JPS63276015A - 二視野顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、主として、ＩＣの本体の側縁に並列して設け
られるリードおよびそれの結合部分の目視確認のために
用いる二視野ｍ＊、鏡についての改良に関する。

一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした二視野顕微鏡が開発されている。この二視
野顕微鏡は、第１図に示しているように、顕微鏡光学系
りの対物レンズ１０の焦点を、像合致プリズムＰに結ば
せて、左半側の対物光学系Ａと左半側の対物光学系Ｂと
に分け、それら対物光学系Ａ−Ｂの第１対物レンズａ　
−１・ｂ−ｔにより平行光線に戻して第１ミラーｍ１１
１第２ミラーｍ２・第３ミラーｍ３によりそれぞれ第２
対物レンズａ−２ｅｂ−２に導き、これにより、ステー
ジＳ上に被検査物として例えば第２図に示しているＩＣ
を置いたとき、それの映像が、顕微鏡光学系りの接眼レ
ンズの視野内または、顕微鏡光学系りに接続装着したモ
ニターテレビの画面内に、第３図に示している如く入っ
てくるようにしている。

そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分が、接眼レンズ１１の視野内、
またはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるよう
にするため、左半側および左半側の対物光学系Ａ−Ｈの
第３ミラーｍ３φｍ３と第２対物レンズａ−２＊ｂ−２
とを、第１図で鎖線で示している如く、それぞれ一つの
フレーム３・３゛に組込み、それらフレーム３寺３°ヲ
顕□微鏡のボディに、それぞれのフレーム３・３゛が、
第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸Ｘ−１に
沿い左右方向にスライドするように組付けて、これらフ
レーム３争３゛をそれに組付ける調節ねじなどの作動機
構の操作で第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の平
行光線に沿いスライドさせることにより、第２対物レン
ズａ−２ｅｂ−２から下方に向かう垂直な光軸ｘ−２・
ｘ−２を、同第１図で矢印ｙ”ｙで示している左右方向
（ｙ方向）に動かすことで第２対物レンズａ−２◆ｂ−
２の焦点位置を左右に動かす調整が行なえるようにして
いる。

ところで、このように構成されている二視野顕微鏡には
、ＩＣの検査に用いる際に、第４図および第５図に示し
ている如く、ＩＣの左右のリード２０・・・およびそれ
の本体２１に対する結合部分が、並列順に従い順次、視
野またはモニターテレビの画面の中央に位置してくるよ
うにして、それらを並列順に従い順次検査していけるこ
との要望がある。

これは、前述の第１図における左右の対物光学系Ａ−Ｈ
の第２対物レンズａ−２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ
−２・ｘ−２を、顕微鏡のボディに対し前後方向に変位
させていけるようにすればよいわけであるが、そのよう
にすることは、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミラーｍ２と
第３ミラーｍ３との間の光軸ｘ−゛１に対し直交する方
向に動かすことであるから実際には無理なことである。

本発明は、上述の如く実現が困難であった要望に応える
ためになされたものであって、前述の如く標本の左側の
部分の左半側を映す対物光学系Ａおよび右側の部分の左
半側を映す対物光学系の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２の左
右方向（ｙ方向）の変位調節だけが可能となっている従
前の二視野顕微鏡を、それの左右の対物光学系Ａ−Ｂの
各垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２が前後方向（２方向）に変
位調節し得るようにして、ＩＣの本体２１の左右の側縁
に前後方向に並列して設けられた各リード２０・・・お
よびそれの結合部位の映像が、前後方向の一方の端のリ
ード２０から順次視野またはモニターテレビの画面に映
し出されて確認していけるようにする新たな手段を提供
することを目的とする。

そして、本発明においては、この目的を達成するための
手段として、顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズム
を介して左半側の対物光学系と左半側の対物光学系とを
組込み、それら左右の対物光学系の各第２対物レンズの
下方に、その第２対物レンズから出射する垂直な光軸を
水平な方向に反射させる第１ミラーとその反射した光軸
を垂直な方向に反射させる第２ミラーとが、前後方向に
対向するよう組付けられたミラーボックスを配設し、そ
れの第２ミラーを、前後に傾斜回動自在に前記ミラーボ
ックスに支架せしめてなる二視野顕微鏡を提起するもの
である。

次に実施例を図面に従い詳述する。

第６図は本発明を実施せる二視野顕微鏡の光学系の概要
図で、それの基本的な構成は前述の第１図に示している
従前の二視野顕微鏡と変わりなく゛　、顕微鏡光学系り
に像合致プリズムＰを介して左半側の対物レンズ系Ａと
左半側の対物レンズＢとが組合わせてあり、その左半側
および左半側の対物レンズ系Ａ・Ｂは第１対物レンズａ
−１・ｂ　−１と第２対物レンズａ−２・ｂ−２とそれ
らの間に配位した第１ミラーｍ１・第２ミラーｍ２・第
３ミラーｍ３とを組合わせて構成しである。そして、そ
れら対物レンズ系Ａ−Ｂのそれぞれの第３ミラーｍ３・
ｍ３と第２対物レンズａ−１・ｂ−１は、それぞれ顕微
鏡のボディに左右にスライドするよう組付けられたフレ
ーム３に組込まれていて、適宜の作動機構の操作により
左右にスライドするようにしである。

次に第７図は本発明手段の要部の縦断側面図で、同図に
おいて、３は左半側の対物レンズ系Ａの第３ミラーｍ３
と第２対物レンズａ−２、とを組込んで顕微鏡のボディ
に組付けた左右に可動のフレーム、３゛は左半側の対物
レンズ系Ｂの第３ミラーｍ３と第２対物レンズｂ−２と
を組込んで顕微鏡のボディに組付けた左右に可動のフレ
ーム、４および４′はそれらフレーム３・３°の下面側
に一対的に組付けたミラーボックスを示す。

２つのミラーボックス４・ｌは、それらの構成は同じな
ので、以下左半側の対物レンズ系Ａに組込まれるミラー
ボックス４について説明する。

該ミラーボックス４の内部には、左半側の対物レンズ系
Ａの第２対物レンズａ−２から出射する垂直な光軸ｘ−
２を水平な方向に反射させる第１ミラーＭ１と、その反
射した光軸ｘ−３を垂直な方向に反射させる第２ミラー
Ｍ２とが、一対に対向するように組込まれる。そして、
それの第２ミラーＭ２は、第１ミラーＭ１から反射され
てくる光軸ｘ−３を横切る位置に設けた左右方向の枢軸
４０中心に傾斜角度が自在に変化するようミラーボック
ズ４に枢支され、その角度変化が、ミラーボックス４に
設ける調節ねじ４１のねじ込み操作で、枢軸４０を支持
する作動板４２をバネ４３の付勢に抗して回動させるこ
とで行なわれるようにしてあり、この第２ミラーＭ２の
回動で、それから反射していく光軸ｘ−４上の焦点位置
が同第７図において矢印２の方向に動くようにしである
。

しかして、このミラーボックス４は、第７図においては
、それの内部に組込んだ第１ミラーＭ１と第２ミラーＭ
２とが、対物レンズ系Ａの第２ミラーｍ２と第３ミラー
ｍ３との並列方向と揃う左右方向に並ぶように示してい
るが、このミラーポックス４をフレーム３の下面側にそ
のフレーム３と一体に左右に動くよう組付けるときは、
該ミラーボックス４を、第７図においてフレーム３内の
第２対物レンズａ−２から出射される垂直な光軸ｘ−２
を中心に９０度旋回させて、該ミラーボックス４内の第
１ミラーＭ１と第２ミラーＭ２とが前後方向に並ぶ状態
として組付ける。即ち、第７図が、対物レンズ系Ａ−Ｂ
の第３ミラーｍ　３　ｅ　ｍ３および第２対物レンズａ
−２参ｂ−２ならびにそれらを収蔵するフレーム３・３
゛については正面視の図であるが、それらフレーム３拳
３゛の下面側に組付けられるミラーボックス４・４′に
ついては、顕微鏡のボディの左右の中心側より見た側面
図となる関係に組付ける。

この場合、ミラーボックス４・ｌを、フレーム３１１３
°の下面に、それらフレーム３・３゛内の第２対物レン
ズａ−２・ｂ−２から出射される垂直な光軸ｘ−２中心
に、該ミラーボックス４・４゛の長子方向が、顕微鏡本
体の左右方向に沿う状態と前後方向に揃う状態とに切換
わるよう旋回自在に組付けておいても良いが、現実には
、第２対物レンズａ−２・ｂ−２から出射される垂直な
光軸Ｘ　−２の左右方向の変位調整を、顕微鏡の本体（
ボディ）に左右に可動に組付けるフレーム３・３°の変
位調節で行なうことからミラーボックス４・４′はそれ
の長子方向が前後方向に沿う状態に固定して組付けてよ
く、またフレーム３−３’を第２対物レンズａ−２φｂ
−２から出射される垂直な光軸Ｘが所定の設定位置を占
めるよう固定して組付け、被検査物たる標本を特定した
ものだけを対象とする専用機とした二視野顕微鏡に組立
てるときも、前述の垂直な光軸Ｘの左右方向（ｙ方向）
の変位調節は不要になるので、このミラーボックス４・
４゛は、それの長子方向が顕微鏡の本体の前後方向に沿
う状態として、その本体に対し固定して装設してよい。

このように構成せる実施例装置は次のように作用する。

被検査物たるＩＣをステージ上に載、置したとき、左手
側および左手側の対物レンズ系Ａ−Ｈに、第３ミラーｍ
３＊ｍ３と第２対物レンズａ−２ｅｂ−２とを収蔵する
フレーム３・３°が、左右に可動に顕微鏡の本体に組込
まれているときは、そのフレーム３・３′を左右にスラ
イドさせることで、顕微鏡光学系りの接眼レンズ１１の
視野、または、その顕微鏡光学系りに接続させて組付け
たモニターテレビの画面に、ＩＣが第４図および第５図
に示している状態に映し出される状態に調整する、この
場合、二視野顕微鏡が被検査物たるＩＣの寸法に適応す
る専用機に作られていて、その特定の寸法のＩＣをステ
ージＳ上に載置することで、顕微鏡光学系りの視野また
はモニタ、−テレビの画面に前記状態にＩＣが映し出さ
れるようになっている場合においては、この調整は不要
である。

次にこの状態において、左手側の対物レンズ系Ａに組込
んだミラーボックス４に装設しである調節ねじ４１を回
して、そのミラーボックス４内の第２ミラーＭ２を枢軸
４０中心に回動させれば、その第２ミラーＭ２で反射さ
れる垂直な光軸Ｘ　−４上の焦点位置が前後方向に変位
することで、標本であるＩＣが相対的に前後方向に変位
したことになって、前記視野または画面に映し出されて
いるＩＣの左側の部分の左半側の像が、その視野または
画面を前後方向に動き、そのＩＣの左側の側縁に前後方
向に並列して設けられているリード２０・・・およびそ
れの結合部位が、その並列方向の一方の端のり一ド２０
から順次切換わって映し出されてくるようになり、それ
らの目視確認が並列順に順次行なわれるようになる。

次に、左半側の対物レンズ系Ｂに組込まれたミラーボッ
クス４°に装設しである調節ねじ４１を回せば、視野ま
たは画面に映し出されたＩＣの右側の部分の左半側の像
が前後に動いて、そのＩＣの右方の縁に前後に並列して
いるリード２０・・・およびそれの結合部分が順次切換
わって映し出されてくるようになり、これらの目視確認
が並列順に順次行なえるようになる。

以上説明したように、本発明による二視野顕微鏡は、顕
微鏡光学系の光軸上に、像合成プリズムを介して左半側
の対物光学系と左半側の対物光学系とを組込み、それら
左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、その第
２対物レンズから出射する垂直な光軸を水平な方向に反
射させる第１ミラーとその反射した光軸を垂直な方向に
反射させる第２ミラーとが、前後方向に対向するよう組
付けられたミラーボックスを配設し、それの第２ミラー
を、前後に傾斜回動自在に前記ミラーボックスに支架せ
しめて構成しているのであるから、ミラーボックス内の
第２ミラーの傾斜角度を変更させていくことで、ＩＣの
本体の左右の側縁にそれぞれ前後に並列して設けられて
いる多数のリードを、それの並列順に順次視野またはモ
ニターテレビの画面において確認していけるようになる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は二視野顕微鏡の光学系の説明図、第２図はＩＣ
の平面図、第３図、第４図、第５図は二視野顕微鏡にセ
ットしたモニターテレビの画面に映されたＩＣの像の説
明図、第６図は本発明を実施せる二視野ｍ微鏡の光学系
の説明図、第７図は同上の顕微鏡の要部の縦断側面図で
ある。 図面符号の説明 Ａ−Ｂ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合成プリズム　　　Ｓ・・・ステージａ１番ｂ
ｌ〜ａ３・ｂ３・・・対物レンズＭ１〜Ｍ３・・・ミラ
ー　　　ｍ１〜ｍ３・・・ミラーＸ・・・光軸　　　　
　　　　１０・・・対物レンズ１１・・・接眼レンズ　
　　　２０・・・リード２１・・・本体　　　　　　　
３・３゛・・・フレーム４・４′・・・ミラーボックス
　　　４０・・・枢軸４１・・・調節ねじ　　　　　４
２・・・作動板４３・・・バネ 特　許　出　願　人　　　　東洋光学工業株式会社第１
図 否゛　　９ 第２　！ｍ　　　　、Ｃ 第６図 第７図 手続補正書（自発） 昭和６２年６月　８日 特許庁長官　黒　１）明　雄　Ｋか １、　事件の表示 昭和６２年　特　許　顯　第１１１７７４号２、　発明
の名称　二視野顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係　　出願人 ４、　代　　４．、　　　人　　　代表者　鈴　木　正
　治８、補正の内容　明細書の全文を別紙の通りに補正
する。 （全文補正）明　　　細　　　書 １、発明の名称 比較顕微鏡 ２、特許請求の範囲 顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介して左半
側の対物光学系と左半側の対物光学系とを組込み、それ
ら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、その
第２対物レンズから出射する垂直な光軸を水平な方向に
反射させる第１ミラーとその反射した光軸を垂直な方向
に反射させる第２ミラーとが、前後方向に対向するよう
組付けられたミラーボックスを配設し、それの第２ミラ
ーを、前後に傾斜回動自在に前記ミラーボックスに支架
せしめてなる比較顕微鏡。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、主として、ＩＣの本体の側縁に並列して設け
られるリードおよびそれの結合部分の目視確認のために
用いる比較顕微鏡についての改良に関する。 一つの視野内に２個所の像の左右半分づつを結像させて
、位置合わせし、目視による比較検査等が簡単に行なえ
るようにした比較顕微鏡が開発されている。この比較顕
微鏡は、第１図に示しているように、顕微鏡光学系りの
対物レンズ１０の焦点を、像合致プリズムＰの頂点位置
に結ばせて、左半側の対物光学系Ａと左半側の対物光学
系Ｂとに分け、それら対物光学系Ａ−Ｈの′４４１対物
レンズａ−１・ｂ−１により平行光線に戻して第１ミラ
ーｍｉｓ第２ミラーｍ２＊第３ミラーｍ３によりそれぞ
れ第２対物レンズａ−２・ｂ−２に導かれるようにして
おき、これにより、ステージＳ上に被検査物として例え
ば第２図に示しているＩＣを置いたとき、それの映像が
、Ｓ微鏡光学系りの接眼レンズの視野内または、顕微鏡
光学系りに接続装着したモニターテレビの画面内に、第
３図に示している如く入ってくるようにしている。 そして、このとき、ＩＣの左半側の像と左半側の像との
検査すべき個所であるリード２０・・・およびそれの本
体２１に対する結合部分が、接眼レンズ１１の視野内、
またはモニターテレビの画面内に正しく入ってくるよう
にするため、左半側および左半側の対物光学系Ａ−Ｂの
第３ミラーｍ３・ｍ３と第２対物レンズａ−２拳ｂ−２
とを、第１図で鎖線で示している如く、それぞれ一つの
フレーム３・３°に組込み、それらフレーム３・３９ヲ
顕微鏡のボディに、それぞれのフレーム３・３°が、第
２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の光軸Ｘ−１に沿
い左右方向にスライドするように組付けて、これらフレ
ーム３・３”をそれに組付ける調節ねじなどの作動機構
の操作で第２ミラーｍ２と第３ミラーｍ３との間の平行
光線に沿いスライドさせることにより、第２対物レンズ
ａ−２・ｂ−２から下方に向かう垂直な光軸ｘ−２・ｘ
−２を、同第１図で矢印ｙ”ｙで示している左右方向（
ｙ方向）に動かすことで第２対物レンズａ−２争す−２
の焦点位置を左右に動かす調整が行なえるようにしてい
る。 ところで、このように構成されている比較顕微鏡には、
ＩＣの検査に用いる際に、第４図および第５図に示して
いる如く、ＩＣの左右のリード２Ｏ・・・およびそれの
本体２１に対する結合部分が、並列順に従い順次、視野
またはモニターテレビの画面の中央に位置してくるよう
にして、それらを並列順に従い順次検査していけること
の要ψがある。 これは、前述の第１図における左右の対物光学系Ａ−Ｂ
の第２対物レンズａ−２・ｂ−２の下方の垂直な光軸ｘ
−２・ｘ−２を、顕微鏡のボディに対し前後方向に変位
させていけるようにすればよいわけであるが、そのよう
にすることは、垂直な光軸ｘ−２を、第２ミラーｍ２と
第３ミラーｍ３との間の光軸ｘ−１に対し直交する方向
に動かすことであるから実際には無理なことである。 本発明は、上述の如く実現が困難であった要望に応える
ためになされたものであって、前述の如く標本の左側の
部分の左半側を映す対物光学系Ａおよび右側の部分の左
半側を映す対物光学系の垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２の左
右方向（ｙ方向）の変位調節だけが可能となっている従
前の比較顕微鏡を、それの左右の対物光学系Ａ＠Ｂの各
垂直な光軸ｘ−２・ｘ−２が前後方向（２方向）に変位
調節し得るようにして、ＩＣの本体２１の左右の側縁に
前後方向に並列して設けられた各リード２０・・・およ
びそれの結合部位の映像が、前後方向の一方の端のリー
ド２０から順次視野またはモニターテレビの画面に映し
出されて確認していけるようにする新たな手段を提供す
ることを目的とするそして、本発明においては、この目
的を達成するための手段として、顕微鏡光学系の光軸上
に、像合致プリズムを介して左半側の対物光学系と左半
側の対物光学系とを組込み、それら左右の対物光学系の
各第２対物レンズの下方に、その第２対物レンズから出
射する垂直な光軸を水平な方向に反射させる第１ミラー
とその反射した光軸を垂直な方向に反射させる第２ミラ
ーとが、前後方向に対向するよう組付けられたミラーボ
ックスを配設し、それの第２ミラーを、前後に傾斜回動
自在に前記ミラーボックスに支架せしめてなる比較顕微
鏡を提起するものである。 次に実施例を図面に従い詳述する。 第６図は本発明を実施せる比較顕微鏡の光学系の概要図
で、それの基本的な構成は前述の第１図に示している従
前の比較顕微鏡と変わりなく、顕微鏡光学系りに像合致
プリズムＰを介して左半個の対物レンズ系Ａと左半側の
対物レンズＢとが組合わせてあり、その左半側および左
半側の対物レンズ系Ａ−Ｂは第１対物レンズａ−１・ｂ
−１と第２対物レンズａ−２φｂ−２とそれらの間に配
位した第１ミラーｍｌφ第２ミラーｍ２−第３ミラーｍ
３とを組合わせて構成しである。そして、それら対物レ
ンズ系Ａ−Ｈのそれぞれの第３ミラーｍ３・ｍ３と第２
対物レンズａ−１・ｂ−１は、それぞれ顕微鏡のボディ
に左右にスライドするよう組付けられたフレーム３に組
込まれていて、適宜の作動機構の操作により左右にスラ
イドするようにしである。 次に第７図は本発明手段の要部の縦断側面図で、同図に
おいて、３は左半側の対物レンズ系Ａの第３ミラーｍ３
と第２対物レンズａ−２、とを組込んで顕微鏡のボディ
に組付けた左右に可動のフレーム、３゛は左半側の対物
レンズ系Ｂの第３ミラーｍ３と第２対物レンズｂ−２と
を組込んで顕微鏡のボディに組付けた左右に可動のフレ
ーム、４および４°はそれらフレーム３φ３°の下面側
に一対的に組付けたミラーボックスを示す。 ２つのミラーボックス４・４゛は、それらの構成は同じ
なので、以下左半側の対物レンズ系Ａに組込まれるミラ
ーボックス４について説明する。 該ミラーボックス４の内部には、左半側の対物レンズ系
Ａの第２対物レンズａ−２から出射する垂直な光軸ｘ−
２を水平な方向に反射させる第１ミラーＭ１と、その反
射した光軸ｘ−３を垂直な方向に反射させる第２ミラー
Ｍ２とが、一対に対向するように組込まれる。そして、
それの第２ミラーＭ２は、第１ミラーＭ１から反射され
てくる光軸ｘ−３を横切る位置に設けた左右方向の枢軸
４０中心に傾斜角度が自在に変化するようミラーボック
ス４に枢支され、その角度変化が、ミラーボックス４に
設ける調節ねじ４１のねじ込み操作で、枢軸４０を支持
する作動板４２をバネ４３の付勢に抗して回動させるこ
とで行なわれるようにしてあり、この第２ミラーＭ２の
回動で、それから反射していく光軸ｘ−４上の焦点位置
が同第７図において矢印２の方向に動くようにしである
。 しかして、このミラーボックス４は、第７図においては
、それの内部に組込んだ＠ｌミラーＭ１と第２ミラーＭ
２とが、対物レンズ系Ａの第２ミラーｍ２と第３ミラー
ｍ３との並列方向と揃う左右方向に並ぶように示してい
るが、このミラーボックス４をフレーム３の下面側にそ
のフレーム３と一体に左右に動くよう組付けるときは、
該ミラーボックス４を、第７図においてフレーム３内の
第２対物レンズａ−２から出射される乗直な光軸ｘ−２
を中心に９０度旋回させて、該ミラーボックス４内の第
１ミラーＭ１と第２ミラーＭ２とが前後方向に並ぶ状態
として組付ける。即ち、第７図が、対物レンズ系ＡφＢ
の第３ミラーｍ３・ｍ３および第２対物レンズａ−２・
ｂ−２ならびにそれらを収蔵するフレーム３・３゛につ
いては正面視の図であるが、それらフレーム３−３゛の
下面側に組付けられるミラーボックス４・４゛について
は、顕微鏡のボディの左右の中心側より見た側面図とな
る５Ｉ！係に組付ける。 この場合、ミラーボックス４・４′を、フレーム３・３
゛の下面に、それらフレーム３・３゛内の第２対物レン
ズａ−２・ｂ−２から出射される垂直な光軸ｘ−２中心
に、該ミラーボックス４・４゛の長手方向が、顕微鏡水
°体の左右方向に沿う状態と前後方向に揃う状態とに切
換わるよう旋回自在に組付けておいても良いが、現実に
は、第２対物レンズａ−２會ｂ−２から出射される垂直
な光軸Ｘ−２の左右方向の変位調整を、！ｌ＃＆鏡の本
体（ボディ）に左右に可動に組付けるフレーム３・３゛
の変位調節で行なうことからミラーポー２クス４・４°
はそれの長手方向が前後方向に沿う状態に固定して組付
けてよく、またフレーム３ｅ３゛を第２対物レンズａ−
２會ｂ−２から出射される垂直な光軸Ｘが所定の設定位
置を占めるよう固定して組付け、被検査物たる標本を特
定したものだけを対象とする専用機とした比較顕微鏡に
組立てるときも、前述の垂直な光軸Ｘの左右方向（ｙ方
向）の変位調節は不要になるので、このミラーボックス
４−４は、それの長手方向が顕微鏡の本体の前後方向に
沿う状態として、その本体に対し固定して装設してよい
。 このように構成せる実施例装置は次のように作用する。 被検査物たるＩＣをステージ上に載置したとき、左半側
および左半側の対物レンズ系Ａ−Ｈに、第３ミラーｍ３
争ｍ３と第２対物レンズａ−２・ｂ−２とを収蔵するフ
レーム３番３°が、左右に可動に顕微鏡の本体に組込ま
れているときは、そのフレーム３−３’を左右にスライ
ドさせることで、顕微鏡光学系りの接眼レンズ１１の視
野、または、その顕微鏡光学系りに接続させて組付けた
モニターテレビの画面に、ＩＣが第４図および第５図に
示している状態に映し出される状態に調整する、この場
合、比較顕微鏡が被検査物たるＩＣの寸法に適応する専
用機に作られていて、その特定の寸法のＩＣをステージ
Ｓ上に載置することで、顕微鏡・光学系りの視野または
モニターテレビの画面に前記状態にＩＣが映し出される
ようになっている場合においては、この調整は不要であ
る。 次にこの状態において、左半側の対物レンズ系Ａに組込
んだミラーボックス４に装設しである調節ねじ４１を回
して、そのミラーボックス４内の第２ミラーＭ２を枢軸
４０中心に回動させれば、その第２ミラーＭ２で反射さ
れる垂直な光軸Ｘ　−４上の焦点位置が前後方向に変位
することで、標本であるＩＣが相対的に前後方向に変位
したことになって、前記視野または画面に映し出されて
いるＩＣの左側の部分の左半側の像が、その視野または
画面を前後方向に動き、そのＩＣの左側の側縁に前後方
向に並列して設けられているリード２０・・・およびそ
れの結合部位が、その並列方向の一方の端のり一ド２０
から順次切換わって映し出されてくるようになり、それ
らの目蜆確認が並列順に順次行なわれるようになる。 次に、左半側の対物レンズ系Ｂに組込まれたミラーボッ
クス４′に装設しである調節ねじ４１を回せば、視野ま
たは画面に映し出されたＩＣの右側の部分の左半側の像
が前後に動いて、そのＩＣの右方の縁に前後に並列して
いるリード゛２０・・・およびそれの結合部分が順次切
換わって映し出されて〈るようになり、これらの目視確
認が並列順に順次行なえるようになる。 以上説明したように、本発明による比較顕微鏡は、顕微
鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介して左半側の
対物光学系と左半側の対物光学系とを組込み、それら左
右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、その第２
対物レンズから出射する垂直な光軸を水平な方向に反射
させる第１ミラーとその反射した光軸を垂直な方向に反
射させる第２ミラーとが、前後方向に対向するよう組付
けられたミラーボックスを配設し、それの第２ミラーを
、前後に傾斜回動自在に前記ミラーボックスに支架せし
めて構成しているのであるから、ミラーボックス内の第
２ミラーの傾斜角度を変更させていくことで、ＩＣの本
体の左右の側縁にそれぞれ前後に並列して設けられてい
る多数のリードを、それの並列順に順次視野またはモニ
ターテレビの画面において確認していけるようになる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は比較顕微鏡の光学系の説明図、第２図はＩＣ（
７）平面図、第３図、第４図、第５図は比較顕微鏡にセ
ットしたモニターテレビの画面に映されたＩＣの像の説
明図、第６図は本発明を実施せる比較顕微鏡の光学系の
説明図、第７図は同ヒのＭａ微鏡の要部の縦断側面図で
ある。 図面符号の説明 Ａ−Ｂ・・・対物光学系　　　Ｌ・・・顕微鏡光学系Ｐ
・・・像合致プリズム　　　Ｓ・・・ステージａ　ｌ　
ｅ　ｂ　１−ａ３轡ｂ３・１対物レンズＭ１〜Ｍ３・・
・ミラー　　　　ｍｌ−ｍ３・・・ミラーＸ・・・光軸
　　　　　　　　１０・・・対物レンズ１１・・・接眼
レンズ　　　　２０・・・リード２１・・・本体　　　
　　　　３・３°・・・フレーム４−４’・・・ミラー
ボックス　　　４０・・・枢軸４１・・・調節ねじ　　
　　　４２・・・作動板４３・・・バネ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 顕微鏡光学系の光軸上に、像合致プリズムを介して左半
   側の対物光学系と右半側の対物光学系とを組込み、それ
   ら左右の対物光学系の各第２対物レンズの下方に、その
   第２対物レンズから出射する垂直な光軸を水平な方向に
   反射させる第１ミラーとその反射した光軸を垂直な方向
   に反射させる第２ミラーとが、前後方向に対向するよう
   組付けられたミラーボックスを配設し、それの第２ミラ
   ーを、前後に傾斜回動自在に前記ミラーボックスに支架
   せしめてなる二視野顕微鏡。