JPS63281401A - 可変型正温度特性抵抗素子 - Google Patents

可変型正温度特性抵抗素子

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JPS63281401A
JPS63281401A JP11625287A JP11625287A JPS63281401A JP S63281401 A JPS63281401 A JP S63281401A JP 11625287 A JP11625287 A JP 11625287A JP 11625287 A JP11625287 A JP 11625287A JP S63281401 A JPS63281401 A JP S63281401A
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resistor
thin film
positive temperature
temperature characteristic
pair
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JP11625287A
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Naoki Suzuki
直樹 鈴木
Hiroaki Yanagida
柳田 博明
Kunihito Kawamoto
邦仁 河本
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Toyota Industries Corp
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Toyoda Automatic Loom Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用弁コ =  1 一 本発明はキュリ一温度がかえられる抵抗素子に関するも
のである。本発明の抵抗素子は2つ以上の温度を検出す
る温度センサとして使用することが出来る。
[従来の技術] チタン酸バリウム等の正温度特性抵抗材料で作られたバ
ルク状の抵抗体の抵抗値は、抵抗値検出用電極間の抵抗
体上に形成された1対のバイアス電流印加用電極により
所定の電流を印加することにより抵抗値検出用電極で得
られる抵抗体の抵抗が変化し、キュリ一温度がシフトす
る現象が知られている。
上記したキュリ一温度がシフトする現象は、バイアス電
圧10ボルト程度でキュリ一温度のシフト値は1〜2℃
程度の低いものであった。
[発明によって解決される問題点] 本発明はバイアス電流の印加によりシフトするキュリ一
温度の変化を更に大きなものとした、可変型正温度特性
抵抗素子を提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するだめの手段コ 本発明の可変型正温度特性抵抗素子は、正温度特性抵抗
月利で作られた厚さ200μm以下の薄膜状の抵抗体と
、該抵抗体上で所定間隔を隔てて形成された1対の検出
電極と、該検出電極間の該抵抗体上に形成されたバイア
ス電流印加用の1対のバイアス電極とh目うなることを
特徴とするものである。
本発明の抵抗素子を構成する抵抗体は正温度特性抵抗月
利で作られた厚さ200μm以下の薄膜状のものである
。IE温度特性抵抗材料としてはチタン酸バリウム等の
ペロブスカイト型結晶構造をもつ従来の公知のセラミッ
クス正温度特性抵抗月利を用いることができる。抵抗体
の形状は厚さ200μm以下の簿膜状であることが必要
である。
厚さが200μmを越える場合にはキュリ一温度の変化
が小さい。薄膜の厚さが薄くなる程キュリ一温度の変化
は大きくなる。なお、抵抗体を形成する結晶粒子は大き
いものが好ましく結晶粒の平均直径が10μm以上と粒
径が大きい程キュリー−3一 温度の変化も大きくなる。この抵抗体は正温度特性抵抗
材料の粉末を焼成して得ることができるが、焼成法以外
にCVD等で薄膜を形成してもよい。
また抵抗体は絶縁体基板上に一体的に形成してもあるい
は基板のない単体であってもよい。
一対の検出電極は、抵抗体上に所定間隔を隔てて設けら
れている。この検出電極は、抵抗体の抵抗を検出づるも
のである。電極としては、インジコウムー銀ペース1へ
で作った電極等の通常用いられている電極を使用Jるこ
とが出来る。
一対のバイアス電極は、検出電極間の抵抗体上に形成さ
れている。このバイアス電極は、検出電極間の抵抗体に
バイアス電流を印加するものである。一対のバイアス電
極は、薄膜状の表側と裏側にそれぞれ設りるのが好まし
い。
[作用効果] 本発明の可変型正温度特性抵抗素子では、バイアス電極
を通して10ポル1〜程度の電圧により電流を印加でる
。これにより検出電極で得られるキュリ一温度が変化す
る。従ってバイアス電極に電流を流さなかった時および
印加する電流の量(印加電圧)により異なるキュリ一温
度をもつようになる。具体的には10ボルト程度の電圧
を印加することによりキュリ一温度が数℃程度変化する
このキュリ一温度の変化を利用して異なる2つ以上の温
度を一つの素子にて検出Jることができる。
[実施例1 正温度特性抵抗材料として、市販の平均粒径約4μmの
チタン酸バリウム粉末と平均粒径約4μmのチタン酸ス
トロンチュウム粉末を使用した。
このチタン酸バリウム粉末およびチタン酸ス1へロンヂ
ュウム粉末を用い、主としてチタン酸バリウム1モルに
対してチタン酸ストロンチュウム0゜06モルを配合し
さらにアルコールを添加してペース1へ状の原料を調製
した。なお、チタン酸ストロンチュウムの配合量を変え
ることによりキュリーi度を変えることができる。得ら
れたペースト状原料をドクターブレード法でジルコニア
基板上に所定厚さのペースト薄膜を形成した。そしてア
ルコールを蒸散させて乾燥させ、所定の大きさの長方形
に切断してグリーンコンパクトとした。これらの長方形
薄膜状グリーンコンパクトをジルコニヤ基板間に挟持し
た状態で空気中1350℃に1.5時間焼成して焼結体
を製造した。これにより横幅的5mm、長さ15mm、
厚さ40μm180μmおよび120μmの3種類の正
温度特性薄膜型抵抗体1.2、および3を!8i造した
比較用として上記したペースト材料と同一の組成をもつ
混合原料粉末を用い、ペレット状に型成形したのち、上
記したのと同一の焼成条件である空気中1350℃、1
.5時間の焼成により、厚さ1.8mm、直117mm
のペレット状正特性抵抗体を製造した。
次に、得られた各抵抗体1.2および3を形成するセラ
ミック結晶粒子の平均直径および厚さ方向にならぶ結晶
粒子の数を測定した。結果を抵抗体の厚さとともに第1
表に示す。
次に、第1図に示すように、薄膜型抵抗体1の表面の両
側約3mmにインジュウム銀ペーストを塗布したのち焼
付【)、一対の検出電極2および抵第1表 抗体1の中央部の上面および下面に縦横約4X6mm程
度の面積に同じインジュウム銀ペーストを用いて一対の
バイアス電極3を形成した。このようにして本発明の実
施例の可変型正温度特性抵抗素子10を得た。
尚比較例の場合には、ペレットの上端および下端面に同
じインジュウム銀ペーストによる約4×4、mmの一対
のバイアス電極および外周部の相対向する部分に縦横的
1.5x4mmの一対の検出電極を形成し可変型正温度
特性抵抗素子を得た。
得られた各抵抗素子を、第2図に示すように空気加熱室
(図示せず)内に収納し、バイアス電極3に所定電圧の
バイアス電源5をつないでバイアス電流を印加し、また
、検出電極2を使用して抵抗体1の抵抗を抵抗測定器6
で測定した。すなわち、バイアス電極3に所定電圧を印
加して抵抗体1の厚さ方向に電流を流し一対の検出電極
2より各温度における抵抗体1の抵抗値を測定した。
測定された代表的な例を第3図の線図に示す。
第3図の横軸は温度(℃)、縦軸は抵抗値(KΩ−cm
)を対数表示で示したものである。本発明の代表として
厚さ80μmの薄膜型抵抗素子を用い、バイアス電圧を
印加しない場合の温度−抵抗値関係線図を白色三角印で
また12ボルトのバイアス電圧を印加した場合の温度−
抵抗値関係線図を黒色三角印で示した。尚、比較例のペ
レット型抵抗素子のバイアス電圧Oボルトおよび12ボ
ルトそれぞれの温度−抵抗値関係線図を白色丸印および
黒色丸印で示した。なお矢印はバイアス電流を印加した
時のシフトの方向を示す。キュリーの温度シフト量は本
実施例の薄膜型抵抗素子が約5℃および従来のペレット
型抵抗素子が約2℃であった。
更に、バイアス電極間の厚さとキュリ一温度のシフト値
との関係を第4図に示す。横軸は厚さ縦軸はキュリ一温
度の変化を示す。なお上下の線分の長さはデータのバラ
ツキを、中央の丸印は平均値を示す。厚さが薄い程キュ
リ一温度のシフトが大きくなっている。さらに第5図に
厚さ40μmおよび120μmの薄膜型抵抗素子および
ペレット型抵抗素子を用いて、バイアス電圧を変化させ
たときのゴ氏抗値の変化率関係線図を示す。横軸は印加
電圧を縦軸は変化比を示す。図中三角印は、従来のペレ
ットタイプの抵抗素子を丸印は厚さ120μmの本発明
の抵抗素子を正方形中は厚さ40μmの抵抗素子をそれ
ぞれ示す。抵抗変化率はバイアス電圧に比例して大きく
なるのがわかる。
本発明の可変型正温度特性抵抗素子10は例えば第6図
に示すコンプレッサ7の吐出管8に固定し、コンプレッ
サにおける異常昇温検知方法に使用できる。この例では
バイアス電流線51に電流を印加しない状態で抵抗値検
出線61によりコンプレッサ駆動時における抵抗値をモ
ニターし、吐出管8の温度がキュリ一温度に近づくこと
によりバイアス電流を流し異常温度上昇をさらに詳細に
調べるものである。
「発明の効果」 本発明の可変型正温度特性抵抗素子はバイアス電流印加
によるキュリ一温度のシフトが大きいため温度をある巾
で測定する必要のあるようなセンナ−に利用することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に示す抵抗素子の斜視図、第2
図はバイアス電流印加時の抵抗測定方法を示す説明図、
第3図は温度−抵抗値関係線図、第4図は抵抗体の厚さ
とキュリ一温度の変化値との関係線図、第5図は印加電
圧と抵抗変化率との関係線図、第6図は本発明の抵抗素
子の使用例を示すコンプレッサの側面図である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)正温度特性抵抗材料で作られた厚さ200μm以
    下の薄膜状の抵抗体と、 該抵抗体上で所定間隔を隔てて形成された1対の検出電
    極と、 該検出電極間の該抵抗体上に形成されたバイアス電流印
    加用の1対のバイアス電極と からなることを特徴とする可変型正温度特性抵抗素子。
  2. (2)抵抗体を構成する結晶粒の平均直径は10μm以
    上である特許請求の範囲第1項記載の可変型正温度特性
    抵抗素子。
  3. (3)1対のバイアス電極は薄膜状抵抗体の表側及び裏
    側に形成されている特許請求の範囲第1項記載の可変型
    正温度特性抵抗素子。
JP62116252A 1987-05-13 1987-05-13 可変型正温度特性抵抗素子 Expired - Lifetime JP2583888B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02114501A (ja) * 1988-10-24 1990-04-26 Taihei Seiko Kk 抵抗可変機能を有する半導体磁器デバイス素子
EP0438593A1 (en) * 1989-08-07 1991-07-31 MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. Positive coefficient thin-film thermistor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02114501A (ja) * 1988-10-24 1990-04-26 Taihei Seiko Kk 抵抗可変機能を有する半導体磁器デバイス素子
EP0438593A1 (en) * 1989-08-07 1991-07-31 MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. Positive coefficient thin-film thermistor
US5214738A (en) * 1989-08-07 1993-05-25 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Positive coefficient thin-film thermistor

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