JPS63283479A - 超音波圧電モ−タ - Google Patents
超音波圧電モ−タInfo
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- JPS63283479A JPS63283479A JP62118366A JP11836687A JPS63283479A JP S63283479 A JPS63283479 A JP S63283479A JP 62118366 A JP62118366 A JP 62118366A JP 11836687 A JP11836687 A JP 11836687A JP S63283479 A JPS63283479 A JP S63283479A
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0045—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/208—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using shear or torsion displacement, e.g. d15 type devices
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は超音波＠動子、特に縦捩れ超音波振動子をステ
ータとして用いた超音波圧電モータの改良に関するもの
である。
ータとして用いた超音波圧電モータの改良に関するもの
である。
「従来の技術」
縦捩れ超音波振動子をステータとして用いた圧電モータ
は、種々公知である。例えば特開昭５５−１４５５７８
号には、第５図に示すよりに一端面に圧電素子ａｔ−貼
着した金属ブロックｂの外周面に、多数条の傾斜スロッ
）ｃを形成し、該ブロックｂの他端面に円環状駆動部ｄ
を一体に形成してなる縦捩れ超音波振動子をステータと
して用い、前記駆動部の端面ｄ′にテーバジヨイントｅ
′ｔ−介してロータｆを圧接して圧’Ｉ［子ａを励起す
ると金属ブロックｂ内に縦振動が伝播するが、外周の傾
斜スロットぐによって孤り振動に変換されて伝播する一
方、ポアソン効果によって金属ブロック内に非共振の縦
方向振動も伝播し、これら捩り振動と縦振動が重畳する
ことによって駆動端面ｄ′にへりカル振動を生じさせ、
ロータｉｔ回転させるようにした圧電モータが示されて
いる。しかし、このモータは、一つの圧電素子によって
生じる縦振動の一部のみが捩ｐ撮動に変換されるもので
あるから、エネルギー損失が大きく、回転トルクも低い
という欠点がある。
は、種々公知である。例えば特開昭５５−１４５５７８
号には、第５図に示すよりに一端面に圧電素子ａｔ−貼
着した金属ブロックｂの外周面に、多数条の傾斜スロッ
）ｃを形成し、該ブロックｂの他端面に円環状駆動部ｄ
を一体に形成してなる縦捩れ超音波振動子をステータと
して用い、前記駆動部の端面ｄ′にテーバジヨイントｅ
′ｔ−介してロータｆを圧接して圧’Ｉ［子ａを励起す
ると金属ブロックｂ内に縦振動が伝播するが、外周の傾
斜スロットぐによって孤り振動に変換されて伝播する一
方、ポアソン効果によって金属ブロック内に非共振の縦
方向振動も伝播し、これら捩り振動と縦振動が重畳する
ことによって駆動端面ｄ′にへりカル振動を生じさせ、
ロータｉｔ回転させるようにした圧電モータが示されて
いる。しかし、このモータは、一つの圧電素子によって
生じる縦振動の一部のみが捩ｐ撮動に変換されるもので
あるから、エネルギー損失が大きく、回転トルクも低い
という欠点がある。
また、特開昭６１−１２１７７７号には、第６図に示す
ように、捩シ振動を生じる圧電要素ａと、縦振動を生じ
る圧電要素すとを給電用端子板Ｃ、ｄｔ−介して複数の
金属ブロックｅ、ｆによって挾持し、これらを中心ボル
トｇにより一体に締結してなる縦捩れ超音波振動子をス
テータとして用い、該振動子の一端を駆動部ｅ′とし、
これにロータｈを圧接した状態で、前記捩り振動圧電要
素ａと縦振動圧！要素すとに同位相の交流電圧を印加す
ると、圧電要素ａにより捩り振動モードが、縦振動圧電
要素すにより縦振動モードが生起し、これら振動モード
が重畳して駆動部ｅ′にヘリカル振動を生じさせ、ロー
タｈを回転させるように圧電モータが示されている。
ように、捩シ振動を生じる圧電要素ａと、縦振動を生じ
る圧電要素すとを給電用端子板Ｃ、ｄｔ−介して複数の
金属ブロックｅ、ｆによって挾持し、これらを中心ボル
トｇにより一体に締結してなる縦捩れ超音波振動子をス
テータとして用い、該振動子の一端を駆動部ｅ′とし、
これにロータｈを圧接した状態で、前記捩り振動圧電要
素ａと縦振動圧！要素すとに同位相の交流電圧を印加す
ると、圧電要素ａにより捩り振動モードが、縦振動圧電
要素すにより縦振動モードが生起し、これら振動モード
が重畳して駆動部ｅ′にヘリカル振動を生じさせ、ロー
タｈを回転させるように圧電モータが示されている。
このモータは、２つの圧電要素ａ、ｂによって捩り振動
と縦振動とを別々に生じさせるため、先の特開昭５５−
１４５５７８号に比し二ネ〜ギー損失が少ないので効率
が良く、高い回転トｙりが得られる利点を有する。
と縦振動とを別々に生じさせるため、先の特開昭５５−
１４５５７８号に比し二ネ〜ギー損失が少ないので効率
が良く、高い回転トｙりが得られる利点を有する。
「発明が解決しようとする問題点」
特開昭６１−１２１７７７号に示されている超音波圧電
モータは、上記の長所を有する反面、捩り振動圧電要素
の製作に大きな問題が残されていた。
モータは、上記の長所を有する反面、捩り振動圧電要素
の製作に大きな問題が残されていた。
即ち、第６図Ｂ−Ｄに示すように、圧電磁器よりなる円
環ａ′を複数の指状片ａｌ−ａｇに分割しその分割面に
分極用電極ｊ１〜ｊ８を付し、各扇状片ａ１〜ａａ毎に
分極処理を施した後、前記電極ｊ１〜ｊａを除却し再び
元の円［ａに組立て、その上下面に再度駆動用電極ｋ
、 ｋｔ−付けることによって製作されているので、素
子の分割加工や分極用電極ｊｒ−ｊｓの形成とその除却
等が煩雑となり、製造コストの高騰が免れなかった。
環ａ′を複数の指状片ａｌ−ａｇに分割しその分割面に
分極用電極ｊ１〜ｊ８を付し、各扇状片ａ１〜ａａ毎に
分極処理を施した後、前記電極ｊ１〜ｊａを除却し再び
元の円［ａに組立て、その上下面に再度駆動用電極ｋ
、 ｋｔ−付けることによって製作されているので、素
子の分割加工や分極用電極ｊｒ−ｊｓの形成とその除却
等が煩雑となり、製造コストの高騰が免れなかった。
「問題点を解決する九めの手段」
本発明の超音波圧電モータは、厚み方向の分極軸を有す
る複数の小片の圧電素子を、隣り合う素子の分極軸が互
いに逆向きになるより円環状に順次配列して々る捩り振
動要素と、同じく厚み方向に分極軸を有する円環状の厚
み振＠要素と、これら各要素を給電用端子板を介して挾
持する複数の金属ブロックとの組合せよりなる超音波縦
捩れ振動子をステータとし、該ステータの振動端面にロ
ータを圧接してなるものである。
る複数の小片の圧電素子を、隣り合う素子の分極軸が互
いに逆向きになるより円環状に順次配列して々る捩り振
動要素と、同じく厚み方向に分極軸を有する円環状の厚
み振＠要素と、これら各要素を給電用端子板を介して挾
持する複数の金属ブロックとの組合せよりなる超音波縦
捩れ振動子をステータとし、該ステータの振動端面にロ
ータを圧接してなるものである。
「作用」
捩り振動要素によって捩り振動モードを、縦振動要素に
よって縦振動モードをそれぞれ生じこれら振動がＩ資し
たヘリカル振動を振動子の駆動面に誘起し、この駆動面
と接するロータが回転することになる。
よって縦振動モードをそれぞれ生じこれら振動がＩ資し
たヘリカル振動を振動子の駆動面に誘起し、この駆動面
と接するロータが回転することになる。
「実施例」
本発明の一例をｔｊｌＩＪ１〜３図に示す。第１図にお
いて、Ｔは扱り振動要素で、第２図に抜粋して示し友よ
うにチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電磁器よシ径小の円板
状に成形するとともに表孤面に電極１ａ、１ｂを付し、
該電極１ａ、ｌｂ間（厚み方向）に分極処理し九複数枚
の圧［素子１を、隣接する素子の分極軸が互いに逆向き
になるより、所定の直径をなす円環状に配列し念ものを
、一対ないし複数対、電気的並列になるよう、複数の円
環状端子板２′とともに積層して構成される。Ｌは縦碌
動要素で、第３図に抜粋して示すように、チタン酸ジル
コン酸鉛等）圧電磁器より円環状に成形するとともに表
裏面に電極８ａ、８ｂｉ付し、該電極３ ａ ＋ ３
ｂ間（厚み方向）に分極処理し九一対もしくは複数対の
圧を素子３を、電気的並列になるようｖｌａの円環状端
子板４とともに積１−シて構成される。
いて、Ｔは扱り振動要素で、第２図に抜粋して示し友よ
うにチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電磁器よシ径小の円板
状に成形するとともに表孤面に電極１ａ、１ｂを付し、
該電極１ａ、ｌｂ間（厚み方向）に分極処理し九複数枚
の圧［素子１を、隣接する素子の分極軸が互いに逆向き
になるより、所定の直径をなす円環状に配列し念ものを
、一対ないし複数対、電気的並列になるよう、複数の円
環状端子板２′とともに積層して構成される。Ｌは縦碌
動要素で、第３図に抜粋して示すように、チタン酸ジル
コン酸鉛等）圧電磁器より円環状に成形するとともに表
裏面に電極８ａ、８ｂｉ付し、該電極３ ａ ＋ ３
ｂ間（厚み方向）に分極処理し九一対もしくは複数対の
圧を素子３を、電気的並列になるようｖｌａの円環状端
子板４とともに積１−シて構成される。
５．６は前記捩り振動要素Ｔと縦振動要素りの各外端面
に積層し次第１．ｖＩ２の金属ブロックである。
に積層し次第１．ｖＩ２の金属ブロックである。
而して上記捩り振動要素Ｔ１縦振動要素Ｌ１第１．第２
の金属ブロック５．６よりなる積層物が、第１金属ブロ
ツク５の内４面中央より突出して振動要素Ｔ 、 Ｌ、
第２金属ブロツク６の各内孔を貫通するねじ杆５ａと、
該ねじ杆の堆ねじ５ ａ’に螺合して第２ブロツクの座
ぐり而６ａに浮水するナツト７とによって一体に締結さ
れた、超音波縦捩れ振動子Ｐが構成される。
の金属ブロック５．６よりなる積層物が、第１金属ブロ
ツク５の内４面中央より突出して振動要素Ｔ 、 Ｌ、
第２金属ブロツク６の各内孔を貫通するねじ杆５ａと、
該ねじ杆の堆ねじ５ ａ’に螺合して第２ブロツクの座
ぐり而６ａに浮水するナツト７とによって一体に締結さ
れた、超音波縦捩れ振動子Ｐが構成される。
本発明はこの縦換れ振動子Ｐをステータとして用いるも
ので、その全長を駆動周波数の半波長もしくはその！！
数倍長さに設定し、第１．第２金属ブロック５，６のい
ずれか一方又は両方の端面を駆動面として用いられ、こ
こでは第１金属ブロツク５の端面ｔｌ−駆動駆動面とし
、これにロータ８を圧接するようにした。
ので、その全長を駆動周波数の半波長もしくはその！！
数倍長さに設定し、第１．第２金属ブロック５，６のい
ずれか一方又は両方の端面を駆動面として用いられ、こ
こでは第１金属ブロツク５の端面ｔｌ−駆動駆動面とし
、これにロータ８を圧接するようにした。
また、第４図は本発明の他例を示し、捩り振＠要素Ｔと
、縦振動要素りとの間に第３の金属ブロック９を挿設し
、第１．第２金属ブロツク５．６の内端面よジ突出する
ねじ杼５ｃ、６ｂの雄ねじ５ ｃ’ 、 ６ ｂ’を前
記第３金属ブロツク９の両端面に穿設、した雌ねじ孔９
ａ 、９ｂに螺合することによって積層物を一体に結合
し九以外は、上例と同じ構成である。
、縦振動要素りとの間に第３の金属ブロック９を挿設し
、第１．第２金属ブロツク５．６の内端面よジ突出する
ねじ杼５ｃ、６ｂの雄ねじ５ ｃ’ 、 ６ ｂ’を前
記第３金属ブロツク９の両端面に穿設、した雌ねじ孔９
ａ 、９ｂに螺合することによって積層物を一体に結合
し九以外は、上例と同じ構成である。
次に本案超音波圧電モータの動作原理を、第１図実施例
のものを例にとって説明する。
のものを例にとって説明する。
いま、捩り振動要素での端子板２・・・に結線したリー
ド端子１０ａ、１０ｂと、縦振動要素りの端子板４・・
・に結線し九リード端子１１ａ。
ド端子１０ａ、１０ｂと、縦振動要素りの端子板４・・
・に結線し九リード端子１１ａ。
１１ｂとを同一電源（図示しない）に接属し、所定周波
数の交番電圧を各振動要素Ｔ、Ｌに印加すると、捩り振
！［’素Ｔにおいて、個々の王！素子１・・・にその分
極軸と同方向又は逆方向の電圧が交互に印加されるため
、一方の圧電素子１は膨張し、これと隣接する圧電索子
１，１は収梱するので全体として剪断モードの共嶽ヲ惹
起し捩れ振動を生じることになる。また縦振動要素りに
おいて圧電素子３にはその分極軸と同方向又は逆方向の
電圧が印加される九め全体が膨張ないし収縮し、厚みモ
ードの共振を惹起し縦振動を生じることになって、これ
ら捩ジ振勧と縦振動とが電量し第１の金属ブロックの駆
動面５ｂにヘリカル嶽動を酵起し、ロータ８を回転する
。
数の交番電圧を各振動要素Ｔ、Ｌに印加すると、捩り振
！［’素Ｔにおいて、個々の王！素子１・・・にその分
極軸と同方向又は逆方向の電圧が交互に印加されるため
、一方の圧電素子１は膨張し、これと隣接する圧電索子
１，１は収梱するので全体として剪断モードの共嶽ヲ惹
起し捩れ振動を生じることになる。また縦振動要素りに
おいて圧電素子３にはその分極軸と同方向又は逆方向の
電圧が印加される九め全体が膨張ないし収縮し、厚みモ
ードの共振を惹起し縦振動を生じることになって、これ
ら捩ジ振勧と縦振動とが電量し第１の金属ブロックの駆
動面５ｂにヘリカル嶽動を酵起し、ロータ８を回転する
。
因みに、１０鴎φＸ ２． Ｏｔｒｙ ｔの圧電素子各
６枚ずつで構成した一対の捩夛振ｖＪ要素と、３０■φ
Ｘ１２ｍφＸ ２． Ｏｍ ｔの円環状圧電素子各１枚
ずつで構成し九一対の縦振動要素とを用い全長を約９０
態２とした超音波縦波り振動子Ｖこおいて、リード端子
１０ａ 、１０ｂと、リード端子１１ａ、１１ｂとにそ
れぞれ共振周波数的２７ ＫＨｚ 、入力パワー１５Ｗ
の高周波電圧を印加したところ、無負荷時の回転数的２
５ Ｏｒｐｍが得られ九。
６枚ずつで構成した一対の捩夛振ｖＪ要素と、３０■φ
Ｘ１２ｍφＸ ２． Ｏｍ ｔの円環状圧電素子各１枚
ずつで構成し九一対の縦振動要素とを用い全長を約９０
態２とした超音波縦波り振動子Ｖこおいて、リード端子
１０ａ 、１０ｂと、リード端子１１ａ、１１ｂとにそ
れぞれ共振周波数的２７ ＫＨｚ 、入力パワー１５Ｗ
の高周波電圧を印加したところ、無負荷時の回転数的２
５ Ｏｒｐｍが得られ九。
また、縦振動要素りにおけるリード端子１１ａ。
１１ｂの極ｔ４：を逆にし九ところ、ロータ８が逆向き
に回転することを確認し友。
に回転することを確認し友。
なお、上例では各振動要素Ｔ、Ｌは、上下一対の圧電素
子１，１．３，８を電気的並列に積）−シ九構成とした
が、１個（１組）でもよく、この場合、第６図Ａに示す
従来例のように捩り振動圧１喪素ａと縦振動圧電要素す
との間、金属ブロック５，６と、各圧′ＹＮＬ要素ａ、
ｂとの間にそれぞれ絶縁スペーサを挿設する必要がある
。
子１，１．３，８を電気的並列に積）−シ九構成とした
が、１個（１組）でもよく、この場合、第６図Ａに示す
従来例のように捩り振動圧１喪素ａと縦振動圧電要素す
との間、金属ブロック５，６と、各圧′ＹＮＬ要素ａ、
ｂとの間にそれぞれ絶縁スペーサを挿設する必要がある
。
ま九、一対の金属ブロックと、その間に保持される捩り
振動要素と縦振動要素との締結においても上側以外に公
知の種々締結部材によることも可能である。
振動要素と縦振動要素との締結においても上側以外に公
知の種々締結部材によることも可能である。
「発明の効果」
本発明によれば厚み方向の分極軸を有する複数の小片の
圧電素子をその分極軸が互いに逆向きになるよりにして
円環状に配設したものを捩り振動要素として組込んだも
のであるから、円環状圧電素子を一旦、胴状に等分割し
、分極後再度元の形に組立てたものを捩り振動要素とす
る従来モータに比し、加工性、組付作業性を顕著に数倍
向上し、製造原価を大巾に引下げてこの檎超音波モータ
を安価に供し得るという利点がある。
圧電素子をその分極軸が互いに逆向きになるよりにして
円環状に配設したものを捩り振動要素として組込んだも
のであるから、円環状圧電素子を一旦、胴状に等分割し
、分極後再度元の形に組立てたものを捩り振動要素とす
る従来モータに比し、加工性、組付作業性を顕著に数倍
向上し、製造原価を大巾に引下げてこの檎超音波モータ
を安価に供し得るという利点がある。
第１図は本発明の一例にかかる超音波圧電モータを示し
、Ａは四半分断面正面図、ＢｄＡ図イーイ線に沿って断
面とした平面図、第２図は本発明に用いる捩り儀ｗＪ要
素の斜視図、第３図は同じく本発明に用いる縦振動要素
の斜視図、第４図は本発明の他例にかかる圧電モータの
四半分断面正面図、第５図は従来の一例にかかる超音波
圧電モータの四半分断面正面図、第６図Ａは同じ〈従来
の他側にかかる圧電モータの四半分断面正面図、で、同
図Ｂ−Ｄはこのモータに使用されている捩り損動圧電要
素の組立て説明図である。 Ｔ・・・捩ジ嶽＠要素、１・・・複数の圧１！素子、Ｌ
・・・縦振動要素、３・・・円環状圧電素子、５．６．
９・・・複数の金属ブロック １ 図 ８ １１１ 図Ａ ＷｈＺ図 第４図 第５図 第６図Ａ ［゛］
、Ａは四半分断面正面図、ＢｄＡ図イーイ線に沿って断
面とした平面図、第２図は本発明に用いる捩り儀ｗＪ要
素の斜視図、第３図は同じく本発明に用いる縦振動要素
の斜視図、第４図は本発明の他例にかかる圧電モータの
四半分断面正面図、第５図は従来の一例にかかる超音波
圧電モータの四半分断面正面図、第６図Ａは同じ〈従来
の他側にかかる圧電モータの四半分断面正面図、で、同
図Ｂ−Ｄはこのモータに使用されている捩り損動圧電要
素の組立て説明図である。 Ｔ・・・捩ジ嶽＠要素、１・・・複数の圧１！素子、Ｌ
・・・縦振動要素、３・・・円環状圧電素子、５．６．
９・・・複数の金属ブロック １ 図 ８ １１１ 図Ａ ＷｈＺ図 第４図 第５図 第６図Ａ ［゛］
Claims (1)
- 厚み方向の分極軸を有する複数の小片の圧電素子を、
隣り合う素子の分極軸が互いに逆向きになるより円環状
に順次配列してなる捩り振動要素と、同じく厚み方向に
分極軸を有する円環状の厚み振動要素と、これら各要素
を挾持する複数の金属ブロックとの組合わせよりなる超
音波縦捩れ振動子をステータとし、該ステータの振動端
面にロータを圧接してなることを特徴とする超音波圧電
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62118366A JP2541816B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 超音波圧電モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62118366A JP2541816B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 超音波圧電モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63283479A true JPS63283479A (ja) | 1988-11-21 |
| JP2541816B2 JP2541816B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=14734927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62118366A Expired - Fee Related JP2541816B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 超音波圧電モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2541816B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61121777A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-09 | Hitachi Maxell Ltd | 圧電超音波モ−タ |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP62118366A patent/JP2541816B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61121777A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-09 | Hitachi Maxell Ltd | 圧電超音波モ−タ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2541816B2 (ja) | 1996-10-09 |
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