JPS6343410U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6343410U JPS6343410U JP13596186U JP13596186U JPS6343410U JP S6343410 U JPS6343410 U JP S6343410U JP 13596186 U JP13596186 U JP 13596186U JP 13596186 U JP13596186 U JP 13596186U JP S6343410 U JPS6343410 U JP S6343410U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- conductive thin
- thin film
- films formed
- parallel strip
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 1
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示し、ａが上面図
、ｂがａのＡ―Ａ線断面図、第２図はうず巻型の
薄膜インダクタを示し、ａのＢ―Ｂ線断面図、第
３図、第４図は第１図に示した薄膜インダクタの
製作工程を順に示し、第３図がそれぞれ上面図、
第４図がそれぞれＡ―Ａ線断面図である。 １：ＣＶＤ酸化膜、４：スルーホール、６，７
：Ａｌ条、８：磁心。
、ｂがａのＡ―Ａ線断面図、第２図はうず巻型の
薄膜インダクタを示し、ａのＢ―Ｂ線断面図、第
３図、第４図は第１図に示した薄膜インダクタの
製作工程を順に示し、第３図がそれぞれ上面図、
第４図がそれぞれＡ―Ａ線断面図である。 １：ＣＶＤ酸化膜、４：スルーホール、６，７
：Ａｌ条、８：磁心。
Claims (1)
- 内部に強磁性材料よりなる磁心を埋設した絶縁
層の一面上に形成された複数の平行帯状導電性薄
膜と、前記絶縁層の他面上に形成された複数の平
行帯状導電性薄膜と、前記絶縁層を貫通する接続
孔内に充填されて絶縁層の一面上の各導電性薄膜
の端部および他面上の各導電性薄膜の端部間をそ
れぞれ接続する導体が螺旋状の１本の導電路をな
すことを特徴とする薄膜インダクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13596186U JPS6343410U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13596186U JPS6343410U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6343410U true JPS6343410U (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=31038636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13596186U Pending JPS6343410U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6343410U (ja) |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP13596186U patent/JPS6343410U/ja active Pending