JPS6343860B2 - - Google Patents
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- JPS6343860B2 JPS6343860B2 JP2203980A JP2203980A JPS6343860B2 JP S6343860 B2 JPS6343860 B2 JP S6343860B2 JP 2203980 A JP2203980 A JP 2203980A JP 2203980 A JP2203980 A JP 2203980A JP S6343860 B2 JPS6343860 B2 JP S6343860B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/04—Manufacture of electrodes or electrode systems of thermionic cathodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱電子放射型陰極に係り、特に電子放
射性物質を高融点金属多孔質体に含浸した含浸型
陰極または電子放射性物質を直接陰極基体に焼結
した焼結型陰極に金属酸化物の保護膜を付着した
真空管製作終了迄の取扱いを容易にする陰極に関
する。
射性物質を高融点金属多孔質体に含浸した含浸型
陰極または電子放射性物質を直接陰極基体に焼結
した焼結型陰極に金属酸化物の保護膜を付着した
真空管製作終了迄の取扱いを容易にする陰極に関
する。
従来、例えば含浸型陰極は高融点金属粉末を焼
結させて、場合によつてはこれに切削加工を施し
て陰極基体とし、これに炭酸バリウム
（BaCO3），炭酸カルシウム（CaCO3），酸化アル
ミニウム（Al2O3）等を主原料とする電子放射性
物質を直接またはあらかじめ焼成しておいたもの
を溶融含浸して作られている。この溶融含浸は例
えば約1600℃で行なわれるため前記の炭酸塩は分
解して化合物や酸化物（BaO，CaO）となつて
おり、この化合物や酸化物は水と反応し易く水酸
化物となる。この水酸化物は低温（数100℃）で
溶融して陰極表面を覆い電子放射に悪影響を及ぼ
すため、できるだけ水と反応しないよう、電子放
射性物質を含浸させた陰極の保管、運搬時には常
に真空または乾燥窒素などの雰囲気に置かれてい
る。しかしこのような保管、運搬は非常に工数や
空間をとり繁雑で、しかも管球への組立時には空
気中の水分に触れることは避けられない。しかも
管球組立時にガスバーナを使用すると、ガスバー
ナから発生する水分を避けることは不可能で、細
心の注意を払つて作業を行なつても特性劣化を来
たし、電子放射特性が良くないばかりでなく、電
子放射特性のバラツキが大きいという欠点を有し
ていた。
結させて、場合によつてはこれに切削加工を施し
て陰極基体とし、これに炭酸バリウム
（BaCO3），炭酸カルシウム（CaCO3），酸化アル
ミニウム（Al2O3）等を主原料とする電子放射性
物質を直接またはあらかじめ焼成しておいたもの
を溶融含浸して作られている。この溶融含浸は例
えば約1600℃で行なわれるため前記の炭酸塩は分
解して化合物や酸化物（BaO，CaO）となつて
おり、この化合物や酸化物は水と反応し易く水酸
化物となる。この水酸化物は低温（数100℃）で
溶融して陰極表面を覆い電子放射に悪影響を及ぼ
すため、できるだけ水と反応しないよう、電子放
射性物質を含浸させた陰極の保管、運搬時には常
に真空または乾燥窒素などの雰囲気に置かれてい
る。しかしこのような保管、運搬は非常に工数や
空間をとり繁雑で、しかも管球への組立時には空
気中の水分に触れることは避けられない。しかも
管球組立時にガスバーナを使用すると、ガスバー
ナから発生する水分を避けることは不可能で、細
心の注意を払つて作業を行なつても特性劣化を来
たし、電子放射特性が良くないばかりでなく、電
子放射特性のバラツキが大きいという欠点を有し
ていた。
本発明は、上記問題点を解決するものであり、
その目的は、電子放射物質と水分との反応で生成
され得る水酸化物による陰極表面に及ぼす悪影響
を防止でき、従来に比して、陰極の保管、運搬及
び管球組立等が容易となる保護膜を有する陰極を
提供するもので、特に、その保護膜の存在自体が
電子放射特性等の障害とならない物質で形成され
た新規の保護膜を具備する熱電子放射型陰極を実
現することにある。即ち本発明の主旨は、前述し
たように陰極の保管、運搬や管球への組立時に、
陰極表面の電子放射性物質が空気中の水分と反応
しないように金属酸化物の保護膜を付着するので
あるが、この保護膜により動作時の電子放射特性
に悪影響を及ぼさないよう、動作時にはこの保護
膜は蒸発しなくなつてしまい、しかも真空管内の
他の構成部部材や陰極の電子放射面に対する浸炭
や酸化を起さず、電子放射特性が良好で、真空管
の特性のバラツキ等を抑えた陰極を実現できる。
その目的は、電子放射物質と水分との反応で生成
され得る水酸化物による陰極表面に及ぼす悪影響
を防止でき、従来に比して、陰極の保管、運搬及
び管球組立等が容易となる保護膜を有する陰極を
提供するもので、特に、その保護膜の存在自体が
電子放射特性等の障害とならない物質で形成され
た新規の保護膜を具備する熱電子放射型陰極を実
現することにある。即ち本発明の主旨は、前述し
たように陰極の保管、運搬や管球への組立時に、
陰極表面の電子放射性物質が空気中の水分と反応
しないように金属酸化物の保護膜を付着するので
あるが、この保護膜により動作時の電子放射特性
に悪影響を及ぼさないよう、動作時にはこの保護
膜は蒸発しなくなつてしまい、しかも真空管内の
他の構成部部材や陰極の電子放射面に対する浸炭
や酸化を起さず、電子放射特性が良好で、真空管
の特性のバラツキ等を抑えた陰極を実現できる。
第１図に上記保護膜を付着する装置の一実施例
を示してある。この装置はいわゆるスパツタによ
り付着する装置で、保護膜の物質として三酸化モ
リブデン（MoO3）を採用している。このMoO3
の性質は常温では固体で795℃位で昇華してしま
うため、この陰極を組み込んだ管球を排気する時
に陰極温度を上げれば（通常、管球の排気時には
分解工程として常に陰極温度を上げるベークアウ
ト時又はカソード活性化時の工程が行なわれる）
途中で蒸発して排気されてしまい、管球の内部に
は存在しなくなる。第１図で１は電子放射性物質
を含浸させた含浸型陰極で陰極筒２と組み合せた
状態で治具３に挿入して、陰極１が露出するよう
に設置し正の電極４に接続する。５は他方の負の
電極でターゲツト６を保持しており、この実施例
ではターゲツトにMoO3の板を使用している。７
は例えばアルゴン（Ar）の不活性ガス雰囲気で、
８は高周波電圧を印加する電源である。この装置
により高周波の高電圧を印加すると、Arガスは
非常に高エネルギーをもつた陽イオンAr+に電離
し、これが電極の負側すなわちMoO3の面に飛び
込み、MoO3がAr+の持つていた高エネルギーを
得て飛び出し、陰極１の表面に付着する。この付
着したMoO3の膜の厚さは高電圧の印加時間にほ
ぼ比例し陰極の表面全面を覆う厚さに付着させれ
ばMoO3は前述の如く常温では固体で反応しない
ため、電子放射性物質を空気中の水分から遮断す
ることになり、真空管動作時には蒸発してしまつ
ており、保護膜が金属酸化物であるから、ベーク
アウト時又はカソード活性化時における保護膜蒸
発除去自体に起因する考慮すべき問題点、即ち、
陰極表面に対して還元剤として作用する遊離炭素
又は炭酸ガスの発生拡散がなく、電子放射面等に
対する浸炭や酸化を防止でき、害を与えない。こ
の実施例では陰極１を陰極筒２と組み合せた状態
で付着する例で説明したが、陰極製作のいずれの
工程でも行なうことができる。しかしできるだけ
空気中の水分と反応しないことを目的とするた
め、電子放射性物質を含浸させた後のできるだけ
早い時期に行なうことが望ましい。
を示してある。この装置はいわゆるスパツタによ
り付着する装置で、保護膜の物質として三酸化モ
リブデン（MoO3）を採用している。このMoO3
の性質は常温では固体で795℃位で昇華してしま
うため、この陰極を組み込んだ管球を排気する時
に陰極温度を上げれば（通常、管球の排気時には
分解工程として常に陰極温度を上げるベークアウ
ト時又はカソード活性化時の工程が行なわれる）
途中で蒸発して排気されてしまい、管球の内部に
は存在しなくなる。第１図で１は電子放射性物質
を含浸させた含浸型陰極で陰極筒２と組み合せた
状態で治具３に挿入して、陰極１が露出するよう
に設置し正の電極４に接続する。５は他方の負の
電極でターゲツト６を保持しており、この実施例
ではターゲツトにMoO3の板を使用している。７
は例えばアルゴン（Ar）の不活性ガス雰囲気で、
８は高周波電圧を印加する電源である。この装置
により高周波の高電圧を印加すると、Arガスは
非常に高エネルギーをもつた陽イオンAr+に電離
し、これが電極の負側すなわちMoO3の面に飛び
込み、MoO3がAr+の持つていた高エネルギーを
得て飛び出し、陰極１の表面に付着する。この付
着したMoO3の膜の厚さは高電圧の印加時間にほ
ぼ比例し陰極の表面全面を覆う厚さに付着させれ
ばMoO3は前述の如く常温では固体で反応しない
ため、電子放射性物質を空気中の水分から遮断す
ることになり、真空管動作時には蒸発してしまつ
ており、保護膜が金属酸化物であるから、ベーク
アウト時又はカソード活性化時における保護膜蒸
発除去自体に起因する考慮すべき問題点、即ち、
陰極表面に対して還元剤として作用する遊離炭素
又は炭酸ガスの発生拡散がなく、電子放射面等に
対する浸炭や酸化を防止でき、害を与えない。こ
の実施例では陰極１を陰極筒２と組み合せた状態
で付着する例で説明したが、陰極製作のいずれの
工程でも行なうことができる。しかしできるだけ
空気中の水分と反応しないことを目的とするた
め、電子放射性物質を含浸させた後のできるだけ
早い時期に行なうことが望ましい。
上記実施例ではMoO3を保護膜として使用した
が、前述したように動作温度以下で蒸発してしま
い真空管に害を及ぼさない物質であれば良く、他
の低融点の金属酸化物でも良い。また上記実施例
では含浸型陰極について説明したが、焼結型陰極
についても同様に行なうことができ、同様の効果
が得られることは言う迄もない。
が、前述したように動作温度以下で蒸発してしま
い真空管に害を及ぼさない物質であれば良く、他
の低融点の金属酸化物でも良い。また上記実施例
では含浸型陰極について説明したが、焼結型陰極
についても同様に行なうことができ、同様の効果
が得られることは言う迄もない。
以上説明したように、本発明によれば、保護膜
を陰極表面に付着し、その保護膜は金属酸化物で
形成されている点に特徴を有すものであるから、
次の効果を奏する。
を陰極表面に付着し、その保護膜は金属酸化物で
形成されている点に特徴を有すものであるから、
次の効果を奏する。
ベークアウト時又はカソード活性化時迄にお
いては、保護膜が水分を遮断して電子放射物質
の変質を防止するので、真空保管や乾燥窒素な
どの雰囲気で陰極を保管する必要がなく、保
管，運搬が非常に容易となり、また組立時にお
いてもガスバーナーから発生する水分を避ける
ことが可能であり、それ故、組立工数の削減に
寄与できる。
いては、保護膜が水分を遮断して電子放射物質
の変質を防止するので、真空保管や乾燥窒素な
どの雰囲気で陰極を保管する必要がなく、保
管，運搬が非常に容易となり、また組立時にお
いてもガスバーナーから発生する水分を避ける
ことが可能であり、それ故、組立工数の削減に
寄与できる。
更に、組立最終過程のベークアウト時又はカ
ソード活性化時においては、陰極加熱により金
属酸化物の保護膜が蒸発除去されるが、例えば
ワツクス又はニトロセルロース等を陰極に含浸
させた場合の問題点（陰極表面等に対して還元
剤として作用する遊離炭素又は炭酸ガスの発生
拡散）がないから、陰極表面の電子放射物質の
変質を惹起させずにそのまま露出でき、従来に
比して電子放射特性の改善及び特性のバラツキ
等を抑制できる。
ソード活性化時においては、陰極加熱により金
属酸化物の保護膜が蒸発除去されるが、例えば
ワツクス又はニトロセルロース等を陰極に含浸
させた場合の問題点（陰極表面等に対して還元
剤として作用する遊離炭素又は炭酸ガスの発生
拡散）がないから、陰極表面の電子放射物質の
変質を惹起させずにそのまま露出でき、従来に
比して電子放射特性の改善及び特性のバラツキ
等を抑制できる。
第１図は本発明による金属酸化物を陰極表面に
付着させる装置の一例の概略断面図である。 １…電子放射性物質を含浸した陰極、４，５…
電極、６…ターゲツト、７…Ar雰囲気、８…電
源。
付着させる装置の一例の概略断面図である。 １…電子放射性物質を含浸した陰極、４，５…
電極、６…ターゲツト、７…Ar雰囲気、８…電
源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 多孔質体に電子放射性物質を含浸した含浸型
陰極、または電子放射性物質を直接陰極基体に焼
結した焼結型陰極において、前記陰極の表面に常
温で固体で加熱により蒸発する金属酸化物の保護
膜を付着したことを特徴とする熱電子放射型陰
極。 ２ 前記金属酸化物は、三酸化モリブデンである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
熱電子放射型陰極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2203980A JPS56118242A (en) | 1980-02-23 | 1980-02-23 | Thermion emission cathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2203980A JPS56118242A (en) | 1980-02-23 | 1980-02-23 | Thermion emission cathode |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56118242A JPS56118242A (en) | 1981-09-17 |
| JPS6343860B2 true JPS6343860B2 (ja) | 1988-09-01 |
Family
ID=12071796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2203980A Granted JPS56118242A (en) | 1980-02-23 | 1980-02-23 | Thermion emission cathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56118242A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0266829A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Sony Corp | 含浸型カソード |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5576538A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-09 | Varian Associates | Dispensing cathode |
-
1980
- 1980-02-23 JP JP2203980A patent/JPS56118242A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5576538A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-09 | Varian Associates | Dispensing cathode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56118242A (en) | 1981-09-17 |
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