JPS63270597A

JPS63270597A - 毒性廃液の生物学的処理装置

Info

Publication number: JPS63270597A
Application number: JP62107276A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Yamazaki; 和幸山嵜
Original assignee: Taisei Corp
Current assignee: Taisei Corp
Priority date: 1987-04-30
Filing date: 1987-04-30
Publication date: 1988-11-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は半導体生産工場等で多量に使用されている毒性
の高い現像液廃液等の毒性廃液の生物学的処理装置に関
するものである。

（従来の技術およびその問題点）半導体生産工場で多量に使用されている現像液（ＴＭＡ
Ｈテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）は、
その毒性（ＬＤ、５２０”Ｊ’／ＦＣＰ）　カ高い為、
微生物による生物学的処理がし難くく、従来殆んどの工
場では、その廃液を業者に依頼し、他の所定場所に設置
している焼却設備まで輸送して、そこで焼却処分してい
る。ところが、かかる現像液は多量の純水によって希釈
されて排出されるので、廃液の量は現像液の使用量の約
１０倍程度の量となシ、従ってその処分費が高くつき、
半導体の製造原価を圧迫している原因の一つとなってい
る。

本発明は以上のような点にかんがみてなされたもので、
その−目的とするところは、前記現像液廃液等の毒性廃
液を、低コストで生物学的に処理し得る処理装置を提供
することにある。

本発明の構成を実施例に対応する第１図Ｆ俯１図に基づ
いて説明すると、本発明は、毒性廃液の処理工程に嫌気
処理槽１を設け、この嫌気処理橢１には、少なくとも多
数の小孔２を有する第１の充てん材３ａと、少なくとも
嫌気性微生物の活動に有用な微ｔｉ素を溶出可能な第２
の充てん材３ｂを充てんすると共に、該充てん材３ａ　
、３ｂの攪拌手段４を設けたものである。

（作用）以上の構成に於いて、嫌気処理槽１内では、第１の充て
ん材３ａの多数の小孔２に嫌気性微生物が発生、付着し
、繁殖する。この際、攪拌手段４による充てん材３ｍ、
３ｂの適切なる攪拌により、第２の充てん材３ｂから前
記嫌気性微生物の活動に有用な微量要素が徐々に溶出す
るので、該嫌気性微生物は生息繁殖活動が助長されて良
好に繁殖する。

こうして毒性廃液の処理工程に於いて、必要に応じて適
宜の処理を行なった毒性廃液を前記嫌気処理槽１に導入
すれば、この毒性廃液は良好に繁殖している嫌気性微生
物によって生物学的に処理される。この際、攪拌手段４
による前述した攪拌は、毒性廃液の未処理部分と、嫌気
性微生物との接触を促進し、処理を効率化する。こうし
て処理した処理水は、嫌気処理槽１から導出して、必要
に応じて他の処理工程に送ることができる。

に基づいて詳述する。

前述した通シ、符号１は嫌気処理槽を示すもので、この
嫌気処理槽１は下部をホッパー状部５に形成した堅形矩
形楢として構成しておシ、その上部に毒性廃液の導入部
６、そしてホッパー状部５の下端に処理廃液の導出部７
を構成している。該嫌気処理槽１の上部には可変速電動
機等の回転駆動源８を設けると共に、この回転駆動源８
から嫌気処理槽１内下部まで回転駆動軸９を設け、そし
て回転駆動軸９の適所に攪拌羽根１０を設けると共に、
嫌気処理槽１の内側の適所には邪魔板１１を設け、これ
らによシ攪拌手段４を構成している。

かかる構成の他、嫌気処理槽１及び攪拌手段４の具体的
構成は適宜である。

次に、第１の充てん材３ａは多数の小孔を有するもので
おれば、適宜の材質を選定できるが、嫌気性微生物は好
気性微生物と同様に、天然物に、よシ良好に発生、付着
そして繁殖し易いので、天然物が好ましく、例えば天然
の軽石や鹿沼上等を選定することができる。次に第２の
充てん材３ｂは嫌気性微生物の活動に有用な微ｉ＊素、
例えばマンガン、マグネシウム、珪酸、ナトリウム、鉄
、アルミニウム、鋼、亜鉛等を溶出可能な単数もしくは
複数種類の材質を選定することができる。例えば、かか
る第２の充てん材３ｂとしては鹿沼土、稲田石、珪酸白
土、ソフトセラミクス等を選定することができる。以上
の例でわかるように、例えば鹿沼土は第１の充てん材３
＆と第２の充てん材３ｂを兼用することができ、こうし
て第１．第２の充てん材３ａ、３ｂは１種類以上の適数
種類の材質で構成することができる。そしてこれらの充
てん材３ａ、３ｂの形状は粒状、塊状等適宜である。

次に符号１２はホッパー状部５の下部に設置して、前記
第１．第２の充てん材３ａ、３ｂが導出部７に流出する
のを防止するためのストレーナである。

以上の構成に於いて、導入部６から嫌気処理槽１内に導
入された毒性廃液は、第１．第２の充てん材３ａ、３ｂ
によって良好に繁殖している嫌気性微生物によって生物
学的に処理され、処理水はホッパー状部５の下部から導
出部７を経て導出される。かかる処理に際して、回転駆
動軸９による攪拌羽根１０の回転によシ、第１．第２の
充てん材３ａ、３ｂが前述したように攪拌されるのであ
るが、邪魔板１１は攪拌効率を上げると共に嫌気処理槽
１の下部はホッパー状部５に形成しているので、攪拌に
関してのデッドスペースができにくく、攪拌を良好に行
なうことができる。尚、第１゜第２の充てん材３ａ　、
３ｂの種類の組み合わせに対応させたシ、または嫌気性
微生物が繁殖する前と、十分に繁殖した後に於ける充て
ん材３ａ　、　３ｂの比重の異なシに対応させるために
、攪拌羽根１０の回転速度を可変することが好ましい場
合もあり、この場合には前記回転駆動源８として可変速
電動機等を用いれば良い。

以下に本発明装置による処理の実施例を説明する。

（処理の実施例）容ｔ８０２の嫌気処理槽１に、充てん材３ａ、３ｂとし
て、最長部が１〜３３１程度の天然の軽石と鹿沼土を、
夫々１０Ｌ投入すると共に、１０〜２０ｐｐｍ程度に希
釈した現像液（ＴＭＡＨ）を導入し、２０日間運転した
。かかる運転に於ける現像液の嫌気処理槽１内の滞留時
間は８５分とした。

かかる２０日間の運転後、嫌気処理槽１内に今度は７３
　ｐｐｍの現像液を導入し、やはシ滞留時間８５分で処
理したところ、処理水の現像液濃度は３３　ｐｐｍであ
り、除去率としては５５％であった。

そして粒状光てん材３ａを取勺出して顕微鏡で観察した
ところ、多くの嫌気性微生物を確認することができた。

以上の実施例に於いては、１槽の嫌気処理槽１当り、８
５分の滞留時間で５５チの除去率が得られたので、複数
のかかる嫌気処理槽１を順次通して処理することによシ
、目的に応じた除去率の処理装置を構成し得ると共に、
１槽の嫌気処理槽１の容量を大きくして、滞留時間を長
くすることによシ、１槽に於ける除去率を向上させるこ
ともできる。

尚、以上の充てん材３ａ、３ｂは比重が１に近いので小
動力で十分なる攪拌を行なうことができる。

（発明の効果）本発明は以上の通シ、嫌気処理槽に、少なくとも多数の
小孔を有する第１の充てん材と、少なくとも嫌気性微生
物の活動に有用な微ｆ要素を溶出可能な充てん材を充て
んして、嫌気性微生物が生息繁殖し易い環境を創出し、
以ってこの嫌気性微生物の活動を活発化して処理を行な
うので、例えば半導体生産工場で多量に使用している毒
性の高い現像液廃液のふうな毒性廃液を生物学的に処理
することができ、従って廃液の焼却式処理方法と比較し
て低コストで処理を行２なうことができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の実施例に対応するもので、第
１図は模式的側面断面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線断
面図、第３図は充てん材の拡大説明図である。符号１・・・嫌気処理槽、２・・・小孔、３ａ、３ｂ・
・・粒状光てん材、４・・・攪拌手段、５・・・ホッパ
ー状部、６・・・導入部、γ・・・導出部、８・・・回
転駆動源、９・・・回転駆動軸、１０・・・攪拌羽根、
１１・・・邪魔板、１２・・・ストレーナ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）毒性廃液の処理工程に嫌気処理槽を設け、この嫌
気処理槽には、少なくとも多数の小孔を有する第１の充
てん材と、少なくとも嫌気性微生物の活動に有用な微量
要素を溶出可能な第２の充てん材を充てんすると共に、
該充てん材の攪拌手段を設けたことを特徴とする毒性廃
液の生物学的処理装置
（２）第１の充てん材と第２の充てん材を同一の充てん
材で構成した特許請求の範囲第１項記載の毒性廃液の生
物学的処理装置