JPS60250259A - 流速検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は圧電素子を用いた流速検出装置に関する。本発
明の流速検出装置は小型であり、目つ耐久性、即応性に
優れ、精度も高いため、例えば自動車等の移動体に搭載
し、風速の検出に用いることができる。

［従来の技術］ 従来流速検出装置どしては、（１）流速を機械的な変位
によって検出するもの、（２）熱伝達ににつて検出する
もの、（３）超音波によって検出するもの等が用いられ
ている。しかし、これらの流速検出装置は一般に大きく
、又、埃、塵、水滴等に対する耐雰囲気性も悪い。又、
上記、（１）機械的な変位によって検出する流速検出装
置は、置は、環境の影響を受けやすく即応性も悪い。又
、−３− （３）超音波によって検出する流速検出装置は、電子回
路が複雑であり、コスト的にも問題がある。

そこで本発明者は圧電素子に注目した。即ち従来圧電素
子は機械的振動を発生する素子として使われており、流
速、流圧を検出する用途は開発されていない。

［発明が解決しようとする問題点〕 本発明は上記事情に鑑み案出されたものである。

故に、小型、且つ耐雰囲気性、耐久性、即応性に優れ、
精度の高い流速検出装置を圧電素子を用いることによっ
て提供せんとするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、流体が圧電素子に及ぼす圧力に基づき、該流
体の流速を算出づ−る流速検出装置である。

第１図は、本発明の流速検出装置の構成を表わすブロッ
ク図である。

即ち本発明は、印加電界に応じて歪を発生し、応力に応
じて電気分極を発生ずる圧電素子１と、該圧電索子１に
結合され流体の圧力を該圧電素子１に伝達する機械力伝
達手段２と、 −４− 前記圧電素子１に交流電界を印加する駆動部３と、 前記圧電素子１の歪に関連した物理量を検出し、該検出
値に応じて、前記流体の流速を検出する検出部４と、 から成ることを特徴とする流速検出装置である。

圧電素子１は流体が機械力伝達手段２に及ぼす圧力を電
気分極に変換すると共に、駆動部３によって印１１０さ
れる電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換し機械
ｔｙ伝達手段２を振動させる。圧電素子１としては、チ
タン酸バリウム（１３ａＴｉ０３）、チタン酸鉛（Ｐｂ
Ｔ　ｉ　０３　）　、ジルコ’、ｙ酸鉛（ｐｂＺｒ　０
３　）　、ジルコンチタン酸鉛（Ｐｂ　（Ｔｉ、Ｚｒ）
０３＞等の真性セラミックス、及びこれらに添加物を加
えたこれらの変性セラミックスを用いることができる。

圧電素子１は単一で用いてもよく、又複数個を同時に用
いてもよい。

圧電素子１の形状は上記機能を果し得るものであればよ
い。

機械力伝達手段２は前記流体の流速に起因する−　５　
− 圧力を前記圧電素子１に伝達する。機械力伝達手段２は
該圧電素子１と一体的に密着する別個の部材によって構
成してもよく、又圧電素子１をそのまま機械力伝達手段
２として兼用してもよい。

駆動部３は前記圧電素子１に交流電界を印加し、該圧電
素子１に歪を発生させる。駆動部３は、少なくとも駆動
源３０と、前記圧電素子１の端面に該圧電素子１と一体
的に形成された電極３１とを有する。

検出部４は、流速に関連した物理量である前記圧電素子
１の歪に関連した物理量を検出し、該検出値に応じて流
速を検出する。該歪に関連した物理量としては、前記圧
電素子１に印加される電圧、該圧電素子１を流れる電流
、上記電圧ど電流との。

位相差、圧電素子１の歪量、圧電素子１の歪む速度等が
ある。歪量は該歪に応じて変位する前記機械力伝達手段
の変位置をギャップセンサ、イメージセンサ等によって
検出する。又歪速度は機械力伝達手段の前記変位の速度
をレーザードツプラー等を用いて検出する。前記電圧値
、電流値等の歪−６− に関連した物理量の検出値と流速値との関係が、−次関
数、指数関数、対数関数で表わし得る場合は特別な演算
を施さなくども該検出値を単位を変えることによってそ
のまま表示パネル−Ｆで流速値として表示し１ｑる。検
出値と流速値との関係が複雑な関数として表わされる場
合は、マイコンを用いて前記検出値から流速値を算出す
る。

［作用１ 第１図において圧電素子１は、駆動部３によって交流電
界を印加されて歪を発生ずる。印加される電界が交流電
界で・あるため、該歪は周＋１目的に変動し、従って圧
電素子１は振動づ−る。該振動は機械力伝達手段２に伝
達され、増幅される。検出部４は前記圧電素子１に印加
される電圧、該圧電素子１を流れる電流、又は機械力伝
達手段２の変位の少なくと６１つを検出する。これらは
いずれも圧電素子１の歪量によって影響される物ｌｌｌ
１りｌである。今、流体が流速【」で流れ、機械力伝達
手段２に圧力が加わると該機械力伝達手段２は該圧力に
応じて変位する。該変位に応じて圧電素子１は歪−７− み、これは前記電圧、電流等の変化となって現れる。該
変化を検出部４が検出し、これに基づぎ流速を検出する
。

［実施例］ 以下本発明を具体的な実施例に基づき詳しく説明する。

（１）第１実施例 第２図は本第１実施例の流速検出装置の構成図であり、
第３図は該流速検出装置のセンサ部（圧電索子１及び機
械力伝達手段２によって構成される部分）の枠体７１へ
の取付は図であり、第４図は本実施例の流速検出装置Ｓ
ｏの流路Ｒｏへの取付は図であり、第５図は流速【」と
電流実効値【との関係を表わＪ−グラフである、。

本第１実施例は圧電素子の歪に関連した物理量どして該
圧電素子に印加される電圧（以下ｌｉｔに１電圧」とい
う）の実効値が一定値である場合にお【ノる該圧電素子
を流れる電流（以下ｉｌｌに［電流１という）の実効値
を検出する場合である。

第２図、第３図に示１ように、本実施例におい−８− てヒンリ部は２つの圧電素子１１．１２（板状の直方体
形状、ジルコンチタン酸鉛（商品名ＰＺ丁）磁器製）と
、該２つの圧電索子１１．１２に挟まれ、該２つの圧電
素子から一端２１が突出した機械力伝達手段２（前記圧
電素子より長い板状の直方体、コバール製）とから成る
。

第１圧電素子１１の各端部には、第１電極３１１、第２
電極３１２がそれぞれ銀（Ａ口）の蒸着によって形成さ
れ、又第２圧電素子１２の各端面には第３電極３１３、
第４電極３１４がそれぞれ同様にして形成されている。

尚、電極は銀以外の金属を用いてもよく、印刷又はメッ
キによって形成づることもできる。第２電極３１２、第
３電極３１３と機械力伝達手段２との固定は接着剤を用
いて、又はハンダづ１ノによって行なうことができる。

２つの圧電素子１１．１２の無電界時の分極方向は同一
であり、図中、矢印Ｐの方向である。

尚圧電素子１１．１２と機械力伝達手段２との熱膨張係
数は近いことが必要である。

かかる構成のセン１」一部は第３図に示すごとく、−９
− 上下の支持板６１．６２及びネジ７２を介し、枠体７１
に固定されている。又機械力伝達手段２の前記圧Ｍ素子
１１．１２から突出した部分（振動板２１）はシール部
材Ｒ＋を介し、枠体７１の外へ突出し、第４図に示づよ
うに流路ＲＯに挿入されでいる。尚振動板２１と流体の
流れる方向とは垂直である。機械力伝達手段２の他端〈
前記振動板２１でない側の端部）には、リード線３１０
が接続され、該リード線３１０は駆動源３０である交流
電源に接続されている。又前記支持板６１．６２にはそ
れぞれリード線３１０１．３１０２が接続され、これら
リード線３１０１．３１０２は共に電流検出器４１を有
する検出部４に接続されている。尚本実施例では、第５
図に示Ｊように印加電圧の周波数が機械的共振周波数の
近傍ぐある場合は、低速域においては流速値【」と電流
実効値Ｉとの関係は略−次関数として表わし得るため、
検出した電流実効＋１１Ｔ　Ｉに特別な演算を加えなく
とも目盛の表示のみを変えることによって電流実効４Ｆ
＋をそのまま流速値として表すことができる。

−１０− 本実施例の流速検出装置は以下のごとく機能する。

交流電源３０によって第１圧電素子１１、第２圧電索子
１２に交流電界を印加すると、該交流電界に応じて各圧
電素子１１．１２はそれぞれ歪む。

例えば第２電極３１２、第３電Ｉ！１３１３の側を負電
位に、又第１電極３１１、第４電極３１４の側を正電位
に保つと、第１圧電素子１１は伸び、第２圧電素子１２
は縮む。その結果振動板２１は２１ｂのように図中下方
へ曲がる。逆に第２電極３１２、第３電極３１３の側を
正電位に、第１電極３１１第４電極３１４の側を負電位
に保つと第１圧電素子１１は縮み、第２圧電素子１２は
伸びる。

その結果振動板２１は２１ａのように図中上方へ曲がる
。今、印加している電界は交流電界であるため上記動作
の繰り返しににって振動板２１は振動する。該振動は印
加電圧周波数を機械的共振周波数の近傍に選ぶことによ
り充分大きな振幅を得ることができる。かかる状態にお
いて流体が流速Ｕで流れ、振動板２１に圧力を加えると
該圧力は＝　１１　− 機械力伝達手段２によって各圧電素子１１．１２に伝達
される。このため圧電索子１１．１２に流速に対応１ノ
だ直流的中が発生し、それぞれの圧電索子１１．１２に
該歪に基づく分極が発生する。

該分極により圧電索子１１．１２を流れる電流値が変動
し、該変動は電流検出器４１によって検出される。又該
電流値に応じて流速を表示する。

（２）第２実施例 以下の各実施例（第２〜第７実施例）において、センリ
一部の構成、該センサ部の枠体への取付け、および流路
への取付けは前記第１実施例と同様であるため説明は省
略する。

第２実施例は圧電素子の歪に関連した物１！Ｉｕ量とし
て、電流実効値が一定である場合にお９プる電圧実効値
を検出する場合である。

第６図は本第２実施例の構成図であり、第７図は流速値
【」ど電圧実効値Ｖとの関係を表すグラフである。

本第２実施例において、駆動部３は駆動源３０（交流電
圧源）と、電流検出器３２と駆動源制御−１２一 部３３と電極３１１〜３１４とから構成される。

又検出部４は電圧検出器４２を有する。

本第２実施例の流速検出装置は以下のごとく機能する。

定常状態（流体の流れていない状態）において交流電源
３ｏによってセンサ部に交流電界を印加すると、該レン
リ一部には交流電流が流れ、該交流電流は電流検出器３
２によって検出される。該検出された電流値を、交流電
源制御部３３は、定常状態における電流値、即ち基準レ
ベルとする。

次に流体が流速Ｕで流れ、これに基づき前記第１実施例
と同様にして圧電素子１１．１２に歪が発生し、センサ
部を流れる電流値が変化すると、電流検出器３２がこれ
を検出して交流電源制御部３３へ出力する。交流電源制
御部３３は電流値の変動分がＯとなるように交流電源３
０による印加電圧を変化させる。従ってセンサ部には定
常状態とは異なる値の交流電界が印加され、これは電圧
検出器４２によって検出され表示される。

ここにお（プる交流電圧値の変動は前記流体の流＝　１
３　＝ 速Ｕに起因するものである。なお、本実施例では、振動
板２１の振幅が略一定に保たれるため、高流速域での感
度が向上する。

（３）第３実施例 第３実施例は圧電素子の歪に関連した物理量として電流
と電圧の位相差を検出する場合である。

第８図は第３実施例の流速検出装置の構成図であり、第
９図及び第１０図は電圧と電流の位相差を表わＪ−グラ
フである。又第１１図は流速値Ｕと位相差θとの関係を
表すグラフである。

第８図に示すように本第３実施例において、検出部４は
電流検出器４１、電圧検出器４２及びこれらに接続され
た位相差演算手段４０がら構成される。

本第３実施例の流速検出装置は以下のごとく機能する。

定常状態における印可電圧曲線へと電流曲線Ｂとの位相
差は第９図に示すようにθ０である。次に流体が流速Ｕ
で流れると前記第１実施例と同様にして圧電素子１１．
１２に歪が発生し、これは−１４＝ 電流変化として現れる。第１０図は流速がＵである場合
における電圧曲線へと電流曲線Ｂとの関係を示す図であ
る。即ち流速が１である場合における両面線の位相差は
θＵとなる。ここに、電圧曲線と電流曲線との位相差と
流速との関係は第１１図に示す曲線で表される。従って
位相差演算部４０によって位相差が検出されると流速を
算出することができる。

（４）第４実施例 本第４実施例は、圧電素子の歪に関連した物理量として
、印加電圧の周波数をスイープさせた場合における周波
数に対する電流実効値の変化率を検出する場合である。

第１２図は本第４実施例の流速検出装置の構成図であり
、第１３図は印加電圧周波数と電流実効第１２図に示す
ように本第４実施例において駆動部３は、周波数制御部
３６と駆動源３０（交流電源）と電極３１１〜３１４と
から構成される。

−１５− 又検出部４は電流検出器４１と変化率演算部４０とから
構成される。

本実施例は以下の原理に基づく。

第１３図に示すようにセンサ部に印加する電圧の周波数
を変化させると、センサ部を流れる電流は周波数Ａ（直
列共振周波数）で極大値をとり、周波数Ｂ（並列周波数
）において極小値をとる。

機械的共振周波数は前記周波数Ａ、Ｂの間に位置する。

又電流実効値の曲線は第１３図に示すように、流速ｕ／
）＜遅い場合αには急角度であり、流速Ｕの大きさが増
すに従い、β、γと緩かとなる。

従って機械的共振周波数近傍において印加電圧の周波数
をスイープさせ、電流実効値を測定し、該電流実効値の
変化率（傾き）を測定することにより、第１４図に示す
グラフに基づき該変化率から流速を算出することができ
る。

（５）第５実施例 本第５実施例は圧電素子の歪に関連した物理量として該
歪量（正確には該歪量を増幅した振動板２１の変位量）
を検出する場合である。

＝　１６　− 第１５図は本第５実施例の流速検出装置の構成図であり
、第１６図は流速Ｕと振動板２１の変位Ｘとの関係を表
すグラフである。

本第５実施例において検出部４はギャップセンサ４５を
有する。これは該ギヤツブセンナ４５と振動板２１との
距離を静電容量の変化によって検出するものである。

本実施例の流速検出装置は以下のごとく機能する。

定常状態において交流電源３０によって交流電界をセン
サ部に印加すると振動板２１は所定の振幅で振動する。

次に流体が流速Ｕで流れ、振動板２１にあたると該振動
板２１の振幅は変化する。

該振幅の変化をギャップセンサ４５が検出する。

該検出値及び第１６図に示すグラフに基づき振動板２１
の振幅から流速を算出し表示する。

（６）第６実施例 本第６実施例は圧電素子の歪に関連した物理量として振
動板２１の振幅を一定に保つために必要な電圧実効値を
検出する場合である。

−１７− 第１７図は本第６実施例の流速検出装置の構成図であり
、第１８図は振動板２１の振幅を一定とした場合におけ
る流速値Ｕと電圧実効値Ｖとの関係を表すグラフである
。

本第６実施例において駆動部３は第１７図に示すように
駆動源３０（交流電源）と、振動板２１の振幅を検出す
るギャップセンサ３４とギャップセンサ３４の出力信号
を入力し、該信号の定常状態からのずれを検出し、該ず
れを０にするために必要な電圧値を算出し、該電圧値で
前記駆動源３０を駆動させる駆動源制御部３５と、電極
３１１〜３１４とから成る。

本第６実施例の流速検出装置は以下のごとく機能する。

定常状態における振動板２１の振幅はギャップセンサ３
４によって検出され、駆動源制御部３５に入力され、基
準レベルとされる。次に流体が流速しで流れ、振動板２
１の振幅が変化すると該変化した振幅はギャップセンサ
３４によって検出され、駆動源制御部３５はこれを前記
定常状態にお−１８− ける振幅と比較し、両者の差をＯに近ずけるべ（駆動源
３０を制ｔＩＩＩ覆る。したがって駆動源３０は新たに
設定された電圧によってセン１部を駆動し、該新Ｉこに
設定された電圧値は電圧検出器４２によって検出され、
該検出された電１ｆ値と第１８図のグラフとに基づき流
速を粋出し表示する。

（７）第７実施例 本第７実施例は圧電素子の歪に関連した物理量として振
動板２１の振動する速度を検出する場合である。

本第７実施例の構成図は第１５図に示す第５実施例の場
合と同様であるため省略する。第１９図は本第７実施例
において利用する流速値【」と振動板２１の変位速度ど
の関係を表４グラフである。

第７実施例が第５実施例ど異なる点は検出部４において
振動板２１の振動速度を検出する点である。該検出した
速度に基づき第１９図に示すグラフによって流速値を痺
出し表示する。

（適用例） 以下本発明の流速検出装置の適用例を説明する。

−１９− 第２０図は本発明の流速検出装置を自動車の屋根に搭載
する様子を表ず斜視図であり、第２１図は該搭載づる流
速検出装置の訂細を表わづ構成図であり、第２２図は第
２１図の平面図である。又第２３図は第２１図に示づ流
速検出装置から風向風速を輝出しアクチュエータに出力
するブロック図である。

第２１図に示？ｌＪ、うに本適用例において流速検出装
置は２つのセンリ一部Ｓａ　、Ｓｂを有する。２つのセ
ンサ部ｓａ　、ｓｂのそれぞれの振動板２ａ１２ｂはそ
れぞれ別個の流路、Ｒａ　、　Ｒｂに、流れ方向に対し
直角に配置されている。該２つの流路Ｒａ、Ｒｂは第２
２図に示すように直交し、且つ流体の入口の方向（流れ
方向）に対し、それぞれ４５度の角度を成づ。従っても
し空気が図のＵａの方向から流入すると流路Ｒａを流れ
る空気流の速度は流路Ｒｂを流れる空気流の速度よりも
速く、逆に空気がＬＪ　ｂの方向から流入するど流路Ｒ
ｂを流れる空気流の速度は流路Ｒａを流れる空気流の速
度より速い。又図のようにｕＯの方向から空気−２０− が流入づると流路Ｒａ、流路Ｒｂを流れる空気流の速度
は等しい。従って流路Ｒａおよび流路Ｒｂの空気流の速
度を算出することにより、風向をめることができる。ざ
らに又第２３図に示すように車速レンサＳＳからの信号
を加味し、相対的な風向風速ばかりでなく、絶対的な風
向風速をも算出し表示することができる。又このように
して算出した相対的あるいは絶対的な風向及び風速はア
クチユエータ９に出力し自動車の制御をより安定なもの
とすることができる。

（変形例） 上記各実施例及び適用例においては、センサ部として２
つの圧電素子と該２つの圧電素子に挟まれた１つの機械
力伝達手段とから成るものを用いているが、これは必ず
しも上記限定を意味するものではない。

第２４図はセンサ部の変形例を示す図である。

即ち、第２４図（Ａ）に示すように１つの圧電素子１と
該圧電素子に密着する１つの機械力伝達手段２によって
センサ部を構成してもよく、又（Ｂ）−２１− に示すように１つの圧電索子１と該１つの圧電素子１の
両端面にそれぞれ密着された２つの機械力伝達手段２１
．２２によってセンサ部を構成してもよく、又（Ｃ）に
示すように圧電素子１の長さを長くし、これを２枚貼り
合せ、圧電素子自身を機械力伝達手段２として兼用して
もよい。又（Ｄ）に示すようにセンサ部の構成を略前記
実施例及び適用例と同様にし、機械力伝達手段２を樹脂
によって構成してもよい。この場合リード線３１０５．
３１０６は第２電極及び第３電極に接続する。

第２５図は機械力伝達手段２及び圧電素子１の形状の他
の変形例を示す図である。即ち、上記各実施例及び適用
例において圧電素子１及び機械力伝達手段２はいずれも
板状の直方体を用いたが、これは直方体に限定されず、
（Ａ）に示すように三角形の形状、あるいは（Ｃ）、（
Ｄ）に示すように円形状を用いてもよい。又振動板２１
の形成部は上記各実施例及び適用例においてはいずれも
圧電素子の一端から突出（各図において右端）させたが
これは必ずしも一端から突出させる必要は−２２− なく、（１３）に示ツＪ、うに各圧電素子１の中間に振
動板２１を形成してもよい。（Ｄ）あるいは（Ｃ）につ
いても同様である。

第２６図は流体の流れ方向と振動板２１との位置関係を
表す図である。

上記各実施例においてはいずれも振動板２１は流体の流
れ方向に対し直角に配置したがこれは係る配置に限定さ
れるものではない。即ち、第２６図（Ａ）に示すように
流れ方向に対向させて配置してもよく、（Ｂ）に示すよ
うに４５度の角度で配置してもよい。又（Ｃ）に示すよ
うに１３５度でもよく、（Ｄ）に示すように流れ方向で
もよい。

又（Ｅ）に示すように流れとねじれ方向でもよい。

要は流体の流れにより振動板２１が何等かの圧力を受け
るように配置覆ればよい。

し発明の効果］ 以上要するに本発明は圧電素子を用いて構成した流速検
出装置である。

本発明の流速検出装置では圧電素子を用いているために
全体の形状を小型化できる。又流速を圧−２３− 電変化ににって検出しているために即応性がよく、精度
も高い。更に又水、埃、塵等に対する耐雰囲気竹も良好
である。又流速を電気信号として検出するため、該信号
を次段のアクチュエータの制御等に用いる場合便利であ
る。又構成も比較的簡単であり、耐久ｆ１がよく、又コ
スト的にも良好である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成を示すブロック図である。 第２図は本発明の第１実施例の流速検出装置の構成図で
あり、第３図は該第１実施例の流速検出装置のセンサ部
の枠体への取付【プ図であり、第４図は該流速検出装置
の流路への取付は図であり、第５図は流速と電流実効値
との関係を表１グラフである。第６図は本発明の第２実
施例の流速検出装置の構成図であり、第７図は流速と電
圧実効値との関係を表すグラフである。第８図は本発明
の第３実施例の流速検出装置の構成図であり、第９図及
び第１０図は電圧曲線と電流曲線との位相のずれを表１
グラフであり、第１１図は流速と位相差−２４− との関係を表すグラフである。第１２図は本発明の第４
実施例の流速検出装置の構成図であり、第１３図は印加
電圧周波数と電流実効値との関係をは本発明の第５実施
例の流速検出装置の構成図であり、第１６図は流速と振
動板の変位との関係を表すグラフである。第１７図は本
発明の第６実施例の流速検出装置の構成図であり、第１
８図は流速と電圧実効値との関係を表すグラフである。 第１９図は本発明の第７実施例において用いる流速と振
動板の変位速度との関係を表すグラフである。 第２０図は本発明の流速検出装置を自動車に搭載する様
子を表す斜視図であり、第２１図は第２０図における流
速検出装置のセンサ部の詳細を表す斜視図であり、第２
２図は第２１図の平面図である。又第２３図は第２１図
、２２図に示す流速検出装置を第２０図に示す自動車に
搭載し相対的及び絶対的な風向風速を算出し、アクチュ
エータに出力づる回路のブロック図である。第２４図（
Ａ＞−２５− （Ｂ）（Ｃ）（＋））はそれぞれ流速検出装置のセンサ
“部の変形例を表す断面模式図である。第２５図＜Ａ）
（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）はそれぞれセン１１部の圧電素子と
機械力伝達手段との配置の変形例を表す断面図及び平面
図である。第２６図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｆｌは
流速検出装置のセンサ部を流体の流れ方向に対し、配置
する変形例を表す図である。 特許出願人　日本電装株式会社 代理人　弁理士　大川　定 向　弁理士　原書　修 同　弁理士　丸山明夫 −２６− ―据に原う ○　＞　ｒ　＞ 目　四　則 酬りｊＮ・眩 −９へ９−

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）印加電界に応じて歪を発生し、応力に応じて電気
   分極を発生する圧Ｎ索子と、 該圧電素子に結合され、流体の圧ノ〕を該圧電素子に伝
   達する機械力伝達手段と、 前記圧電素子に交流電界を印加する駆動部と、前記圧電
   素子の歪に関連した物理量を検出し、該検出値に応じて
   前記流体の流速を検出する検出部と、 から成ることを特徴とする流速検出装置。
2. （２）前記物理量は、前記圧電素子に印加する電圧値が
   一定である場合における該圧電素子を流れる電流値であ
   る特許請求の範囲第１項記載の流速検出装置。
3. （３）前記物理量は、前記圧電素子を流れる電流値が一
   定である場合における該圧電素子に印加する電圧値であ
   る特許請求の範囲第１項記載の流速−１− 検出装置。
4. （４）前記物理■は、前記圧電素子に印加づ−る電圧と
   、該圧電素子を流れる電流どの位相差である特許請求の
   範囲第１項記載の流速検出装置。
5. （５）前記物理量は、前記圧電素子に印加する電圧値を
   一定とし、該電圧の周波数を該圧電素子の機械的共振周
   波数近傍で変化させた場合における、該圧電素子を流れ
   る電流値の周波数に対Ｊる変化率である特許請求の範囲
   第１項記載の流速検出装置。
6. （６）前記物理量は、前記圧電素子に印加する電圧値が
   一定である場合にお（Ｊる前記機械力伝達手段の変位で
   ある特許請求の範囲第１項記載の流速検出装置。
7. （７）前記物理■は、前記機械力伝達手段の変位の振幅
   が一定である場合における前記圧電素子に印加する電♂
   １ある特許請求の範囲第１項記載の流速検出装置。
8. （８）前記物理量は、前記圧電素子に印加する電圧値が
   一定である場合にお【プる前記機械力伝達子−２− 段の変位速度である特許請求の範囲第１項記載の流速検
   出装置。