JPS63284519A - 光変調器 - Google Patents
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光変調器に関し、特にチャネル形導波路光変
調器に関する。
調器に関する。
［従来の技術］
０ｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、Ｖｏｌ、３ 、 Ｎ
ｏ 、 ３、Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９７８に記載の「
Ｌｅａｋｉｎｇ−ｍｏｄｅｐｒｏｐａｏａｔｉｏｎ ｉ
ｎ Ｔｉ−ｄｉｆｆｕｓｅｄ Ｌ ｉ Ｎ ｂｏ３ａ
ｎｄＬ ！ Ｔ ａ、０３ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｊと
題する論文は、光導波路における漏れモード伝搬の観察
に関するものである。特に、そこには、非軸伝搬方向に
おけるＴＥおよびＴＭ偏波間に起こる異方性結合によつ
゛て一方の伝搬モードが選択的に漏れを生じ、その結
果そのモードが高い伝搬損を生じることが報告されてい
る。特に、ＸカットまたはＹカットのニオブ酸すヂウム
導波路においては、ＴＥ偏波入力のみに選択的に高伝搬
損を生じることが報告されている。一方、Ｘカットまた
はＹカットのタンタル酸すウチム導波路においては、Ｔ
Ｍ（ｆｆｌ波モードが選択的に影響を受ける。特に、こ
の効果が顕著であるためには、伝搬方向が結晶の光軸す
なわちＺ軸と平行な方向から、その特定の結晶の臨界角
よりも大きい角だけずれている必要がある。この臨界角
は、導波路および特定結晶の関数である。
ｏ 、 ３、Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９７８に記載の「
Ｌｅａｋｉｎｇ−ｍｏｄｅｐｒｏｐａｏａｔｉｏｎ ｉ
ｎ Ｔｉ−ｄｉｆｆｕｓｅｄ Ｌ ｉ Ｎ ｂｏ３ａ
ｎｄＬ ！ Ｔ ａ、０３ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｊと
題する論文は、光導波路における漏れモード伝搬の観察
に関するものである。特に、そこには、非軸伝搬方向に
おけるＴＥおよびＴＭ偏波間に起こる異方性結合によつ
゛て一方の伝搬モードが選択的に漏れを生じ、その結
果そのモードが高い伝搬損を生じることが報告されてい
る。特に、ＸカットまたはＹカットのニオブ酸すヂウム
導波路においては、ＴＥ偏波入力のみに選択的に高伝搬
損を生じることが報告されている。一方、Ｘカットまた
はＹカットのタンタル酸すウチム導波路においては、Ｔ
Ｍ（ｆｆｌ波モードが選択的に影響を受ける。特に、こ
の効果が顕著であるためには、伝搬方向が結晶の光軸す
なわちＺ軸と平行な方向から、その特定の結晶の臨界角
よりも大きい角だけずれている必要がある。この臨界角
は、導波路および特定結晶の関数である。
それは数度であり、特定の設計の導波路に対しては、実
験的に決定するのが最もよい。またそれは、導波路内に
形成された電界により変調される。
験的に決定するのが最もよい。またそれは、導波路内に
形成された電界により変調される。
例えば、臨界角より大きい導波路角で、ＴＥ偏波した６
３２８オングストロームのビームがニオブ酸リチウムの
導波路に対し入力として印加され、導波路に沿って臨界
角より大きい角で伝搬するようにされると、ＴＥ偏波を
有する導波ビームのみでなく、導波路に沿って発生する
のであるが導波路表面に対しある傾斜角で基板内へ伝搬
して行く漏れビームも観察され、この漏れビームは入力
ビームから９０’回転したＴＭ偏波であることがわかっ
た。ＴＭ偏波の入力の場合は、漏れ、従って損失は観察
されなかった。この効果を利用するように設計された変
調器は、結晶の光軸に対し臨界角に近い適切な角で配置
されたブレーナ形導波路を含んでいた。そして、臨界角
は、電気光学的摂動によって変調され、入力のＴＥモー
ドの損失が変化せしめられた。伝搬波の方向を精密に制
御することによってそれを臨界角の極めて近くに保たな
くてはならないので、変調器は入力波を導波路内に正確
に入射させるためにプリズムカップラを用いていた。従
って、この技術は複雑になり、光ファイバが主たる光伝
送媒体として用いられる伝送系に使用されるために特に
適しているとはいえない。
３２８オングストロームのビームがニオブ酸リチウムの
導波路に対し入力として印加され、導波路に沿って臨界
角より大きい角で伝搬するようにされると、ＴＥ偏波を
有する導波ビームのみでなく、導波路に沿って発生する
のであるが導波路表面に対しある傾斜角で基板内へ伝搬
して行く漏れビームも観察され、この漏れビームは入力
ビームから９０’回転したＴＭ偏波であることがわかっ
た。ＴＭ偏波の入力の場合は、漏れ、従って損失は観察
されなかった。この効果を利用するように設計された変
調器は、結晶の光軸に対し臨界角に近い適切な角で配置
されたブレーナ形導波路を含んでいた。そして、臨界角
は、電気光学的摂動によって変調され、入力のＴＥモー
ドの損失が変化せしめられた。伝搬波の方向を精密に制
御することによってそれを臨界角の極めて近くに保たな
くてはならないので、変調器は入力波を導波路内に正確
に入射させるためにプリズムカップラを用いていた。従
って、この技術は複雑になり、光ファイバが主たる光伝
送媒体として用いられる伝送系に使用されるために特に
適しているとはいえない。
し発明の要約］
本発明は、光ファイバに結合して用いるのに適した変調
器に関する。
器に関する。
本発明の変調器は、ニオブ酸リチウム結晶の基板内にチ
タンのチャネル形導波路を拡散させたものなどの、チャ
ネル形導波路を用いており、拡散せしめられたチャネル
形導波路の軸方向は結晶の光軸から臨界角より十分に大
きい角だけずらされており、それによって入力波の漏れ
損モードが明確に励振されるようになっている。これに
よって、′ 従来技術の特徴であった、伝搬角の精密な
公差が必要でなくなり、チャネルの入力端および出力端
に光ファイバを結合させて用いる便宜が得られる。
タンのチャネル形導波路を拡散させたものなどの、チャ
ネル形導波路を用いており、拡散せしめられたチャネル
形導波路の軸方向は結晶の光軸から臨界角より十分に大
きい角だけずらされており、それによって入力波の漏れ
損モードが明確に励振されるようになっている。これに
よって、′ 従来技術の特徴であった、伝搬角の精密な
公差が必要でなくなり、チャネルの入力端および出力端
に光ファイバを結合させて用いる便宜が得られる。
その後、摂動効果のない場合にわずかな損失しか生じな
いように偏波した入力波が供給され、結晶上の電極構造
に対して変調信号が供給される。この構造は、入力モー
ドに電気光学的な摂動を与えることにより、損失のある
直交モードに対し電力が伝達されるようにするためのモ
ード変換器としての作用を有する。
いように偏波した入力波が供給され、結晶上の電極構造
に対して変調信号が供給される。この構造は、入力モー
ドに電気光学的な摂動を与えることにより、損失のある
直交モードに対し電力が伝達されるようにするためのモ
ード変換器としての作用を有する。
Ｘカットのチタン拡散チャネルを有するニオブ酸リチウ
ム結晶を用いた１実施例においては、入力ビームは非損
失伝搬を行なうＴＭモードに偏波したビームであり、３
電極構造がこのモードに摂動を与えて損失のあるＴＥモ
ードに電力を伝達するためのモード変換器として用いら
れる。
ム結晶を用いた１実施例においては、入力ビームは非損
失伝搬を行なうＴＭモードに偏波したビームであり、３
電極構造がこのモードに摂動を与えて損失のあるＴＥモ
ードに電力を伝達するためのモード変換器として用いら
れる。
もう１つの実施例においては、Ｙカットのチタン拡散チ
ャネルを有するニオブ酸リチウム結晶にＴＥ入力ビーム
が供給され、この入力ビームに摂動を与えて損失のある
ＴＭモードに電力を伝達するために、２電極モード変換
構造が用いられる。
ャネルを有するニオブ酸リチウム結晶にＴＥ入力ビーム
が供給され、この入力ビームに摂動を与えて損失のある
ＴＭモードに電力を伝達するために、２電極モード変換
構造が用いられる。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の詳細な説明する。
［実施例］
第１図において、基板として用いられるＸカットのニオ
ブ酸リチウム結晶１１には、公知のようにして例えばチ
タンの拡散によって形成された約幅３ミクロン深さ５０
０オングストロームのまっすぐな導波チャネル１２が配
設され、この導波チャネルは、上述のように漏れ損モー
ドを発生させるために、結晶のＺ軸から臨界角より大き
い角だけずれた方向に延長している。特徴的な動作条件
のための代表的なずれの角は５度と７度との間にあり、
従って予想される臨界角より大きい。さらに、結晶表面
上には、０ｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、 Ｖ ｏ ｌ
。
ブ酸リチウム結晶１１には、公知のようにして例えばチ
タンの拡散によって形成された約幅３ミクロン深さ５０
０オングストロームのまっすぐな導波チャネル１２が配
設され、この導波チャネルは、上述のように漏れ損モー
ドを発生させるために、結晶のＺ軸から臨界角より大き
い角だけずれた方向に延長している。特徴的な動作条件
のための代表的なずれの角は５度と７度との間にあり、
従って予想される臨界角より大きい。さらに、結晶表面
上には、０ｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、 Ｖ ｏ ｌ
。
■、Ｎｏ、 １ 、Ｊａｎｕａｒｙ １９８６．１）ａ
（］８３９−４１に所載の［Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｉ
ｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ、 ｏｐｔｉｃａｌ−ｄａｍａｑ
ｅ−ｉｍｍｕｎｅＬｉＮｂ０３ ＴＥ−ＴＭｍＯｄｅ
ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ Ｊと題する論文に論じられている
種類のＴＥ−ＴＭモード変換器として用いるための３電
極構造１３が配設されている。この電極構造は通常金ま
たはアルミニウムから成り、長さに沿って導波路１２上
に重なる中央電極１３Ａと、この中央電極の両側に対称
的に配置された平行な１対の外側電極１３Ｂおよび１３
Ｃとを含む。一般に、このような電極構造においては、
結晶と電極構造との間に、導波路を上に重なる電極から
光学的に絶縁するための、通常は図示されているような
電極下のバッファ層１４の形式をもつ装置を含むことが
所望される。この層は、マグネシウムを拡散させた表面
層とするか、または、上述の論文に述べられているよう
にスパッタ付着せしめた二酸化シリコンの表面層とする
。このような層は、モード界を導波路表面から空間的に
分離することによって、中央電極のローディングを原因
とする伝搬損を減少させる。通常、中央電極の幅は約３
．５ミクロンで、中央電極とそれぞれの外側電極との間
の間隙の幅も約３．５ミクロンである。この電極構造は
、この電極構造を駆動するのに使用される全流電ｍ１８
のインピーダンスに整合するように設計される。通常は
、一方の外側電極は接地され、他方の外側電極も接地さ
れるか、または可変直流電源１７に接続されることによ
り接地電極に対しバイアスされて３電極の不整列の補償
が行なわれうるようになっている。
（］８３９−４１に所載の［Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｉ
ｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ、 ｏｐｔｉｃａｌ−ｄａｍａｑ
ｅ−ｉｍｍｕｎｅＬｉＮｂ０３ ＴＥ−ＴＭｍＯｄｅ
ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ Ｊと題する論文に論じられている
種類のＴＥ−ＴＭモード変換器として用いるための３電
極構造１３が配設されている。この電極構造は通常金ま
たはアルミニウムから成り、長さに沿って導波路１２上
に重なる中央電極１３Ａと、この中央電極の両側に対称
的に配置された平行な１対の外側電極１３Ｂおよび１３
Ｃとを含む。一般に、このような電極構造においては、
結晶と電極構造との間に、導波路を上に重なる電極から
光学的に絶縁するための、通常は図示されているような
電極下のバッファ層１４の形式をもつ装置を含むことが
所望される。この層は、マグネシウムを拡散させた表面
層とするか、または、上述の論文に述べられているよう
にスパッタ付着せしめた二酸化シリコンの表面層とする
。このような層は、モード界を導波路表面から空間的に
分離することによって、中央電極のローディングを原因
とする伝搬損を減少させる。通常、中央電極の幅は約３
．５ミクロンで、中央電極とそれぞれの外側電極との間
の間隙の幅も約３．５ミクロンである。この電極構造は
、この電極構造を駆動するのに使用される全流電ｍ１８
のインピーダンスに整合するように設計される。通常は
、一方の外側電極は接地され、他方の外側電極も接地さ
れるか、または可変直流電源１７に接続されることによ
り接地電極に対しバイアスされて３電極の不整列の補償
が行なわれうるようになっている。
所望の変調によって制御される交流駆動電圧源１８は、
中央電極と接地との間に接続されている。
中央電極と接地との間に接続されている。
この交流電圧の周波数は、特定の変調応用のために適す
るように選択される。駆動電圧の値が適宜に高くなると
、例えば数ミリメートルという比較的短い長さの導波路
上において、入力波の本質的に完全なカットオフが実現
されうる。光ファイバ１９は、導波路の入力端に結合せ
しめられて、適宜の偏波を有する入力波を印加するよう
になっている。ニオブ酸リチウム結晶の場合入力波はＴ
Ｍ偏波を有し、駆動変調によって開始されるモード変換
が行なわれない場合は、目立った損失なく伝搬する。
るように選択される。駆動電圧の値が適宜に高くなると
、例えば数ミリメートルという比較的短い長さの導波路
上において、入力波の本質的に完全なカットオフが実現
されうる。光ファイバ１９は、導波路の入力端に結合せ
しめられて、適宜の偏波を有する入力波を印加するよう
になっている。ニオブ酸リチウム結晶の場合入力波はＴ
Ｍ偏波を有し、駆動変調によって開始されるモード変換
が行なわれない場合は、目立った損失なく伝搬する。
第２図には、簡単な２電極構造を用いて所望のモード変
換を行なう実施例が示されている。この２電極構造は、
本出願と同一の譲受人および同一の出願日を有する同時
係属出願（本ケース番号は第７３３８号）に記載されて
いる種類のものである。この目的のために、この実施例
はＹカットのニオブ酸リチウム結晶２１を用いており、
その内部には公知のようにチタンの拡散によって形成す
るのを便宜とするチャネル形導波路２２が配設されてい
る。前の場合と同様に、導波路の軸すなわち伝搬方向は
、光軸と臨界角より大きい角をなし、導波路へ入力とし
て供給される波のモードと直交するモードを有する損失
の多い伝搬を実現する。
換を行なう実施例が示されている。この２電極構造は、
本出願と同一の譲受人および同一の出願日を有する同時
係属出願（本ケース番号は第７３３８号）に記載されて
いる種類のものである。この目的のために、この実施例
はＹカットのニオブ酸リチウム結晶２１を用いており、
その内部には公知のようにチタンの拡散によって形成す
るのを便宜とするチャネル形導波路２２が配設されてい
る。前の場合と同様に、導波路の軸すなわち伝搬方向は
、光軸と臨界角より大きい角をなし、導波路へ入力とし
て供給される波のモードと直交するモードを有する損失
の多い伝搬を実現する。
この２電極構造は導波路上の電極をもたないので、第１
図の実施例に含まれているバッファ層の必要がなくなる
。２つの電極２３および２４は、導波路の両側に対称的
に配置され、導波路に平行に延長している。幅約３．５
ミクロンのチャネルに対しては、電極間の間隙は約７ミ
クロンにするのが典型的である。この側においては、一
方の電極２３が接地され、他方の電極は可変直流電圧１
２６および交流駆動電圧源２５を経て接地されている。
図の実施例に含まれているバッファ層の必要がなくなる
。２つの電極２３および２４は、導波路の両側に対称的
に配置され、導波路に平行に延長している。幅約３．５
ミクロンのチャネルに対しては、電極間の間隙は約７ミ
クロンにするのが典型的である。この側においては、一
方の電極２３が接地され、他方の電極は可変直流電圧１
２６および交流駆動電圧源２５を経て接地されている。
この電極構造においては、動作点を接地から数ボルト離
れた電位に保つことが重要であり、従って直流電圧およ
び交流電圧を適切に選択しなくてはならない。通常は、
直流バイアスは約２０ボルトに、交流駆動電圧は約１０
ボルトにする。光ファイバ２９は、導波路の入力端に入
力のＴＭ波を供給する。
れた電位に保つことが重要であり、従って直流電圧およ
び交流電圧を適切に選択しなくてはならない。通常は、
直流バイアスは約２０ボルトに、交流駆動電圧は約１０
ボルトにする。光ファイバ２９は、導波路の入力端に入
力のＴＭ波を供給する。
上述の特定の股上１は、本発明の一般原理を甲に例示し
たものに過ぎない。例えば、軸から外れた伝搬に対し同
様の特性を示す伯の結晶を代用することもできる。特定
の材料の適性は、実験的に決定するのが最もよい。最初
に述べた論文に記載されているように、タンタル酸リチ
ウムにおいては諸性質が逆になる。同様にして、チャネ
ル形導波路を他の公知の形式に形成し、さまざまな波長
の入力を代用することもできる。
たものに過ぎない。例えば、軸から外れた伝搬に対し同
様の特性を示す伯の結晶を代用することもできる。特定
の材料の適性は、実験的に決定するのが最もよい。最初
に述べた論文に記載されているように、タンタル酸リチ
ウムにおいては諸性質が逆になる。同様にして、チャネ
ル形導波路を他の公知の形式に形成し、さまざまな波長
の入力を代用することもできる。
第１図および第２図は、本発明のカットオフ変調器の２
つの異なる実施例の概略斜視図である。 符号の説明 １１・・・Ｘカットのニオブ酸リチウム結晶、１２．２
２・・・チャネル形導波路、 １３・・・３電極構造、１３Ａ・・・中央電極、１３Ｂ
、１３Ｇ・・・外側電極、１４・・・バッファ層、１９
．２９・・・光ファイバ、 ２１・・・Ｙカットのニオブ酸リチウム結晶、２３．２
４・・・電極。
つの異なる実施例の概略斜視図である。 符号の説明 １１・・・Ｘカットのニオブ酸リチウム結晶、１２．２
２・・・チャネル形導波路、 １３・・・３電極構造、１３Ａ・・・中央電極、１３Ｂ
、１３Ｇ・・・外側電極、１４・・・バッファ層、１９
．２９・・・光ファイバ、 ２１・・・Ｙカットのニオブ酸リチウム結晶、２３．２
４・・・電極。
Claims (5)
- （１）（イ）入力端と出力端との間で光モードを導波す
るためのチャネル形導波路を有する頂部表面を備えた結
晶であつて、該導波路の軸が該結晶の光軸から１偏波方
位角を有する漏れモードの伝搬のための臨界角よりも大
きい角だけずれており且つ直交的に偏波したモードに対
しては無損失伝搬を実現するように配置されている前記
結晶と、 （ロ）該無損失モードと漏れモードとの間のスイッチン
グを行ない該無損失モードから該漏れモードへの変換を
行なうための前記結晶の前記頂部表面上の諸電極と、 を備えた光変調器。 - （２）請求項１において、前記結晶がＹカットのニオブ
酸リチウム結晶であり、前記諸電極が前記チャネル形導
波路の両側に対称的に配置された１対を含む、光変調器
。 - （３）請求項１において、前記結晶がＸカットのニオブ
酸リチウム結晶であり、前記諸電極が、前記導波路上に
重なる中央電極と、該中央電極の両側に対称的に配置さ
れた１対の外側電極との３個存在する、光変調器。 - （４）請求項２において、前記結晶がニオブ酸リチウム
であり、前記チャネル形導波路が該結晶の局部的に拡散
せしめられたチタン濃度の高い領域であり、該導波路が
ＴＭモードに偏波した入力波を供給される、光変調器。 - （５）請求項３において、前記結晶がニオブ酸リチウム
であり、ＴＭモードに偏波した入力波を供給される、光
変調器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/043,190 US4791388A (en) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | Channel waveguide modulator |
| US043190 | 1987-04-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63284519A true JPS63284519A (ja) | 1988-11-21 |
Family
ID=21925950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63103731A Pending JPS63284519A (ja) | 1987-04-27 | 1988-04-26 | 光変調器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4791388A (ja) |
| EP (1) | EP0288778A3 (ja) |
| JP (1) | JPS63284519A (ja) |
| CA (1) | CA1295406C (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US4968112A (en) * | 1990-01-04 | 1990-11-06 | Smiths Industries Aerospace And Defense Systems Incorporated | Apparatus for providing depolarized light |
| KR100243779B1 (ko) * | 1993-07-07 | 2000-02-01 | 마쯔무라 토미히로 | 전계센서 |
| US5749132A (en) * | 1995-08-30 | 1998-05-12 | Ramar Corporation | Method of fabrication an optical waveguide |
| US5834055A (en) * | 1995-08-30 | 1998-11-10 | Ramar Corporation | Guided wave device and method of fabrication thereof |
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| USH1848H (en) * | 1997-08-18 | 2000-05-02 | Amin; Jaymin | Z-propagating waveguide laser and amplifier device in rare-earth-doped LiNbO3 |
| US6301399B1 (en) | 1998-02-18 | 2001-10-09 | Jds Uniphase Corporation | Integrated optic modulators with high gain bandwidth product |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3990775A (en) * | 1973-07-23 | 1976-11-09 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Thin-film optical waveguide |
| US3923373A (en) * | 1974-07-01 | 1975-12-02 | Western Electric Co | Coupling to graded index waveguide |
| US4005927A (en) * | 1975-03-10 | 1977-02-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Broad bandwidth optical modulator and switch |
| JPS5941167B2 (ja) * | 1975-08-09 | 1984-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
| US4166669A (en) * | 1977-05-13 | 1979-09-04 | Massachusetts Institute Of Technology | Planar optical waveguide, modulator, variable coupler and switch |
| US4198115A (en) * | 1978-08-16 | 1980-04-15 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Fabry-Perot resonator using a birefringent crystal |
| US4262993A (en) * | 1980-01-11 | 1981-04-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Electrooptically balanced alternating Δβ switch |
| FR2490835A1 (fr) * | 1980-08-29 | 1982-03-26 | Thomson Csf | Structure optique integree a couplage directionnel conforme |
-
1987
- 1987-04-27 US US07/043,190 patent/US4791388A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-04-01 EP EP19880105318 patent/EP0288778A3/en not_active Withdrawn
- 1988-04-12 CA CA000563861A patent/CA1295406C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-04-26 JP JP63103731A patent/JPS63284519A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4791388A (en) | 1988-12-13 |
| CA1295406C (en) | 1992-02-04 |
| EP0288778A3 (en) | 1991-01-09 |
| EP0288778A2 (en) | 1988-11-02 |
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