JPS63265288A - 面分析デ−タの表示諧調割り当て方式 - Google Patents
面分析デ−タの表示諧調割り当て方式Info
- Publication number
- JPS63265288A JPS63265288A JP62101009A JP10100987A JPS63265288A JP S63265288 A JPS63265288 A JP S63265288A JP 62101009 A JP62101009 A JP 62101009A JP 10100987 A JP10100987 A JP 10100987A JP S63265288 A JPS63265288 A JP S63265288A
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- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、Ｘ線マイクロアナライザやその他の分析装置
を使って試料の面分析を行う際にその表示諧調を最適に
調整する面分析データの表示諧調割り当て方式に関する
。
を使って試料の面分析を行う際にその表示諧調を最適に
調整する面分析データの表示諧調割り当て方式に関する
。
例えば金属や鉱物等の試料の表面に細い電子ビームやイ
オンを照射すると、その表面に含まれる元素に時打な特
性Ｘ線が発生する。この特性Ｘ線の強度を測定すること
によって表面に含まれる元素の量を調べるのがＸ線マイ
クロアナライザである。
オンを照射すると、その表面に含まれる元素に時打な特
性Ｘ線が発生する。この特性Ｘ線の強度を測定すること
によって表面に含まれる元素の量を調べるのがＸ線マイ
クロアナライザである。
Ｘ線マイクロアナライザにおいて、面分析を行う場合に
は、その１つとして、ビームを試料上で走査して試料表
面の各点における特性Ｘ線の強度を測定し、その強度に
対応して色付けを行って試料における成る元素の分布状
態をカラーで表示する手法がある。従来のこの手法では
、データを収集中にそれらをリニア又はログスケールで
レベル分けしてカラーディスプレイに８色や１６色で表
示をしているが、測定点数が多いため測定分析に要する
時間が非常に長くなる。例えば５００点×５００点程度
のデータがある場合において、Ｘ線を測定しながら試料
ステージを駆動して広い範囲を分析するには、通常、数
分から数時間程度を要する。従って、データを収集中に
収集されたデータをカラーディスプレイに表示して適切
なデータが取れているか否かを確認することが重要であ
り、分析が無駄だと判明した場合には測定を中断するこ
とも必要になる。
は、その１つとして、ビームを試料上で走査して試料表
面の各点における特性Ｘ線の強度を測定し、その強度に
対応して色付けを行って試料における成る元素の分布状
態をカラーで表示する手法がある。従来のこの手法では
、データを収集中にそれらをリニア又はログスケールで
レベル分けしてカラーディスプレイに８色や１６色で表
示をしているが、測定点数が多いため測定分析に要する
時間が非常に長くなる。例えば５００点×５００点程度
のデータがある場合において、Ｘ線を測定しながら試料
ステージを駆動して広い範囲を分析するには、通常、数
分から数時間程度を要する。従って、データを収集中に
収集されたデータをカラーディスプレイに表示して適切
なデータが取れているか否かを確認することが重要であ
り、分析が無駄だと判明した場合には測定を中断するこ
とも必要になる。
しかしながら、従来は、上述の如く収集中のデータを無
条件にリニア又はログスケールでレベル分けしカラーデ
ィスプレイに表示しているため、収集データの強度が一
部偏っている場合には、はとんど同じ色で表示され、デ
ータが正常に取れているかどうかの判断が難しいことが
ある。このような場合には、表示されたデータを観なか
らレヘルを変えてやるとよいが、実際には適切な画像が
表示されるようにレベル分けを再設定することはオペレ
ータにとって困難な作業となる。
条件にリニア又はログスケールでレベル分けしカラーデ
ィスプレイに表示しているため、収集データの強度が一
部偏っている場合には、はとんど同じ色で表示され、デ
ータが正常に取れているかどうかの判断が難しいことが
ある。このような場合には、表示されたデータを観なか
らレヘルを変えてやるとよいが、実際には適切な画像が
表示されるようにレベル分けを再設定することはオペレ
ータにとって困難な作業となる。
本発明は、上記の問題点を解決するものであって、デー
タを収集中にそれらの分布に応じた適切なレベル分けを
自動的に行って表示することが可能な面分析データの表
示諧調割り当て方式を提供することを目的とするもので
ある。
タを収集中にそれらの分布に応じた適切なレベル分けを
自動的に行って表示することが可能な面分析データの表
示諧調割り当て方式を提供することを目的とするもので
ある。
そのために本発明の面分析データの表示諧調割り当て方
式は、試料の面分析データを収集して取り込み咳面分析
データをレベル分けして色コードを設定しカラー表示す
る面分析データの表示諧調割り当て方式であって、収集
した面分析データを所定の単位毎に取り込んで各画素の
ヒストグラムを作成して等画素になるようにレベル分け
し、該レベル分けに対応して色コードを設定しカラー表
示することを特徴とするものである。
式は、試料の面分析データを収集して取り込み咳面分析
データをレベル分けして色コードを設定しカラー表示す
る面分析データの表示諧調割り当て方式であって、収集
した面分析データを所定の単位毎に取り込んで各画素の
ヒストグラムを作成して等画素になるようにレベル分け
し、該レベル分けに対応して色コードを設定しカラー表
示することを特徴とするものである。
本発明の面分析データの表示諧調割り当て方式では、デ
ータ収集中において所定の単位毎に面分析データを取り
込むと、ヒストグラムを作成して等画素になるようにレ
ベル分けし、色コードを設定するので、測定データが偏
った強度で分布しても、それぞれのカラーが均等に配分
されて表示される。そのため、偏った強度の分布であっ
てもその範囲での分布状態を観ることができる。従って
、測定の途中においても、カラーの分布を観ることによ
って測定データが無駄なものかどうかを容易に判断する
ことができる。
ータ収集中において所定の単位毎に面分析データを取り
込むと、ヒストグラムを作成して等画素になるようにレ
ベル分けし、色コードを設定するので、測定データが偏
った強度で分布しても、それぞれのカラーが均等に配分
されて表示される。そのため、偏った強度の分布であっ
てもその範囲での分布状態を観ることができる。従って
、測定の途中においても、カラーの分布を観ることによ
って測定データが無駄なものかどうかを容易に判断する
ことができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る面分析データの表示諧調割り当て
方式の１実施例を示すシステム構成図、第２図は面分析
動作の１例を説明するための図、第３図は面分析データ
のヒストグラムの例を示す図である。図中、ｌはＸ線マ
イクロアナライザー、２は加算回路、３は計算回路、４
は変更回路、５はデータ転送回路、６はカラーディスプ
レイを示す。
方式の１実施例を示すシステム構成図、第２図は面分析
動作の１例を説明するための図、第３図は面分析データ
のヒストグラムの例を示す図である。図中、ｌはＸ線マ
イクロアナライザー、２は加算回路、３は計算回路、４
は変更回路、５はデータ転送回路、６はカラーディスプ
レイを示す。
第１図において、Ｘ線マイクロアナライザー１は、面分
析データを収集するものである。加算回路２は、収集し
たデータのヒストグラムを作成するものであり、所定の
単位で測定データを取り込むと、それをさらに加算した
ヒストグラムを作成する。このヒストグラムによりレベ
ル分けを決めるのが計算回路３、レベル分けにより色変
更を行うのが変更回路４である。カラーディスプレイ６
は、変更回路４によりレベル分けに対応して表示カラー
が設定され、データ転送回路５を通して転送されてきた
データをその設定されたカラーに従って表示する。
析データを収集するものである。加算回路２は、収集し
たデータのヒストグラムを作成するものであり、所定の
単位で測定データを取り込むと、それをさらに加算した
ヒストグラムを作成する。このヒストグラムによりレベ
ル分けを決めるのが計算回路３、レベル分けにより色変
更を行うのが変更回路４である。カラーディスプレイ６
は、変更回路４によりレベル分けに対応して表示カラー
が設定され、データ転送回路５を通して転送されてきた
データをその設定されたカラーに従って表示する。
次に、全体の動作を説明する０面分析では、第２図に示
すａ、ｂ、ｃ、・・・・・・のように試料上の１ライン
ずつを走査することによりデータが収集される。まず、
ａラインのデータがＸ線マイクロアナライザー１により
収集されると、ここから加算回路２とデータ転送回路５
に収集データが送られる。そこで、加算回路２では、ｌ
ラインデータを受は取ると、第３図（ａ＋に示すように
ヒストグラムを作成する０例えばカラーディスプレイ６
が８ビツトの深さのメモリを持っている場合には、生デ
ータを深さ方向８ビツトに圧縮し、圧縮したデータにつ
いてヒストグラムを作成する。計算回路３では、各レベ
ルが等画素になるように表示色に応じて分割する。例え
ば８色のカラー表示の場合には取り込んだ全画素数を８
で割り、その画素数に従って第３図ｆｂｌに示すように
ヒストグラムを８レベルに分割する。この分割に対応し
て、変更回路４では、カラーディスプレイ６のカラー表
示テーブルの色コードを設定変更する。他方、カラーデ
ィスプレイ６は、データ転送回路５から１ラインのデー
タを受は取り、変更回路４で設定されたレベル毎の色コ
ードに従ってデータを表示する。
すａ、ｂ、ｃ、・・・・・・のように試料上の１ライン
ずつを走査することによりデータが収集される。まず、
ａラインのデータがＸ線マイクロアナライザー１により
収集されると、ここから加算回路２とデータ転送回路５
に収集データが送られる。そこで、加算回路２では、ｌ
ラインデータを受は取ると、第３図（ａ＋に示すように
ヒストグラムを作成する０例えばカラーディスプレイ６
が８ビツトの深さのメモリを持っている場合には、生デ
ータを深さ方向８ビツトに圧縮し、圧縮したデータにつ
いてヒストグラムを作成する。計算回路３では、各レベ
ルが等画素になるように表示色に応じて分割する。例え
ば８色のカラー表示の場合には取り込んだ全画素数を８
で割り、その画素数に従って第３図ｆｂｌに示すように
ヒストグラムを８レベルに分割する。この分割に対応し
て、変更回路４では、カラーディスプレイ６のカラー表
示テーブルの色コードを設定変更する。他方、カラーデ
ィスプレイ６は、データ転送回路５から１ラインのデー
タを受は取り、変更回路４で設定されたレベル毎の色コ
ードに従ってデータを表示する。
以上の動作をラインｂ、ｃ、・・・・・・と続けてゆく
。
。
この場合、続いてラインｂ、ｃ、・・・・・・とデータ
が収集されると、加算回路２では、それらをヒストグラ
ムに加算してゆく。このようにして、常に収集した全体
のデータを基に見易いレベル分けでデータがカラーディ
スプレイ６の画面上に表示される。
が収集されると、加算回路２では、それらをヒストグラ
ムに加算してゆく。このようにして、常に収集した全体
のデータを基に見易いレベル分けでデータがカラーディ
スプレイ６の画面上に表示される。
第４図はレベル分は処理の流れを説明するための図、第
５図はカウンタ及び色テーブルの構成例を示す図である
。
５図はカウンタ及び色テーブルの構成例を示す図である
。
例えば第５図に示すようにカウンタテーブルＸ（＋）に
ヒストグラムを作成するものとし、測定データは、０〜
ｎの強度データからなるものとすると、ヒストグラムの
作成では、測定データ０〜ｎをアドレスとしてｉす定デ
ータに対応するカウンタテーブルＸ Ｎ）の内容を「＋
１」ずつカウントアツプする。従って、データが１ライ
ン分取り込まれると、カウンタテーブルＸ（１）の内容
は各カウンタの画素数となり、その合計が現在の総画素
数Ｔとなる。そごで、このようにして作成されたカウン
タテーブルＸ （１）をレベル分けする場合には、第４
図に示すように、まず、分割画素数をＭ、現在までの総
画素数をＴ、表示分割数をＬとすると、Ｔ／Ｌにより分
割画素数Ｍを計算する。次に分割レベルカウンタ１１色
テーブルカウンタＪ、等画素数カウンタＫを初期化（「
０」に設定）する。そして、等画素数カウンタにの値が
分割画素数Ｍになるまで分割レベルカウンタｌを更新し
ながら等画素数カウンタＫにカウンタテーブルＸ （１
）の内容を加算し、第５図に示す色テーブルＹ （＋）
に色コードＣ（Ｊ）をセントする。
ヒストグラムを作成するものとし、測定データは、０〜
ｎの強度データからなるものとすると、ヒストグラムの
作成では、測定データ０〜ｎをアドレスとしてｉす定デ
ータに対応するカウンタテーブルＸ Ｎ）の内容を「＋
１」ずつカウントアツプする。従って、データが１ライ
ン分取り込まれると、カウンタテーブルＸ（１）の内容
は各カウンタの画素数となり、その合計が現在の総画素
数Ｔとなる。そごで、このようにして作成されたカウン
タテーブルＸ （１）をレベル分けする場合には、第４
図に示すように、まず、分割画素数をＭ、現在までの総
画素数をＴ、表示分割数をＬとすると、Ｔ／Ｌにより分
割画素数Ｍを計算する。次に分割レベルカウンタ１１色
テーブルカウンタＪ、等画素数カウンタＫを初期化（「
０」に設定）する。そして、等画素数カウンタにの値が
分割画素数Ｍになるまで分割レベルカウンタｌを更新し
ながら等画素数カウンタＫにカウンタテーブルＸ （１
）の内容を加算し、第５図に示す色テーブルＹ （＋）
に色コードＣ（Ｊ）をセントする。
等画素数カウンタにの値が分割画素数Ｍになると、色テ
ーブルカウンタＪの値を更新すると共に等画素数カウン
タＫを初期化して同様の処理を繰り返し行い、分割レベ
ルカウンタ■が最終値ｎに達すると処理を終了する。こ
のように分割レベルカウンタ■を更新しながら、カウン
タテーブルＸ（１）の内容を加算し、分割画素数Ｍでレ
ベル分けをして色コードを順次設定することによって、
表示分割数りの色による表示を行うようにする。
ーブルカウンタＪの値を更新すると共に等画素数カウン
タＫを初期化して同様の処理を繰り返し行い、分割レベ
ルカウンタ■が最終値ｎに達すると処理を終了する。こ
のように分割レベルカウンタ■を更新しながら、カウン
タテーブルＸ（１）の内容を加算し、分割画素数Ｍでレ
ベル分けをして色コードを順次設定することによって、
表示分割数りの色による表示を行うようにする。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、ステージを駆動してデータの収集を行う装置の場合を
説明したが、ビームをスキャンしてデータを収集する装
置の場合にも同様に適用できることは勿論である。また
、Ｘ線によるデータを収集したが、２次電子や反射電子
その他の信号によるデータを収集するものであってもよ
い。従って、装置としてもＸ＆１マイクロアナライザー
に限らず、走査型電子顕微鏡やその他の分析装置にも同
様に適用できることはいうまでもない。
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、ステージを駆動してデータの収集を行う装置の場合を
説明したが、ビームをスキャンしてデータを収集する装
置の場合にも同様に適用できることは勿論である。また
、Ｘ線によるデータを収集したが、２次電子や反射電子
その他の信号によるデータを収集するものであってもよ
い。従って、装置としてもＸ＆１マイクロアナライザー
に限らず、走査型電子顕微鏡やその他の分析装置にも同
様に適用できることはいうまでもない。
さらには、ｌライン毎にヒストグラムを作成して処理す
るようにしたが、複数のラインその他データの取り込み
単位毎にヒストグラムを作成して処理するようにしても
よい。
るようにしたが、複数のラインその他データの取り込み
単位毎にヒストグラムを作成して処理するようにしても
よい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、デー
タを収集しながらその時点でのヒストグラムを作成し、
等画素でレヘル分けして表示する色コードを設定するの
で、変化するデータに追従してレベル分けが変わり、常
に見易いカラーの分布により面分析データの内容を表示
することができる。
タを収集しながらその時点でのヒストグラムを作成し、
等画素でレヘル分けして表示する色コードを設定するの
で、変化するデータに追従してレベル分けが変わり、常
に見易いカラーの分布により面分析データの内容を表示
することができる。
第１図は本発明に係る面分析データの表示諧調割り当て
方式の１実施例を示すシステム構成図、第２図は面分析
動作の１例を説明するための図、第３図は面分析データ
のヒストグラムの例を示す図、第４図はレベル分は処理
の流れを説明するための図、第５図はタウンタ及び色テ
ーブルの構成例を示す図である。 ■・・・Ｘ線マイクロアナライザー、２・・・加算回路
、３・・・計算回路、４・・・変更回路、５・・・デー
タ転送回路、６・・・カラーディスプレイ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外２名）第１図 第テ図 Ｃ（ゴ）
方式の１実施例を示すシステム構成図、第２図は面分析
動作の１例を説明するための図、第３図は面分析データ
のヒストグラムの例を示す図、第４図はレベル分は処理
の流れを説明するための図、第５図はタウンタ及び色テ
ーブルの構成例を示す図である。 ■・・・Ｘ線マイクロアナライザー、２・・・加算回路
、３・・・計算回路、４・・・変更回路、５・・・デー
タ転送回路、６・・・カラーディスプレイ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外２名）第１図 第テ図 Ｃ（ゴ）
Claims (2)
- （１）試料の面分析データを収集して取り込み該面分析
データをレベル分けして色コードを設定しカラー表示す
る面分析データの表示諧調割り当て方式であつて、収集
した面分析データを所定の単位毎に取り込んで各画素の
ヒストグラムを作成して等画素になるようにレベル分け
し、該レベル分けに対応して色コードを設定しカラー表
示することを特徴とする面分析データの表示諧調割り当
て方式。 - （２）ヒストグラムは、１ラインのデータを収集する毎
に加算して更新してゆくことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の面分析データの表示諧調割り当て方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62101009A JPS63265288A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 面分析デ−タの表示諧調割り当て方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62101009A JPS63265288A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 面分析デ−タの表示諧調割り当て方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63265288A true JPS63265288A (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=14289238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62101009A Pending JPS63265288A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 面分析デ−タの表示諧調割り当て方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63265288A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04136857U (ja) * | 1991-06-12 | 1992-12-21 | 日新電機株式会社 | ビームプロフアイルモニタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60181791A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-17 | 株式会社島津製作所 | カラ−表示装置 |
| JPS6179370A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Mita Ind Co Ltd | 中間調再現方法 |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP62101009A patent/JPS63265288A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60181791A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-17 | 株式会社島津製作所 | カラ−表示装置 |
| JPS6179370A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Mita Ind Co Ltd | 中間調再現方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04136857U (ja) * | 1991-06-12 | 1992-12-21 | 日新電機株式会社 | ビームプロフアイルモニタ |
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