
   ール部材を設けたことを特徴とするエッチング装置。