JPS633239A - ダスト計測装置 - Google Patents
ダスト計測装置Info
- Publication number
- JPS633239A JPS633239A JP14625786A JP14625786A JPS633239A JP S633239 A JPS633239 A JP S633239A JP 14625786 A JP14625786 A JP 14625786A JP 14625786 A JP14625786 A JP 14625786A JP S633239 A JPS633239 A JP S633239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- nozzle
- gas
- stage
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 17
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000005250 beta ray Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高圧集じん装置の出入ログスト0度測定に際
し、高圧プロセスガスを押え、常圧のダスト濃度計の使
用を可能とする技術分野で利用される。
し、高圧プロセスガスを押え、常圧のダスト濃度計の使
用を可能とする技術分野で利用される。
従来の技術
第2図に従来の構成を示し、その該要を説明する。
第2図において、符号lは高圧プロセスラインであり、
同ラインlにサンプリングノズル2を配置し、同ノズル
2内に設けられた多段オリフィス3を介して、高圧プロ
セスガス5を圧力P、−圧力Palまで減圧させ、減圧
後のガス5を常圧のダスト測定器に導入し、ダストを計
測している。
同ラインlにサンプリングノズル2を配置し、同ノズル
2内に設けられた多段オリフィス3を介して、高圧プロ
セスガス5を圧力P、−圧力Palまで減圧させ、減圧
後のガス5を常圧のダスト測定器に導入し、ダストを計
測している。
上記のようなダスト計測技術では、直接高圧ガス中のダ
ストを連続ダスト計で計測する事は出来ない。強いて行
うとすればダスト計自身を高圧の耐圧仕様にしなければ
ならない。
ストを連続ダスト計で計測する事は出来ない。強いて行
うとすればダスト計自身を高圧の耐圧仕様にしなければ
ならない。
発明か解決しようとする問題点
連続計測器を耐圧仕様にするか、耐圧容器の中に入れる
必要があり、特に前者の場合には市販品として皆無であ
り、特別仕様で特注しなければならないか、又は耐圧容
器に入れるにしても構造的に不可能な場合もあった。
必要があり、特に前者の場合には市販品として皆無であ
り、特別仕様で特注しなければならないか、又は耐圧容
器に入れるにしても構造的に不可能な場合もあった。
またダスト濃度が高い場合には、同じ計測器では測定範
囲を越えてしまう場合もあり、測定不能となる。これ等
を解決するには減圧膨張させた後に常圧ダスト測定器へ
入れる事が考えられるが、問題点を解決するための手段 本発明は、上述の問題を解決するために、次のような手
段を保っている。すなわち、 多段膨張ノズルのスロート部を設けた最上段減圧部にサ
ンプリングガス管を接続し、最上段入口から吸収用稀釈
ガスを流入させ、最下段出口にて稀釈混合ガスを大気圧
付近までに減圧し、このガスをダスト測定器に導入して
計測するようにする。
囲を越えてしまう場合もあり、測定不能となる。これ等
を解決するには減圧膨張させた後に常圧ダスト測定器へ
入れる事が考えられるが、問題点を解決するための手段 本発明は、上述の問題を解決するために、次のような手
段を保っている。すなわち、 多段膨張ノズルのスロート部を設けた最上段減圧部にサ
ンプリングガス管を接続し、最上段入口から吸収用稀釈
ガスを流入させ、最下段出口にて稀釈混合ガスを大気圧
付近までに減圧し、このガスをダスト測定器に導入して
計測するようにする。
作用
以上述べた手段によれば、したがって、−段目ノズルを
適切に設計することにより、吸引プロセスガスを多量に
消費する事なく、高圧で稀釈し、二段目の減圧膨張ノズ
ルに要する量を確保した後、二段目に入れる。これによ
り、高圧力差を持たせた場合にノズルに必要な流量を確
保した上、所定圧迄下げる事が出来、通常の常圧ダスト
測定器の入口へ導入でき、ダスト測定が出来る。
適切に設計することにより、吸引プロセスガスを多量に
消費する事なく、高圧で稀釈し、二段目の減圧膨張ノズ
ルに要する量を確保した後、二段目に入れる。これによ
り、高圧力差を持たせた場合にノズルに必要な流量を確
保した上、所定圧迄下げる事が出来、通常の常圧ダスト
測定器の入口へ導入でき、ダスト測定が出来る。
実施例
次に、本発明の実施例について、第1図を参照して述べ
る。
る。
第1図において、符号1は高圧プロセスライン、2′は
第1段ノズル7に接続されたサンプリングノズル、4は
高圧プロセスガス、6は高圧稀釈ガス、7′は第1段ノ
ズル7のスロート部、8は第2段ノズル、8′は第2段
ノズル8のスロート部、9は減圧後の稀釈混合ガスを示
している。
第1段ノズル7に接続されたサンプリングノズル、4は
高圧プロセスガス、6は高圧稀釈ガス、7′は第1段ノ
ズル7のスロート部、8は第2段ノズル、8′は第2段
ノズル8のスロート部、9は減圧後の稀釈混合ガスを示
している。
サンプリングノズル2′の一方は高圧プロセスライン1
内に配置され、他方はスロート部7′を持った第1段ノ
ズル7に接続されている。また第1段ノズル7はスロー
ト部8′を持った第2段ノズル8に接続されており、ノ
ズル7には圧力P’i。
内に配置され、他方はスロート部7′を持った第1段ノ
ズル7に接続されている。また第1段ノズル7はスロー
ト部8′を持った第2段ノズル8に接続されており、ノ
ズル7には圧力P’i。
を待った高圧稀釈ガスらが流れるようになっている。
高圧プロセスライン1の圧力はP、とする。その中にサ
ンプリングガス2′を入れ、第1段ノズル7のスロート
部7′に接続する。第1段ノズル7には圧力P′1.の
稀釈ガス6を流す事により、スロート部7′とプロセス
ラインlの圧力P1との差圧によりプロセスガスを吸引
しながら稀釈混合する。この後第2段ノズル8によりス
ロート部8′を第1段で稀釈した流量を考慮して決めろ
事により、第2段ノズル出口で大気圧付近道減圧膨張可
能である。以後この出口の混合ガス9が誉圧のダスト測
定器に導入され、計測されることになる。
ンプリングガス2′を入れ、第1段ノズル7のスロート
部7′に接続する。第1段ノズル7には圧力P′1.の
稀釈ガス6を流す事により、スロート部7′とプロセス
ラインlの圧力P1との差圧によりプロセスガスを吸引
しながら稀釈混合する。この後第2段ノズル8によりス
ロート部8′を第1段で稀釈した流量を考慮して決めろ
事により、第2段ノズル出口で大気圧付近道減圧膨張可
能である。以後この出口の混合ガス9が誉圧のダスト測
定器に導入され、計測されることになる。
上記ノズル7及び8の形状等は人口、出口前後の圧力と
流量によって決められ、スロート部7′込 の径は吸l流熾をコントロールできる径に、またスロー
ト部8′は大気圧と対応できる径に決められている。
流量によって決められ、スロート部7′込 の径は吸l流熾をコントロールできる径に、またスロー
ト部8′は大気圧と対応できる径に決められている。
発明の効果
本発明のダスト計測装置を採用すると、高圧プロセスカ
スを高圧のまま稀釈ガスと一度混合する事になり、第2
段目の膨張に必要な流1(閉塞しないための)を確保す
ると共に高圧プロセスガス量を押える事ができる。また
、第2段目で常圧付近まで膨張させる事により、従来通
りの常圧ダスト濃度計(測定器、例えば光透過式、光散
乱式又はβ線式等)に接続流入する事が可能となる。
スを高圧のまま稀釈ガスと一度混合する事になり、第2
段目の膨張に必要な流1(閉塞しないための)を確保す
ると共に高圧プロセスガス量を押える事ができる。また
、第2段目で常圧付近まで膨張させる事により、従来通
りの常圧ダスト濃度計(測定器、例えば光透過式、光散
乱式又はβ線式等)に接続流入する事が可能となる。
第1図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第2図は
従来例の概略断面図である。 1・・高圧プロセスライン、2′ ・・サンプリングノ
ズル、4・・高圧プロセスガス、6・・高圧稀釈ガス、
7・・第1段ノズル7′ ・・第2段スロート部、8・
・第2段ノズル、8′ ・・第(ほか1名)
従来例の概略断面図である。 1・・高圧プロセスライン、2′ ・・サンプリングノ
ズル、4・・高圧プロセスガス、6・・高圧稀釈ガス、
7・・第1段ノズル7′ ・・第2段スロート部、8・
・第2段ノズル、8′ ・・第(ほか1名)
Claims (1)
- 多段膨張ノズルのスロート部を設けた最上段減圧部にサ
ンプリングガス管を接続し、最上段入口から吸収用稀釈
ガスを流入させ、最下段出口にて稀釈混合ガスを大気圧
付近までに減圧し、このガスをダスト測定器に導入して
計測するようにしたダスト計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14625786A JPS633239A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ダスト計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14625786A JPS633239A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ダスト計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS633239A true JPS633239A (ja) | 1988-01-08 |
Family
ID=15403648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14625786A Pending JPS633239A (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | ダスト計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS633239A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012510048A (ja) * | 2008-11-24 | 2012-04-26 | アーペーデュウ | ガスサンプリング装置 |
CN103278434A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-04 | 清华大学 | 测量高温气冷堆一回路管道中石墨粉尘浓度的装置及方法 |
CN104502161A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 郑州光力科技股份有限公司 | 粉尘采样器检定装置 |
CN104502162A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 郑州光力科技股份有限公司 | 粉尘采样器及使用该粉尘采样器的粉尘浓度标定装置 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP14625786A patent/JPS633239A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012510048A (ja) * | 2008-11-24 | 2012-04-26 | アーペーデュウ | ガスサンプリング装置 |
CN103278434A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-04 | 清华大学 | 测量高温气冷堆一回路管道中石墨粉尘浓度的装置及方法 |
CN104502161A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 郑州光力科技股份有限公司 | 粉尘采样器检定装置 |
CN104502162A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 郑州光力科技股份有限公司 | 粉尘采样器及使用该粉尘采样器的粉尘浓度标定装置 |
CN104502161B (zh) * | 2014-12-31 | 2017-07-07 | 郑州光力科技股份有限公司 | 粉尘采样器检定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0467141B2 (ja) | ||
GB2428823A (en) | Semiconductor manufacturing gas flow divider system and method | |
KR100389722B1 (ko) | 누출탐지장치 | |
JPS633239A (ja) | ダスト計測装置 | |
WO2004072603A3 (en) | Multi-stage dilution system and method | |
EP0400627A3 (en) | Nox concentration measuring apparatus | |
EP0757241B1 (en) | Particle sampling system for gas supply system | |
US4111671A (en) | Method and apparatus for carbon dioxide snow separation | |
WO2010030640A1 (en) | Supersonic ejector package | |
EP0645168B1 (en) | Stripping of volatiles from liquid | |
US5376163A (en) | Filter system | |
US5290146A (en) | Outer casing of a low-pressure part of a steam turbine | |
US5272738A (en) | Device for monitoring the atmosphere withing a nuclear reactor containment | |
US3712325A (en) | Gas mixer | |
CN104596227B (zh) | 风刀 | |
JPH06210147A (ja) | 気液加圧混合方法及び気液加圧混合装置 | |
CN210514244U (zh) | 一种职业卫生检测用二氧化碳浓度检测仪 | |
JPH0144735Y2 (ja) | ||
JP2580749B2 (ja) | 排気ガス導入装置の排気ガス分析方法 | |
JPS58151305A (ja) | 酸素の製造方法 | |
JPS586903B2 (ja) | ブンセキソウチヨウサンプリングソウチ | |
JPS5667733A (en) | Measuring apparatus for discharge of corpuscle | |
JPH0650527A (ja) | 多段減圧装置 | |
DE2507430A1 (de) | Molekularvakuumpumpe mit hohem kompressionsverhaeltnis fuer leichte molekuele | |
JP3527006B2 (ja) | エゼクター |