JPS63265646A - 噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

噴射ヘッドの製造方法

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JPS63265646A
JPS63265646A JP29361787A JP29361787A JPS63265646A JP S63265646 A JPS63265646 A JP S63265646A JP 29361787 A JP29361787 A JP 29361787A JP 29361787 A JP29361787 A JP 29361787A JP S63265646 A JPS63265646 A JP S63265646A
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JP
Japan
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substrate
upper plate
grooves
ink
patterns
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JP29361787A
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JPH0160431B2 (ja
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Isao Kagatani
勲 加々谷
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NEC Corp
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NEC Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14379Edge shooter

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はインクジェット装置に用いる噴射ヘッドの製造
方法に関するものであ、る。
噴射ヘッドは管路外に接着された圧電素子の機械的変位
によって、管路内のインクが加圧し、加圧されたインク
を数10μmのノズルから噴射させるものである。とこ
ろで、従来よりノズルとして次の様なものが用いられて
いる。一般的なものとしては注射針に使用している引き
抜き微細管があるが、これは高精度を要する場合や段付
、テーバ、矩形断面を必要とする場合にはその製作が殆
んど不可能である。微細管を複数本セットする場合もそ
のピッチ精度確保が難しく、最小寸法にも限度があるた
めインク噴射ピッチの微細化、噴射ヘッドの小型化に反
応できない。その他電鋳により製作することも可能であ
るが、ノズル寸法が微細であるため保形製作、保形除去
等の点で極めて製作が難しい。基板にエツチング微細溝
を形成し、その上に上板を重ね合わせた後、両者を接着
するものは実現性が高いが、接着剤が微細溝内に流れ出
し、溝を塞ぐ等の欠点があり、また接着作業、接着量等
は作業者の勘に頼るため、信頼性、生産性に問題があり
、且つ自動化が難しいため低コスト噴射ヘッドの供給が
できない。
本発明はかかる欠点を除去するためエツチング微細溝を
有する基板と、印刷等によってパターンを形成した上板
とを重ね合わせ、両者をスポット溶接により一体構造と
してノズルを構成したものである。
以下本発明の実施例を図によって説明する。
第1図において、1は基板であり、その上面に上板2が
固着され、さらにその上に圧電素子3が接着されている
。第2図において、基板1の一面にはノズル部4、管路
部5、絞り部6から成るノズル用微細溝7と、インクタ
ンク部8とがエツチングによって形成されている。また
、上板2の一面には微細溝7およびタンク部8と平面的
に同形状、同寸法で薄膜の位置決めパターン9がシルク
印刷等によって形成されている。なお、パターン9の形
成方法については他の印刷方法、露光、蒸着、鍍金等、
種々考えられるが高精度パターンの形成が可能であれば
いづれの方法でもよい。基板1と上板2との溶接手順は
、先づ基板1の微細溝7が形成されてる面に、上板2の
パターン9が形成されてない面を重ね合わせ、溝7の真
上にパターン9が位置するよう関係位置を設定後、基板
1と上板2とをスポット溶接する。例えば、第3図の如
く、スポット溶接を溝7上の位置B−B部で行なうと加
圧力によって上板2が変形したり、溝7に損傷を与える
結果となるため、溝7の外側のA−A部で行なう必要が
ある。A−A部の位置は上板2に付されたパターン9の
位置によって判定できる。また、圧電素子3は各パター
ン9上に接着される。なお基板1と上板2の材質はステ
ンレスであるがスポット溶接が可能であれば他の金属材
料でも可能である。
以上のように本発明によれば電鋳や引き抜き素管に比し
て高精度な微細溝が可能となり、且つテーバ、段付、矩
形を呈する微細ノズルの供給も可能となる。微細溝は単
数に限らず、高精度ピッチを有する複数の溝であっても
よく、ピッチ寸法を極めて微細にできるため、インク噴
射ピッチの微細化、噴射ヘッドの小型化が可能である。
、また、本発明は溶接により接合するため、接着剤が溝
を塞ぐこともなく、確実な固着が、可能であり、作業者
の勘に頼る必要がない。また上板2のパターン9によっ
て溶接箇所が容易に確認できると同時に、圧電素子3の
接着位置も容易に確認できる。
したがって本発明の方法は溝間インクの相互干渉、イン
クの漏れを防止することができ、併せて自動化が可能で
あるため、高信頼性、高精度、低価格のものを確実に供
給することができる等の利点がある。
なお、パターン9を基板1の溝7形成面と反対面に形成
することによっても溶接位置の確認ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す噴射ヘッドの斜視図、
第2図はその分解図、第3図は第1図のX−x方向から
みた部分断面図である。 図において1は基板、2は上板、3は圧電素子、7はノ
ズル用微細溝、9は位置決めパターンであ □オ 1(
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Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ステンレス基板の一面にノズル用微細溝を形成し、該基
    板の溝形成面に上板を重ね合わせ、ステンレス上板又は
    基板の他面に前記微細溝の位置と合致させて平面的に同
    形状、同寸法の位置決め用薄膜パターンを付し、パター
    ンの外側でスポット溶接後、前記パターン上に圧電素子
    を接着することを特徴とする噴射ヘッドの製造方法。
JP29361787A 1987-11-20 1987-11-20 噴射ヘッドの製造方法 Granted JPS63265646A (ja)

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JPS63265646A true JPS63265646A (ja) 1988-11-02
JPH0160431B2 JPH0160431B2 (ja) 1989-12-22

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0550030A2 (en) * 1991-12-26 1993-07-07 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head and process for forming same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0550030A2 (en) * 1991-12-26 1993-07-07 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head and process for forming same
EP0795404A2 (en) * 1991-12-26 1997-09-17 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head
EP0795404A3 (en) * 1991-12-26 2000-11-02 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head

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Publication number Publication date
JPH0160431B2 (ja) 1989-12-22

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