JPS6327738A - マイクロ波を用いたガス分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、少なくとも１つのマイクロ波発射器と、少な
くとも１つのガス流入口及びガス流出口を有する少なく
とも１つの測定セルと、検出器並びに上記測定セル内に
対向して該測定セルに対し絶縁して配設された少なくと
も１つの高電圧シュタルク電極とを備えているガス状媒
体の分析装置に関する。

従来技術 ガス状の媒質、或いは場合によシ固体或いは液体をガス
状の状態に変換した後に、被検査媒質の分子に回転遷移
（摂動）を励起することによシ特定の特性周波数領域に
おけるマイクロ波の吸収に基づいて分析することは知ら
れている。

線幅を減少するために、検査は低圧力領域で行われる。

吸収線は、シュタルク効果によシ分裂せしめられる。尚
、検出感度もしくは精度を高めるためにシュタルク交流
電圧を印加するのが有利とされている。この方法は、基
本的に選択性が高く、然も、被検物質に対し電離または
化学的反応のような前処理を必要としない。

公知の装置においては、測定セルは過大設計に構成され
ておシ、大きなメモリ効果が確認されている。従って、
−度測定したガスが成る時間後再び分析されることがあ
る。吸収セルを過大設計にするのは、特に、高電圧シュ
タルク電極或いはシュタルク隔壁を過大設計の断面を有
するセル内にしか設置できないという理由に基づく。更
に、シュタルク隔壁は、担体として、ガスが吸収されて
しまうテフロンのような材料から形成されておシ、その
ため、記憶効果の増大を招来している。また、ガス供給
部及び送シ案内部の構造にも欠陥が有シ、相当大きな無
駄空間を有しておシ、これもまた記憶効果の増大の一因
となっている。

発明の目的 本発明の目的は、上述のような欠陥を回避することがで
きる冒頭に述べた形式の装置を提供することにある。

発明の構成 本発明によれば上述の課題は、少なくとも１つのマイク
ロ波発射器と、少なくとも１つのガス流入口及びガス流
出口を有する少なくとも１つの測定セルと、検出器並び
に上記測定セル内に対向して該測定セルに対し絶縁して
配設された少なくとも１つの高電圧シュタルク電極とを
備えているガス状媒体の分析装置において、上記シュタ
ルク電極を、互いに間隔をおいて配設された複数個のホ
ルダによシ上記セル内に保持することによシ達成される
。この構成によれば、ガスの滞流もしくは累積の可能性
は大幅に減少される。好適な実施態様においては、ホル
ダは、例えばガラス　セラミックのようなセラミック材
料から形成する。また［ＶｅｓｔｅｌＪの名称で知られ
ている材料を使用することもできる。従来技術において
は、既に述べたように、シュタルク隔壁のための支持体
としてテフロン　テープが使用され、その上に高電圧シ
ュタルク電極が装着され、そして該テフロン　テープは
セルの側壁例えば底壁に敷設して接着されているが、こ
れに対して本発明は、特にセラミック担体の使用を提案
するものであシ、このセラミック担体は、テフロンとは
対照的に、特にガラス　セラミック担体として構成した
場合に、ガスの付着を促進することはない。更に、ガラ
ス　セラミックからなる絶縁担体を使用することにより
。

本発明の装置は、例えば２５０℃にもなる非常に高い温
度で動作させることができる。特に、セル内に存在する
シュタルク電極に、該電極を保持するために、間隔を置
いて多数の個々のホルダを設けることができる。この場
合、ホルダの高さはセルの内部高さの２分の１に対応す
るようにし、特にホルダを基本的に板部材から構成して
、その高さの中心部に少なくとも水平方向のスリットを
設け、これで高電圧シュタルク電極の縁部を受けるよう
にするのが有利である。

この実施態様によれば、従来技術と比較して、シュタル
ク電極はセルの中央に保持され、その結果、その両側に
シュタルク電場が形成され、セル内の電場の均等化に寄
与する。個々のホルダーがシュタルク電極に対して変位
しないようにするために、本発明の別の実施態様によれ
ば、シュタルク電極の縁部にはホルダの突出部が係合す
る切欠きが設けられる。

上に述べた実施態様から更に発展して、セルの断面を、
使用されるマイクロ波周波数に整合化（過大寸法にしな
い）することができ、その場合、特にセル断面は、１０
　Ｘ　５　ｍｍより小さく、更に好ましくはセル断面を
約７　Ｘ　３．５　ｍｍ、特に７、　Ｉ　Ｘ　３．６　
ｍｒｎにすることができる。この構成によれば、発射器
、受信器、減衰器酸るいは場合により導波管切換器並び
に基準セル及び」１１定セルが同じ導波管断面を有する
ようにすることができ、その結果、従来技術の場合のよ
うに、テーパ等の付いた断面移行部が不要になる。この
ように選択された小さいセル断面でシュタルク変調した
場合に回転遷移もしくは摂動の良好な変調が達成され、
大きな検出感度が得られる。

別の特に有利な実施態様として、測定セルを円弧状湾曲
部と直線状の測定区間（シュタルク室１４）から蛇行状
の配列で形成することが提案される。このように蛇行状
に構成することによシ、コンパクトな構造で最適な整合
を達成するように、任意に多数の円弧状湾曲区間及び直
線状区間を直列に配列することが可能となる。

このようにして、信号の強さの損失を招くことなく、所
謂１９インチ　ラック内に納まる機械的構造を実現する
ことができる。

測定セル及び基準セルへのガスの導入と関連して次のよ
うな問題がある。即ち、導波管内にがスを供給するため
の開口は、マイクロ波に干渉しないように制限された断
面を有しなければならないが、他方また、ガス交換の際
に迅速なガス交換を可能にし、それにより応答時間を小
さくし且つ制限された時間内で多数の測定を可能にする
ためには、上記断面は充分に大きくなければならないと
いう問題である。更に、ガス供給部は単純な構成で費用
も掛からないようにすべきである。

上述の問題を解決するために、本発明はまた、ガス流入
口及び／または流出口の２つの互いに対置する側壁に、
流入部材及び流出部材の縦軸線と同面関係にスリットを
設け、その場合、特に、該スリットの長さを、約１０朋
とし幅を約０．５朋とすることを提案することができる
。このようにすれば、マイクロ波は殆ど影響を受けず、
それにも拘わらず測定ガスはスリットの形態並びに２つ
のスリットを設けることによって充分に迅速に交換する
ことができる。スリットに測定ガスを供給したシまたス
リットから測定ガスを連続的に注入するために、別の実
施態様において、流入口及び流出口の側壁は、スリット
の領域において、ガス供給／ガス排出部に接続されてい
る室に係合する。

ガス交換における測定ガスの交換速度は、流入口及び流
出口並びにそれらの間に配設される流路を有する流入弁
を設け、該流入弁により、有限の角度、好ましくは９０
°　の角度で測定セルの流入口に対する分枝路を形成し
、上記弁を機械的に或いに電気的に制御できるようにす
ることにより更に高揚される。測定ガスはこの場合、高
い速度で導波管内の測定ガス側の高圧領域と低圧領域の
接続部或いは測定セルを通流することができる。通流す
るガスの極ぐ小さい部分だけが測定セル内に達する。こ
のようにして、無駄容積に起因する無駄時間も大きく減
少することができる。

上述の構成によれば、このような環境における排気系も
しくは真空系ポンプ出力の変動も、測定セルに対して充
分な程度に補償することができる。

マイクロ波周波数の安定化の目的で基準セルを用いて、
特に減少したシュタルク電圧によって発生される基準信
号の零点通過を利用してマイクロ波周波数の安定化を行
う場合には、本来の零吸収線及びシュタルク成分の測定
による零点通過がロックインによ９１８０度の移相を伴
うので、極めて高い圧力の安定化が必要となる。

先に述べたのと同じ前提、即ち基準セルが設けられると
言う前提に立ち１本発明の特に好ましい実施態様として
、基準セルと測定セルとを直列に接続することが提案さ
れる。この場合、一般に、有効信号を減少しないように
するために、基準セルは発射器側から見て測定セルの前
側に設けられる。この構成によれば、装置全体がコンパ
クトな構造で実現され、セルの恒温制御が容易になり高
価な方向性結合器の使用が不要となり、信号の２つの分
枝路への分離並びにそれに伴う減衰が回避される。更に
、基準信号及び測定信号が位相変位し、たシュタルク電
圧に起因し同様に位相差を有している場合には、基準信
号及び測定信号を１つの検出器で検出することが可能と
なシ、更にまた１つの増幅器で処理することができる。

前置増幅器を使用することによシ、特にドリフトの問題
並びに２つの増幅器を使用することによシ位相の回転に
より惹起される問題が回避できる。複数の吸収周波数を
検査する事例において、異なった周波数の複数のマイク
ロ波発射器を１つの測定セルに関連して設け、その場合
、基準セル内における純ガス発生器、例えば、浸透装置
の交換を回避するために、本発明の別の実施態様として
、複数の基準セルを１つの測定セルに相関して設けて、
基準セルに直列に接続するか成るいは基準セルを互いに
並列に接続することが提案される。このような複成分系
においては、好ましくはガン型発振器を備えているマイ
クル波発射器は、対応の導波管切換器を介して直接筒１
の基準セルかまたは並列に設けられている基準セルを経
た後に共通の測定セルに切換しなければならない。

この場合重要なのは、装置全体、特に検出器及び前置増
幅器を含め評価電子装置をそのままの状態にして、単に
発射器だけで測定セル及び基準セル内のシュタルク電圧
を切シ換えなければならないことである。種々な成分の
測定は、各発射器の切換制御及び各７ユタルク電圧の印
加により行われるが、それにより切換時間が必要となる
。従って１本発明によれば、特に、２つの成分の測定に
おいて、２つの発射器を設け、該発射器を、スイッチに
より測定セルに対して接続できるようにし、基準セルは
直列に共通に測定セルに接続するかまたは並列に配設し
、基準セルに移相されたシュタルク電圧を印加し、発射
器をそれぞれ個別に制御することが提案される。先に述
べた提案に対して、上述のように２つの発射器の周波数
ロックが可能となることによシ、さもなければ新たに行
わなければならない周波数同期による時間遅延が回避さ
れる。

マイクロ波吸収信号の上述の零点通過は圧力依存性を有
することが判明しているので、とくに基準測定に対して
は、圧力制御を行わなければならない。本発明による圧
力制御システムは、セル断面が約７Ｘ３．５朋、好まし
くは７．１×３．６ｍｍであることを特徴とする。本発
明によるシステムは特に有利である。その理由は１両側
に減圧が生じた場合、電気的に制御される弁等を用いて
慣用の圧力制御を行うことは不可能であるからである。

本発明による圧力制御方式は単純である。何故ならば、
圧力調整は、本発明によれば、被測定純成分の所定の気
化により達成されるからである。例えば、ポンプによる
排出量の変動で圧力が減少した場合には、純成分の強い
加熱によシ該成分が相応に大きな量で気化され、それに
よシ圧力が高められる。これに対して圧力が増大した場
合には、温度を下げるか成るいは冷却を行い、それによ
り、気化量を減少し、セル内の圧力全体を低下する。ガ
スは、セルから一定の流量で排出するのが有利である。

真空ポンプが定常的に動作している場合には、排出側に
毛細管部を設けることによシ一定の流量が達成される。

更に、出口及び基準セルに、ろ過器を後置して配設する
ことができる。ろ過器は、被測定成分を吸収し、真空系
において、純成分が測定セルに達して測定結果に誤りを
生せしめる可能性は回避される。

本発明の有利な実施態様として、基準セル及び測定セー
ルに１つの共通の恒温制御部を設けることが提案される
。それによシ、基準セルと測定セルとの間における熱絶
縁は省略できる。

本発明の他の利点や特徴は、添付図面を参照しての実施
例に関する以下の詳細な説明から明らかとなろう。

実施例 第１図は、本発明による装置即ち本発明によるマイクロ
波プロセス分析装置１の原理的な機械的構成を示す。こ
の装置は、マイクロ波発射器２と、後続して配設された
碍管３、それに続いて設けられて基準ガスのための流入
口６及び流出ロアを有する基準セル生とを備えている。

基準セル４には、絶縁窓もしくはウィンドウ８が接続さ
れている。該ウィンドウ８に後続して測定セル１１が設
けられておシ、このセル１１は、ガス流入口１２を備え
ている。測定セル１１は、構造長が犬きくなるのを回避
するために蛇行状に形成されておシ、それぞれ複数の１
８０°の円弧状湾曲区間１３とシュタルク効果室１４に
分割されている。シュタルク効果室１４は慣用の仕方で
シュタルク電圧印加部１６を備えている。

更に、基準セル１１のガス流出口１７には、別の絶縁ク
インドワ８を介して検出器１９が接続されている。測定
セル１１、特にシュタルク効果室１４の断面は、装置が
動作すべき各マイクロ波領域に対して最適化されておシ
、特に、唯１つの周波数で分析を行う場合には、この周
波数に整合するように構成されている。測定セル１１の
断面積は、７．１　ｍ７ｒＬＸ　３．６　ａｘとする（
即ち、過大寸法にならない）のが好ましい。

マイクロ波発射器はガン効果発振器から構成するのが有
利である。複数のガス成分を分析しようとする場合には
、多数の発射器をそれぞれ対応の導波管切換器を介して
共通の測定／基準セルに接続することができ、その場合
、基準セルは被験成分を収容する。測定セル並びに基準
セルにおけるシュタルク電圧は発射器に対応して印加さ
れる。複成分分析システムにおいては、基準セルのため
の各成分が高い純度で利用可能であれば、多数の基準セ
ルを、該基準セルにそれぞれ関連して設けられている発
射器の後流側に互いに並列にそして全体的に直列に接続
し、それぞれ遂行すべき測定に対応して投入するように
構成することもできる。

シュタルクの隔壁並びにそのホルダは第２図及び第３図
に示しである。内部導体を形成するシュタルクの隔壁２
１は何れの場合にも、外部導体を形成する対応のシュタ
ルク室内に絶縁して設置しなければならない。この目的
で、隔壁は、その縦縁２２に切欠き２３を備えており、
この切欠きには好ましくはガラス　セラミック製の絶縁
ホルダ２４が係合する。切欠き２３によシ、隔壁２１及
び絶縁ホルダ２４は縦軸方向において互いに固定される
。

絶縁ホルダ２４は、シュタルク室１４の高さに対応する
高さｈを有しており、中央部に、切欠き２３に係合する
突出部２７が設けられている板２６から構成される。板
２Ｇ及び突出部２７には、同一平面内でスリット２８及
び２９が形成されており、これらスリットは、隔壁２１
及びホルダ２４を組み合わせた後に、隔壁の縁部２２に
係合し、それにより該隔壁はその表面に対して垂直に固
定される。隔壁は、取シ付けられたホルダ２４と共に個
々のシュタルク効果室内に挿入される。

シュタルク効果室１４及び該室に対して絶縁して保持さ
れている隔壁２１により、所要のシュタルク容量が形成
される。シュタルク電圧印加部１６は、並列振動回路に
対してシュタルク電圧２１の容量を接続する外部インダ
クタンスであって、同時に変圧器の高圧側巻線を形成す
るインダクタンスを有するように構成されている。

同時に、シュタルク効果室の容量よシも非常に大きい容
量を振動回路に直列に接続し且つシュタルク容量に対し
て順方向抵抗が並列に接続されたダイオードを組込むこ
とにより、シュタルク交流電圧は、該交流電圧の負の波
高値がＯボルトになるように昇圧される。

この種のマイクロ波分析装置における問題は、ガス、特
に測定ガスを室内に均等に導入すること並びにガスの迅
速な交換及び短い測定時間が達成されるように短時間内
で充分な量のガスを取り出すという点にある。これに鑑
みて、本発明は、入口及び出口６，７，１２．１７の２
つの対向する側壁３１に、中心軸線に沿って互いに対置
するようにして細長いスリット３２（第４図）を設け、
該スリット３２に対し且つ該スリット３２を介して供給
管３３からのガスを流出口１２等の管にスリーブ状に係
合する室３４から排出することができる。このように、
２つのスリットが形成されている入口もしくは出口によ
り高いガス交換頻度が可能となることが判明した。

供給導管は更Ｋ、第６図に示しであるような所謂交差弁
３６に接続されている。各測定セル１４に供給されるガ
スはこの弁内で、その入口３７からその出口３８に通ず
るガス主流路に開いている弁素子によシ分枝路３９を介
して分流される。これにより、無駄容積は減少し、それ
により高い応答時間が実現される。

第６図から明らかなように、基準セル生及び測定セル１
１は、共通の恒温装置４１により共通の同じ温度に保持
される。これによシ、２つの系間における熱絶縁は省略
することができる。

特に基準セルにおいては一定の圧力を保持する必要があ
る。そのためには、測定セル１１において真空系のポン
プ出力の変動に対し調整弁により補充圧力制御を行うだ
けでは充分ではない。

基準セル４の出ロアには従来の真空ポンプ５１が接続さ
れている。出ロアは、毛細管部５２を有しており、この
毛細管部を介して一定のガス流量が達成される。１つの
真空系だけが用いられる場合には、毛細管部にはろ過器
５３が後置接続され、このろ過器５３は、被測定成分を
吸収し、それにより、これら成分が測定セル内に純物質
として流入して測定を誤らせることは回避される。

測定セル牛に要求される純物質は、該物質を収容してい
る浸透容器５４により供給される。

この浸透容器５４は、別個の加熱及び／または冷却系５
６を備えている。この加熱及び／冷却系は圧力検出器５
７と接続されている圧力調整装置５８によ９次のような
仕方で制御される。

即ち真空系の吸込み能力が変動すると、毛細管部５２の
存在にも拘わらず圧力変動が生じ得る。

この圧力変動は、圧力検出器５７によって測定される。

この検出器５７の測定出力を用いて浸透容器５４の圧力
コントローラ５８を介し圧力が降下している場合には加
熱によシ純物質成分の浸透を大きくし、また圧力が上昇
している場合には加熱を低下するか或いは冷却して浸透
能力を減少する。これにより、正確で信頼性の高い圧力
調整が達成される。

圧力が比較的良好に一定であることは、特に、マイクロ
波周波数の調整及びマイクロ波周波数の安定化にとって
必要である。

マイクロ波発射器もしくばそのガン効果発振器の周波数
の制御並びに安定化は、次のような仕方で行われる。即
ち、シュタルク電圧発生器６１により、測定セル１１に
印加されるシュタルク電圧に対して移相されている別の
シュタルク電圧、好ましくは９００　移相されている別
のシュタルク電圧を発生して基準セル４に印加する。

本来のスペクトル線の強さの測定は、吸収曲線の最大値
で行われ、その場合、電力変動の影響を回避するために
飽和領域で実施される。この方法によれば、測定系の迅
速な応答時間が保証されるが、２０乃至６０ｍＷの出力
を有する相応に出力の大きいマイクロ波発射器が必要と
なる。

第７図は、第１図のシステムとは対照的に複数の互いに
直列に接続されると共に測定セル１１と直列に接続され
ている基準セル４．１乃至４、　Ｎを有する第１の複成
分システムを示す。基準セル４．１乃至！、Ｎは、導波
管切換器８１．１乃至８１、Ｎを介して、それぞれ整合
されている発射器２．１乃至２．Ｎと接続されておシ、
該発射器はスイッチ８２で制御可能であシ、他方、シュ
タルク電圧はスイッチ８３を介して対応の基準セル４．
１に印加することができる。測定は、先ず、対応の予め
設定されたシュタルク電圧をスイッチ８３を介して基準
セル４．１に印加し、スイッチ８２で発射器２，１を切
換制御して該発射器を導波管切換器８１．１を介して導
波管系と接続して測定を実施し、別の基準セルに収容さ
れているガス成分の測定を逐次実施するという仕方で行
われる。

上述の実施例において切換後にその都度要求される発射
器の周波数同期が原因で生ずる遅延時間は、第８図に示
す実施態様によれば回避することができる。第８図の実
施態様においては、２つの発射器２．１及び２．２は直
列に接続された４、２には互いに移相しているシュタル
ク交流電圧が印加される。他方、発射器は導波管切換器
８１．１及び８１．２を介して交互に測定セル１１と接
続可能である。この測定セル１１には、２つの発射器の
励起によシ過負荷が加えられてはならない。発射器２．
１及び２．２は、制御回路６３．１及び６３．２によシ
その周波数を制御される。この場合、２つの発射器は連
続的に動作し且つまた連続的に微同調され、それにより
、切換器８１．１及び８１．２の切換に際して適切なマ
イクロ波周波数が直接測定セル１１において利用可能に
なる。

基準セルは、この場合、被検純成分自体を含んでいては
ならない。毒性の高い物質或いは爆発性の物質の測定に
おいては、それらの代わりに別の化合物を用いることが
できる。このような基準系の選択は、吸収線が測定成分
の選択された回転遷移の直ぐ近傍に位置するように行わ
れる。直流電圧（単数または複数）及びそれに重畳して
シュタルク交流電圧を基準セル及び／または測定セルに
印加することによシ、基準セルのＳ字形曲線及び吸収曲
線は線最大値の周波数で再び零点通過が生ずるように互
いて変位することができる。

実施例：　Ｖ　＝　３５８２５．９５ＭＨｚにおけるク
ロルシアンの測定 他の化合物の２つの近接する吸収曲線は次の通シである
。

低い周波数側で、ＣＨ３５ｉＨＤＦ：ｖ−３５８２５５
ＭＨ２低い周波数側で、Ｃ旧ｚＮＣ：Ｖ＝３５８２７．
４１’１ｉ）（ｚ測定成分ＣｌＣＮ及びメチルデユーテ
ロフルオルシラン（Ｍｅｔｈｙｌｄｅｕｔｅｒｏｆｌｕ
ｏｒｓｉｌａｎ　）もしくはジデューテロメチルリソシ
アニド（Ｄ　ｉｄｅｏｔｅｒｏｍｅｔｈｙｌｉｓｏｃｙ
ａｎｉｄ　）が測定ガス中に同時に存在することを推定
することができ、その限りにおいてｖ（Ｃ’ＣＮ）　＝
　３５８２５．９５ＭＨｚ　は定量測定に適シティると
言える。他方、部分的に重水素化された化合物の吸収曲
線は互いに非常に接近しており、従って、僅かな直流電
圧の印加で好適な特性曲線が得られる。

発明の効果 本発明は前述のような従来技術の欠点を除去することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による装置の原理的な全体的機械的構成
を略示する図、第２図は一個所に絶縁ホルダが装着され
ているシュタルク室隔壁の上面図、第３図は絶縁ホルダ
の側面図、第４図はセルへのガスの入口またはセルから
のガスの出口を図解する図、第６図は測定セルに対し測
定ガスを供給するだめの弁構造を示す図、第６図は圧力
及び温度制御を説明するだめの簡略ダイアダラムを表わ
す図、第７図は好適な複成分系のブロック・ダイアダラ
ムを表わす図、そして第８図は二成分系のブロック・ダ
イアダラムを表わす図である。 １・・・マイクロ波ガス分析装置、２・・・マイクロ波
発射器、３・・・碍管、生・・・基準セル、６・・・流
入口、７・・・流出口、８・・・ウインドク、１１・・
・測定セル、１２・・・ガス流入口、１４・・・シュタ
ルク効果室、１６・・・電圧印加部、１７・・・ガス流
出口、１９・・・検出器、２１・・・シュタルク電極、
２２・・・縁部、２３・・・切欠き、２４・・・絶縁ホ
ルダ、２６・・・板部材、２７・・・突出部、２８，２
９．３２・・・スリット、３３・・・供給管、３４・・
・室、３６・・・交差弁、３７・・・入口、３８・・・
出口、３９・・・分枝路、４１・・・恒温装置、５１・
・・真空ポンプ、５２・・・毛細管部、５３・・・ろ過
器、５４・・・浸透系、５６・・・温度制御装置、５７
・・・圧力検出器、５８・・・圧力制御装置。 Ｆｉｇ４ Ｆｉｇ、　５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも１つのマイクロ波発射器（２）と、少な
   くとも１つのガス流入口（１２）及びガス流出口（１７
   ）を有する少なくとも１つの測定セル（１１）と、検出
   器（１９）並びに前記測定セル（１１）内に対向して該
   測定セルに対して絶縁して配設された少なくとも１つの
   高電圧シユタルク電極とを備えているガス状媒体の分析
   装置において、前記シユタルク電極（２１）は、互いに
   間隔をおいて配設された複数個のホルダ（２４）により
   前記セル内に保持されていることを特徴とするガス状媒
   体の分析装置。 ２、ホルダ（２４）はその高さがセル（１１、４）の内
   部高さに対応する特許請求の範囲第１項記載の分析装置
   。 ３、ホルダ（２４）はセラミック材料、例えばガラスセ
   ラミックから形成されている特許請求の範囲第１項また
   は第２項に記載の分析装置。 ４、ホルダ（２４）が基本的に板部材として形成され、
   その高さのほぼ中間位置に、少なくとも１つの水平方向
   のスリット（２８、２９）を有し、該スリットで高電圧
   シユタルク電極（２１）の縁部（２２、２３）を受ける
   特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の
   分析装置。 ５、シユタルク電極（２１）はその縁部（２２）に切欠
   き（２３）を備え、該切欠き内に、ホルダ（２４）の突
   出部（２７）が係合する特許請求の範囲第１項ないし第
   ４項のいずれかに記載の分析装置。 ６、セル（４、１１）はその横断面が使用されるマイク
   ロ波周波数に整合されている（過大設計されていない）
   特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれかに記載の
   分析装置。 ７、セル断面が＜１０ｍｍ×５ｍｍである特許請求の範
   囲第６項記載の分析装置。 ８、セル断面が＜８ｍｍ×５ｍｍである特許請求の範囲
   第７項記載の分析装置。 ９、セル断面が約７ｍｍ×３．５ｍｍ、好ましくは７．
   １ｍｍ×３．６ｍｍである特許請求の範囲第８項記載の
   分析装置。 １０、測定セル（１１）が円弧状湾曲区間（１３）と直
   線状の測定区間（シユタルク室１４）との蛇行状配列か
   ら構成されている特許請求の範囲第１項ないし第９項の
   いずれかに記載の分析測定。 １１、ガス流入口及び／またはガス流出口（１２、１７
   ）が２つの側壁に互いに対向して流入口もしくは流出口
   の縦軸線と整列的位置関係にあるスリット（３２）を備
   えている特許請求の範囲第１項ないし第１０項のいずれ
   かに記載の分析装置。 １２、スリットが約１０ｍｍの長さ及び約０．５ｍｍの
   幅を有している特許請求の範囲第１１項記載の分析装置
   。 １３、流入口もしくは流出口（１２、１７）の側壁（３
   １）はスリット（３２）の領域で、ガス供給／排出部（
   ３３）が接続されている室（３４）に係合している特許
   請求の範囲第１１項または第１２項記載の分析装置。 １４、流入口（３７）及び流出口（３８）並びに該流入
   口及び流出口間に配設された通流路を有する流入弁を備
   え、該通流路から、有限の角度、好ましくは９０度の角
   度で、分岐路（３９）が測定セル（１１）の流入口（１
   ２）に分岐している特許請求の範囲第１項ないし第１３
   項のいずれかに記載の分析装置。 １５、弁が機械的弁である特許請求の範囲第１４項記載
   の分析装置。 １６、弁（３６）が電動弁である特許請求の範囲第１４
   項記載の分析装置。 １７、基準セル（４）がその流入口を介して純ガス成分
   のための浸透系（５４）と接続され、該浸透系（５４）
   が温度制御装置（５６）を備え、そして基準セル（４）
   が圧力検出器（５７）を備え、該圧力検出器は、圧力制
   御装置（５８）を介して前記浸透系（５４）のための温
   度制御装置（５６）と接続されている特許請求の範囲第
   １項ないし第１６項のいずれかに記載の分析装置。 １８、基準セル（３）の出口（７）に、流量安定化のた
   めの毛細管部（５２）が後置配設されている特許請求の
   範囲第１７項記載の分析装置。 １９、基準セル（４）の出口（７）にフィルタ（５３）
   が後置配設されている特許請求の範囲第１７項または第
   １８項記載の分析装置。 ２０、基準及び測定セル（４、１１）が共通の恒温装置
   （４１）を備えている特許請求の範囲第１７項ないし第
   １９項のいずれかに記載の分析装置。 ２１、異なつた周波数の複数のマイクロ波送信器（２）
   が１つの測定セル（１１）に対して設けられている特許
   請求の範囲第１項ないし第２０項のいずれかに記載の分
   析装置。 ２２、１つの測定セル（１１）に対し複数の基準セル（
   ４）が設けられている特許請求の範囲第２１項記載の分
   析装置。 ２３、基準セル（４）が直列に接続されている特許請求
   の範囲第２２項記載の分析装置。 ２４、基準セル（４）が互いに並列に接続されている特
   許請求の範囲第２３項記載の分析装置。