JPS6334644B2 - - Google Patents

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JPS6334644B2
JPS6334644B2 JP54165488A JP16548879A JPS6334644B2 JP S6334644 B2 JPS6334644 B2 JP S6334644B2 JP 54165488 A JP54165488 A JP 54165488A JP 16548879 A JP16548879 A JP 16548879A JP S6334644 B2 JPS6334644 B2 JP S6334644B2
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JP
Japan
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crystal
resonator
unit
opening
resonator according
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JP54165488A
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JPS5597719A (en
Inventor
Baajiru Metoru Pieeru Sharuru
Kuroodo Beson Reimon Jan
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Etat Francais
Original Assignee
Etat Francais
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Publication date
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Publication of JPS5597719A publication Critical patent/JPS5597719A/ja
Publication of JPS6334644B2 publication Critical patent/JPS6334644B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/19Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はクリスタルに接着されない電極を有す
る型の“引出し”を備えたいわゆる圧電共振器に
おいて、気密ケーシングを有し、該ケーシング内
に真空が形成され、または不活性ガスが導入され
るようになつており、かつ前記ケーシング内に少
なくとも一つの圧電クリスタルが設けられ、該ク
リスタルが周辺部を有し、この周辺部が半径方向
に延びる短かい中間区域によつて中央部に連結さ
れたリングを形成するようになつており、さらに
それぞれ前記クリスタルの中央部の各面と小さな
間隔で相対するように位置決めされた電極と、該
電極およびクリスタルをケーシング内の所定の相
対的位置に保持するための装置とを有する共振器
に関する。
仏国特願第2338607号に記載されているような、
電極がクリスタルに接着されない周知の圧電共振
器においては、誘電材料よりなる板または円板の
上に金属溶射を行うことによつて電極が沈積さ
れ、該板の間に圧電クリスタルが挿置される。二
つの電極支持板の隙間、したがつて電極と、該電
極と相対するように位置決めされたクリスタルの
有効部分の面との距離は、結合リングの役割を有
しかつ二つの板の間に挿置される圧電クリスタル
の周辺部によつて決定される。前記結合リングお
よびこのリングと共働する誘電板の対応する部分
に追加表面を形成すれば、前記電極とクリスタル
との間に非常に小さなかつ非常に正確な隙間が得
られ、しかも如何なる場合においてもクリスタル
が電極と接触しないようにすることができる。こ
のような装置は調整を行うためには比較的便利で
あるが、少なくとも三つの独立した部材、すなわ
ち二つの誘電板と一つの圧電クリスタルとを必要
とする。このような三つの部材はねじまたはばね
の如き装着装置によつて組立状態に保持され、こ
の装着装置は前記部材を取外し自在にし、たとえ
ば圧電クリスタルはその幾可学的特性を変えんと
する時には取外すことができ、さらにこれを再び
誘電板の間に挿入し、異なる特性、たとえば共振
周波数の異なる共振器を形成することができる。
しかしながら前記装置はいくつかの欠点を有して
いる。すなわち圧電クリスタルは誘電板を移動さ
せなければ取出すこともできず、該板の間に再び
挿入することもできない。さらに三つの独立した
部材があるためにその組立てが比較的困難であ
る。たとえば前記三つの部材を相互に明確に定め
られた相対的位置に保持するための装着装置を使
用せねばならぬ。
本発明の目的は前記の如き欠点を排除し、製造
の簡単な共振器にして、その特性を決定する場合
に精度を失うことなく組立てを行い得るようにな
つた共振器を供することである。
この目的は本発明により、非接着電極を有する
前記の型の圧電共振器において、電極およびクリ
スタルを定位置に保持するための装置が誘電材料
よりなる単一のユニツトを有し、該ユニツトの中
にクリスタルの断面より大なる断面を有する少な
くとも一つの開口が形成され、該開口を通して前
記クリスタルを挿入し得るようになつており、前
記電極が前記誘電ユニツトに対しそれぞれ前記開
口の上面および下面の中央部に沈積され、かつ前
記クリスタルがその周辺部によつて前記開口内に
固定され、該クリスタルの中央部が前記電極と相
対するように、しかも該電極と接触しないように
なつた共振器を供することによつて達成される。
前記圧電クリスタルはなるべくはその周辺部に
よつて前記誘電ユニツトの開口の下面、すなわち
前記クリスタルの周辺部の形に対応する下面の区
域においてこの下面に対し直接触座するようにさ
れる。
この場合は前記機械的締着装置は前記クリスタ
ルの周辺部と共働し、この周辺部の部分を前記誘
電ユニツトの開口の下面の前記区域と接触した状
態に保持するようになつている。
前記機械的締着装置はなるべくはばねの如き弾
性保持装置とされる。
本発によれば電極間における圧電クリスタルの
装架は特に好適な態様で行うことができる。すな
わち前記クリスタルは誘電ユニツトの開口の中に
引出しの如き態様で、単なる摺動作用によつて挿
入され、これによつて誘電ユニツトの位置を変化
させるおそれはない。したがつて電極は単一の支
持体の上に沈積されるだけでなく、電極間に対す
る石英の挿入も容易である。電極と石英クリスタ
ルの有効部分の面との距離は、誘電ユニツトの開
口の上面および下面の周辺部と直接的にまたは間
接的に共働するクリスタルの周辺部の厚さによつ
て決定される。電極とクリスタルとの隙間の調節
は、該クリスタルの周辺部が単一の面、たとえば
誘電ユニツトの開口の下面と直接共働するように
した時は容易に行われ、この場合は保持装置は前
記周辺部に直接作用し、該周辺部を誘電ユニツト
の開口の前記下面と接触した状態に保持するよう
になる。
本発明の特定実施例によれば誘電ユニツトの開
口の下面の周辺部は電極を沈着する前記下面の中
央部に対して突出している。
クリスタルを保持するためには種々の装置を考
えこるとができる。たとえば前記締着装置は針に
よつて形成し、各針が誘電ユニツトの上方部分内
に形成された孔と係合し、該孔の中を摺動するよ
うになつており、かつ前記針がばね装置と共働し
て前記クリスタルの周辺部に圧力を加え、該クリ
スタルを誘電ユニツトの開口の下面の周囲区域と
接触した状態に保持するようになつている。
本発明は特に密実な多重共振器を製作する場合
に好適である。すなわち単一の誘電ユニツトの中
に電極を有する複数の開口を形成し、各開口に圧
電クリスタルが適合するようになすことができ
る。
本発明の他の特色および利点は添付図面によつ
て次に説明する実施例により明らかとなる。
第1図乃至第3図に示される如く、本発明によ
る共振器はベース1を有し、該ベースの上に半球
形のカバー2を固定し得るようになつている。ベ
ース1およびカバー2はケーシングを形成し、該
ケーシングの中には普通の装置によつて真空を形
成しまたは不活性ガスを導入することができる。
ベース1上に固定された保持装置30によつて
支持されている誘電ユニツト3は電極8,9を担
持し、該電極はそれぞれ接続線6,7によつて絶
縁端子4,5に接続され、共振器外部の電圧源か
ら電極に電圧を供給し得るようになつている。圧
電クリスタル10は電極8,9を支持する誘電ユ
ニツト3内に形成された開口31内に挿入され
る。クリスタル10は前記ユニツト3内に形成さ
れた開口31のそれぞれ上面および下面に沈積さ
れた電極の相対する部分80,90に置かれた有
効中央部101と、この有効中央部101を定位
置に保持しかつスリツトの形をなした開口31の
横方向端部311,312と共働する周辺部10
2とを有している。前記クリスタル10はスリツ
ト31に対し引出しの如き態様で容易に係合させ
ることができる。第1図および第2図に示された
実施例においてはクリスタル10は二重平面を有
し、かつその中央部101および周辺部102の
厚さは等しく、周辺部102を中央部101に連
結するせまい連結ブリツジ103乃至106と同
じレベルにあり、これらブリツジはクリスタルの
中間区域の一部分を形成し、かつクリスタルの半
径方向における長さが短かく、その大部分は区域
106乃至109のレベルにおいてくり抜かれて
いる。クリスタル10の中間区域における前記ブ
リツジ103乃至106の数、形および位置はも
ちろん用途にしたがつて変えることができる。
第1図乃至第3図に示された実施例において
は、圧電クリスタル10は円板の形をなし、電極
およびクリスタルを支持する誘電ユニツト3は平
行六面体の形をなしている。したがつてクリスタ
ルは旋削部品のすべての利点を有し、かつ圧電ユ
ニツト自体は製造が非常に簡単である。
ユニツト3内に形成されたスリツトの形を有す
る開口31は該ユニツトを貫通し、かつなるべく
は平らな平行面を有している。しかしながらこの
開口31は一定の高さを有しない方が有利であ
る。開口31は種々の形を有するものとなすこと
ができる。この開口31は正確な形と寸法を与え
るために超音波加工によつて形成される。第1図
においては、一つの開口31はすべての点におけ
る高さがクリスタル10の厚さよりわずかに大で
あり、かつその幅もクリスタルの直径よりわずか
に大となるようにされている。開口31は平らな
水平上表面および下表面を有するばかりでなく、
垂直側面を有し、該側面は相互に平行でありかつ
ユニツト3の正面41,42に対して直角であ
る。
第1図に示された開口は二つの横端部311,
312を有し、該端部はクリスタル10の周辺部
102と共同する。開口31のそれぞれ上面およ
び下面の中央部分318,319は電極80,9
0を有し、クリスタルの有効中央部101に対す
る励起電界を発生するようになつている。電極部
分80,90はたとえば方形となすことができ、
かつ開口31の面318,319の上に金属溶射
を行うことによつて沈積される。ユニツト3自体
は、金属溶射作業を行う時に、なるべくは開口3
1が実質的に垂直となるように位置決めされる。
開口31の高さはクリスタル10の部分的にく
り抜かれた中間区域に近くなるようにされてい
る。このように誘電ユニツト3内に凹所313,
314を形成することによつて、開口31に異な
るレベルを有する上面および下面、すなわち電極
部分80,90を担持する中央部分のレベルと、
クリスタルの周辺部102の部分と共働する横端
部のレベルとの異なる面を容易に形成し得るよう
になる。
開口31とクリスタル10の形によつて電極
8,9とクリスタルの有効中央部101の対応す
る面との間に所要の厚さの隙間が形成される。こ
の寸法はこれによつて共振器の共振周波数が決定
されるものであるから非常に重要である。本発明
の装置によれば前記電極とクリスタルとの間に形
成される隙間の高さは数ミクロン、場合によつて
は10分の数ミクロンとすることができる。
第1図に示された実施例においては、クリスタ
ル周辺部102の部分が開口31の横端部31
1,312のレベルにおいて該開口31の下面の
部分、すなわち電極9を支持する下面の中央部分
319に対して突出する部分と直接触圧する。ク
リスタルの中央部102の下面および区域31
1,312における開口31の下面の突出部分は
相互に完全に対応するように形成された面であ
り、これらが接触した時には前記クリスタルは電
極を担持する面318,319に対して正確に位
置決めされる。
保持装置30はユニツト3をケーシング1,2
内の定位置に保持すると共に、クリスタル10を
開口31の内側の定位置に錠止するためのもので
ある。前記保持装置30は第1図乃至第3図に示
された実施例の場合はベース1に固定された二つ
のフープ301よりなつている。ユニツト3はフ
ープ301の下方部分の上に直接触座している。
フープ301はその前方部分にスリツト302を
形成する隙間を有し、ユニツト3の開口31内に
クリスタル10を挿入し得るようになつている。
このフープは開口31の横端部311,312に
近接して位置決めされている。このようにすれば
機械的締着装置がフープ301およびクリスタル
の周辺部102と共同して、該クリスタル10を
ユニツト3に対する定位置に保持し得るようにな
る。前記機械的締着装置は棒304よりなり、こ
の棒の下端は針305を有し、かつフープ301
と共同する板ばね303に固定されている。棒3
04と一体的に形成された座金306はクリスタ
ルが開口31と係合していない時はユニツト3を
フープ301の下方部分に対して保持するように
なつている。棒の針304,305はユニツト3
の上方部分に形成されたオリフイス307の中を
移動し、かつ針305はばね303の作用によつ
てクリスタル10の周辺部102に対して押圧さ
れる。なるべくは連結ブリツジ103乃至106
から離れた区域において前記周辺部102内に形
成された小さな孔111は針305を受入れかつ
クリスタル10をユニツト3に対する定位置に錠
止するようになつている。弾性締着装置303乃
至305の作用によつてクリスタル10の周辺部
102は開口31の横端部に近い該開口の下面の
部分と密接に接触した状態に保持され、クリスタ
ル10はもはや不測にその面と平行に移動し得な
いようになる。その理由は前記針305が孔11
1と部分的に係合することによつて錠止位置に保
持されるからである。針305によつて加えられ
る拘束力は共振器の品質には影響しない。その理
由はクリスタルの中間区域は周知の如く固定周辺
部に対する有効振動部分を絶縁するからである。
さらにもし針305の力の作用点111を連結ブ
リツジ103乃至106から実質的に離れた所に
位置決めすれば中央部101に対する影響は実際
的に零である。
一般的に本発明によればクリスタルはそれ自体
の別個の支持体の上に沈積された電極の間に容易
に装架することができる。したがつてクリスタル
10は引出しの如き態様で開口31内に係合し、
その周辺部が開口31の下面の横端部上を摺動す
る。針305は先ずクリスタルの側部によつてば
ね303の作用に逆つて上方に押上げられ、次に
クリスタル10の孔の中に弾入し、該クリスタル
を開口31に対し、したがつて電極8,9に対し
所定の位置に錠止する。クリスタルの有効中央部
101の位置決めは開口31の高さおよびクリス
タル10の厚さとは関係なく行われる。クリスタ
ル10は電極担持ユニツト3に対して取外し自在
に位置決めされ、かつ該ユニツト3自体はフープ
301をベース1から容易に外し得るから容易に
取出すことができる。したがつてもし異なる厚さ
の圧電クリスタルの組および(または)異なる形
の開口31を有する電極担持ユニツトの組を使用
し得れば、特性の異なる共振器を形成することが
でき、または可変特性を有する二つの基本的部材
を組合わせることにより、すなわち電極担持ユニ
ツト3および圧電クリスタル10の組立体によつ
て共振器の特性を調節することができる。
第6図および第7図はユニツト3の開口31と
圧電クリスタル10の二つの可能な配置例を示
す。第6図の場合はクリスタル10は二重平面を
有し、かつその断面全体にわたつて一定の厚さを
有しているが、その中間区域は薄くすることがで
きる。このクリスタル10はその周囲区域102
の一部分によつて開口31の下面に対し、該開口
の横端部311,312に近接するように直接触
座している。クリスタルの周辺部102内に形成
された小さな孔111と部分的に係合する針30
5は該クリスタルをユニツト3に対する定位置に
保持する。クリスタルの中央部101の下面と、
開口31の面319上に沈積された下方電極部分
90との距離は一定であり、前記開口31の下面
の部分319のレベルと、クリスタルを支持する
横区域311,312における下面のレベルとの
距離によつて決定される。クリスタルの中央部1
01の上面と、開口31の上面318上に沈積さ
れた電極80の上方部分との距離はクリスタル1
0の厚さによつて決まる。したがつて共振器の共
振周波数はクリスタル10の厚さを変えることに
よつて調整することができる。
第7図に示された実施例においては開口31の
下面は横部分311,312と同じレベルにあ
り、かつ電極9を支持する中央部319に位置し
ている。したがつてクリスタルの中間部と相対し
て位置する区域内に形成される凹所313,31
4はどつちつかずの場合は省略することができる
が、この凹所を設けることによりこの凹所と、原
則として電極を含まない部分311,312とが
明確に分離されるから部分319上における電極
9の沈積を容易に行い得るようになる。第7図の
場合はクリスタル10は区域311,312内の
開口31の下面に触座する周辺部102に対して
凹入した中央部101を有している。したがつて
クリスタルの中央部101の下面と、ユニツト3
上に位置する電極9の下方部分との距離はクリス
タルのリング102の下面と、中央部101との
レベルの差によつて形成される。調節は周辺部1
02の厚さを変えることによつて、たとえば異な
る厚さの周辺部102を有するクリスタルの組か
ら適当なクリスタルを選択することによつて行わ
れる。
電極8,9は原則として開口31の内面31
8,319上に沈積せしめられる。しかしながら
電極8,9に対する接続線6,7の連結を容易に
するために、さらに電極80,90の延長部分、
たとえばユニツト3の正面、電極8に対するユニ
ツト3の上面、および電極8に対するユニツト3
の下面に金属を沈積させることができる。したが
つてユニツト3の中央部内において開口31の上
方に位置するユニツトの部分を囲繞する第1金属
ストリツプ8と、開口31の下方に位置するユニ
ツトの部分を囲繞する第2金属ストリツプ9を使
用することができる。この金属ストリツプ8,9
はたとえば金によつて形成することができる。
第4図および第5図は本発明による共振器の特
定の特性を示す。図にはユニツト3だけが示され
ている。第4図に示された実施例においてはユニ
ツト3は延長部分36,37を有し、該延長部分
の間に電極34,35を有する追加クリスタル3
3が触座している。前記延長部分36,37はハ
ウジング32を画定し、該ハウジングの中にクリ
スタル33が挿入され、かつこれら延長部分3
6,37は溝38の如き装置により、薄い部材に
よつてユニツト3の本体の連結することができ
る。電極34,35に電圧Vが加えられれば圧電
クリスタルは変形する。クリスタル32は圧電セ
ラミツク、またはたとえば石英によつて形成さ
れ、その厚さeは軸線Xに沿つて位置し、かつユ
ニツト3の延長部分36,37間に挿置される長
さlはクリスタルの切断軸線Yに沿つて位置決め
されている。電圧Vの作用によつてクリスタル3
2は縦方向に変形して長さd+dlとなり、したが
つて延長部分36,37は外方に押圧され、かつ
その曲がりによつて開口31の面318はある程
度凹面を呈するようになる。したがつてユニツト
3の面318に沈積された電極8と、クリスタル
中央部の対応する面との隙間は次第に増加し、共
振器の周波数も変化する。このような変動は電極
33,34に加えられる電圧Vが直流であれば、
永久周波数の変化となすことができ、または前記
電圧Vが交流であれば、共振器の平均共振周波数
の変調となすことができる。電極9とクリスタル
10の中央部101の下面との隙間はユニツト3
の下方部分の延長部分すなわち腕を追加し、かつ
クリスタル32と同様な圧電クリスタルを前記下
方延長部分の間に配置することによつて変調させ
ることができる。一般に本発明による共振器は任
意の位置において作動し、したがつて“下方”、
“上方”、“垂直”および“水平”なる用語は図面
を参照する時にその説明を容易にするためのもの
である。したがつて開口31の下面に対する説明
は前記開口の上面に対しても同様であり、または
その逆である。
第5図に示された本発明の実施例においては、
前述の型の開口の複数のもの31,31′が使用
され、電極を有するようようになつており、圧力
クリスタル10を受入れる各開口は同じ誘電ユニ
ツト3の中において重ねられている。このような
配置によれば多重共振器を構成する非常に密実な
装置が得られる。電極(図示せず)の適合された
開口31または31′と、該開口内に挿入された
圧電クリスタル10とよりなる基本的な各共振器
は相互に別個に作動することができる。このよう
な基本的な各共振器の特性は開口31,31′の
形および寸法、電極およびこれに加えられる電圧
の特性、ならびに圧電クリスタル10の形および
寸法によつて決定される。この組立体は各クリス
タル10が前述の場合と同様に引出しの如き態様
でハウジング31,31′内に係合し得るからそ
の動作は非常に簡単である。第5図は重ねられた
二つの同様な開口31,31′を有する二重共振
器のユニツト3を示す。開口31′の部分は開口
31の部分と同じ参照数字にダツシユを付して表
わされている。第5図の場合は開口31′の面3
19′上に沈積された電極は開口31の面318
上に沈積された電極に恒久的に接続され、かつこ
の二重共振器はそれぞれ開口31,31′よりな
る補助組立体の相互依存によつて作動することが
でき、かつ特公昭62−31859号明細書に記載の組
立体と同様に前記開口は電極を有しかつ組立体を
直列となすか並列となすかによつて選択された対
応するクリスタルが適合されている。
本発明による共振器は電極を支持するユニツト
の形が圧電クリスタルの形と実質的に異つている
と言うことに著しい特色がある。したがつてユニ
ツト3の開口31内に挿入された圧電クリスタル
10は第1図乃至第3図に示される如くユニツト
3の外方正面41,42を越えて延びることがで
きる。しかしながらクリスタル10の周辺部10
2の前記下面の表面状態または該クリスタルの周
辺部102の前記下面と直接共働するように設計
された開口31の部分の表面状態は特に重要であ
り、そのあらさは最少限に止める必要がある。
以上の説明は特定の実施例に関するものであ
り、本発明は特許請求の範囲内において種々の変
型を行うことができる。
したがつて本発明の他の実施例においては、ク
リスタルの有効部分をその周辺部となすことがで
き、この場合は固定部分はクリスタルの中央部と
される。この実施例はもちろん電極が支持ユニツ
トの上において、クリスタルの周辺部と相対する
スリツトの形をなした開口の部分に置かれること
を意味し、この場合はクリスタルと接触せず、該
クリスタルはユニツトの中央部に作用する支持装
置によつて定位置に保持され、かつこのクリスタ
ルはその面の一つによつて、支持ユニツト内に形
成された開口の内側と接触する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による共振器の1実施例の正面
図で、ケーシングのカバーを破線によつて表わし
た図;第2図は第1図に示された共振器を下方か
ら見た底面図で、ケーシングを取外した図;第3
図は第2図の矢印Fの方向に見た側面図;第4図
は第1図に示された共振器の変型実施例の一部分
の断面図で、第1図の面と平行に取つたもの;第
5図は本発明による多重共振器の一部分を示す
図;第6図および第7図は第2図の線J−Jに沿
つて取られた部分的断面図で、本発明による共振
器の変型実施例を示す図;第8図は第1図の線
−に沿つて取られた断面図である。 図において1はベース、3は透電ユニツト、
8,9は電極、10はクリスタル、30は保持装
置、31は開口、101は中央部、102は周辺
部、301はフープ、303は板ばね、305は
針、304は棒である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 内部を真空にするか内部に不活性ガスを封入
    した気密ケーシング1,2と、前記ケーシング内
    に位置し、半径方向に延びた短い中間区域103
    〜106により中央部101に連結されたリング
    を形成する周辺部102を具備した少なくとも一
    つの圧電クリスタル10と、前記圧電クリスタル
    の前記中央部101の各面と小さな間隔で対面す
    る電極8,9と、前記電極と前記圧電クリスタル
    とを前記ケーシング内で所定の相対位置に維持す
    る装置とを備えて成る、クリスタルに接着されな
    い電極を有する型式の圧電共振器において、 前記電極と前記圧電クリスタルとを所定の相対
    位置に維持する前記装置が、少なくとも一つの開
    口31を備えた誘電材料の単一のユニツト3から
    成り、該開口がこの開口への前記圧電クリスタル
    10の挿入を可能にすべく該圧電クリスタルの断
    面より大きな断面を有し、前記電極8,9が前記
    開口31の上面318及び下面319の中央部分
    において前記誘電材料のユニツト3上に蒸着され
    ており、前記圧電クリスタルが、該クリスタルの
    前記中央部101を前記電極から離れて該電極に
    対面させるように、前記周辺部102により前記
    開口31内に固定されていることを特徴とする圧
    電共振器。 2 特許請求の範囲第1項記載の共振器におい
    て、前記圧電クリスタル10の前記周辺部102
    が該周辺部の形状に対応する前記誘電材料ユニツ
    ト3の前記開口の前記下面の区域311,312
    において該下面319に直接接触着座している圧
    電共振器。 3 特許請求の範囲第2項記載の共振器におい
    て、前記圧電クリスタルの前記周辺部の一部を前
    記誘電材料ユニツトの前記開口の下面319の前
    記区域に接触維持させるべく該周辺部102と共
    働する機械的締着装置303〜305を備えて成
    る共振器。 4 特許請求の範囲第3項記載の共振器におい
    て、前記機械的締着装置がばねの如き弾性保持装
    置よりなつている共振器。 5 特許請求の範囲第1項から第4項までのうち
    の何れか1項に記載されたる共振器において、前
    記誘電ユニツトの前記開口の前記下面の前記区域
    311,312が、前記電極を蒸着した前記誘電
    材料ユニツトの中央部に対して突出している共振
    器。 6 特許請求の範囲第1項から第5項までのうち
    の何れか1項に記載されたる共振器において、前
    記誘電ユニツトの開口31が前記クリスタルの前
    記中間区域に近接して位置する部分に大きな断面
    を有している共振器。 7 特許請求の範囲第1項から第6項までのうち
    の何れか1項に記載されたる共振器において、前
    記クリスタルが前記誘電ユニツト内に取外し自在
    に装架されている共振器。 8 特許請求の範囲第3項から第7項までのうち
    の何れか1項に記載されたる共振器において、前
    記締着装置が針304,305よりなり、各針が
    前記誘電ユニツトの上方部分内に形成された孔と
    摺動係合し、かつ前記各針がばね装置303と共
    働して前記クリスタルの周辺部に圧力を加え、該
    クリスタルを前記誘電ユニツトの前記開口の下面
    の前記区域と接触した状態に保持するようになつ
    ている共振器。 9 特許請求の範囲第8項記載の共振器におい
    て、前記針が少なくとも部分的に前記クリスタル
    の前記周辺部内に形成された孔111の中に係合
    し、該クリスタルを所定の位置に錠止するように
    なつている共振器。 10 特許請求の範囲第4項、第8項および第9
    項のうちの何れか1項に記載されたる共振器にお
    いて、前記誘電ユニツトが前記ケーシングに固定
    されたフープ301によつて該ケーシングの内側
    に保持され、かつ前記ばね装置がこのフープと共
    働する板ばねよりなつている共振器。 11 特許請求の範囲第1項から第10項までの
    うちの何れか1項に記載されたる共振器におい
    て、前記誘電ユニツトが平行六面体の形をなして
    いる共振器。 12 特許請求の範囲第1項から第11項までの
    うちの何れか1項に記載されたる共振器におい
    て、前記誘電ユニツト内に形成された前記開口が
    高さを変え得るスリツトの形を呈し、該スリツト
    の上面及び下面が少なくとも前記電極を支持する
    部分において平らでありかつ平行している共振
    器。 13 特許請求の範囲第12項記載の共振器にお
    いて、前記電極が方形を呈している共振器。 14 特許請求の範囲第1項から第13項までの
    うちの何れかに記載されたる共振器において、前
    記誘電ユニツト内に形成された前記開口がスリツ
    トの形を有し、該スリツトの小さな側面が相互に
    平行である共振器。 15 特許請求の範囲第1項から第14項までの
    うちの何れか1項に記載されたる共振器におい
    て、前記誘電ユニツトの前記開口内に挿入された
    前記圧電クリスタルが該ユニツトの前方外面を越
    えて突出している共振器。 16 特許請求の範囲第1項から第15項までの
    うちの何れか1項に記載されたる共振器におい
    て、前記圧電クリスタルが、前記誘電ユニツト内
    に形成されたスリツト形開口の幅よりわずかに小
    さな直径を有する円板の形をなしている共振器。 17 特許請求の範囲第9項記載の共振器におい
    て、前記クリスタルが前記中間区域に中空部分を
    有し、かつ前記周辺部と中央部との間に薄い連結
    ブリツジ103〜106を有し、該クリスタルの
    該周辺部に形成された前記孔111が前記連結ブ
    リツジから離れた区域内に位置している共振器。 18 特許請求の範囲第1項から第17項までの
    うちの何れかに記載されたる共振器において、前
    記誘電ユニツトが延長部分36,37を有し、該
    延長部分の間に、電極を有する追加圧電クリスタ
    ルを接触着座させ、該誘電ユニツト内において、
    前記追加圧電クリスタルの電極に加えられる電圧
    にしたがつて前記電極を担持する前記開口の下面
    319および上面318の中央部分間の距離を変
    え得るようになつている共振器。 19 特許請求の範囲第1項から第17項までの
    うちの何れか1項に記載されたる共振器におい
    て、前記誘電ユニツトが電極を備えた複数の重ね
    られた開口31,31′を有し、該各電極が、複
    数の共振器を単一のユニツトとして構成するよう
    に圧電クリスタルと適合する共振器。 20 特許請求の範囲第19項記載の共振器にお
    いて、前記誘電ユニツトが二つの重ねられた同様
    な開口を有し、該各開口に圧電クリスタルを収容
    し、これら二つの圧電クリスタルが少なくとも一
    つの共通電極と共働するようになつている共振
    器。
JP16548879A 1978-12-19 1979-12-19 Piezooelectric resonator Granted JPS5597719A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0290160U (ja) * 1988-12-28 1990-07-17

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2545668B1 (fr) * 1983-05-03 1985-08-09 France Etat Armement Resonateur a thermostat infrarouge integre
FR2545669B1 (fr) * 1983-05-03 1985-08-09 France Etat Armement Oscillateur a quartz compense en temperature
US4631437A (en) * 1985-01-10 1986-12-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Stress compensated piezoelectric crystal device
FR2583584B1 (fr) * 1985-06-14 1987-09-18 Ecole Nale Sup Meca Microtechn Dispositif de support d'un resonateur piezoelectrique a l'interieur d'un boitier
JPH054339Y2 (ja) * 1988-10-04 1993-02-03
FR2638587B1 (fr) * 1988-10-28 1991-02-01 Ecole Nale Sup Meca Microtechn Dispositif demontable de support d'un resonateur piezoelectrique a l'interieur d'un boitier
JPH06350376A (ja) * 1993-01-25 1994-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気密封止された圧電デバイスおよび気密封止パッケージ
US5506463A (en) * 1993-08-23 1996-04-09 Rohm Co., Ltd. Packaged piezoelectric oscillator and method of making the same
DE69429848T2 (de) * 1993-11-01 2002-09-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elektronische Anordnung und Verfahren zur Herstellung
DE69409215T2 (de) * 1993-12-06 1998-07-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Hybrid Magnetstruktur und deren Herstellungsverfahren
US5780958A (en) * 1995-11-03 1998-07-14 Aura Systems, Inc. Piezoelectric vibrating device
JP3995918B2 (ja) * 2001-10-29 2007-10-24 セイコーインスツル株式会社 表面実装型圧電振動子
US20100266747A1 (en) * 2009-04-21 2010-10-21 Flir Systems, Inc. Combined crystal/optical assembly and method of its use

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE664983C (de) * 1932-10-13 1938-10-01 Telefunken Gmbh Als piezoelektrischer Kristall ausgebildeter Oszillator oder Resonator mit geringer Strahlungsdaempfung
US2210045A (en) * 1937-10-30 1940-08-06 Telefunken Gmbh Piezo-electric crystal holder
US2232277A (en) * 1938-09-02 1941-02-18 Telefunken Gmbh Piezoelectric crystal holder
US2276013A (en) * 1939-06-08 1942-03-10 Western Electric Co Apparatus for electrical transformation
US2240453A (en) * 1940-07-01 1941-04-29 Bliley Electric Company Piezoelectric crystal apparatus
US2358087A (en) * 1942-10-29 1944-09-12 Bell Telephone Labor Inc Electromechanical filter
US2418491A (en) * 1945-06-05 1947-04-08 George S Wachtman Piezo crystal unit assembly
US2597797A (en) * 1949-04-19 1952-05-20 James Knights Company Crystal holder
US3495103A (en) * 1968-04-24 1970-02-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric ceramic resonator
FR2338607A1 (fr) * 1976-01-16 1977-08-12 France Etat Resonateur a quartz a electrodes non adherentes au cristal

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0290160U (ja) * 1988-12-28 1990-07-17

Also Published As

Publication number Publication date
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EP0012689A2 (fr) 1980-06-25
EP0012689B1 (fr) 1982-07-14
DE2963355D1 (en) 1982-09-02
JPS5597719A (en) 1980-07-25
FR2445029B1 (ja) 1982-05-07

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