JPS63276855A - 線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構 - Google Patents

線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構

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JPS63276855A
JPS63276855A JP62111560A JP11156087A JPS63276855A JP S63276855 A JPS63276855 A JP S63276855A JP 62111560 A JP62111560 A JP 62111560A JP 11156087 A JP11156087 A JP 11156087A JP S63276855 A JPS63276855 A JP S63276855A
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Japan
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filament
bimetal
elongation
central part
thermal expansion
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Kaoru Shiono
塩野 薫
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Jeol Ltd
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Jeol Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、線状ビーム電子銃の陰極であるフィラメント
の支持機構に関する。
(従来の技術) 第5図及び第6図を用いて従来の線状ビーム電子銃のフ
ィラメント支持機構を説明する。図において、1は絶縁
碍子2を保持するケース、3,4はアルミナ、ステアタ
イト等の絶縁碍子2に設けられた電流端子である。電流
端子3,4の一方の端面には穴3a、4aが穿設されて
おり、これらの穴3a 、4aに略門形のフィラメント
5の端部5a、5bが圧入、溶接等の手段により取付け
られている。又、6はフィラメント5からの放04m!
子流の制御や電子ビームの形状のi制御を行うグリッド
、7は放射された電子ビームをグリッド6より引出す7
ノードである。
ここで、電流端子3.4に電圧を印加し、フィラメント
5に電流を流すと、フィラメント5の電気抵抗により、
フィラメント5はal!(例えばフィラメント5がタン
グステン線ならば2700K>となる。その為、フィラ
メント5は熱膨張を起こし、フィラメント5の中央部5
cの長さをLとすると、長手方向の伸びΔLは次式で表
わされる。
ΔL−Lα(TF−TM)        ・・・■こ
こで  α:熱膨張率 TF:フィラメント加熱後の温度 TM=フィラメントの常温度 ■式で表わされるように、フィラメント5の長さしが長
くなると、フィラメント5の伸びΔLも増し、フィラメ
ント5はたわみを生じる。そこで、第5図及び第6図に
示すように絶縁碍子2上に支持柱8,9を立設し、該支
持柱8,9の先端部8a、9aをフィラメント5に巻回
して、フィラメント5の中央部5Cを支持し、極力たわ
みを少なくするようにしている。
(発明が解決しようとする問題点) 上記構成のフィラメント支持機構においては、支持柱8
.9の先端部13a 、9aがフィラメント5を巻回し
ているので、先端部f3a 、9a近傍のフィラメント
5の断面方向の熱膨張は阻止され、フィラメント5の径
が均一でなくなる。又、支持柱8.9の先端部8a 、
9a近傍のフィラメント5の熱は、支持柱8,9へも伝
達され、フィラメント5の温度分布も不均一となる。更
に、支持柱8.9を設けても、根本的にはたわみが生じ
ている。このような理由により、均一な密度の電子ビー
ムが得られないという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、均一な密度の霜子ビームが得られる線状ビーム電子
銃のフィラメント支持機構を提供することにある。
(問題点を解決するための手段) 上記問題点を解決する本発明は、略門形のフィラメント
の端部をバイメタルで支持し、前記フィラメントの中央
部の熱膨張による長手方向の伸びを前記バイメタルの温
度変化による反りでもって吸収するようにしたことを特
徴とするものである。
(作用) 本発明の線状ビーム電子銃のフィラメント支持機構にお
いては、略門形のフィラメントの中央部の熱膨張による
長子方向の伸びは、前記フィラメントの端部を支持する
バイメタルの温度変化による反りでもって吸収される。
(実施例) 次に第1図乃至第4図を用いて、本発明の一実施例を説
明する、尚、これらの図において、従来例を示す第5図
と同一部分には同一符号を付して、それらの説明は省略
する。
図において、絶縁碍子2上には、71流端子11゜12
が設けられる。電流端子11.12の端部には、バイメ
タル13.14一端部がそれぞれ取付けられる。バイメ
タル13.14の他端部にはフィラメント取付台15.
16がそれぞれ取付けられる。フィラメント取付台15
.16には、穴15a、16aが穿設され、それらの穴
15a、16aに略門形のフィラメント17の端部17
a。
17bが圧入、溶接等の手段により取付けられている。
又、18.19は一端がフィラメント取付台15.16
に他端が電流端子11.12に接続され、柔軟性を有す
る銅編組線である。20はフィラメント17よりの輻射
熱が、絶縁碍子2やバイメタル13.14等に直接当た
るのを防止する防熱板で、取付脚21.22を介して絶
縁碍子2に取付けられている。そして、バイメタル13
゜14は上記の構成において、フィラメント17に電流
を流した場合、フィラメント17の熱でもって、反る。
そして、その反り量は、フィラメント・17の中央部1
7cの伸び(ΔL)の半分(ΔL/2)であり、更に、
室温からフィラメント17が加熱完了迄(又はその逆)
の間、フィラメント17の伸び又は収縮に追従し、フィ
ラメント17をたわみなく支持するように材質、板厚、
長さが選ばれている。
次に上記構成の動作を説明する。
第1図において、電流端子11.12に電圧を印加し、
フィラメント17に電流を流すと、フィラメント17の
電気抵抗により、フィラメント17は次式に示す発熱量
で加熱され高温となり、熱膨張を起こす。
P−I2R・・・■ ここで P:発熱層(W> ■:N 流(A> R:抵 抗(Ω) ここで、フィラメント17の材質をタングステン(熱膨
張率α−5,1x10’/に、加熱後の温度TH−27
00K>とし、中央部17cの長さL−100ms、室
温TM−300にとするとフィラメント17の中央部1
70の長手方向の伸びΔLは0式より次のようになる。
Δ(−−Lα (Tp  −TM ) −100x5. 1x104 X  (2700−300> →1.2(IIlm) この時、フィラメント17の一方の端部17aに注目す
ると、伸びはΔL/2となり、第3図の状態から第4図
の状態となる。そして、バイメタル13はフィラメント
17の中央部170の伸び(ΔL)の半分(ΔL/2)
の反り山を有しているので、ΔL/2の延びを吸収する
。又、室温から加熱完了迄の過程において、バイメタル
13はフィラメント17の伸びに追従し、フィラメント
17をたわみなく支持する。これは、フィラメント17
の他方の端部17bにおいても、同様である。
次に、フィラメント17の加熱状態からフィラメント1
7への電流を遮断すると、フィラメント17は徐々に冷
却し、熱収縮を起こし、中央部17Cの長さがLになる
。この時、バイメタル13゜14はフィラメント17の
収縮に追従し、フィラメント17をたわみなく支持する
上記構成によれば、フィラメント17の中央部17cの
断面方向の熱膨張を阻止するものはなく、フィラメント
17の径はどんな温度においても一定である。又、フィ
ラメント17の中央部17Cは他の部材と接触していな
いので、温度分布も一定となる。更に、バイメタル13
.14によりどんな温度においてもたわみは生じない。
よって、フィラメント17からは均一な密度の電子ビー
ムが得られる。
尚、本発明は上記実施例に限るものではない。
バイメタルをフィラメント17の両端部17a。
17bに設けるのではなく、バイメタルをフィラメント
17の一方の端部に設け、他方は絶縁碍子側に固定とし
、1つのバイメタルでフィラメント17の中央部17c
の伸びΔしを吸収するようにしてもよい。又、フィラメ
ント17への電流がバイメタル13.14のみで供給で
きれば、銅編組線18.19は不要となる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、均一な電子ビー
ム密度が得られる線状ビーム電子銃のフィラメント支持
機構を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成断面図、第2図は
第1図におけるフィラメントの一方の端部近傍の斜視図
、第3図は第1図における加熱前のフィラメントの一方
の端部廻りの断面構成図、第4図は第1図における加熱
侵のフィラメントの一方の端部廻りの断面構成図、第5
図は従来例を示す断面構成図、第6図は第5図における
フィラメントと支持性近傍の斜視図である。 1・・・ケース     2・・・絶縁碍子3.4.1
1.12・・・電流端子 3a、4a・・・一方の端面 5.17・・・フィラメント 5a、5b、17a、17b・・・端部5c、17c・
・・中央部 6・・・グリッド    7・・・アノード8.9・・
・支持柱   13.14・・・バイメタル15.16
・・・フィラメント取付台 15a、15b・・・穴 18.18−・・銅編組線2
0・・・防熱板    21.22・・・取付脚特許出
願人  日  本  電  子  株  式  会  
礼式  理  人   弁理士  井  島  藤  
治外1名 第3 図 鮪4図 第5 図 解6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 略門形のフィラメントの端部をバイメタルで支持し、前
    記フィラメントの中央部の熱膨張による長手方向の伸び
    を前記バイメタルの温度変化による反りでもって吸収す
    るようにしたことを特徴とする線状ビーム電子銃のフィ
    ラメント支持機構。
JP62111560A 1987-05-06 1987-05-06 線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構 Granted JPS63276855A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62111560A JPS63276855A (ja) 1987-05-06 1987-05-06 線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62111560A JPS63276855A (ja) 1987-05-06 1987-05-06 線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63276855A true JPS63276855A (ja) 1988-11-15
JPH0569257B2 JPH0569257B2 (ja) 1993-09-30

Family

ID=14564478

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JP62111560A Granted JPS63276855A (ja) 1987-05-06 1987-05-06 線状ビ−ム電子銃のフィラメント支持機構

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011068101A1 (ja) * 2009-12-04 2011-06-09 株式会社 アルバック フィラメントの支持方法、電子銃、及び処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011068101A1 (ja) * 2009-12-04 2011-06-09 株式会社 アルバック フィラメントの支持方法、電子銃、及び処理装置
JPWO2011068101A1 (ja) * 2009-12-04 2013-04-18 株式会社アルバック フィラメントの支持方法、電子銃、及び処理装置

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