JPS63302345A - 光−熱変換分析法 - Google Patents

光−熱変換分析法

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JPS63302345A
JPS63302345A JP62138029A JP13802987A JPS63302345A JP S63302345 A JPS63302345 A JP S63302345A JP 62138029 A JP62138029 A JP 62138029A JP 13802987 A JP13802987 A JP 13802987A JP S63302345 A JPS63302345 A JP S63302345A
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intermittent light
pyroelectric
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Teruo Higami
照男 樋上
Satoru Kawada
川田 哲
Mitsuhiro Murata
充弘 村田
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/171Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、分析されるべき試料に光を照射したとき、
その光が熱に変換される原理を利用する、光−熱変換分
析法に関するものである。
[従来の技術] たとえば吸光種(色素)を溶解した溶液の濃度を測定す
るため、吸光光度分析法が用いられている。このような
分析法においては、試料内を透過した光の強度がたとえ
ば光電素子によって検出され、この光電素子から出力さ
れる電気信号に基づき、溶液の濃度が決定される。
[発明が解決しようとする問題点] 上述した吸光光度分析法において、ランベルト・ベール
の法則に従った吸光度を示す数値は、感度と相関関係を
有しており、従来、この吸光度は、“0.001“のオ
ーダであった。なお、この数値は、より小さいほど、感
度が高いことを示すものである。
そこで、この発明は、従来の吸光光度分析法に比べて、
さらに高い感度を可能にする、光−熱変換分析法を提供
することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段] この発明は、分析されるべき試料に光を照射したときに
生じる熱を測定することによって、試料が有する特性を
分析する、光−熱変換分析法であって、上述した技術的
課題を解決するため、次のような手段が講じられる。
すなわち、この発明に係る光−熱変換分析法は、前記光
として断続光を用い、当該断続光の光路上に前記試料を
置き、前記断続光が前記試料によって影響を及ぼされた
後の前記光路上に焦電型赤外線センサを配置して前記断
続光に伴なって断続的に発せられる熱に基づく温度変化
を前記焦電型赤外線センサによって検出することを特徴
とするものである。
なお、この発明に係る分析法において、試料との関係で
、断続光の光路が形成される位置に関して、典型的には
、次の2種類がある。その第1は、断続光が試料内へ入
射される場合である。この場合には、焦電型赤外線セン
サは試料内を通った後の断続光を受けるように配置され
る。その第2は、断続光が試料の表面へ入射され、この
断続光の少なくとも一部が試料の表面で反射される場合
である。この場合には、焦電型赤外線センサは、試料の
表面から反射した後の断続光を受けるように配置される
。上述した第1の実施態様は、特に試料が光透過性であ
る場合にのみ適用可能である。また、第2の実施態様は
、試料が光透過性を存していない場合に有利に適用され
るものであるが、たとえ試料が光透過性を有している場
合であっても適用できる。
[作用] この発明において、試料に照射された断続光は、この試
料特有の性質によって影響が及ぼされる。
したがって、このように試料によって影響を及ぼされた
後の断続光の光路上に配置された焦電型赤外線センサは
、断続光に伴なって断続的に発せられる熱に基づく温度
変化を検出し、その結果、温度変化の度合に応じた大き
さの電気信号を出力する。
[発明の効果] この発明によれば、断続光を用いながら、この断続光が
試料によって影響を及ぼされた後において、断続光に伴
なって断続的に発せられる熱に基づく温度変化を焦電型
赤外線センサによって検出する方法が採用されている。
このような方法を適用したとき、前述した吸光度は“0
.0001“のオーダにまで小さくなり、したがって感
度が高められることがわかった。したがって、分析精度
の点において信頼性の高い測定結果を期待することがで
きる。
[実施例] 第1図には、この発明の一実施例を実施するための装置
の概略がブロック図によって示されている。この実施例
は、溶液の濃度を測定する方法に向けられている。
試料溶液1は、透明な測定セル2内に入れられ、分析に
供せられる。このような試料溶液1に照射されるべき励
起光として、たとえば、可視レーザ光3が用いられ、こ
れは、レーザ光源4から発せられる。なお、レーザ光源
4としては、たとえば、He−Neレーザ装置またはA
r+レーザ装置を用いることができる。レーザ光3は、
チョッパ5を通して、たとえば10Hz程度の周波数に
変調基れた断続光6となる。この断続光6は、測定セル
2に入射される。
測定セル2には、前述したように、試料溶液1が入れら
れており、したがって、断続光6は、試料溶液1内に入
射され、試料溶液1内において光路7を形成する。断続
光6が試料溶液1によって影響を及ぼされた後の光路7
上には、その焦電面8が断続光6に伴なって発せられる
熱を受は得る状態で、焦電型赤外線センサ9が配置され
る。このセンサ9は、断続光6に伴なって断続的に発せ
られる熱に基づく温度変化を検出するものである。
なお、焦電面8は、従来から一般的に用いられている黒
化膜によって形成してもよいが、耐溶液性と熱伝導性を
考慮して、金の蒸着膜によって形成してもよい。
焦電型赤外線センサ9については、第2図および第3図
を参照して、その詳細を後で説明するが、このセンサ9
は、ソース端子S1 ドレイン端子りおよびアース端子
Gを備えている。
前述のように、試料溶液1内を通った断続光6に伴なっ
て断続的に発せられる熱に基づく温度変化は、センサ9
によって検出され、ソース端子Sから電気信号として出
力される。この出力信号は、プリアンプ10によって増
幅され、さらに、プリアンプ10の出力信号は、ロック
インアンプ11に入力される。ロックインアンプ11に
は、チョッパ5から取出された基準信号が入力され、ロ
ックインアンプ11において、チョッピング周波数に同
期した信号のみが出力される。この出力信号は、レコー
ダ12に入力され、ここにおいて、センサ9からの出力
信号に対応する測定値が記録される。レコーダ12は、
たとえば、ディスプレイに置換えられてもよく、また、
これら両者が用いられてもよい。さらに、マイクロ−C
PUによるデータ処理装置でもよい。
第2図には、焦電型赤外線センサ9の等価回路の一例が
示されている。また、第3図には、同じくセンサ9の機
械的構造の一例が断面図で示されている。なお、第2図
および第3図において、“S”、′D”、“G#は、そ
れぞれ、第1図に示した“S“、“D”、“G”と対応
している。
第2図を参照して、焦電体13の一方の電極は、FET
14のゲート電極に接続され、他方の電極は、アース端
子Gに接続されている。FET14のドレイン電極に接
続されるドレイン端子りには、直流電圧が印加されてい
る。また、FET14のソース電極には、ソース端子S
が接続されている。
さらに、焦電体13と並列に、抵抗Rgが接続されてい
る。また、ソース端子Sとアース端子0間には、抵抗R
8が接続されている。
焦電体13には、温度変化に基づき電荷が発生し、この
電荷により抵抗Rgに電流が流れ、抵抗Rgの両端に電
位差が発生する。この電位差は、FET14のソース争
フォロワ回路によりインピーダンス変換され、ソース端
子Sとアース端子Gとの間の抵抗R3の両端に電位差が
現われる。この電位差は、温度変化に基づき変化するも
のであるので、ドレイン端子りに印加されていた直流バ
イアス電圧が重畳された交流出力信号が、ソース端子S
より取出される。
第3図を参照して、焦電型赤外線センサ9の機械的構造
の一例について説明する。センサ9は、キャップ15お
よび底板16からなる金属ケース17を備える。キャッ
プ15には、赤外線を通すための窓18が形成され、こ
の窓18から入射した赤外線を受けるように、たとえば
平板状の焦電体19が、キャップ15の内面側に封止樹
脂20によって貼付けられる。焦電体19は、第2図に
示した焦電体13に相当するものであり、その両面には
、それぞれ、電極(図示せず)が形成されている。焦電
体19の、第3図における上面に形成された電極は、金
属ケース17に電気的に接続された状態となる。
金属ケース17内には、たとえばアルミナからなる基板
21が、底板16とほぼ平行に延びるように配置される
。基板21の上面には、FET22が配置されている。
このFET22は、第2図に示したFET14に相当す
るものである。FET22と焦電体19の下面に形成さ
れた電極とを接続するように、リード線23が図示され
ている。
このリード線23は、第2図における焦電体13とFE
T14のゲート電極とを接続するラインに相当するもの
である。
基板21に保持されて、アース端子G1ソース端子Sお
よびドレイン端子りが、それぞれ、底板16を貫通して
、金属ケース17の外部に導出される。アース端子Gは
、導電性樹脂24を介して、金属ケース17に電気的に
接続される。これによって、焦電体19の上面に形成さ
れた電極は、アース端子Gと電気的に接続された状態と
なる。ソース端子Sおよびドレイン端子りは、それぞれ
、金属ケース17とは電気的に絶縁された状態とされる
なお、第3図において、焦電型赤外線センサ9を構成す
る主要な部品のみが図示されていることを指摘しておく
第3図に示したセンサ9は、その焦電体19の上面が、
第1図における焦電面8を構成するように、測定セル2
および試料溶液1に対して位置決めされる。
次に、第1図に示した装置を用いて、適当な吸光種(色
素)が種々の濃度で溶解された水溶液を試料溶液1とし
て、その濃度に対する、センサ9から得られた信号強度
の相関関係を求めた実験例について紹介しておく。
まず、レーザ光源4として、0. 5 mWのHe−N
eレーザ装置を用いた。チョッパ5は、10Hzの断続
光6を与えるように制御した。また、試料溶液1に溶解
される吸光種(色素)としては、ブリリアントブルーを
用いた。ブリリアントブルーは、632.8n@の波長
の光において、ランベルト・ベールの法則に従ったモル
吸光係数が、1゜27X10’ ctx−’ M−’で
ある。
第4図に、上述したブリリアントブルーの濃度C[M]
に対する、信号強度P[mV]のプロット結果が示され
ている。
第4図に示すように、色素濃度の低い領域では、レーザ
光は試料溶液1中でほとんど減衰せず、センサ9の焦電
面8にその実質的部分が直接到達するため、焦電面8上
で生じた光−熱交換に従って、大きな信号強度が得られ
ている。このような濃度領域では、色素濃度の増加に伴
ない、焦電面8に到達するレーザ光が減少するため、信
号強度も減少するが、この減少は、通常のベールの法則
に従っている。色素を含まない溶液に対して測定される
信号強度と色素を含む溶液に対して測定される信号強度
とから求めた吸光度は、ブリリアントブルー濃度(7)
2X 10− ’ Mカラ8X 10’ M(7)範囲
で濃度に比例し、検出限界は吸光度として2゜5X10
−”であった。
色素濃度のさらに高い領域では、レーザ光は、溶液によ
ってほぼ完全に吸収され、事実上、焦電面8には到達せ
ず、単に溶液内で生じる光−熱変換による信号が検出さ
れるのみであった。この濃度領域は、第4図では、10
−’Mを越える領域に相当し、信号強度は弱いものの、
信号強度は、濃度の増加に伴なって徐々に減少する傾向
が見られた。これは、濃度の増加に伴ない、レーザ光の
溶液への侵入深さが減少するため、その侵入深さ内で起
こる光−熱変換により発生した熱が焦電面8に到達しに
くくなるためであると説明することができる。しかしな
がら、このような比較的高い濃度領域においても、信号
強度が濃度の増加に伴ない徐々に減少することは事実で
あって、これを利用して、濃度の検出を行ない得る可能
性が残されている。
同様に、吸光種(色素)として、ニューコクシンを用い
、また、レーザ光R4として、Ar+レーザ装置を用い
て実験を行なったが、上述した実験例と実質的に同様の
実験結果を得た。なお、ニューコクシンは、48g、O
nmの波長の光において、ランベルト・ベールの法則に
おけるモル吸光係数が1.90X10’cm−’ M−
’である。
第5図および第6図には、それぞれ、この発明の他の実
施例が示されている。
第5図の実施例では、固体でありかつ光透過性の試料2
5が用いられている。第1図に示した方法と同様に発生
されたレーザ光の断続光6は、試料25内へ入射される
。そして、試料25内で形成された光路7が試料25か
ら出る位置に、第1図ないし第3図に示したのと実質的
に同様の構造を存するセンサ9aが配置される。なお、
図示の状態では、センサ9aの焦電面8aは、試料25
に接するように配置されているが、試料25の表面と所
定の間隔をおいて配置されていてもよい。
第5図に示した状態において、断続光6に伴なって断続
的に発せられる熱に基づく温度変化は、センサ9aによ
って検出される。
第6図では、たとえば光透過性を有しない固体の試料2
6が分析に供されている。試料26の一表面27には、
第1図に示した方法により発生された断続光6が入射さ
れる。そして、断続光6は、試料26の表面27におい
て反射する。なお、試料26の表面27における少なく
とも入射点28付近は、光の乱反射を防止するため、鏡
面とされることが好ましい。第1図ないし第3図に示し
たのと実質的に同様の構造を存する焦電型赤外線センサ
9bは、その焦電面8bにおいて、試料26の表面27
から反射した後の断続光6を受けるように配置される。
第6図に示した分析法において、試料26の表面27か
ら反射した後の断続光6に伴なって断続的に発せられる
熱に基づく温度変化は、センサ9bによって検出される
なお、第6図に示した分析法は、試料26として、光透
過性を有しない固体である必要はなく、光透過性を有し
ていてもよく、また、液体であってもよい。
以上、この発明を、図示した実施例に関連して説明した
が、この発明の範囲内において、その他種々の変形例が
可能である。
たとえば、この発明に係る分析法によって測定される試
料の特性としては、前述した実施例のように、溶液の濃
度には限らない。たとえば、試料のバンドギャップを測
定することもできる。この場合には、断続光を構成する
光は、特定の波長範囲内にあるスペクトルに分解された
状態で与えられる。そして、ある特定の波長のところで
特異な信号がセンサから出力される。したがって、この
波長を見出すことにより、バンドギャップを測定するこ
とができる。
また、この発明に係る分析法は、たとえば第7図に示す
ような構成で1つの光源4からの光をハーフミラ−29
を用いて2つの光路7aおよび7bに分岐しながら、測
定用試料30を第1の光路32で両者の測定値の差をと
ることにより、測定操作と同時にブランクの信号強度を
補正することができる。
なお、第7図において、第1図に示した要素に相当の要
素には、同様の参照番号を付し、重複する説明は省略す
る。
第8図ないし第11図には、外部雰囲気の熱変化、振動
によるノイズ発生を防止する目的で実施される、この発
明のさらに他の実施例を説明するための図である。
第8図および第9図には、この実施例で有利に用いられ
る焦電体19aに形成される電極形状の一例が示されて
いる。焦電体19aの熱感知面には、第8図に示すよう
に、中央に円形の感知電極33が形成され、その周囲に
は、外部ノイズ補償用電極34が形成される。感知電極
33と外部ノイズ補償用電極34とは、接続部35を介
して、互いに電気的に接続される。感知電極33と外部
ノイズ補償用電極34とは、互いに等しい面積とされる
。他方、焦電体19aの、熱感知面とは逆の面には、第
9図に示すように、中央電極36と34と完全に重なる
寸法形状とされる。
上述した焦電体19aを用いて構成された焦電型赤外線
センサ9Cの機械的構造が第10図に示されている。第
10図において、第3図に示した焦電型赤外線センサ9
と同一または相当の要素には、同様の参照符号を用い、
 重複する説明は省略する。
焦電#−19aは、熱感知面の中央にある感知電極33
のみが、窓18より露出するように、電気絶縁性の封止
樹脂20によって、金属ケース17の内部に固定される
。感知電極33とは反対側にある裏側の中央電極36は
、リード線38により、FET22のゲート端子に電気
的に接続され、同じ側にある周囲電極37は、リード線
39により、アース端子Gに電気的に接続される。その
他の構成は、第3図に示した焦電型赤外線センサ9と実
質的に同様である。
第10図に示した焦電型赤外線センサ9cは、第11図
に示すような等価回路を実現する。すなわち、前述した
ような電極33,34,36.37を有する焦電体19
aは、直列接続された2つの焦電素子40および41を
構成することになる。
そして、これら焦電素子40および41において、矢印
で示すような分極方向を有することになる。
第11図に示した等価回路は、第2図に示した等価回路
と同じ要素を多く含んでいるので、相当の要素には同様
の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の一実施例を実施するための装置を
示すブロック図である。第2図は、第1図に示した焦電
型赤外線センサ9の等価回路図である。第3図は、同じ
く焦電型赤外線センサ9の機械的構造を示す断面図であ
る。第4図は、この発明の実験例において、水溶液の濃
度Cに対するセンサからの信号強度Pを測定した結果を
示すグラフである。第5図および第6図は、それぞれ、
この発明の他の実施例を実施している状態を示す図解図
である。第7図は、この発明のさらに他の実施例を実施
するための装置を示すブロック図である。第8図および
第9図は、この発明のさらに他の実施例を実施するため
に有利に用いられる焦電体19aの電極形状の一例を示
す図である。第10図は、第8図および第9図に示した
焦電体19aを用いて構成した焦電型赤外線センサ9C
の機械的構造を示す断面図である。第11図は、第10
図に示した焦電型赤外線センサ9Cの等価回路図である
。 図において、1は試料溶液(試料)、3はレーザ光(光
)、6は断続光、7,7a、7bは光路、9.9a、9
b、9cは焦電型赤外線センサ、13.19,19aは
焦電体、25.26は試料、30は測定用試料、31は
参照用試料である。 第4図 第5図 第7図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)分析されるべき試料に光を照射したときに生じる
    熱の測定に基づく光−熱変換分析法であって、 前記光として断続光を用い、当該断続光の光路上に前記
    試料を置き、前記断続光が前記試料によって影響を及ぼ
    された後の前記光路上に焦電型赤外線センサを配置して
    前記断続光に伴なって断続的に発せられる熱に基づく温
    度変化を前記焦電型赤外線センサによって検出すること
    を特徴とする、光−熱変換分析法。
  2. (2)前記試料は光透過性であり、前記断続光は前記試
    料内へ入射され、かつ前記焦電型赤外線センサは前記試
    料内を通った後の前記断続光を受けるように配置される
    、特許請求の範囲第1項記載の光−熱変換分析法。
  3. (3)前記断続光は前記試料の表面へ入射され、かつ、
    前記焦電型赤外線センサは、前記試料の表面から反射し
    た後の前記断続光を受けるように配置される、特許請求
    の範囲第1項に記載の光−熱変換分析法。
  4. (4)参照用試料を備え、前記断続光は前記測定用試料
    および参照用試料に照射され、前記断続光が前記参照用
    試料によって影響を及ぼされた後の前記光路上に前記焦
    電型赤外線センサが配置され、ブランク補正を可能にし
    た、特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記
    載の光−熱変換分析法。
JP62138029A 1987-06-01 1987-06-01 光−熱変換分析法 Granted JPS63302345A (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58143542A (ja) * 1982-02-22 1983-08-26 Toshiba Corp 半導体単結晶の評価方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58143542A (ja) * 1982-02-22 1983-08-26 Toshiba Corp 半導体単結晶の評価方法

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