CN107771277A - 凝结颗粒计数器伪计数性能 - Google Patents

Abstract

各个实施方案包括减少基于水的凝结颗粒计数器(CPC)中的伪颗粒计数的方法。方法的一个实施方案包括将水输送至一个或更多个吸液芯中，检测输送至吸液芯中的过量体积的水，将过量体积的水收集到收集储存器中，以及从收集储存器中排出过量体积的水。公开了其他方法和装置。

Description

凝结颗粒计数器伪计数性能

要求优先权

本专利申请要求2015年2月23日提交的美国临时专利申请序列号62/119,558的优先权权益，其在此通过引用全部并入本文。

背景技术

凝结颗粒计数器(CPC)具有排出生长管或吸液芯的工作流体的不同机理。大多数现代CPC依靠重力排出工作流体。然而，随着体积样品流速增加，排入流路的任何工作流体均具有产生气泡的趋势，然后所述气泡生长成被CPC内的光学传感器检测到的大颗粒。由于这些计数在CPC内部产生，而并非由来自受监测环境的实际颗粒所引起，所以内部产生的计数被视为“伪颗粒计数”，并且即使在颗粒计数器对经HEPA过滤的清洁空气进行采样时也会发生。CPC的性能通过规定时间段内的伪计数数目来评估。例如，半导体净室可能要求每小时少于6个伪计数。因此，通常伪计数数目越少，仪器越好。公开的主题公开了减少或消除CPC中伪颗粒计数的技术和设计。

附图说明

图1示出基于水的凝结颗粒计数器(CPC)的一般化截面图；

图2A示出基于水的CPC的截面，所述CPC并入了许多本文中公开的伪颗粒计数减少的实施方案；

图2B示出图2A的基于水的CPC沿剖面A-A的截面；

图2C示出图2A的基于水的CPC沿剖面B-B的截面；

图3A示出图2C的组合样品入口/吸液芯筒部和排水侧舱部的实施方案的等距视图。

图3B示出图2C和图3A的实施方案的排水侧舱部的详细视图；以及

图4A至图4C示出图2A和图2B的吸液芯台的示例性实施方案的多个视图。

具体实施方式

以下描述包括体现所公开主题的说明性实例、设备和装置。在以下描述中，为了说明的目的，叙述了许多具体细节以便提供对本发明主题的各个实施方案的理解。然而，对本领域普通技术人员明显的是，本发明主题的各个实施方案可以在没有这些具体细节的情况下实施。此外，已知的结构、材料和技术没有详细地示出以免使所说明的各个实施方案模糊化。

本文中使用的术语“或”可以解释为包容或排他的含义。此外，尽管下面讨论的各个示例性实施方案集中在通过消除被计为实际颗粒的空水滴或气泡来减少伪颗粒计数的特定方式，但另一些实施方案考虑了电子滤波技术。然而，这些技术均不需作为单一技术应用以减少或消除颗粒计数。在阅读和理解本文提供的公开内容时，本领域普通技术人员容易理解所述技术和实例的多种组合可依次地或以多种组合全部应用。作为对主题的简介，在以下段落中将简要和一般地描述几个实施方案，然后将继续进行参照附图的更详细描述。

所报道的同时期基于水的凝结颗粒计数器(CPC)的计数率通常因伪颗粒计数率而不为净室应用所接受。当前的净室要求(例如在半导体工业中)规定了每小时小于6个计数的严格伪计数率。本文公开的各个实施方案包括经特别开发以减少或消除由水泡或空水滴引起的伪计数(例如，所检测的“颗粒”不包含充当成核点的实际颗粒)的技术和设计。虽然单独讨论了各个实施方案，但这些单独的实施方案并不旨在被视为独立的技术或设计。如上所述，多个部分中的每一者可以是相互关联的，并且每一者可以单独使用或与本文讨论的其他伪计数颗粒减少技术组合使用。

在以下的详细描述中参照附图，所述附图形成伪颗粒减少技术的一部分，并且其中通过说明的方式示出了具体实施方案。可使用其他实施方案，并且例如各种热力学、电学或者物理学改变可以在不脱离本公开内容的范围的情况下进行。因此，以下详细描述应以说明性含义而非限制性含义来理解。

通常，凝结颗粒计数器(也称为凝结核计数器)用于检测受监测环境中的颗粒，所述颗粒太小以至于不能散射足够的光从而通过常规检测技术(例如，光学颗粒计数器中的激光束的光散射)来检测。小颗粒通过在颗粒上形成的凝结液而生长成更大的尺寸。即，各个颗粒充当工作流体的成核点；由仪器的工作流体产生的蒸气凝结到颗粒上以使颗粒更大。在因工作流体的蒸气凝结到颗粒上而实现颗粒的生长之后，CPC以如下方式与光学颗粒计数器类似地运行：然后独立的液滴穿过激光束的聚焦点(或聚焦线)，产生呈散射光形式的闪光。每个闪光被计为一个颗粒。凝结颗粒计数器的科学性和仪器的复杂性取决于使蒸气凝结到颗粒上的技术。当围绕颗粒的蒸气达到特定的过饱和程度时，蒸气开始在颗粒上凝结。过饱和的幅度决定了CPC的最小可检测颗粒尺寸。通常，仪器中的过饱和曲线被严格控制。

尽管存在可用于产生凝结生长的若干方法，但最广泛使用的技术是连续层流法。连续层流CPC具有比其他类型的CPC更精确的温度控制，并且连续层流CPC具有比使用湍流(混合流)的仪器更少的颗粒损失。在层流CPC中，样品被连续地抽吸穿过由蒸气饱和的调节器区域并且样品达到热平衡。接着，样品被抽吸进入发生凝结的区域。相比之下，在基于醇(例如异丙醇或丁醇)的CPC中，调节器区域处在暖温下，并且凝结区域(饱和器)相对更冷。水具有非常高的蒸气扩散率，所以具有冷的凝结区域的基于水的层流CPC在热力学上不工作。在基于水的层流CPC中，调节器区域是冷的，而凝结区域相对更暖。

基于水的CPC相比基于醇的CPC具有一组明显的优点。水无毒、环境友好且易于获得。然而，水也具有一些缺点。通常，水的液体纯度不如购自化学品供应公司的醇那样受到严格控制。水中的杂质可以在“吸液芯”(在下文描述)中积累，并且最终导致吸液芯材料变得失效。为了抵消该杂质影响，经常使用蒸馏水或高纯水。另外，吸液芯经常可由最终用户现场替换。在一些期望存在极低颗粒计数的环境(例如半导体制造设施)中，最终用户可使用专门制备和包装用于正相液相色谱法(normal-phase liquid chromatography，NPLC)的水。NPLC水为具有低的紫外(UV)吸光度的超纯水，其通常通过例如0.2微米(μm)的过滤器过滤，并且包装在经溶剂清洗的琥珀色玻璃瓶中且在惰性气氛如氮气下密封。使用NPLC水可以有助于减少或消除来自可通常存在于水中的污染物(例如离子、颗粒或细菌)的伪颗粒计数。

现参照图1，其示出基于水的凝结颗粒计数器(CPC)的一般化截面图。基于水的CPC100用于监测给定环境(例如半导体制造设施)中的颗粒浓度水平。控制基于水的CPC运行的热力学考虑因素在本领域是已知的，因此将不在本文中非常详细地讨论。

示出基于水的CPC 100包括引导气溶胶样品流103穿过多孔介质109的流路101。多孔介质109也称为吸液芯，并且可包含一种或更多种不同类型的亲水性材料。多孔介质109可包含从样品入口至光学颗粒检测器115(在下文更详细地描述)处或其附近的连续材料。或者，多孔介质109可沿气溶胶样品流103的通路包括不同的区或部。

在该实施方案中，从注水瓶111沿两个水入口通路113向多孔介质109供给液态水。根据基于水的CPC 100的具体设计，水入口通路113的数目可以减少至单一入口通路或者入口通路的数目可以增加。这样的对于水入口通路113实际数目的确定可由本领域普通技术人员根据气溶胶的流速、系统的热力学以及基于水的CPC 100的其他考虑因素来确定。水入口通路113的第一个(最靠近样品入口)紧临基于水的CPC 100的冷调节器部150之前向多孔介质109供给水。水入口通路113的第二个(在第一个的下游)紧临基于水的CPC 100的热生长部170之前供给额外的水。如图1所示，来自样品入口的较小颗粒由于水蒸气凝结到颗粒上而在尺寸上“生长”。大颗粒具有与小颗粒不同且通常更大的散射特征。因此，具有凝结层的较大颗粒105此刻比进入样品入口的较小颗粒更容易被光学颗粒检测器115检测到。

例如，包含气溶胶流的流路中的较大颗粒105穿过由光源117(通常为固态激光二极管)发射的光束121的“聚焦点”。聚焦点通过光学元件119形成，所述光学元件119使由光源117输出的光聚焦(例如聚焦成衍射受限点或一般与光束方向和气溶胶流路方向二者垂直的线)。由较大颗粒105中的每一个独立产生的散射辐射123由光学检测器125检测。较大颗粒105继续离开光学颗粒检测器115并且被过滤器129捕获或者继续进入水分离器143。水分离器143周期地或连续地通过排水泵145排水至排水排出口147。

通过流路101的整体气溶胶流由样品流泵127保持。在图1所示的实施方案中，气溶胶流速通过临界孔口131保持。在另一些实施方案中，可以使用标准孔口或其他类型的流动控制机制。临界孔口经常用于气流采样仪器，因为在跨越孔口保持足够压差的情况下，临界孔口能够保持恒定的流速。样品流泵127可为基于水的CPC 100内部的泵或者可为外部连接的泵。在一些实施方案中，基于水的CPC 100可直接连接至设施内安装的真空供应源(例如，半导体制造设施的真空供应源)。泵排出物141在释放至环境空气之前经过滤以免增加受监测环境的污染水平。

样品流泵127还可提供从样品入口穿过第二气流通路的流，所述第二气流通路包括运输流过滤器135、第二临界孔口137和任选的运输流阀139。如果跨越第二临界孔口的压差不足以保持恒定的压力，则任选的运输流阀139可用于减小总气体流速。

现参照图2A，示出了基于水的CPC 200的截面并且其包括许多本文中公开的伪颗粒计数减少的实施方案。基于水的CPC 200的附加细节参照以下图2B(由剖面线A-A所示)和图2C(由剖面线B-B所示)进行论述。基于水的CPC 200在基本操作上与图1的基于水的CPC100类似地运行。另外，示出基于水的CPC 200包括可移除吸液芯筒201，所述可移除吸液芯筒201可配置成可由最终用户容易地移除。可移除吸液芯筒201包括固定在可移除吸液芯筒201上的吸液芯台203和锥形部分205。与可移除吸液芯筒201相邻的是排水侧舱207，所述排水侧舱207具有形成于其中的排水储存器209。

样品入口(参照下图2B更详细地示出和描述)位于可移除吸液芯筒201的下边缘附近。穿过样品入口到达的气溶胶流中包含的颗粒穿过一个或更多个吸液芯211通过流路213。在图2A至图4C示出的多个视图中，使用三个吸液芯形成流路213。然而，该数目可根据以下因素而改变，所述因素与保持足够低的雷诺数以保持穿过一个或更多个流路213的气溶胶流的层流相关。这样的因素是技术人员已知的，并且包括基于气溶胶流中流体的平均速度和密度、以及流体的动态粘度和运动粘度、和与吸液芯的内部截面相关的特征线性尺寸确定气溶胶流的惯性力与粘性力之比。另外，也可使用具有形成于其中的多个通路(例如通过钻出通路)的单个吸液芯。

吸液芯台203使进入的气溶胶流分开并且包括与吸液芯的数目相等的多个出口通路。在实施方案中，由图2A所示，吸液芯台203具有3个出口通路。如参照图4A至图4C更详细描述的，吸液芯台还提供了吸液芯211安装到其上的物理机械接口。当使用多于一个吸液芯时，在紧临颗粒检测室219之前，合流器215将来自三个气溶胶流的颗粒合并到单个气溶胶流中。颗粒检测室可类似于图1的光学颗粒检测器115。

一个或更多个冷却风扇223减少或消除任何过量的热，所述过量的热在基于水的CPC 200内由例如下文更详细论述的一个或更多个电路板221、以及加热元件和热电器件产生。

类似于参照图1的CPC论述的基本热力学原理，图2A的基于水的CPC 200示出调节器部220、启动器部240和减速器部260。调节器部220被冷却以使在气溶胶流中的颗粒上形成凝结物的过程开始。启动器部240被加热且是基于水的CPC 200中在独立颗粒的每一个上形成凝结物的部分。相对于启动器部240，减速器部260被充分冷却，使得减少或消除进入颗粒检测室219的潮湿空气。注水瓶217提供清洁水(例如NPLC、其他超纯水或蒸馏水)的储存器以保持吸液芯211含水，从而提供流路213中的水蒸气以在颗粒上凝结。然而，过量体积的水或过于快速地向吸液芯211提供的水(例如当以“喷溅流”供应时)均可以促使形成水泡或不含任何颗粒的空液滴。这些情况中的任一者均可导致伪颗粒计数增加。

在一个实施方案中，通过重力进料将来自注水瓶217的水供给至吸液芯211。在另一个实施方案中，通过水泵周期地将来自注水瓶217的水供给至吸液芯211(以下参照图2B描述)。在另一个实施方案中，通过注射器注射布置连续地或周期地将来自注水瓶217的水供给至吸液芯211(未具体示出但技术人员理解)。在另一个实施方案中，可对注水瓶略微加压或用气动或液动柱塞系统(充当一种类型的注射器注射系统)驱动注水瓶。在另一个实施方案中，从水泵或注射器注射系统的类型之一通过脉动抑制器(例如，设计成减少或消除水的体积流量快速增加的储存器)周期地将来自注水瓶217的水供给至吸液芯211。通过连续地(例如通过注射器注射)或周期地(例如利用脉动抑制器机制)供给水，减少或消除了在短时间段内到吸液芯的过量水。在各个实施方案中，可向注水瓶217添加过氧化氢以防止细菌生长。在各个实施方案中，可与添加到注水瓶的过氧化氢分开地或组合地使用对吸液芯的银浸渍或者其他生物抑制剂。类似气溶胶流中的颗粒，水中形成的细菌可以是流路213中成核点的基础。然后，流入颗粒检测室219的细菌上的凝结水将被计为颗粒。因此，细菌也可增加CPC的伪颗粒计数。

现参照图2B，示出了图2A的基于水的CPC 200沿剖面A-A的截面230。截面230更清楚地示出如上文参照图2A所论述的样品入口231和分流器布置233二者。还示出截面230包括热耦接至调节器部220和减速器部260中每一者的热电器件235、热耦接至启动器部240的加热元件237、和与冷却风扇223热连通的散热器239。还示出了第二电路板241和多个水泵243。

继续参照图2B，可移除吸液芯筒201的锥形部分205与分流器布置热接触。在各个实施方案中，可加热锥形部分205以补偿受监测环境的相对湿度的差异。虽然没有具体示出，但是环境温度和露点温度可通过适当的温度测量装置来测定。或者或另外，可使用湿度感测器以测定受监测环境的相对湿度。在各个其他实施方案中，可监测入口露点和出口露点二者。在所有情况下，加热锥形部分205可减少或消除由不同的相对湿度水平产生的影响，所述影响由于升高的相对湿度水平而导致形成气泡或空的水滴。

参照图2C，示出了图2A的基于水的CPC 200沿剖面B-B的截面250。截面250示出了组合样品入口/吸液芯筒部280的示例性位置和排水侧舱207部分的详细视图290。然而，所述部分可位于相对于基于水的CPC 200的其他区域。提供所示出的示例性位置仅是为了容易理解所公开的主题。组合样品入口/吸液芯筒部280和排水侧舱207部分的详细视图290中的每一者在上文参照图2A简要论述。

图3A示出组合样品入口/吸液芯筒部分280的等距视图，以及图3B示出排水侧舱207部分的详细视图290。如其所示，吸液芯211垂直安装在吸液芯台203中并被储水器281围绕。虽然一般而言，储水器收集来自吸液芯211的过量水，但在各个实施方案中，可由储水器281向吸液芯211供给水或者可通过如图1所示的水入口通路113供给。在另一些实施方案中，储水器281和水入口通路113二者的组合可向吸液芯211供给水。在另一些实施方案中，水入口通路113可仅在启动器部240或减速器部260处向吸液芯211供给水，但不是在二者处均向吸液芯211供给水。后一个实施方案可与在储水器281处向吸液芯供给水结合。在另一些实施方案中，可仅在启动器部240或减速器部260处向吸液芯211供给水而不向储水器281供给水。在该实施方案中，储水器281用于捕获将被输送至排水侧舱207的过量水。通常，不管所选择的水输送技术如何，到吸液芯211的输送线中的气泡均应避免以减少或消除在流路213(参见图2A和图2B)中形成的水泡。此外，避免水输送通路内的任何死空气体积。

然而，不管如何向吸液芯211供给水，任何过量的水都应在其于流动穿过流路213(参见图2A和图2B)的气溶胶流中产生水泡或空的水滴之前排干。示出了上文参照图2A简要论述的排水侧舱207包括排气口283、水传感器端口285和排水口287。排气口283通过抽吸空气使得来自储水器281的水更容易排出并且可耦接至例如样品流泵127(图1)或者耦接至安装在基于水的CPC 200内部或外部的另一个泵。

现在参照图3B，示出了包括水传感器端口285的排水侧舱207部分的详细视图290包括水传感器291。当向吸液芯211供给水时，来自吸液芯211的过量水排入储水器281中。当向吸液芯211的供水足够时，水传感器291则提供信号以停止供水。水传感器291可通过电引线电耦接至电路板221、241(分别见图2A和2B)之一以测定何时排水侧舱207中存在水。穿过排气口283的恒定空气流将水从储水器281抽向排水侧舱207。排水侧舱207包括水传感器291，所述水传感器291检测排水器何时被水填充至某预定水平，此时通过单独的泵(图3B中未示出)提取水。

在另一些实施方案中，水传感器可替代地包括温度感测装置(例如热电偶或热敏电阻)或者湿度感测装置以测定何时排水侧舱207中存在水。一旦检测到水，则例如通过螺线管致动的微型泵将水经由排水口287泵出排水侧舱207。在具体的示例性实施方案中，微型泵可以以约50微升/分钟至约200微升/分钟的可变近似流速抽吸水。在另一些实施方案中，微型泵可以以约150微升/分钟的基本恒定的近似流速抽吸水。

图4A示出上文参照图2A和图2B简要描述的吸液芯台203的等距顶视图。示出吸液芯台203提供三个机械支架401，各自对应于三个吸液芯211中的每一个。如上所述，可选择其他数目的吸液芯211，并因此可选择相关机械支架401的数目。三个机械支架401中的每一个包括气溶胶流可穿过其的开口403和多个凹槽405，吸液芯211中的过量水可穿过所述凹槽405至储水器(图3A)。

在示出吸液芯台203的侧视图的图4B中，穿过凹槽405输送的过量水从第一倾斜表面407排出到第二倾斜表面409到达图3A的储水器281。在各个实施方案中，可以只使用单个倾斜表面。此外，倾斜表面可包括弯曲的顶部表面而不是单个平坦表面。在具体的示例性实施方案中，第一倾斜表面407具有从水平面测量的约15度的角度，并且第二倾斜表面409具有从水平面测量的约45度的角度。

图4C示出吸液芯台203的顶视图。虽然示出三个机械支架401中的每一个包括四个凹槽，但技术人员应认识到可使用更多或更少的凹槽。此外，凹槽的尺寸至少部分取决于开口403的尺寸和机械支架401的外径(外径的尺寸确定为适配所选的吸液芯的内径)。

在各个实施方案中，所讨论的任何或所有伪颗粒计数减少的技术可与数字滤波技术结合。在CPC伪颗粒计数减少的背景下，数字滤波是基于一个或更多个观察到的将水泡或水滴与其上形成有凝结水的实际颗粒区分开的现象。例如，脉冲高度分析器或示波器可电耦接至颗粒检测室219中的检测器。产生的脉冲的上升时间和/或形状可用于表征和区分实际颗粒与水泡或空液滴。在一个实施方案中，可将“绝对过滤器”(例如，HEPA或ULPA过滤器)放置在样品入口231上，使得由检测器产生的任何信号均为已知的伪颗粒计数，并因此分析和表征产生的信号。这些信号可以存储在查找表中。在受监测环境中CPC的后续实际使用中，将产生的信号中的每一个与查找表中保存的信号进行比较。将任何与已知伪颗粒的所得信号的特征匹配的信号自动从最终报告的颗粒计数中扣除。

虽然上文论述的各种参数被赋予了具体数值、数值范围和技术，但提供这些数值和技术仅是为了帮助本领域普通技术人员理解本文所公开的设计的某些特征。当阅读并理解了本文中所提供的公开内容时，本领域普通技术人员应认识到：这些数值和技术仅作为实例呈现，并且可采用许多其他数值、数值范围和技术，而仍然受益于本文论述的可用于减少基于水的CPC中的伪计数的新设计。因此，装置的各种说明旨在提供对各种实施方案的结构和设计的一般理解，而不旨在提供对可使用本文中所述的结构、特征和设计的装置的所有元件和特征的完整描述。

当阅读并理解了本文中提供的公开内容时，对本领域普通技术人员明显的是可进行许多修改和变化。除了本文列举的那些之外，在本公开内容范围内的功能上等同的方法和设备将由于前述说明而对本领域普通技术人员是明显的。一些实施方案的部分和特征可包含在另一些实施方案的部分和特征中或被其代替。当阅读并理解了本文中提供的说明时，许多另外的实施方案将对本领域普通技术人员而言是明显的。这样的修改和变化旨在落入所附权利要求的范围内。本公开内容将仅受所述权利要求的条款、以及这些权利要求有权保护的等同方案的全部范围的限制。还应理解，本文使用的术语仅是为了描述特定的实施方案并且不旨在为限制性的。

提供本公开内容的摘要以使读者快速探明本技术性公开内容的性质。摘要按以下理解而提交：其不用于解释或限制权利要求。另外，在前述具体实施方式中，可以看出，为了简化本公开内容，可将多个特征一起组合在单个实施方案中。公开内容的该方法不应理解为限制权利要求。因此，所附权利要求由此并入具体实施方式，各个权利要求作为单独的实施方案保持其独立性。

Claims (20)

1.一种减少基于水的凝结颗粒计数器(CPC)中的伪颗粒计数的方法，所述方法包括：

将水输送至一个或更多个吸液芯中；

检测输送至所述一个或更多个吸液芯中的过量体积的水；

将所述过量体积的水收集到收集储存器中；以及

从所述收集储存器中排出所述过量体积的水。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括将恒定空气流抽吸穿过排气口以排出所述过量体积的水。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括检测何时排水器被水填充至预定水平。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括通过泵送过量水体积来排出所述过量水体积。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括应用数字滤波器以进一步减少伪颗粒计数。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括将检测到的颗粒计数与查找表进行比较以扣除伪颗粒计数。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括通过存储由已知伪颗粒产生的检测信号的特征来构建所述查找表。

8.一种减少基于水的凝结颗粒计数器(CPC)中的伪颗粒计数的系统，所述系统包括：

配置成与样品流泵耦接的气溶胶样品入口；

与所述气溶胶样品入口和所述样品流泵流体连通并布置在所述气溶胶样品入口和所述样品流泵之间的气溶胶流路；

接收水的多个吸液芯，所述多个吸液芯各自包括形成至少一部分所述气溶胶流路的多孔介质；

从所述多个吸液芯收集过量体积的水的收集储存器；以及

提供与所述多个吸液芯中的所述过量体积的水对应的信号的传感器。

9.根据权利要求8所述的系统，还包括耦接至所述收集储存器以移除过量水的排水口。

10.根据权利要求8所述的系统，其中所述多个吸液芯能够由所述CPC的最终用户现场替换。

11.根据权利要求8所述的系统，其中所述传感器检测何时所述收集储存器被水填充至预定水平。

12.根据权利要求8所述的系统，还包括数字滤波器以进一步减少所述伪颗粒计数。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述数字滤波器将检测到的颗粒计数与查找表进行比较以扣除伪颗粒计数。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述查找表包括多个所存储的由已知伪颗粒产生的检测信号的特征。

15.根据权利要求8所述的系统，其中所述多个吸液芯经银浸渍以减少或防止所述多个吸液芯内的细菌生长。

16.根据权利要求8所述的系统，其中所述多个吸液芯经生物抑制剂处理以减少或防止所述多个吸液芯内的细菌生长。

17.根据权利要求8所述的系统，还包括所述多个吸液芯安装到其上的可移除吸液芯筒，所述可移除吸液芯筒配置成经加热以减少或消除由不同的相对湿度水平产生的影响，从而减少或消除由升高的相对湿度水平产生的气泡或空的水滴。

18.一种减少基于水的凝结颗粒计数器(CPC)中的伪颗粒计数的系统，所述系统包括：

配置成耦接至样品流泵的气溶胶样品入口；

与所述气溶胶样品入口和所述样品流泵流体连通并布置在所述气溶胶样品入口和所述样品流泵之间的气溶胶流路；

接收水的单个吸液芯，所述单个吸液芯为具有形成于其中的多个气溶胶流路的多孔介质，所述单个吸液芯形成至少一部分所述气溶胶流路；以及

从所述单个吸液芯收集过量体积的水的收集储存器。

19.根据权利要求18所述的系统，还包括传感器以测定过量体积的水是否被输送至所述单个吸液芯。

20.根据权利要求19所述的系统，其中所述传感器包括：选自包括水传感器、温度感测装置和湿度感测装置的多种类型的传感器中的一种或更多种传感器，所述传感器配置成产生信号以停止输送至所述单个吸液芯的水供应。