JPS63278015A - 二視野顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、主として、ＩＣの周縁に並列して設けられる
多数のリードおよびそれらの結合状態の目視確認のため
に用いる二視野８ｍ鏡についての改良に関する。

一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした二視野Ｓ微鏡が開発されている。

この二視野顕微鏡は、第１図に示しているように、ＷＪ
俊鏡光学系りの対物レンズ１ｏの焦点を。

像合致プリズムＰに結ばせて、左半側の対物光学系Ａと
右半側の対物光学系Ｂと一二分け、それら対物光学系Ａ
＠Ｂの第１対物レンズａ−１・ｂ−１により車行光線に
戻して第１ミラーｍｌ・第２ミラーｍ２・第３ミラーｍ
３によりそれぞれ第２対物レンズａ−２＊ｂ−２に導き
、これにより、ステージＳ上に被検査物として例えば第
２図に示しているＩＣを置いたとき、それの映像が、顕
微鏡光学系りの接限レンズの視野内または、ｍ微鏡光学
系りに接＆！！装着したモニターテレビの画面内に第３
図に示している如く入ってくるようにしている。

そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分゛が、接眼レンズ１１の視野内
またはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるよう
にするため、第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ
−２・ｂ−２とを。

第１図で鎖線で示している如く、それぞれ一つのフレー
ム３φ３゛に組込み、それらフレーム３・３゛を顕微鏡
のボディに、それぞれのフレーム３・３゛が、第２ミラ
ーｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸ｘ−１に沿い左右
方向にスライダするように組付けて、これらフレーム３
−３°をそれらにそれぞれ組付ける調節ねじなどの作動
機構の操作で第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の
平行光線に沿いスライドさせることにより、第２対物レ
ンズａ−２＊ｂ−２から下方に向かう垂直な光軸Ｘ　−
２・ｘ−２を左右に動かすことで、第２対物レンズａ−
２・ｂ−２の焦点位置を左右に動かす調整が行なえるよ
うにしている。

ところで、このように構成されている二視野顕微鏡には
、左右のフレーム３・３゛を互いに近寄せて、左半側の
対物光学系Ａおよび左半側の対物光学系Ｂの各第２対物
レンズａ−２・ｂ−２から出射される光軸ｘ−２・ｘ−
２を近接させていくときに、それらフレーム３・３°を
近づける方向にスライＶさせる作動が、フレーム３とフ
レーム３°との互いの衝突によりストロークエンドとな
ることで、左半側の対物光学系への光軸ｘ−２と左半側
の対物光学系Ｂの光軸ｘ−２とを近づける距離に限度が
ある。そして、このことから、被検査物であるＩＣの小
型化に伴ない、ａｉ＜小型のＩＣでは、それを検鏡する
ときに５例えば左側の部分の左半側が視野に入るように
すると、右側の部分の右車側が視野に入らず、第４図に
示している如く視野から飛んだ状態となって、検鏡が不
能になり、小型のＩＣの検査に適応させ得ないＦＭ題が
生じてきている。

また、もう一つの問題として、ＩＣの検査の際に、ＩＣ
の本体２１の左右の両側に前後方向に並列して設けられ
ている多数のリード２０・・・の像が、第５図および第
６図に示している如く、その並列方向の一方の端のリー
ド２０から順次、視野またはモニターテレビの画面の中
央に位置してくるようになって、ＩＣの左右のリード２
０・・・およびそれの本体２１に対する結合部分が、順
次検査していけるようになることの要望に応えられない
問題がある。

この要望は、前述の第１図における第２対物レンズａ−
２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２を、！１
１４１鏡のボディに対し前後方向に変位させていけるよ
うにすることであり、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミラー
ｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸ｘ−１に対し直交す
る方向に動かすことであるから実際には無理なことであ
る。

未発明は、従前の二視野Ｗ４微鏡に生じている問題を解
消するためになされたものであって、前述の如く標本の
左半側を映す対物光学系Ａおよび左半側を映す対物光学
系の垂直な光軸ｘ−２・Ｘ−２を左右方向において互い
に近づけるよう変位調節したときの、光軸ｘ−２と光軸
ｘ−２との間の距離を極く狭くして、極〈小型のＩＣの
検査に対応させ得るようにするとともに、ＩＣの本体２
１の左右の側縁に前後方向に並列して設けられた各リー
ド２０・・・およびそれの結合部位の映像が１前後方向
の一方の端のリード２０から順次視野またはモニターテ
レビの画面に映し出されて確認していけるようにする新
たな手段を提供することを目的とする。

そして、本発明に、おいては、この目的を達成するため
の手段として、顕微鏡光学系の光軸上に。

像合致プリズムを介して左半側の対物光学系と左半側の
対物光学系とを組込み、それら左右の対物光学系の各第
２対物レンズの下方に、ａｉ微鏡のボディの左右の中心
に向けて傾斜させる偏角レンズをそれぞれ組込み、それ
ら偏角レンズの下方に、それらから出射する光軸を水平
な方向に反射させる第１ミラーとその反射した光軸を垂
直な方向に反射させる第２ミラーとが、前後方向に対向
するよう組付けられたミラーボックスを配設し、それの
第２ミラーを１前後に傾斜回動自在に前記ミラーボック
スに支架せしめてなる二視野顕微鏡を提起するものであ
る。

次に実施例を図面に従い詳述する。

第７図は本発明を実施せる二視野顕微鏡の光学系の正面
図で、それの基本的な構成は前述の第１図に示している
従前の二視野顕微鏡と変わりなく顕微鏡光学系りに像合
致プリズムＰを介して左半側の対物レンズ系Ａと左半側
の対物レンズＢとが組合わせてあり、その左半側および
左半側の対物レンズ系Ａ−Ｂは第１対物レンズａ−１拳
ｂ−１と第２対物レンズａ−２・ｂ−２とそれらの間に
配位した第１ミラーｍ１１１第２ミラーｍ２・第３ミラ
ーｍ３とを組合わせて構成し、それら対物レンズ系Ａ・
Ｂのそれぞれの第３ミラーｍ３と第２対物レンズａ−１
拳ｂ−１を、それぞれ顕微鏡のボディに左右にスライド
するよう組付けられたフレーム３・３°に組付けて、適
宜の作動機構の操作により左右にスライーするようにし
であることについては、従前手段のものと同様である。

しかし、左半側および左半側の対物光学系Ａ・Ｂのそれ
ぞれの第２対物レンズａ−２・ｂ−２の下方には、それ
らから出射される垂直な光軸Ｘ−２・ｘ−２を、顕微鏡
のボディの左右の中心側に向けて傾斜させる偏角レンズ
交がそれぞれ組込まれ、かつ、それら偏角レンズｌ−１
は、顕微鏡のボディに左右方向にスライド自在に組付け
られているフレーム３・３＠に、そのフレーム３・３°
トー緒に動くよう支架されている。

そして、この偏角レンズ見・交を組込んだフレーム３拳
３°の下面側には、内部に前記偏角レンズ交・交から出
射される光軸ｘ−２・ｘ−２をそれぞれ水平な方向に反
射させる第１ミラーＭｌとその反射した光軸ｘ−３を垂
直な方向に反射させる第２ミラーＭ２が組込まれる（第
８図）ミラーボックス４．・４′が、フレーム３・３゛
を左右に変位させたときに、それと−緒に変位するよう
に組付けられている。

第８図は、本発明手段の要部である前述のミラーボック
ス４・４°を組込んだ部分の光学系の説明図で、同図に
おいて、３は左半側の対物レンズ系Ａの第３ミラーｍ３
および第２対物レンズａ−２ならびに偏角レンズ文とを
組込んでｍ微鏡のボディに組付けた左右に可動のフレー
云、３゛は左半側の対物レンズ系Ｂの第３ミラーｍ３お
よび第２対物レンズｂ−２ならびに偏角レンズ文とを組
込んで顕微鏡のボディに組付けた左右に可動のフレーム
、４および４′はそれらフレーム３争３°の下面側に一
体的に組付けたミラーボックスを示す。

左右のミラーボックス４・４°は、それらの構成は同じ
なので、以下左半側の対物レンズ系Ａに組込まれるミラ
ーボックス４について説明する。

該ミラーボックス４の内部には、左半側の対物レンズ系
Ａの第２対物レンズａ−２の下方に設けた偏角レンズ文
から出射される顕微鏡のボディの左右の中心に向は少し
傾いた垂直な方向の光軸Ｘ−２を水平な方向に反射させ
る第１ミラーＭｌと、その第１ミラーＭ１から反射した
光軸ｘ−３を垂直な方向に反射させる第２ミラーＭ２と
が、一対に対向するように組込まれる。そして、それの
第２ミラーＭ２は、第９図に示している如く、第１ミラ
ーＭ１から反射されてくる光軸ｘ−３を横切る左右方向
の枢軸４０中心に傾斜角度が自在に変化するようミラー
ボックス４に枢支され、その角度変化が、ミラーボック
ス４に設ける調節ねじ４１のねじ込み操作で、枢軸４０
を支持する作動板４２をバネ４３の付勢に抗して回動さ
せることで行なわれるようにしてあり、この第２ミラー
Ｍ２の回動で、それから反射していく光軸ｘ−４上の焦
点位置が、同第９図において矢印２の如く左右に動くよ
うにしである。

しかして、このミラーボックス４は、前記第８図におい
ては、それの内部に組込んだ第１ミラーＭｌと第２ミラ
ーＭ２とが、対物レンズ系Ａの第２ミラーｍ２と第３ミ
ラーｍ３との並列方向と揃う左右方向に並ぶように示し
ているが、このミラーボックス４を前述のフレーム３の
下面側に組付けるときは、該ミラーボックス４を、第８
図においてフレーム３内の偏角レンズ文から出射される
垂直な方向の光軸ｘ−２を中心に９０度旋回させて、該
ミラーボックス４内の第１ミラーＭｌと第２ミラーＭ２
とが前後方向に並ぶ状態として組付ける。即ち、これら
ミラーボックス４ｓ４′は、第８図が、対物レンズ系Ａ
＠ＢのＷＳ３ミラーｍ３・ｍ３および第２対物レンズａ
−２・ｂ−２および偏角レンズ交・交ならびにそれらを
収蔵するフレーム３・３°については正面視の図となる
が、それらフレーム３・３゛の下面側に組付けられるミ
ラーボックス４・４゛については、顕微鏡のボディの左
右の中心部位から左右方向を見た展開した側面図となる
ように組付ける。

この場合、ミラーボックス４・４′を、フレーム３・３
°の下面に、それらフレーム３・３゛内の偏角レンズ文
・文から出射される暇直な方向の光軸Ｘ−２中心に、該
ミラーボックス４・４゛の長手方向が、顕微鏡本体の左
右方向に沿う状態と前後方向に揃う状態とに切換わるよ
う旋回自在に組付けておいても良い。

このように構成せる実施例装置は次のように作用する。

被検査物たるＩＣをステージ上に載ｚしたとき、左半側
および左半側の対物レンズ系Ａ・Ｂに、第３ミラーｍ３
・ｍ３および第２対物レンズａ　−２・ｂ−２ならびに
偏角レンズ見・見とを収蔵するフレーム３・３°が、左
右に可動に顕微鏡の本体（ボディ）に組込まれていると
きは、そのフレーム３・３°を左右にスライドさせるこ
とで、顕微鏡光学系りの接眼レンズ１１の視野、または
、そのｗＪ微微光光学系に接続させて組付けたモニター
テレビの画面に、ＩＣが第５図および第６図に示してい
る状態に映し出される状態に調整する。

この調整の際、それぞれのミラーボックス４・４°内の
第２ミラーＭ１・Ｍ２から出射される重直な方向の光軸
ｘ−４・ｘ−４は、偏角レンズ交・交によって、顕微鏡
のボディの左右の中心部位に向かう方向にそれぞれ傾斜
させであることから、それら光軸ｘ−４・ｘ−４を近寄
せるようフレーム３とフレーム３″″とを互いに近づけ
る方向にスライドさせたとき、フレーム３とフレーム３
゛とが干渉するスライド作動のエンドにおいて、光軸Ｘ
−４・ｘ−４上の焦点間の距離を、フレーム３・３゜の
制約を受けることなく極く短く出来るようになる・そし
て、これにより極く小型のＩＣを検査する際に、第４図
にあるようＩＣの左右の一半側が視野からとんだ状態に
なるのを防止できるようになる。

次にこの状態において、左半側の対物レンズ系Ａに組込
んだミラーボックス４に装設しである調節ねじ４１を回
して、そのミラーボックス４内の第２ミラーＭ２を枢軸
４ｏ中心に回動させれば、その第２ミラーＭ２で反射さ
れる垂直な方向の光軸ｘ−４が偏角レンズ見により傾斜
した状態で前後に動きその先軸ｘ−４上の焦点位置が前
後方向に変位することで、標本であるＩＣが相対的に前
後方向に変位したことになって、前記視野または画面に
映し出されているＩＣの左側の部分の左半側の像が、そ
の視野または画面を前後方向に動き、そのＩＣの左側の
側縁に前後方向に並列して設けられているリード２ｏ・
・・およびそれの結合部位が、その並列方向の一方の端
のり−ド２ｏから順次切換わって映し出されてくるよう
になり、それらの目視確認が並列順に順次行なわれるよ
うになる。

次に、左半側の対物レンズ系Ｂに組込まれたミラーボッ
クス４′に装設しである調節ねじ４１を回せば、視野ま
たは画面に映し出されたＩＣの右側の部分の左半側の像
が前後に動いて、そのＩＣの右方の縁に前後に並列して
いるリード２ｏ・・・およびそれの結合部分が順次切換
ゎっで映し出されてくるようになり、これらの目視確認
が並列順に順次行なえるようになる。

以Ｆ説明したように、本発明にょる二視野顕微鏡は、顕
微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介して左手側
の対物光学系と右手側の対物光学系とを組込み、それら
左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、顕微鏡
のボディの左右の中心に向けて傾斜させる偏角レンズを
それぞれ組込み、それら偏角レンズの下方に、それらか
ら出射する光軸を水平な方向に反射させるｗ４１ミラー
とその反射した光軸を垂直な方向に反射させる第２ミラ
ーとが、前後方向に対向するよう組付けられたミラーボ
ックスを配設し、それの第２ミラーを、前後に傾斜回動
自在に前記ミラーボックスに支架せしめて構成している
のであるがら、極〈小型のＩＣを検査するときに、その
ＩＣの像が視野またはモニターテレビの画面に入らない
ようになるのが防止できて、極〈小型のＩＣの検査に対
応し得るようになり、しかも、ミラーボックス内の第２
ミラーの傾斜角度を変更させていくことで、ＩＣの本体
の左右の側縁にそれぞれ前後に並列して設けられている
多数のリードを、それの並列順に順次視野またはモニタ
ーテレビの画面において確認していけるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は二視野顕微鏡の光学系の説明図、第２図はＩＣ
の平面図、第３図、第４図、第５図、第６図は二視野顕
微鏡にセットしたモニターテレビの画面に映されたＩＣ
の像の説明図、第７図は本発明を実施せる二視野顕微鏡
の光学系の説明図、第８図は同上顕微鏡の光学系の要部
の説明図、第９図は同上顕微鏡の要部の縦断側面図であ
る。 図面符号の説明 Ａ−Ｂ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合致プリズム　　　Ｓ・・・ステージ＆−１＠
ｂ−１・・・第１対物レンズ ａ−２・ｂ−２・・・第２対物レンズ ｍｌ・・・第１ミラー　　　　ｍ２・・・第２ミラーｍ
３・・・第３ミラー　　　　文・・・偏角レンズ３拳３
°・・・フレーム　　　　Ｘ・・・光軸ｌＯ・・・対物
レンズ　　　　１１・・・接眼レンズ２０・・・ＩＣの
り−１　　２１・・・ＩＣの本体４・４°・・・ミラー
ボックス Ｍｌ・・・第１ミラー　　　　Ｍ２・・・第２ミラー４
０・・・枢軸　　　　　　　４１・・・調節ねじ４２・
・・作動板　　　　　　４３・・・バネ第１ＷＪ 否　　８ 第７図 第９−図 手続補正書輸発） 昭和６２年６月８日 １、　事件の表示 昭和６２年　特　許　願　第１１３２０９号２、発明の
名称　　　　二視舒顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係出願人 ８、補正の内容　　明細書の全文を別紙の通りに補正す
る。 （全文補正）明　　　細　　　書 １、発明の名称 比較顕微鏡 ２、特許請求の範囲 ｍ微光光学系の光軸上に、像合成プリズムを介して左半
側の対物光学系と右手側の対物光学系とを組込み、それ
ら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、顕微
鏡のボディの左右の中心に向けて傾斜させる偏角プリズ
ムをそれぞれ組込み、それら偏角プリズムの下方に、そ
れらから出射する光軸を水平な方向に反射させる第１ミ
ラーとその反射した光軸を垂直な方向に反射させる第２
ミラーとが、前後方向に対向するよう組付けられたミラ
ーボックスを配設し、それの第２ミラーを前後に傾斜回
動自在に前記ミラーボックスに支饗せしめてなる比較顕
微鏡。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、主として、ＩＣの周縁に並列して設けられる
多数のリードおよびそれらの結合状態の目視確認のため
に用いる比較顕微鏡についての改良に関する。 一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした比較顕微鏡が開発されている。 この比較顕微鏡は、第１図に示しているようにｍｅ鏡先
光学系の対物レンズ１０の焦点を、像合致プリズムＰの
頂点位置に結ばせて、左半側の対物光学系Ａと左半側の
対物光学系Ｂとに分け、それら対物光学系Ａ−Ｈの第１
対物レンズａ−１−ｂ−ｔにより平行光線に戻して第１
ミラーｍｌ拳第２ミラーｍ２拳第３ミラーｍ３によりそ
れぞれ第２対物レンズａ−２・ｂ−２に導かれるように
しておき、これにより、ステージＳヒに被検査物として
例えば第２図に示しているＩＣを置いたとき、それの映
像が、顕微鏡光学系りの接眼レンズの視野内または、！
Ｉｌ微鏡微光系りに接続装着したモニターテレビの画面
内に、第３図に示ｌ−ている如く入ってくるようにして
いる。 そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分が　接眼レンズ１１の視野内ま
たはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるように
するため、第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ−
２・ｂ−２とを、第１図で鎖線で示している如？、それ
ぞれ一つのフレーム３・３°に組込み、それらフレーム
３・３゜を顕微鏡のボディに、それぞれのフレーム３・
３゜が　第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸
ｘ−１に沿い左右方向にスライドするように組付けて、
これらフレーム３・３゛をそれらにそれぞれ組付ける調
節ねじなどの作動機構の操作で第２ミラーｍ２と第３ミ
ラーｍ３との間の平行光線に沿いスライドさせることに
より、第２対物レンズａ−２番ｂ−２から下方に向かう
垂直な光軸Ｘ　−２ｅｘ−２を左右に動かすことで、第
２対物レンズａ−２・ｂ−２の焦点位置を左右に動かす
調整が行なえるようにしている。 ところで、このように構成されている比較顕微鏡には、
左右のフレーム３・３°を互いに近寄せて、左半側の対
物光学系Ａおよび左半側の対物光学系Ｂの各第２対物レ
ンズａ−２・ｂ−２から出射される光軸ｘ−２・ｘ−２
を近接させていくときに、それらフレーム３・３°を近
づける方向にスライドさせる作動が、フレーム３とフレ
ーム３°との互いの衝突によりストロークエンドとなる
ことで、左半側の対物光学系Ａの光軸ｘ−２と左半側の
対物光学系Ｂの光軸ｘ−２とを近づける距離に限度があ
る。そして、このことから、被検査物であるＩＣの小型
化に伴ない、極〈小型のＩＣでは、それを検鏡するとき
に、例えば左側の部分の左半側が視野に入るようにする
と、右側の部分の左半側が視野に入らず、第４図に示し
ている如く視野から飛んだ状態となって、検嶋が不能に
なり、小型のＩＣの検査に適応させ得ない問題が生じて
きている。 また　もう一つの問題として、ＩＣの検査の際に、ＩＣ
の本体２１の左右の両側に前後方向に並列して設けられ
ている多数のり−ド２０・・・の像が第５図および第６
図に示している如く、その並列方向の一方の端のリード
２０から順次、視野またはモニターテレビの画面の中央
に位置してくるようになって、ＩＣの左右のリード２０
・・・およびそれの本体２１に対する結合部分が、順次
検査していけるようになることの要望に応えられない間
四がある。 この要望は、前述の第１図における第２対物レンズａ−
２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２を、顕微
鏡のボディに対し前後方向に変位させていけるようにす
ることであり、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミラーｍ２と
第３ミラーｍ３との間の光軸ｘ−ｔに対し直交する方向
に動かすことであるから実際には無理なことである。 未発明は、従前の比較ａｉｍ鏡に生じている問題を解消
するためになされたものであって、前述の如く標本の左
半側を映す対物光学系Ａおよび左半側を映す対物光学系
の垂直な光軸ｘ−２拳ｘ−２を左右方向において互いに
近づけるよう変位調節したときの、光軸ｘ−２と光軸ｘ
−２との間の距離を極（狭くして、極く小型のＩＣの検
査に対応させ得るようにするとともに、ＩＣの本体２１
の左右の側縁に前後方向に並列して設けられた各リード
２０・・・およびそれの結合部位の映像が、前後方向の
一方の端のリード２０から順次視野またはモニターテレ
ビの画面に映し出されて確認していけるようにする新た
な手段を提供することを目的とする。 そして１本発明においては、この目的を連成するための
手段として、顕微鏡光学系の光軸上に。 像合致プリズムを介して左半側の対物光学系と左半側の
対物光学系とを組込み、それら左右の対物光学系の各第
２対物レンズの下方に、顕微鏡のボディの左右の中心に
向けて傾斜させる偏角プリズムをそれぞれ組込み、それ
ら偏角プリズムの下方に、それらから出射する光軸を水
平な方向に反射させる第１ミラーとその反射した光軸を
畢直な方向に反射させる第２ミラーとが、前後方向に対
向するよう組付けられたミラーボックスを配設し、それ
の第２ミラーを、・前後に傾斜回動自在に前記ミラーボ
ックスに支架せしめてなる比較顕微鏡を提起するもので
ある。 次に実施例を図面に従い詳述する。 第７図は本発明を実施せる比較顕微鏡の光学系の正面図
で、それの基本的な構成は前述の第１図に示している従
前の比較顕微鏡と変わりなく、顕微鏡光学系りに像合致
プリズムＰを介して左半側の対物レンズ系Ａと左半側の
対物レンズＢとが組合わせてあり、その左半側および左
半側の対物レンズ系ＡφＢは第１対物レンズａ−１・ｂ
−１と第２対物レンズａ−２・ｂ−２とそれらの間に配
位した第１ミラーｍｌ・第２ミラーｍ２・第３ミラーｍ
３とを組合わせて構成し、それら対物レンズ系Ａ・Ｂの
それぞれの第３ミラーｍ３と第２対物レンズａ−１ｅｂ
−１を、それぞれＩ１１微鏡のボディに左右にスライド
するよう組付けられたフレ−ム３−３゛に組付けて、適
宜の作動機構の操作により左右にスライドするようにし
であることについては、従前手段のものと同様である。 しかし、左半側および左半側の対物光学系Ａ・Ｂのそれ
ぞれの第２対物レンズａ−２・ｂ−２の下方には、それ
らから出射される垂直な光軸Ｘ　−２・ｘ−２を、顕微
鏡のボディの左右の中心側に向けて傾斜させる偏角プリ
ズム文がそれぞれ組込まれ、かつ、それら偏角プリズム
交・交は、顕微鏡のボディに左右方向にスライド自在に
組付けられているフレーム３・３＠に、そのフレーム３
・３゛と一緒に動？よう支架されている。 そして、この偏角プリズム文ｅ文を組込んだフレーム３
・３°の下面側には、内部に前記偏角プリズムＱ−文か
ら出射される光軸ｘ−２・ｘ−２をそれぞれ水平な方向
に反射させる第１ミラーＭｌとその反射した光軸ｘ−３
を垂直な方向に反射させる第２ミラーＭ２が組込まれる
（第８図）ミラーボックス４・４°が、フレーム３１１
３°を左右に変位させたときに、それと−緒に変位する
ように組付けられている。 第８図は、本発明手段の要部である前述のミラーボック
ス４・４°を組込んだ部分の光学系の説明図で、同図に
おいて、３は左半側の対物レンズ系Ａの第３ミラーｍ３
および第２対物レンズａ−２ならびに偏角プリズム文と
を組込んでｗＪ微微光ボディに組付けた左右に可動のフ
レーム、３°は左半側の対物レンズ系Ｂの第３ミラーｍ
３および第２対物レンズｂ−２ならびに偏角プリズム交
とを組込んで顕微鏡のボディに組付けた左右に可動のフ
レーム、４および４′はそれらフレーム３・３゛の下面
側に一体的に組付けたミラーボックスを示す。 左右のミラーボックス４拳４′は、それらの構成は同じ
なので、以下左半側の対物レンズ系Ａに組込まれるミラ
ーボックス４について説明する。 該ミラーボックス４の内部には、左半側の対物レンズ系
Ａの第２対物レンズａ−２の下方に設けた偏角プリズム
交から出射される顕微鏡のボディの左右の中心に向は少
し傾いた垂直な方向の光軸ｘ−２を水平な方向に反射さ
せる第１ミラーＭ１と、その第ｔミラーＭｌから反射し
た光軸ｘ−３を垂直な方向に反射させる第２ミラーＭ２
とが、一対に対向するように組込まれる。そして、それ
の第２ミラーＭ２は、第９図に示している如く、第１＝
ラーＭ１から反射されてくる光軸ｘ−３を横切る左右方
向の枢軸４０中心に傾斜角度が自在に変化するようミラ
ーボックス４に枢支され、その角度変化が、ミラーボッ
クス４に設ける調節ねじ４１のねじ込み操作で、枢軸４
０を支持する作動板４２をバネ４３の付勢に抗して回動
させることで行なわれるようにしてあり、この第２ミラ
ーＭ２の回動で、それから反射してい〈光軸ｘ−４上の
焦点位置が、同第９図において矢印２の如く左右に動く
ようにしである。 しかして、このミラーボックス４は、前記第８図におい
ては、それの内部に組込んだ第１ミラーＭ１と第２ミラ
ーＭ２とが、対物レンズ系Ａの第２ミラーｍ２と第３ミ
ラーｍ３との並列方向と揃う左右方向に並ぶように示し
ているが、このミラーボックス４を前述のフレーム３の
下面側に組付けると１ｇ′は、該ミラーボックス４を、
第８図においてフレーム３内の偏角プリズム文から出射
される垂直な方向の光軸ｘ−２を中心に９０１を旋回さ
せて、該ミラーボックス４内の第１ミラーＭｌと第２ミ
ラーＭ２とが前後方向に並ぶ状態として組付ける。即ち
、これらミラーボックス４・４゛は。 第８図が、対物レンズ系Ａ＠Ｂの第３ミラーｍ３・ｍ３
および第２対物レンズａ−２＠ｂ−２および偏角プリズ
ム見・交ならびにそれらを収蔵するフレーム３−３°に
ついては正面視の図となるが。 それらフレーム３・３゛の下面側に組付けられるミラー
ボックス４・４°については、顕微鏡のボディの左右の
中心部位から左右方向を見た展開した側面図となるよう
に組付ける。 この場合、ミラーボックス４・４゛を、フレーム３・３
゛の下面に、それらフレーム３・３゛内の偏角プリズム
立・交から出射される垂直な方向の光軸ｘ−２中心に、
該ミラーボックス４・４゛の艮手方向が、顕微鏡本体の
左右方向に沿う状態と前後方向に揃う状態とに切換わる
よう旋回自在に組付けておいても良い。 このように構成せる実施例装置は次のように作用する。 被検査物たるＩＣをステージヒにａ置したとき左半側お
よび右手側の対物レンズ系Ａ＠Ｈに。 第３ミラーｍ３・ｍ３および第２対物レンズａ　−２・
ｂ−２ならびに偏角プリズム文・見とを収蔵するフレー
ム３・３°が、左右に可動に顕微鏡の本体（ボディ）に
組込まれているときは、そのフレーム３φ３゛を左右に
スライドさせることで、顕微鏡光学系りの接眼レンズ１
１の視野、または、その顕微鏡光学系りに接続させて組
付けたモニターテレビの画面に、ＩＣが第５図および第
６図に示１、ている状態に映し出される状態に調整する
。 この調整の際、それぞれのミラーボックス４・４′内の
第２ミラーＭｌ−Ｍ２から出射される垂直な方向の光軸
ｘ−４・ｘ−４は、偏角プリズム見・交によって、顕微
鏡のボディの左右の中心部位に向かう方向にそれぞれ傾
斜させであることから、それら光軸ｘ−４Φｘ−４を近
寄せるようフレーム３とフレーム３°とを互いに近づけ
る方向にスライドさせたとき、フレーム３とフレーム３
°とが干渉するスライド作動のエンドにおいて、光軸Ｘ
−４０Ｘ−４上の焦点間の距離を、フレーム３・３°の
制約を受けることなく極く短く出来るようになる。そし
て、これにより極〈小型のＩＣを検査する際に、第４図
にあるようＩＣの左右の一半側が視野からとんだ状態に
なるのを防止できるようになる。 次にこの状態において、左半側の対物レンズ系Ａに組込
んだミラーボックス４に装設しである調節ねじ４１を回
して、そのミラーボックス４内の第２ミラーＭ２を枢軸
４０中心に回動させれば、その第２ミラーＭ２で反射さ
れる垂直な方向の光軸ｘ−４が偏角プリズム文により傾
斜した状態で前後に動きその光軸ｘ−４上の焦点位置が
前後方向に変位することで、標本であるＩＣが相対的に
前後方向に変位したことになって、前記視野または画面
に映し出されているＩＣの左側の部分の左半側の像が、
その視野または画面を前後方向に動き、そのＩＣの左側
の側縁に前後方向に並列して設けられているリード２０
・・・およびそれの結合部位が、その並列方向の一方の
端のり一ド２０から順次切換わって映し出されてくるよ
うになり、それらの目視確認が並列順に順次行なわれる
ようになる。 次に、左半側の対物レンズ系Ｂに組込まれたミラーボッ
クス４°に装設しである調節ねじ４１を回せば、視野ま
たは画面に映し出されたＩＣの右側の部分の右手側の像
が前後に動いて、そのＩＣのも方の縁に前後に並列して
いるリード２ｏ・・・およびそれの結合部分が順次切換
わって映し出されてくるようになり、これらの目視確認
が並列順に順次行なえるようになる。 以上説明したように、本発明による比較顕微鏡は、顕微
鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介１．て左半側
の対物光学系と右手側の対物光学系とを組込み、それら
左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、　ｗＪ
ｍ鏡のボディの左右の中心に向けて傾斜させる偏角プリ
ズムをそれぞれ組込み、それら偏角プリズムの下方に、
それらから出射する光軸を水平な方向に反射させる第１
ミラーとその反射した光軸を垂直な方向に反射させる第
２ミラーとが、前後方向に対向するよう組付けられたミ
ラーボックスを配設し、それの第２ミラーを、前後に傾
斜回動自在に前記ミラーボックスに支架せしめて構成し
ているのであるから、極〈小型のＩＣを検査するときに
、そのＩＣの像が視野またはモニターテレビの画面に入
らないようになるのが防市できて、極く小型のＩＣの検
査に対応し得るようになり、しかも、ミラーボックス内
の第２ミラーの傾斜角度を変更させていくことで、ＩＣ
の本体の左右の側縁にそれぞれ前後に並列して設けられ
ている多数のリードを、それの並列順に順次視野または
モニターテレビの画面において確認していけるようにな
る。 ４、図面の簡単な説明 第１図は比較顕微鏡の光学系の説明図、第２図はＩＣの
平面図、第３図、第４図、第５図、第６図は比較顕微鏡
にセットしたモニターテレビの画面に映されたＩＣの像
の説明図、第７図は本発明を実施せる比較顕微鏡の光学
系の説明図、第８図は同ｈｓ＊鏡の光学系の要部の説明
図、第９図は同上顕微鏡の要部の縦断側面図である。 図面符号の説明 ＡφＢ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合致プリズム　　　Ｓ・・・ステージａ−１・
ｂ−１・・・第１対物レンズ ａ−２・ｂ−２・・・第２対物レンズ ｍ１・・・第１ミラー　　　　ｍ２・・・第２ミラーｍ
３・・・第３ミラー　　　　文・・・偏角プリズム３・
３゛・・・フレーム　　　　Ｘ・・・光軸１０・・・対
物レンズ　　　　１１・・・接眼レンズ２０・・・ＩＣ
のリード　　　２１・・・ＩＣの本体４・４°・・・ミ
ラーボックス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介して左半
   側の対物光学系と右半側の対物光学系とを組込み、それ
   ら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、顕微
   鏡のボディの左右の中心に向けて傾斜させる偏角レンズ
   をそれぞれ組込み、それら偏角レンズの下方に、それら
   から出射する光軸を水平な方向に反射させる第１ミラー
   とその反射した光軸を垂直な方向に反射させる第２ミラ
   ーとが、前後方向に対向するよう組付けられたミラーボ
   ックスを配設し、それの第２ミラーを、前後に傾斜回動
   自在に前記ミラーボックスに支架せしめてなる二視野顕
   微鏡。