JPS6337117B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6337117B2 JPS6337117B2 JP57222541A JP22254182A JPS6337117B2 JP S6337117 B2 JPS6337117 B2 JP S6337117B2 JP 57222541 A JP57222541 A JP 57222541A JP 22254182 A JP22254182 A JP 22254182A JP S6337117 B2 JPS6337117 B2 JP S6337117B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound
- methylpolysilane
- producing
- reaction
- thermal decomposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 23
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 15
- UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N dimethylsilane Chemical compound C[SiH2]C UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- -1 hydrogen silanes Chemical class 0.000 claims description 10
- VIPCDVWYAADTGR-UHFFFAOYSA-N trimethyl(methylsilyl)silane Chemical compound C[SiH2][Si](C)(C)C VIPCDVWYAADTGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 7
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000000047 product Substances 0.000 description 11
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OFFVKJINHUQURH-UHFFFAOYSA-N trimethyl(trimethylsilylsilyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)[SiH2][Si](C)(C)C OFFVKJINHUQURH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 5
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilane Chemical compound C[SiH](C)C PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 4
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 4
- YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N chloro(methyl)silane Chemical class C[SiH2]Cl YGZSVWMBUCGDCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011089 carbon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- KQHIGRPLCKIXNJ-UHFFFAOYSA-N chloro-methyl-silylsilane Chemical class C[SiH]([SiH3])Cl KQHIGRPLCKIXNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YGHUUVGIRWMJGE-UHFFFAOYSA-N chlorodimethylsilane Chemical compound C[SiH](C)Cl YGHUUVGIRWMJGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229940050176 methyl chloride Drugs 0.000 description 2
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N methylsilane Chemical compound [SiH3]C UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012261 resinous substance Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 2
- 239000007818 Grignard reagent Substances 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- OEERIBPGRSLGEK-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;methanol Chemical compound OC.O=C=O OEERIBPGRSLGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N chloro-ethenyl-dimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C=C XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004508 fractional distillation Methods 0.000 description 1
- 150000004795 grignard reagents Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001035 methylating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 150000001367 organochlorosilanes Chemical class 0.000 description 1
- 229920003257 polycarbosilane Polymers 0.000 description 1
- 238000012643 polycondensation polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229940024463 silicone emollient and protective product Drugs 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- TXEDGTTUEVJNPE-UHFFFAOYSA-N trichloro(trimethylsilyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](Cl)(Cl)Cl TXEDGTTUEVJNPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVGYYKBIUKOMTG-UHFFFAOYSA-N trichloro-[chloro(dimethyl)silyl]silane Chemical compound C[Si](C)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl PVGYYKBIUKOMTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/02—Silicon compounds
- C07F7/08—Compounds having one or more C—Si linkages
- C07F7/0896—Compounds with a Si-H linkage
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
Description
本発明はメチルポリシラン化合物の熱分解によ
るメチルハイドロジエンシラン類、特にはジメチ
ルシランおよびテトラメチルジシランの製造方法
に関するものである。 メチルハイドロジエンクロロシラン類はその分
子中に活性基としての―SiH基を含むものである
ため、これは各種の官能性シラン、シロキサンを
製造するための中間原料としての有用なものとさ
れている。しかし、このメチルハイドロジエンク
ロロシラン類の工業生産についてはメチルクロラ
イドと金属けい素の反応に関する、いわゆる直接
法によるメチルクロロシラン類の合成における副
産物として僅かに取得されているに過ぎず、これ
についてはその合成法、増収法も種々提案されて
いるが未だ満足すべき方法が確立されておらず、
特にジメチルモノクロロシラン〔(CH3)2HSiCl〕
については直接法における副生量が極めて少ない
ためにその工業的製造法の確立が待たれている。 本発明はこのメチルハイドロジエンクロロシラ
ン類、特にはジメチルモノクロロシランの製造原
料となるメチルハイドロジエンシラン化合物を工
業的に有利に製造する方法を提供するものであ
り、これはメチルポリシラン化合物を350℃以上
の温度で熱分解し、生成する揮発性成分から一般
式R2o+2(Si)o〔こゝにRはその少なくとも1個が
水素原子である水素原子またはメチル基、nは1
〜3の正数〕で示される化合物を分離、精製して
ジメチルシラン、テトラメチルジシランを主成分
とするメチルハイドロジエンシラン化合物を得る
ことを特徴とするものである。 これを説明すると、本発明者らはジメチルポリ
シラン化合物の熱分解重合によるけい素―炭素を
主骨格とするメチルカルボシランなどの重合体の
製造法について検討中において、この熱分解重合
反応時に発生する揮発性分解生成物がジメチルシ
ラン、テトラメチルジシランを主成分とし、トリ
メチルシラン〔(CH3)3SiH〕、モノメチルシラン
〔CH3SiH3〕、ヘキサメチルトリシラン などを含むメチルハイドロジエンシラン化合物で
あることを見出し、さらにこれらのメチルハイド
ロジエンシラン化合物を収率よく得るための原料
シランの熱分解条件、方法について検討を進めて
本発明を完成させた。 本発明に使用される始発原料であるメチルポリ
シラン化合物としてはジメチルジクロロシランと
金属リチウムまたは金属ナトリウムとの反応によ
つて得られる または (こゝにm,nは正数)で示される環状または
鎖状のジメチルポリシランが最も好ましいものと
されるが、これはジメチルジクロロシランにメチ
ルトリクロロシラン、トリメチルクロロシランあ
るいはメチルシラン類を得るための前記直接法で
得られる高沸点副性物である一般式(CH3)a
Si2Cl6-a(たゞしaは1〜4の整数)で示される
メチルクロロジシラン類などを加えたシラン類と
金属ナトリウムとの反応で得られる(CH3)2Si=
単位、(CH3)3Si―単位およびCH3Si≡単位を含
むメチルポリシラン類、されにはメチルクロロシ
ラン類を得るための直接法の高沸点副生物である
上記メチルクロロジシランを触媒の存在下に分解
縮合させて高分子化したメチルクロロポリシラン
化合物の残存≡Si―Cl基をメチル化することによ
つて得られるメチルポリシラン化合物などであつ
てもよい。なお、このメチルポリシラン化合物は
ジメチルシリル単位〔(CH3)2Si=〕を60モル%
含むものとすることがよく、これを60モル%以下
とすると、本発明方法の目的物であるジメチルシ
ラン、テトラメチルジシランなどのメチルハイド
ロジエンシラン化合物の収率が低下する。 本発明方法の実施は上記したジメチルポリシラ
ン化合物を350℃以上の反応帯域に導入して熱分
解反応を行なわせればよく、この反応帯域温度が
350〜600℃ではメチルポリシラン化合物の熱分解
と共にけい素―炭素結合を主骨格とするメチルポ
リカルボシラン重合体の生成がみられるが、これ
を600〜800℃とするとメチルポリカルボシランの
生成がなくなるので収率よくメチルハイドロジエ
ンシラン化合物を得ることができ、この場合には
少量のSiC、またはSiなどの無機化合物が生成さ
れる。しかし、この熱分解温度を800℃以上とす
るとメチル基の熱分解反応が激しくなつてSiCま
たはSiなどの無機物質の生成が急速に増加し、目
的とするジメチルシラン、テトラメチルジシラン
などのメチルハイドロジエンシラン化合物の収率
が低下するので、これは800℃以下とすることが
よい。 なお、本発明方法に実施についてさらに詳しく
説明すると、この方法で使用される原料としての
メチルポリシラン化合物は粉末状、樹脂状あるい
は粘性のある油状物なので、これらはまずラツシ
ヒリングなどが充填された反応帯域中に導入し、
熱分解させて揮発性のメチルハイドロジエンシラ
ン化合物と液状の低分子メチルポリシランオリゴ
マーとし、ついでこのオリゴマーを400〜600℃に
加熱してメチルハイドロジエンシラン化合物とメ
チルポリカルボシラン重合体とするか、あるいは
このオリゴマーを600〜800℃に加熱した反応帯域
中に導入して完全に熱分解させればよいが、これ
はまた反応釜中に原料メチルポリシラン化合物を
仕込み、撹拌しながら加熱分解する方法をとつて
もよい。 本発明の方法で得られるメチルハイドロジエン
シラン化合物は前記したようにジメチルシラン
(CH3)2SiH2、テトラメチルジシランH(CH3)2Si
―Si(CH3)2Hを主体とするものであり、これら
は分留精製により純度よく取得されるが、これら
はいずれもその分子中にCH3Si≡基とHSi三基と
を含むものなのでそれら自身でも変性用中間体と
して有用とされる。しかし、これらは一般的には
これらを塩素、塩化水素または各種オルガノクロ
ロシラン類と反応させてメチルハイドロジエンク
ロロシラン類とし、ついで加水分解して該当する
シロキサンとして各種シリコーン製品の中間体と
して使用すればよく、これは例えばジメチルシラ
ンと塩化水素またはジメチルジクロロシランとの
反応、テトラメチルジシランと塩素との反応で得
られるジメチルハイドロジエンモノクロロシラン
〔(CH3)2HSiCl〕がシロキサン末端に
るメチルハイドロジエンシラン類、特にはジメチ
ルシランおよびテトラメチルジシランの製造方法
に関するものである。 メチルハイドロジエンクロロシラン類はその分
子中に活性基としての―SiH基を含むものである
ため、これは各種の官能性シラン、シロキサンを
製造するための中間原料としての有用なものとさ
れている。しかし、このメチルハイドロジエンク
ロロシラン類の工業生産についてはメチルクロラ
イドと金属けい素の反応に関する、いわゆる直接
法によるメチルクロロシラン類の合成における副
産物として僅かに取得されているに過ぎず、これ
についてはその合成法、増収法も種々提案されて
いるが未だ満足すべき方法が確立されておらず、
特にジメチルモノクロロシラン〔(CH3)2HSiCl〕
については直接法における副生量が極めて少ない
ためにその工業的製造法の確立が待たれている。 本発明はこのメチルハイドロジエンクロロシラ
ン類、特にはジメチルモノクロロシランの製造原
料となるメチルハイドロジエンシラン化合物を工
業的に有利に製造する方法を提供するものであ
り、これはメチルポリシラン化合物を350℃以上
の温度で熱分解し、生成する揮発性成分から一般
式R2o+2(Si)o〔こゝにRはその少なくとも1個が
水素原子である水素原子またはメチル基、nは1
〜3の正数〕で示される化合物を分離、精製して
ジメチルシラン、テトラメチルジシランを主成分
とするメチルハイドロジエンシラン化合物を得る
ことを特徴とするものである。 これを説明すると、本発明者らはジメチルポリ
シラン化合物の熱分解重合によるけい素―炭素を
主骨格とするメチルカルボシランなどの重合体の
製造法について検討中において、この熱分解重合
反応時に発生する揮発性分解生成物がジメチルシ
ラン、テトラメチルジシランを主成分とし、トリ
メチルシラン〔(CH3)3SiH〕、モノメチルシラン
〔CH3SiH3〕、ヘキサメチルトリシラン などを含むメチルハイドロジエンシラン化合物で
あることを見出し、さらにこれらのメチルハイド
ロジエンシラン化合物を収率よく得るための原料
シランの熱分解条件、方法について検討を進めて
本発明を完成させた。 本発明に使用される始発原料であるメチルポリ
シラン化合物としてはジメチルジクロロシランと
金属リチウムまたは金属ナトリウムとの反応によ
つて得られる または (こゝにm,nは正数)で示される環状または
鎖状のジメチルポリシランが最も好ましいものと
されるが、これはジメチルジクロロシランにメチ
ルトリクロロシラン、トリメチルクロロシランあ
るいはメチルシラン類を得るための前記直接法で
得られる高沸点副性物である一般式(CH3)a
Si2Cl6-a(たゞしaは1〜4の整数)で示される
メチルクロロジシラン類などを加えたシラン類と
金属ナトリウムとの反応で得られる(CH3)2Si=
単位、(CH3)3Si―単位およびCH3Si≡単位を含
むメチルポリシラン類、されにはメチルクロロシ
ラン類を得るための直接法の高沸点副生物である
上記メチルクロロジシランを触媒の存在下に分解
縮合させて高分子化したメチルクロロポリシラン
化合物の残存≡Si―Cl基をメチル化することによ
つて得られるメチルポリシラン化合物などであつ
てもよい。なお、このメチルポリシラン化合物は
ジメチルシリル単位〔(CH3)2Si=〕を60モル%
含むものとすることがよく、これを60モル%以下
とすると、本発明方法の目的物であるジメチルシ
ラン、テトラメチルジシランなどのメチルハイド
ロジエンシラン化合物の収率が低下する。 本発明方法の実施は上記したジメチルポリシラ
ン化合物を350℃以上の反応帯域に導入して熱分
解反応を行なわせればよく、この反応帯域温度が
350〜600℃ではメチルポリシラン化合物の熱分解
と共にけい素―炭素結合を主骨格とするメチルポ
リカルボシラン重合体の生成がみられるが、これ
を600〜800℃とするとメチルポリカルボシランの
生成がなくなるので収率よくメチルハイドロジエ
ンシラン化合物を得ることができ、この場合には
少量のSiC、またはSiなどの無機化合物が生成さ
れる。しかし、この熱分解温度を800℃以上とす
るとメチル基の熱分解反応が激しくなつてSiCま
たはSiなどの無機物質の生成が急速に増加し、目
的とするジメチルシラン、テトラメチルジシラン
などのメチルハイドロジエンシラン化合物の収率
が低下するので、これは800℃以下とすることが
よい。 なお、本発明方法に実施についてさらに詳しく
説明すると、この方法で使用される原料としての
メチルポリシラン化合物は粉末状、樹脂状あるい
は粘性のある油状物なので、これらはまずラツシ
ヒリングなどが充填された反応帯域中に導入し、
熱分解させて揮発性のメチルハイドロジエンシラ
ン化合物と液状の低分子メチルポリシランオリゴ
マーとし、ついでこのオリゴマーを400〜600℃に
加熱してメチルハイドロジエンシラン化合物とメ
チルポリカルボシラン重合体とするか、あるいは
このオリゴマーを600〜800℃に加熱した反応帯域
中に導入して完全に熱分解させればよいが、これ
はまた反応釜中に原料メチルポリシラン化合物を
仕込み、撹拌しながら加熱分解する方法をとつて
もよい。 本発明の方法で得られるメチルハイドロジエン
シラン化合物は前記したようにジメチルシラン
(CH3)2SiH2、テトラメチルジシランH(CH3)2Si
―Si(CH3)2Hを主体とするものであり、これら
は分留精製により純度よく取得されるが、これら
はいずれもその分子中にCH3Si≡基とHSi三基と
を含むものなのでそれら自身でも変性用中間体と
して有用とされる。しかし、これらは一般的には
これらを塩素、塩化水素または各種オルガノクロ
ロシラン類と反応させてメチルハイドロジエンク
ロロシラン類とし、ついで加水分解して該当する
シロキサンとして各種シリコーン製品の中間体と
して使用すればよく、これは例えばジメチルシラ
ンと塩化水素またはジメチルジクロロシランとの
反応、テトラメチルジシランと塩素との反応で得
られるジメチルハイドロジエンモノクロロシラン
〔(CH3)2HSiCl〕がシロキサン末端に
【式】基を導入する変成剤としても有用と
されるし、上記で得られたジメチルハイドロジエ
ンモノクロロシランとアセチレンとの反応により
得られるビニルジメチルモノクロロシラン〔CH2
=CH(CH3)2SiCl〕はシロキサン末端に
ンモノクロロシランとアセチレンとの反応により
得られるビニルジメチルモノクロロシラン〔CH2
=CH(CH3)2SiCl〕はシロキサン末端に
【式】基を導入する変性剤として有用
とされる。
つぎに本発明方法の実施例をあげる。
実施例 1
石英製ラツシヒリングを充填した内径42mmの縦
型鋼製反応管を長さ220mmの加熱炉に入れて440℃
に加熱し、これにその上部からジメチルジクロロ
シランと金属ナトリウムとをキシレン中で反応さ
せて得たジメチルポリシラン粉末を空塔基準単位
反応体積当り0.217g/ml時の速度で、スクリユ
ーフイダーを用いて供給し、熱分解させたとこ
ろ、84.7%の有機けい素オリゴマーと15.1%のジ
メチルシランを主成分とするガス状生成物が得ら
れた。 つぎに長さ800mmの管状炉中で720℃に加熱され
ている内径1.5mmの鋼製反応管に、上記で得た有
機けい素オリゴマーを定量ポンプを用いて
0.045/ml・時の供給速度で導入して熱分解させ、
生成したガス状物をドライアイス・メタノールで
捕集したところ、供給成分に対し86%のガス成分
が得られ、残余は淡黄色の粉末状無機化合物とな
つた。 なお、この二つの工程で得られたガス成分につ
いて、これを分留したところ、これはつぎの第1
表に示す組成をもつものであつた。
型鋼製反応管を長さ220mmの加熱炉に入れて440℃
に加熱し、これにその上部からジメチルジクロロ
シランと金属ナトリウムとをキシレン中で反応さ
せて得たジメチルポリシラン粉末を空塔基準単位
反応体積当り0.217g/ml時の速度で、スクリユ
ーフイダーを用いて供給し、熱分解させたとこ
ろ、84.7%の有機けい素オリゴマーと15.1%のジ
メチルシランを主成分とするガス状生成物が得ら
れた。 つぎに長さ800mmの管状炉中で720℃に加熱され
ている内径1.5mmの鋼製反応管に、上記で得た有
機けい素オリゴマーを定量ポンプを用いて
0.045/ml・時の供給速度で導入して熱分解させ、
生成したガス状物をドライアイス・メタノールで
捕集したところ、供給成分に対し86%のガス成分
が得られ、残余は淡黄色の粉末状無機化合物とな
つた。 なお、この二つの工程で得られたガス成分につ
いて、これを分留したところ、これはつぎの第1
表に示す組成をもつものであつた。
【表】
また、ついでここに得たヘキサメチルトリシラ
ンおよび高沸点物を680℃に加熱した反応管中に
導入して熱分解させたところ、このものはジメチ
ルシラン65.0%、トリメチルシラン7.5%、テト
ラメチルジシラン6.4%、ヘキサメチルトリシラ
ン7.8%となり、この収量は86.7%で残余は無機
化合物となつた。 実施例 2 中心部にステンレススチール製の金網2枚を取
りつけた、内径45mm、長さ1000mmの石英製反応管
を、加熱部が200mmの縦型管状加熱炉中で650℃の
定温に加熱し、この上部からジメチルポリシラン
粉末をスクリユーフイーダーを用いて0.15g/
ml・時の供給速度で供給して熱分解させた。 これにより、5時間で240gのジメチルポリシ
ランを処理し、生成したガス状物を水冷コンデン
サーおよびドライアイス・メタノール・コンデン
サーで捕集したところ、217gの生成物が得られ
たが、これはジメチルシラン55%、トリメチルシ
ラン8%、テトラメチルジシラン12%、ヘキサメ
チルトリシランおよび固体粉末状生成物を含む高
沸点成分24%からなるものであつた。 実施例 3 ジメチルジクロロシランと金属ナトリウムとの
反応によつて得られたジメチルポリシラン粉末
500gをかくはん機つきの石英フラスコに入れ、
窒素ガスを少量通しながら加熱したところ、反応
器内部が350℃になつたときにジメチルポリシラ
ンの熱分解重合反応が起り、ガス状分解物の発生
することが認められた。 なお、この加熱を内温が450℃になるまで10時
間続けてから、450℃に3時間保ち、この間の分
解で生成した揮発性成分を水冷コンデンサーおよ
びドライアイス・メタノールコンデンサーで捕集
したところ、270gの生成物が得られ、このもの
はジメチルシラン55.0%、トリメチルシラン4.2
%、テトラメチルジシラン22.3%、ヘキサメチル
トリシラン14.6%、その他の高沸物3.9%からな
るものであつた。 なお、この石英フラスコ中には軟化点が70〜75
℃の固型の樹脂状物が211g残留しており、この
ものは平均分子量が800で赤外分析の結果―
SiCH2Si―基、―SiH基結合を示すポリカルボシ
ランであることが確認された。 実施例 4〜7 ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシ
ランおよびトリメチルクロロシランの混合物を金
属ナトリウムと反応させて得られたメチルポリシ
ラン化合物を、680℃に定温加熱した実施例2と
同様の縦型管状加熱炉中に供給して熱分解させた
ところ、この原料シラン化合物の組成と得られた
熱分解生成物との関係はつぎの第2表に示すとお
りである。原料シランとしてジメチルシリル単位
が60モル%以下のものを使用したときは熱分解生
成物の収率が低下して高沸物が増加し、反応管中
にSiCなどの無機物が付着した。
ンおよび高沸点物を680℃に加熱した反応管中に
導入して熱分解させたところ、このものはジメチ
ルシラン65.0%、トリメチルシラン7.5%、テト
ラメチルジシラン6.4%、ヘキサメチルトリシラ
ン7.8%となり、この収量は86.7%で残余は無機
化合物となつた。 実施例 2 中心部にステンレススチール製の金網2枚を取
りつけた、内径45mm、長さ1000mmの石英製反応管
を、加熱部が200mmの縦型管状加熱炉中で650℃の
定温に加熱し、この上部からジメチルポリシラン
粉末をスクリユーフイーダーを用いて0.15g/
ml・時の供給速度で供給して熱分解させた。 これにより、5時間で240gのジメチルポリシ
ランを処理し、生成したガス状物を水冷コンデン
サーおよびドライアイス・メタノール・コンデン
サーで捕集したところ、217gの生成物が得られ
たが、これはジメチルシラン55%、トリメチルシ
ラン8%、テトラメチルジシラン12%、ヘキサメ
チルトリシランおよび固体粉末状生成物を含む高
沸点成分24%からなるものであつた。 実施例 3 ジメチルジクロロシランと金属ナトリウムとの
反応によつて得られたジメチルポリシラン粉末
500gをかくはん機つきの石英フラスコに入れ、
窒素ガスを少量通しながら加熱したところ、反応
器内部が350℃になつたときにジメチルポリシラ
ンの熱分解重合反応が起り、ガス状分解物の発生
することが認められた。 なお、この加熱を内温が450℃になるまで10時
間続けてから、450℃に3時間保ち、この間の分
解で生成した揮発性成分を水冷コンデンサーおよ
びドライアイス・メタノールコンデンサーで捕集
したところ、270gの生成物が得られ、このもの
はジメチルシラン55.0%、トリメチルシラン4.2
%、テトラメチルジシラン22.3%、ヘキサメチル
トリシラン14.6%、その他の高沸物3.9%からな
るものであつた。 なお、この石英フラスコ中には軟化点が70〜75
℃の固型の樹脂状物が211g残留しており、この
ものは平均分子量が800で赤外分析の結果―
SiCH2Si―基、―SiH基結合を示すポリカルボシ
ランであることが確認された。 実施例 4〜7 ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシ
ランおよびトリメチルクロロシランの混合物を金
属ナトリウムと反応させて得られたメチルポリシ
ラン化合物を、680℃に定温加熱した実施例2と
同様の縦型管状加熱炉中に供給して熱分解させた
ところ、この原料シラン化合物の組成と得られた
熱分解生成物との関係はつぎの第2表に示すとお
りである。原料シランとしてジメチルシリル単位
が60モル%以下のものを使用したときは熱分解生
成物の収率が低下して高沸物が増加し、反応管中
にSiCなどの無機物が付着した。
【表】
【表】
実施例 8
メチルクロライドと金属けい素との直接反応に
よるメチルクロロシラン製造法における高沸点物
から得られたジメチルテトラクロロジシランとト
リメチルトリクロロジシランのほゞ等モル量の混
合ジシランをヘキサメチルホスホロアミド触媒の
存在下に加熱し、メチルクロロシランを留去させ
ながら分解縮合高分子化してメチルクロロポリシ
ランとしたのち、さらにグリニヤ試薬
(CH3MgCl)でメチル化して得たメチルポリシラ
ン〔粘度476cS、平均分子量850、組成=
(CH3)2Si=単位72モル%、CH3Si≡単位8モル
%、(CH3)3Si―単位20モル%〕500gを石英フラ
スコに入れ、窒素ガスを少量通しながら撹拌下に
加熱したところ、340℃から熱分解反応が起り始
めたのでついで15時間かけて470℃まで昇温し、
この温度に一時間保持した。 この熱分解で得られた揮発性成分は270gで、
これは(CH3)2SiH252.0%、(CH3)3SiH6.5%、
CH3SiH31.2%、H(CH3)2Si―Si(CH3)2H24.3
%、ヘキサメチルトルシラン10.1%、その他の高
沸物5.9%よりなるものであつた。なお、この石
英フラスコ中には軟化点が135〜142℃の固型の樹
脂状物217gが残留していたが、これは平均分子
量が1250のもので、赤外分析の結果―SiCH3、―
SiCH2Si―、―SiH結合を示すメチルポリカルボ
シラン重合体であることが確認された。 実施例 9 実施例8で使用したメチルポリシラン化合物を
630℃に定温加熱した実施例2と同様の縦型管状
加熱炉の上部から1g/分の割合で連続的に導入
し、4時間熱分解反応を行なつたところ、熱分解
生成物221g(収率92.0%)が得られた。 このものは(CH3)2SiH258.5%、
(CH3)3SiH6.5%、CH3SiH30.8%、H(CH3)2Si
―Si(CH3)2H20.3%、ヘキサメチルトリシラン
9.2%、その他の高沸物4.7%からなるものであ
り、この加熱炉中の無機物による汚れも非常に僅
かなものであつた。
よるメチルクロロシラン製造法における高沸点物
から得られたジメチルテトラクロロジシランとト
リメチルトリクロロジシランのほゞ等モル量の混
合ジシランをヘキサメチルホスホロアミド触媒の
存在下に加熱し、メチルクロロシランを留去させ
ながら分解縮合高分子化してメチルクロロポリシ
ランとしたのち、さらにグリニヤ試薬
(CH3MgCl)でメチル化して得たメチルポリシラ
ン〔粘度476cS、平均分子量850、組成=
(CH3)2Si=単位72モル%、CH3Si≡単位8モル
%、(CH3)3Si―単位20モル%〕500gを石英フラ
スコに入れ、窒素ガスを少量通しながら撹拌下に
加熱したところ、340℃から熱分解反応が起り始
めたのでついで15時間かけて470℃まで昇温し、
この温度に一時間保持した。 この熱分解で得られた揮発性成分は270gで、
これは(CH3)2SiH252.0%、(CH3)3SiH6.5%、
CH3SiH31.2%、H(CH3)2Si―Si(CH3)2H24.3
%、ヘキサメチルトルシラン10.1%、その他の高
沸物5.9%よりなるものであつた。なお、この石
英フラスコ中には軟化点が135〜142℃の固型の樹
脂状物217gが残留していたが、これは平均分子
量が1250のもので、赤外分析の結果―SiCH3、―
SiCH2Si―、―SiH結合を示すメチルポリカルボ
シラン重合体であることが確認された。 実施例 9 実施例8で使用したメチルポリシラン化合物を
630℃に定温加熱した実施例2と同様の縦型管状
加熱炉の上部から1g/分の割合で連続的に導入
し、4時間熱分解反応を行なつたところ、熱分解
生成物221g(収率92.0%)が得られた。 このものは(CH3)2SiH258.5%、
(CH3)3SiH6.5%、CH3SiH30.8%、H(CH3)2Si
―Si(CH3)2H20.3%、ヘキサメチルトリシラン
9.2%、その他の高沸物4.7%からなるものであ
り、この加熱炉中の無機物による汚れも非常に僅
かなものであつた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 メチルポリシラン化合物を350℃以上の温度
で熱分解し、生成する揮発性成分から一般式 R2o+2(Si)o 〔ここにRはその少なくとも1個が水素原子で
ある水素原子またはメチル基、nは1〜3の正
数〕で示される化合物を分離、精製し、ジメチル
シラン、テトラメチルジシランを主成分とするメ
チルハイドロジエンシラン類を得ることを特徴と
するメチルハイドロジエンシラン類の製造方法。 2 メチルポリシラン化合物が環状または鎖状の
シメチルポリシラン化合物である特許請求の範囲
第1項記載のメチルハイドロジエンシラン類の製
造方法。 3 メチルポリシラン化合物が少なくとも60モル
%のジメチルシリル等位〔(CH3)2Si=〕を有す
るものである特許請求の範囲第1項記載のメチル
ハイドロジエンシラン類の製造方法。 4 熱分解温度が650〜800℃である特許請求の範
囲第1項記載のメチルハイドロジエンシラン類の
製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57222541A JPS59110697A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
US06/481,867 US4461908A (en) | 1982-12-17 | 1983-04-04 | Method for the preparation of methyl hydrogensilanes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57222541A JPS59110697A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59110697A JPS59110697A (ja) | 1984-06-26 |
JPS6337117B2 true JPS6337117B2 (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=16784051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57222541A Granted JPS59110697A (ja) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4461908A (ja) |
JP (1) | JPS59110697A (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2725535B2 (ja) * | 1992-07-30 | 1998-03-11 | 信越化学工業株式会社 | 両末端ヒドロポリシランの製造方法 |
US5326896A (en) * | 1993-07-14 | 1994-07-05 | Dow Corning Corporation | Conversion of direct process high-boiling component to silane monomers in the presence of hydrogen gas |
US5292909A (en) * | 1993-07-14 | 1994-03-08 | Dow Corning Corporation | Catalytic conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of hydrogen chloride and hydrogen |
US5321147A (en) * | 1993-07-16 | 1994-06-14 | Dow Corning Corporation | Conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of chlorine |
US5292912A (en) * | 1993-07-19 | 1994-03-08 | Dow Corning Corporation | Catalytic conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of hydrogen chloride |
US5616760A (en) * | 1996-01-31 | 1997-04-01 | Dow Corning Corporation | Process for reacting organodisilanes with organic halides |
US5567837A (en) * | 1996-01-31 | 1996-10-22 | Dow Corning Corporation | Disubstituted palladium catalysts for reacting organic halides with disilanes |
US6444013B1 (en) | 2000-09-19 | 2002-09-03 | The Boc Group, Inc. | Purification of methylsilanes |
US9123509B2 (en) | 2007-06-29 | 2015-09-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for plasma processing a substrate |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5865298A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2513123A (en) * | 1947-10-10 | 1950-06-27 | Linde Air Prod Co | Process for preparing aryl halosilanes |
US2598435A (en) * | 1949-08-18 | 1952-05-27 | Gen Electric | Process for treating organoplysilanes |
US2598434A (en) * | 1949-08-18 | 1952-05-27 | Gen Electric | Preparation of organohalogenosilanes from organohalogenopolysilanes |
US4079071A (en) * | 1977-03-28 | 1978-03-14 | Union Carbide Corporation | Synthesis of hydrosilanes from methylchloropolysilanes |
DD240901A1 (de) * | 1985-09-13 | 1986-11-19 | Akad Wissenschaften Ddr | Tonmineralhaltiger formkoerper und verfahren zu dessen herstellung |
-
1982
- 1982-12-17 JP JP57222541A patent/JPS59110697A/ja active Granted
-
1983
- 1983-04-04 US US06/481,867 patent/US4461908A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5865298A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4461908A (en) | 1984-07-24 |
JPS59110697A (ja) | 1984-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4276424A (en) | Methods for the production of organic polysilanes | |
US5292912A (en) | Catalytic conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of hydrogen chloride | |
JP3504729B2 (ja) | 塩化水素及び水素の存在下での直接法高沸点成分のクロロシランモノマーへの触媒転化 | |
JP3507136B2 (ja) | 水素ガスの存在下での直接法高沸点成分のシランモノマーへの転化 | |
US4946980A (en) | Preparation of organosilanes | |
US4888435A (en) | Integrated process for alkylation and redistribution of halosilanes | |
JP3507137B2 (ja) | 塩素の存在下での直接法高沸点成分のクロロシランモノマーへの転化 | |
JP3615722B2 (ja) | アルキルクロルシランの製法 | |
US3432537A (en) | Process for splitting silanes | |
JPS6337117B2 (ja) | ||
US5877337A (en) | Process for preparing alkylchlorosilanes from the residues of direct synthesis of alkylchlorosilanes | |
US4958040A (en) | Process for the preparation of diorganohalogenosilanes | |
CA1336607C (en) | Preparation of organosilanes | |
JP4485631B2 (ja) | 濃アルキル・シルアルキレン含有残渣におけるシルアルキレンの再分配法 | |
US4962219A (en) | Alkylation of halodisilanes | |
JP2005154439A (ja) | アルキルクロロシランの直接合成の残留物からのアルキルクロロシランの製造法 | |
US2557931A (en) | Phenylene linked organopolysilanes | |
JP4447087B2 (ja) | 高分子のシリコン含有化合物のモノシランへの転化方法 | |
US2626269A (en) | Aromatic halosilanes | |
EP0365206B1 (en) | Alkylation of halodisilanes | |
JPS5865298A (ja) | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 | |
KR100855672B1 (ko) | 고비점 잔류물로부터 모노실란 제조 방법 | |
EP0659754B1 (en) | Method for introducing hydrocarbons into chlorosilanes | |
SU896876A1 (ru) | Способ получени органохлорсиланов с разноименными органическими радикалами у атома кремни | |
JPS6039078B2 (ja) | ジシラン類の製造方法 |