JPS6342448A - 微粒子カウンタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、空気の清浄度を知るための微粒子カウンター
に関するしのである。

従来の技術 従来、この種の微粒子カウンターは、第４図に示すよう
な構成であった。第４図において、１は微粒子カウンタ
一本体、２は試料空気の吸入ライン、３は光学系微粒子
検出部、４は前記微粒子検出部３の下流側にあって試料
空気を供給するエアポンプ、５は吸入した被測定空気の
一部の微粒子を除去するためのメンブランフィルタ−１
６はこのメンブランフィルタ−５で微粒子を除去し清浄
となった空気を被測定空気のシースエアとして検出部３
に供給するシースエアライン、７は試料空気層を調節す
るための流量調節バルブ、８はその流ｍ調節をチエツク
するための流量計、９は排気ライン、１０は本体１に設
けられた装置内部の冷却空気取入口、１１は冷却空気を
取り入れ、装置外に排出する冷却ファンである。

以上のように構成された微粒子カウンターについて、以
下その動作について説明する。

微粒子を測定しようとする被測定空気は被測定空気吸入
ライン２を介してエアポンプ４により光学系微粒子検出
部３に送られる。またこのとき、吸入された被測定空気
は０．１ミクロンの微粒子を除去するプリーツ型メンブ
ランフィルタ−５で清浄にされ、一部は被測定空気のシ
ースエアとして、やはりエアポンプ４により検出部３に
供給され、残りは排出ライン９から放出される。その放
出吊は、流量計８を見ながら、流量調節バルブ７で調節
される。

またエアポンプ４、光学系微粒子検出部３から発生する
熱は、本体１に設けられた冷却空気取入口１０を通り、
冷却ファン１１により装置内に取り込まれた冷却空気に
より装置外に放出される。

発明が解決しようとする問題点 このような構成では、被測定空気の中に大きなミストが
あった場合、当然検出部３では光学的にその散乱光を捕
え微粒子としてカウントする。どのような微粒Ｉも除去
対象となる半導体工場などでは問題とならないが、食品
や製薬工場など渇水、蒸気等を利用する場所では蒸気や
気泡破裂などに由来するミストｂ微粒子としてカウント
してしまうため、実際の微粒子数より条目の表示がされ
、その結果、真の微粒子汚染度を把握することができな
いという問題があり、またオーバースペックとなってし
まうという大きな問題があった。

本発明は、このような問題点を解決するもので、蒸気や
気泡破裂などに由来するミストを除去できる微粒子カウ
ンターを提供づ′ることを目的とするものである。

問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、微粒子検出部と
、前記微粒子検出部の下流側にあって前記微粒子検出部
に試料空気を供給するためのエアポンプと、前記微粒子
検出部の上流側にあって前記試料空気を加熱する加熱部
と、前記試料空気の昂の調節手段とを有する。

作用 この構成によって、試料空気はまず加熱部で予め加熱さ
れるため蒸気や気泡破裂などに由来するミストは蒸発し
消滅づるか、あるいは核となっている微粒子のみとなり
、エアポンプによって微粒子検出部に供給され微粒子数
がカウントされることとなる。また、そのときの試料空
気の傍は流量調節手段によって調節されることとなる。

実施例 以下本発明の一実施例を第１図および第２図に基づき説
明する。なお従来の構成と同一部分にっいては同一番号
を付し、その詳細な説明は省略する。図において２１は
微粒子検出部の上流側にあって試料空気を熱する加熱器
で、ステンレスチューブ２２の周囲にコイルヒータ２４
を巻き、ざらにそれを断熱材２５を介してカバー２６で
被っである。加熱器２１は断熱性接続具２７を介して被
測定空気吸入ライン２にセットされる。２３は試料空気
の流路である。第３図の回路図において３１は回路全体
のスイッチ、３２は加熱器２１用のスイッチであって、
加熱器２１のＯＮ−〇ＦＦは、エアポンプ４、冷却ファ
ン１１と独立した回路となっている。３３はサーモスイ
ッチである。

次に上記構成における動作について説明する。

第１図、第２図、第３図において、加熱器２１用スイツ
チ３２を“ＯＮ　Ｔ１にずれば、加熱器２１内のコイル
ヒータ２４に電流が流れ、試料空気の流路２３内はサー
モスイッチ３３によって一定温度に保たれる。

このとき、流路２３内を通過する試料空気中の蒸気や気
泡破裂などに由来するミストは蒸発して消滅、あるいは
核となっていた微粒子のみとなり、その後、微粒子検出
部３に供給される。

以上のように本実施例によれば、試料空気の流路内に加
熱器２１を入れ、試料空気を加熱させることで、前記ミ
ストを除去した微粒子のみの計測が可能となる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、微粒子検出部の上流側に
あって試料空気を加熱する加熱部を有することにより、
試料空気中に含まれる蒸気や気泡破裂などに由来するミ
ストを蒸発によって除去でき、その結果、真の微粒子汚
染度を把握することができ、クリーンルーム設計上のオ
ーバースペックも防止でき、その実用的効果は大きい。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例による微粒子カウンターを示
すフローシート、第２図は同加熱器要部の詳細図、第３
図は同実施例の電気回路図、第４図は従来の微粒子カウ
ンターを示すフローシートである。 １・・・微粒子カウンタ一本体　２・・・試料空気吸入
ライン　３・・・微粒子検出部　４・・・エアポンプ　
７・・・流量調節バルブ　８・・・流量計　２１・・・
加熱器　２４・・・コイルヒータ １−−一一株先肱初りンター矛４０ ２−−−−ハル目及込麦ζ入ライン ８−・−ｉ′□訂 ２１−一一一加だ、番 第１図 第２図 、、、３１ 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 微粒子検出部と、前記微粒子検出部の下流側にあって前
   記微粒子検出部に試料空気を供給するためのエアポンプ
   と、前記微粒子検出部の上流側にあって前記試料空気を
   加熱する加熱部と、前記試料空気の間の調節手段とを有
   することを特徴とする微粒子カウンター。