JPS63274833A - ヘリウムリ−クデイテクタ - Google Patents
ヘリウムリ−クデイテクタInfo
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- JPS63274833A JPS63274833A JP10880387A JP10880387A JPS63274833A JP S63274833 A JPS63274833 A JP S63274833A JP 10880387 A JP10880387 A JP 10880387A JP 10880387 A JP10880387 A JP 10880387A JP S63274833 A JPS63274833 A JP S63274833A
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Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は真空容器の洩れを検出するヘリウムリークディ
テクタに関する６ （従来の技術） 従来、真空容器等の洩れを検出するヘリウムリークディ
テクタは、検出感度をよくするため、小型の排気系（拡
散ポンプと油回転ポンプ）と液体窒素冷却トラップを用
いて真空度を良くし、また。
テクタに関する６ （従来の技術） 従来、真空容器等の洩れを検出するヘリウムリークディ
テクタは、検出感度をよくするため、小型の排気系（拡
散ポンプと油回転ポンプ）と液体窒素冷却トラップを用
いて真空度を良くし、また。
ガス中のヘリウムのみを検出できる偏向型質量分析管を
有している。
有している。
しかし、従来の構成のヘリウムリークディテクタでは、
真空排気系の排気能力が小さく、被試験容器が中・大型
の場合や放出ガスの多い場合には。
真空排気系の排気能力が小さく、被試験容器が中・大型
の場合や放出ガスの多い場合には。
十分な感度が得られないことがあった。このため中・大
型容器の試験を行う場合には別の排気系を用いて系の真
空度をよくする必要があるが、この場合検出部に導びか
れるまでにヘリウムの置数が減少するため検出感度が著
しく悪くなる。
型容器の試験を行う場合には別の排気系を用いて系の真
空度をよくする必要があるが、この場合検出部に導びか
れるまでにヘリウムの置数が減少するため検出感度が著
しく悪くなる。
また、検出部に導かれるガスには、ヘリウムの他に、水
素、酸素ネオン等が相当量含まれているため、質量分析
管を用いてもその感度には限界がある。
素、酸素ネオン等が相当量含まれているため、質量分析
管を用いてもその感度には限界がある。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の理由から、排気系に小型の拡散ポンプと油回転ポ
ンプを用い、窒素冷却トラップを有する従来のヘリウム
リークディテクタでは、中、大型の真空容器の場合や放
出ガスの多い容器の場合には、真空度を維持する事が困
難であり、別の排気系を用いた場合にも、検出部へ到達
するヘリウムの絶対量が減少し、その結果、検出感度が
著しく低下するという問題点があった。
ンプを用い、窒素冷却トラップを有する従来のヘリウム
リークディテクタでは、中、大型の真空容器の場合や放
出ガスの多い容器の場合には、真空度を維持する事が困
難であり、別の排気系を用いた場合にも、検出部へ到達
するヘリウムの絶対量が減少し、その結果、検出感度が
著しく低下するという問題点があった。
そこで本発明は、上記問題点を解決するために被試験容
器が中型・大型容器の場合でも、また放出ガスが多い場
合でも、高感度の測定ができるヘリウムリークディテク
タを提供することを目的とする。
器が中型・大型容器の場合でも、また放出ガスが多い場
合でも、高感度の測定ができるヘリウムリークディテク
タを提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するために、サービスポートと
、このサービスポートに弁を介して接続される本体と、
この本体内に形成され冷凍機により冷却される凝縮部と
、前記本体内に形成され前記凝縮部より低温に冷却され
る吸着部と、前記本体に接続される検出部とを有するヘ
リウムリークディテクタを提供する。
、このサービスポートに弁を介して接続される本体と、
この本体内に形成され冷凍機により冷却される凝縮部と
、前記本体内に形成され前記凝縮部より低温に冷却され
る吸着部と、前記本体に接続される検出部とを有するヘ
リウムリークディテクタを提供する。
（作 用）
このように構成されたものにおいては、冷凍機によって
凝縮部及び吸着部が低温に冷却されていることにより、
本体内のガスの中で、ヘリウム以外のガスがこの凝縮部
及び吸着部に凝縮・吸着され、ヘリウムが大半をしめる
残留ガスが検出部に導かれることにより、この検出部の
検出感度を向上させることが可能となる。
凝縮部及び吸着部が低温に冷却されていることにより、
本体内のガスの中で、ヘリウム以外のガスがこの凝縮部
及び吸着部に凝縮・吸着され、ヘリウムが大半をしめる
残留ガスが検出部に導かれることにより、この検出部の
検出感度を向上させることが可能となる。
（実施例）
本発明によるヘリウムリークディテクタの一実施例につ
いて第１図を参照して説明する。、１は真空引き用のサ
ービスポートであり、このサービスポート１は荒引き用
バルブ２を介して荒引き用油回転ポンプ４に、またスロ
ットルバルブ３を介して本体９に接続されている。さら
にこの本体９内には凝縮部７及び吸着部８が形成されて
おり、この凝縮部７、吸着部８には小形冷凍機５が接続
されている。そしてこの凝縮部７、吸着部８は前記小形
冷凍機５によって液体窒素温度（７７に）以下、例えば
各々５０Ｋ（ケルビン）、１５に程度に冷却される。
いて第１図を参照して説明する。、１は真空引き用のサ
ービスポートであり、このサービスポート１は荒引き用
バルブ２を介して荒引き用油回転ポンプ４に、またスロ
ットルバルブ３を介して本体９に接続されている。さら
にこの本体９内には凝縮部７及び吸着部８が形成されて
おり、この凝縮部７、吸着部８には小形冷凍機５が接続
されている。そしてこの凝縮部７、吸着部８は前記小形
冷凍機５によって液体窒素温度（７７に）以下、例えば
各々５０Ｋ（ケルビン）、１５に程度に冷却される。
さらに吸着部８には活性炭等の吸着剤が取付けられてい
る。またこの本体９には検出部６が接続されている。
る。またこの本体９には検出部６が接続されている。
次に作用について説明する。このヘリウムリークディテ
クタ内のガスにおいてヘリウム以外のほとんどのガスは
前記本体９内で凝縮部７、吸着部７により凝縮、吸着さ
れる。そしてヘリウムは１５に程度の温度では凝縮も吸
着もされずに検出部６に導かれる。この時、系全体は閉
じているため、ヘリウムの絶対量は変化することはない
ので、この検出部に導かれるガスの大半はヘリウムとな
る。
クタ内のガスにおいてヘリウム以外のほとんどのガスは
前記本体９内で凝縮部７、吸着部７により凝縮、吸着さ
れる。そしてヘリウムは１５に程度の温度では凝縮も吸
着もされずに検出部６に導かれる。この時、系全体は閉
じているため、ヘリウムの絶対量は変化することはない
ので、この検出部に導かれるガスの大半はヘリウムとな
る。
したがって、系全体を閉じ、凝縮部７及び吸着剤を取り
付けた吸着部８を設けたので、ヘリウムリークディテク
タの感度低下の原因となる真空の低下を防ぎ、検出部に
到達するヘリウムの絶対量を減少させないため、検出感
度を向上させることができる。
付けた吸着部８を設けたので、ヘリウムリークディテク
タの感度低下の原因となる真空の低下を防ぎ、検出部に
到達するヘリウムの絶対量を減少させないため、検出感
度を向上させることができる。
このため、被試験容器の大きさにかかわらず、検出感度
を向上させることができる。さらに検出部６に導かれる
残留ガスの成分はほとんどヘリウムであるため、検出部
６の質量分析管の構造を簡素化することが可能となる。
を向上させることができる。さらに検出部６に導かれる
残留ガスの成分はほとんどヘリウムであるため、検出部
６の質量分析管の構造を簡素化することが可能となる。
以上のように本発明によれば系を閉とし、冷凍機により
冷却される凝出部及び吸着部を設けたので、排気性能が
向上し、かつ検出部に導かれる残留ガスの成分の大半が
ヘリウムとすることができるので検出部の感度を向上さ
せることが可能となる。
冷却される凝出部及び吸着部を設けたので、排気性能が
向上し、かつ検出部に導かれる残留ガスの成分の大半が
ヘリウムとすることができるので検出部の感度を向上さ
せることが可能となる。
第１図は本発明によるヘリウムリークディテクタの一実
施例を示す構成図である。 １・・・サービスポート ３・・・スロットルバルブ
５・・・小形冷凍機 ６・・・検出部７・・・凝
縮部 ８・・・吸着部９・・・本体 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
施例を示す構成図である。 １・・・サービスポート ３・・・スロットルバルブ
５・・・小形冷凍機 ６・・・検出部７・・・凝
縮部 ８・・・吸着部９・・・本体 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
Claims (1)
- サービスポートと、このサービスポートに弁を介して接
続される本体と、この本体内に形成され冷凍機により冷
却される凝縮部と、前記本体内に形成され前記凝縮部よ
り低温に冷却される吸着部と、前記本体に接続される検
出部とを有することを特徴とするヘリウムリークディテ
クタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10880387A JPS63274833A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ヘリウムリ−クデイテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10880387A JPS63274833A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ヘリウムリ−クデイテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63274833A true JPS63274833A (ja) | 1988-11-11 |
Family
ID=14493877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10880387A Pending JPS63274833A (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ヘリウムリ−クデイテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63274833A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298834A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | Ulvac Corp | ガス洩れ検査装置 |
-
1987
- 1987-05-06 JP JP10880387A patent/JPS63274833A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02298834A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-11 | Ulvac Corp | ガス洩れ検査装置 |
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