JPS6340819A - 流体論理素子式流量計 - Google Patents
流体論理素子式流量計Info
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- JPS6340819A JPS6340819A JP18344586A JP18344586A JPS6340819A JP S6340819 A JPS6340819 A JP S6340819A JP 18344586 A JP18344586 A JP 18344586A JP 18344586 A JP18344586 A JP 18344586A JP S6340819 A JPS6340819 A JP S6340819A
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流体脈流センサ、特に流体論理素子式流量計
、渦流量計による微少流量の計測又は微少風圧などの計
測に用いるための流体脈流センサに関する。
、渦流量計による微少流量の計測又は微少風圧などの計
測に用いるための流体脈流センサに関する。
流体論理素子式流量針は、バイステーブル型の流体論理
素子の内部流路に発生する流体の圧力振動をセンサによ
り検出して流量を計測するものであり、この種流量計と
同様に流体振動をセンサにより検出して流量を計測する
流量計としては渦式流量計などがあり、これら流量計は
流路内の微少流量を検出してデジタル計測することに通
している。
素子の内部流路に発生する流体の圧力振動をセンサによ
り検出して流量を計測するものであり、この種流量計と
同様に流体振動をセンサにより検出して流量を計測する
流量計としては渦式流量計などがあり、これら流量計は
流路内の微少流量を検出してデジタル計測することに通
している。
然しなから、この種流量計に用いるセンサは、流路内部
に配置されるように構成されていた為、又、センサの検
出精度及び感度が劣る為、微少流量領域で流路内に発生
した圧力振動を含む流体の流量を検出することが、困難
であるなどの問題があった。
に配置されるように構成されていた為、又、センサの検
出精度及び感度が劣る為、微少流量領域で流路内に発生
した圧力振動を含む流体の流量を検出することが、困難
であるなどの問題があった。
本発明は、叙上の観点に立ってなされたものであって、
その目的とするところは、流体の圧力振動を高精度かつ
高感度に検出することができ、例えば従来不可能とされ
た微少流量領域で′／Ｒ量を計測する流量検出器に利用
でき、又は微少風圧の計測に利用できる流体脈流センサ
を提供することにある。
その目的とするところは、流体の圧力振動を高精度かつ
高感度に検出することができ、例えば従来不可能とされ
た微少流量領域で′／Ｒ量を計測する流量検出器に利用
でき、又は微少風圧の計測に利用できる流体脈流センサ
を提供することにある。
而して、上記の目的は、可撓性の細長い振動板と、上記
振動板の一面に設けられた圧電フィルムと、上記振動板
に設けられ、上記圧電フィルムに設けた一対の端子から
それぞれ上記振動板の一端部に至る導電路を形成する一
対の導電フィルムと、上記全構成要素のうち少なくとも
導電部を被覆、シールする被膜部材とから成る流体脈流
センサによって達成される。
振動板の一面に設けられた圧電フィルムと、上記振動板
に設けられ、上記圧電フィルムに設けた一対の端子から
それぞれ上記振動板の一端部に至る導電路を形成する一
対の導電フィルムと、上記全構成要素のうち少なくとも
導電部を被覆、シールする被膜部材とから成る流体脈流
センサによって達成される。
叙上の如く構成することにより、上記圧電フィルムによ
り例えば流量検出器の流路内に発生する流体の圧力振動
を高精度かつ高感度に検出することができ、従来不可能
とされていた微少流量領域で流量を計測することができ
る。
り例えば流量検出器の流路内に発生する流体の圧力振動
を高精度かつ高感度に検出することができ、従来不可能
とされていた微少流量領域で流量を計測することができ
る。
以下、図面を参照しつ＼本発明の詳細を具体的に説明す
る。
る。
第１図は本発明にか−る流体脈流センサの一実施例を示
す一部破断断面斜視図、第２図は第１図に示す流体脈流
センサを用いた流体論理素子式流量検出器の一実施例を
示す側面断面図、第３図は第２図に示す矢視Ａ−Ａの断
面図である。
す一部破断断面斜視図、第２図は第１図に示す流体脈流
センサを用いた流体論理素子式流量検出器の一実施例を
示す側面断面図、第３図は第２図に示す矢視Ａ−Ａの断
面図である。
第１図中、１は本発明にか−る流体脈流センサであり、
２は振動板、３は圧電フィルム ４．４は電極板、５．
５は導電フィルム、６．６はリード線、７は取付ラバー
、８．８は被膜部材、９は取付孔である。
２は振動板、３は圧電フィルム ４．４は電極板、５．
５は導電フィルム、６．６はリード線、７は取付ラバー
、８．８は被膜部材、９は取付孔である。
流体脈流センサ１は、板ばねで作られた可撓性の薄く細
長い振動板２を芯とし、振動板２の一面には圧電フィル
ム３を貼付して固定しており、振動板２にはその一端に
至る一対の電極板４．４に圧電フィルム３から導電路を
形成するように一対の導電フィルム５．５を設け、圧電
フィルム３及び導電フィルム５．５を被覆、シールする
テフロンシートなどの被膜部材８．８を設け、一対の電
極板４．４の一端は取付孔９を跨いでリード線６．６に
なるように形成して成るものである。
長い振動板２を芯とし、振動板２の一面には圧電フィル
ム３を貼付して固定しており、振動板２にはその一端に
至る一対の電極板４．４に圧電フィルム３から導電路を
形成するように一対の導電フィルム５．５を設け、圧電
フィルム３及び導電フィルム５．５を被覆、シールする
テフロンシートなどの被膜部材８．８を設け、一対の電
極板４．４の一端は取付孔９を跨いでリード線６．６に
なるように形成して成るものである。
而して、上記の如く構成した流体脈流センサ１は、圧電
性高分子複合体から成る圧電フィルム３を用いたピエゾ
センサであり、例えば振動Ｆｉ、２の先端が流量検出器
の流路内に振動自在に配置されるように流体脈流センサ
１を設けた場合、流体脈流センサ１は流体の圧力振動を
受けた振動板２と共に振動する圧電フィルム３により曲
げ歪を検出し、この検出された電荷を導電フィルム５．
５及び電極板４．４を介してリード線６．６に通じて図
示しない増幅器により増幅してデジタル計数を行えば流
体の圧力振動を電気的に計測し、流量を計測することと
なる。
性高分子複合体から成る圧電フィルム３を用いたピエゾ
センサであり、例えば振動Ｆｉ、２の先端が流量検出器
の流路内に振動自在に配置されるように流体脈流センサ
１を設けた場合、流体脈流センサ１は流体の圧力振動を
受けた振動板２と共に振動する圧電フィルム３により曲
げ歪を検出し、この検出された電荷を導電フィルム５．
５及び電極板４．４を介してリード線６．６に通じて図
示しない増幅器により増幅してデジタル計数を行えば流
体の圧力振動を電気的に計測し、流量を計測することと
なる。
第２図は第１図に示す流体脈流センサ１を用いた流体論
理素子式流量検出器の一実施例を示す側面断面図である
。
理素子式流量検出器の一実施例を示す側面断面図である
。
第２図中、１１は主流路筐体、１２はセンサ筐体、１３
はオリフィス板又はベンチュリー管などの絞り部材、１
４は流体論理素子パターン、１５はマニホールド、１６
は流入口、１７は流出口、１８．１８′は主流路、１９
．１９′は分流路、２０は０リング、２１はセンサ室、
２２はセンサ取付部材、２３はセンサ用蓋体、２４はＯ
リング、２５は空気抜き流路、２６はパツキン、２７は
ねじ、２８．２８はボルトである。
はオリフィス板又はベンチュリー管などの絞り部材、１
４は流体論理素子パターン、１５はマニホールド、１６
は流入口、１７は流出口、１８．１８′は主流路、１９
．１９′は分流路、２０は０リング、２１はセンサ室、
２２はセンサ取付部材、２３はセンサ用蓋体、２４はＯ
リング、２５は空気抜き流路、２６はパツキン、２７は
ねじ、２８．２８はボルトである。
本発明にか＼る流体脈流センサ１を用いた流量検出器に
於ては、主流路筺体１１とセンサ筺体１２とが組み合わ
されており、主流路筐体１１の両端には流入口１６及び
流出口１７が設けられ、流入口１６及び流出口１７には
検出用流体を直接通す配管が接続され、流入口１６及び
流出口１７の中心線に沿った内部には主流路１８．１８
′が設けられ、その中心線の略中間位置には絞り部材１
３が設けられられており、又、主流路筺体１１には絞り
部材１３の上流側及び下流側で主流路１８．１８′から
分岐し、センサ筐体１２側に固定された流体論理素子パ
ターン１４及びマニホールド１５の流路に通じる分流路
１９．１９’が設けられており、又、センサ筺体１２に
は主流路筺体１１との間に流体論理素子パターン１４及
び）ニホールド１５が挾持されてＯリング２０により気
密に流体をシールするように設けられ、センサ室２１に
は流体脈流セッサ１が流体論理素子パターント１の流路
内に発生する流体の圧力振動を検出するように取り付け
られており、又、センサ筐体１２にはセンサ室２１から
連通する空気抜き流路２５が設けられ、上記空気抜き流
路２５端にはパツキン２６及びねじ２７が設けられる。
於ては、主流路筺体１１とセンサ筺体１２とが組み合わ
されており、主流路筐体１１の両端には流入口１６及び
流出口１７が設けられ、流入口１６及び流出口１７には
検出用流体を直接通す配管が接続され、流入口１６及び
流出口１７の中心線に沿った内部には主流路１８．１８
′が設けられ、その中心線の略中間位置には絞り部材１
３が設けられられており、又、主流路筺体１１には絞り
部材１３の上流側及び下流側で主流路１８．１８′から
分岐し、センサ筐体１２側に固定された流体論理素子パ
ターン１４及びマニホールド１５の流路に通じる分流路
１９．１９’が設けられており、又、センサ筺体１２に
は主流路筺体１１との間に流体論理素子パターン１４及
び）ニホールド１５が挾持されてＯリング２０により気
密に流体をシールするように設けられ、センサ室２１に
は流体脈流セッサ１が流体論理素子パターント１の流路
内に発生する流体の圧力振動を検出するように取り付け
られており、又、センサ筐体１２にはセンサ室２１から
連通する空気抜き流路２５が設けられ、上記空気抜き流
路２５端にはパツキン２６及びねじ２７が設けられる。
而して、配管から流入した流体は、流入口１６の主流路
１８に入り、その一部流体は直進して絞り部材１３を通
り流出側の主流路１８′を経て流出口１７へと至り、一
方残りの流体は分流路１９がら流体論理素子を構成する
流体論理素子パターン１４及びマニホールド１５の流路
を通り、流出側の分流路１９’を経て絞り部材１３の流
出側の主流路１８’へと到り、両者流体は合流し流出口
１７から配管へと流出する。
１８に入り、その一部流体は直進して絞り部材１３を通
り流出側の主流路１８′を経て流出口１７へと至り、一
方残りの流体は分流路１９がら流体論理素子を構成する
流体論理素子パターン１４及びマニホールド１５の流路
を通り、流出側の分流路１９’を経て絞り部材１３の流
出側の主流路１８’へと到り、両者流体は合流し流出口
１７から配管へと流出する。
又、このときの主流路側の絞り部材１３と分流路側の流
体論理素子パターン１４及びマニホールド１５から成る
流体論理素子の圧力損失特性はいずれも二乗特性であり
、かつそれらは常に等しいから、全流量域に対して分流
比は一定となるので、流体論理素子パターン１４及びマ
ニホールド１５側を通る流口を計測すればよいこととな
り、例えば、流体論理素子１４．１５側の流量をＱｌと
し、絞り部材１３側の流量をＱ とした場合、合流ｉＱ
は、Ｑ＝Ｑｌ ＋Ｑ２ ＝Ｑ１ （１＋α）＝ｋＱ＋
となる。
体論理素子パターン１４及びマニホールド１５から成る
流体論理素子の圧力損失特性はいずれも二乗特性であり
、かつそれらは常に等しいから、全流量域に対して分流
比は一定となるので、流体論理素子パターン１４及びマ
ニホールド１５側を通る流口を計測すればよいこととな
り、例えば、流体論理素子１４．１５側の流量をＱｌと
し、絞り部材１３側の流量をＱ とした場合、合流ｉＱ
は、Ｑ＝Ｑｌ ＋Ｑ２ ＝Ｑ１ （１＋α）＝ｋＱ＋
となる。
第３図は、第２図に示す矢視Ａ−Ａの断面図であり、第
３図中、１２は前記センサ筺体、２は前記振動板、２３
は前記センサ取付部材、１４は前記流体論理素子パター
ン、１４−１はその流入ボート、１４−２は流出ポート
、１４−３は上記流入ボー） １４−１と流出ポート１
４−２を結ぶ中心線に沿って、かつ流出ポート１４−２
に向かって拡幅されるｖ字状の主流路、１４−４．１４
−４’は上記流入ポート１４−１に近接して上記中心線
に対称に左右対をなして設けられ、かつ主流路１４−３
に接続する一対の制御ポート、１４−５．１４−５は取
付孔である。
３図中、１２は前記センサ筺体、２は前記振動板、２３
は前記センサ取付部材、１４は前記流体論理素子パター
ン、１４−１はその流入ボート、１４−２は流出ポート
、１４−３は上記流入ボー） １４−１と流出ポート１
４−２を結ぶ中心線に沿って、かつ流出ポート１４−２
に向かって拡幅されるｖ字状の主流路、１４−４．１４
−４’は上記流入ポート１４−１に近接して上記中心線
に対称に左右対をなして設けられ、かつ主流路１４−３
に接続する一対の制御ポート、１４−５．１４−５は取
付孔である。
而して、図示されていないがマニホールド１５には上記
主流路１４−３の端部１４−３ｃ 、１４−３ｃ ’を
それぞれ制御ポート１４−４．１４−４’に連通ずる流
路が設けられている。
主流路１４−３の端部１４−３ｃ 、１４−３ｃ ’を
それぞれ制御ポート１４−４．１４−４’に連通ずる流
路が設けられている。
而して、上記流体論理素子パターン１４と前記マニホー
ルド１５とは重ね合わせられてセンサ筐体１２に取り付
けられ、流体論理素子が構成される。
ルド１５とは重ね合わせられてセンサ筐体１２に取り付
けられ、流体論理素子が構成される。
而して、流入ボー） １４−１から流入する流体は、主
流路１４−３に噴出されるときにコアンダ効果により、
主流路１４−３のいずれか一方の壁面に沿って流れ、そ
のため主流路１４−３の両側で圧力の差が生じ、この圧
力差は例えば主流路１４−３の一方の壁面１４−３ａに
沿っての主噴流に対して、他の一方の壁面１４−３ｂ側
からの巻き込む流れと一方のマニホールド１５の制御ノ
ズル（図示せず）を介して制御ポート１４−４から主流
路１４−３に伝達される流れとを発生せしめ、これによ
り主流路１４−３内の噴流の方向が壁面１４−３２と反
対側の壁面１４−３ｂに切り替えられると共に渦状とな
る。以下、順次噴流の方向が左右に切り替えられる。上
記制御流路内を流体の圧力波が伝播する速度は一定であ
るから、主流路１４−３及び両制御流路内には流体の流
速に比例した繰返し周波数の流体の圧力撮動が発生する
。
流路１４−３に噴出されるときにコアンダ効果により、
主流路１４−３のいずれか一方の壁面に沿って流れ、そ
のため主流路１４−３の両側で圧力の差が生じ、この圧
力差は例えば主流路１４−３の一方の壁面１４−３ａに
沿っての主噴流に対して、他の一方の壁面１４−３ｂ側
からの巻き込む流れと一方のマニホールド１５の制御ノ
ズル（図示せず）を介して制御ポート１４−４から主流
路１４−３に伝達される流れとを発生せしめ、これによ
り主流路１４−３内の噴流の方向が壁面１４−３２と反
対側の壁面１４−３ｂに切り替えられると共に渦状とな
る。以下、順次噴流の方向が左右に切り替えられる。上
記制御流路内を流体の圧力波が伝播する速度は一定であ
るから、主流路１４−３及び両制御流路内には流体の流
速に比例した繰返し周波数の流体の圧力撮動が発生する
。
従って、流出ボー［４−２に配室された流体脈流センサ
１の振動板２には、軸直角方向の両側から圧力振動を含
んだ渦流体が当てられ、このときに振動板２は流体に発
生せしめられた圧力振動により振動する。而して、前述
の如く流体脈流センサＪは圧電フィルム３により上記振
動を曲げ歪として検出し、これにより微少流量領域の流
量を計測することとなる。
１の振動板２には、軸直角方向の両側から圧力振動を含
んだ渦流体が当てられ、このときに振動板２は流体に発
生せしめられた圧力振動により振動する。而して、前述
の如く流体脈流センサＪは圧電フィルム３により上記振
動を曲げ歪として検出し、これにより微少流量領域の流
量を計測することとなる。
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、高感度圧電フィルムを用いた流体脈流センサにより
流体の圧力振動を高精度かつ高感度に検出することがで
き、例えば従来不可能とされた微少流量領域で流量を計
測することに利用できる流体脈流センサを提供し得るも
のである。
は、高感度圧電フィルムを用いた流体脈流センサにより
流体の圧力振動を高精度かつ高感度に検出することがで
き、例えば従来不可能とされた微少流量領域で流量を計
測することに利用できる流体脈流センサを提供し得るも
のである。
尚、本発明の構成は叙上の実施例に限定されるものでは
なく、例えば、一対の電極板を振動板の表裏に設は導電
フィルムにより圧電フィルムからの導電路を形成するよ
うにしたが、圧電フィルムと同じ面に一対の電極板を圧
電フィルムに重ねて設けるようにしてもよく、その他の
各要素の構成も本発明の目的の範囲内で自由に設計変更
できるものであり、本発明はそれらの総てを包摂するも
のである。
なく、例えば、一対の電極板を振動板の表裏に設は導電
フィルムにより圧電フィルムからの導電路を形成するよ
うにしたが、圧電フィルムと同じ面に一対の電極板を圧
電フィルムに重ねて設けるようにしてもよく、その他の
各要素の構成も本発明の目的の範囲内で自由に設計変更
できるものであり、本発明はそれらの総てを包摂するも
のである。
第１図は本発明にか＼る流体脈流センサの一実施例を示
す一部破断断面斜視図、第２図は第１図に示す流体脈流
センサを用いた流体論理素子式流量検出器の一実施例を
示す側面断面図、第３図は第２図に示す矢視Ａ−Ａの断
面図である。
す一部破断断面斜視図、第２図は第１図に示す流体脈流
センサを用いた流体論理素子式流量検出器の一実施例を
示す側面断面図、第３図は第２図に示す矢視Ａ−Ａの断
面図である。
Claims (1)
- 可撓性の細長い振動板と、上記振動板の一面に設けられ
た圧電フィルムと、上記振動板に設けられ、上記圧電フ
ィルムに設けた一対の端子からそれぞれ上記振動板の一
端部に至る導電路を形成する一対の導電フィルムと、上
記全構成要素のうち少なくとも導電部を被覆、シールす
る被膜部材とから成る流体脈流センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183445A JP2530824B2 (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 流体論理素子式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183445A JP2530824B2 (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 流体論理素子式流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340819A true JPS6340819A (ja) | 1988-02-22 |
| JP2530824B2 JP2530824B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=16135894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61183445A Expired - Fee Related JP2530824B2 (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 流体論理素子式流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530824B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60250259A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-10 | Nippon Denso Co Ltd | 流速検出装置 |
| JPS6122369U (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-08 | 株式会社フジクラ | 半導体圧力センサ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5522259A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-16 | Pioneer Electronic Corp | Cantilever for pickup cartridge and its manufacture |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP61183445A patent/JP2530824B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60250259A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-10 | Nippon Denso Co Ltd | 流速検出装置 |
| JPS6122369U (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-08 | 株式会社フジクラ | 半導体圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530824B2 (ja) | 1996-09-04 |
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