JPS63261159A - 複合材料の光学的非破壊検査方法 - Google Patents
複合材料の光学的非破壊検査方法Info
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- JPS63261159A JPS63261159A JP62096020A JP9602087A JPS63261159A JP S63261159 A JPS63261159 A JP S63261159A JP 62096020 A JP62096020 A JP 62096020A JP 9602087 A JP9602087 A JP 9602087A JP S63261159 A JPS63261159 A JP S63261159A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の目的
［産業上の利用分野］
この発明は複合材料の光学的非破壊検査方法、特にはり
合せ系の複合材料の光学的非破壊検査方法に関づ−るも
のである。
合せ系の複合材料の光学的非破壊検査方法に関づ−るも
のである。
複合材料は物理的或いは化学的方法によって、２種類以
十の累（イを合体させ、或いは一以上の層を形成させＣ
得られる材料Ｃあって、単味の材料に比べＣ軽くて強い
という二つの優れた特性を兼ね備え−Ｃいるため、最近
航゛空機等の一部の材料として用いられている。
十の累（イを合体させ、或いは一以上の層を形成させＣ
得られる材料Ｃあって、単味の材料に比べＣ軽くて強い
という二つの優れた特性を兼ね備え−Ｃいるため、最近
航゛空機等の一部の材料として用いられている。
ところが、複合材料の内部に接着不良等の欠陥が存在覆
るとその特性が失われ、例えば航空機においでは申入な
事故につながりかね４賓い。従って、そういった複合材
料を非破壊検査づることは重要である。
るとその特性が失われ、例えば航空機においでは申入な
事故につながりかね４賓い。従って、そういった複合材
料を非破壊検査づることは重要である。
［従来の技術］
複合材料を光学的に非破壊検査りるーｙノ払とし−Ｃ１
光学干渉法が知られている。この光学干渉法は小口グラ
フィやスペックル干渉法を用い、複合材料を加振して接
着不良箇所の共振モードから接ｊ不良の形を求めるもの
で、この手段は良く知られでいる。また接着不良の形が
円形（￥径ｒ）の時、その深さｄは共振周波数ｆに対し ｆ＝ｋｄ／ｒ２であることが［で、１（、［−ｒｆによ
っで指摘された。ここで定数には、 ｋ−β／ｙｒ、Ｊ ［Ｆ／３ρ（１−ｖ２） ］ テア
Ｖ）、βは共振モードによって定まる定数、［はヤング
率、ρは密度、νはポアソン比である。
光学干渉法が知られている。この光学干渉法は小口グラ
フィやスペックル干渉法を用い、複合材料を加振して接
着不良箇所の共振モードから接ｊ不良の形を求めるもの
で、この手段は良く知られでいる。また接着不良の形が
円形（￥径ｒ）の時、その深さｄは共振周波数ｆに対し ｆ＝ｋｄ／ｒ２であることが［で、１（、［−ｒｆによ
っで指摘された。ここで定数には、 ｋ−β／ｙｒ、Ｊ ［Ｆ／３ρ（１−ｖ２） ］ テア
Ｖ）、βは共振モードによって定まる定数、［はヤング
率、ρは密度、νはポアソン比である。
（ｔｌｏｌｏｇｒａｐｈｉｃ Ｎｏｎｄｅｓｔｒｕｃｔ
ｉｖｅ Ｔｅｓｔｉｎｇ Ｒ，に、［ｒ４著Ａｃａｄｅ
ｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ） ［発明が解決しようどする問題点］ しかるに、この従来の光学的検査法では、知合月利にお
（プる接る不良等の欠陥の形が求められるのであるが、
欠陥の形は一般に任意であるためその欠陥の複合材料の
深さ方向の位置を求めることかできない。
ｉｖｅ Ｔｅｓｔｉｎｇ Ｒ，に、［ｒ４著Ａｃａｄｅ
ｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ） ［発明が解決しようどする問題点］ しかるに、この従来の光学的検査法では、知合月利にお
（プる接る不良等の欠陥の形が求められるのであるが、
欠陥の形は一般に任意であるためその欠陥の複合材料の
深さ方向の位置を求めることかできない。
複合月利の欠陥を修理を４−るためには、欠陥の形状の
他にイの深さ位置を知ることが必要であるので、複合月
利の接着不良等の欠陥の形と深さを共に求め１．Ｕする
光学的非破壊検査技術の開発が望より （ｌ
ｓ −−１丁（ この発明は１記の如き事情に鑑みでなされた］）のであ
つヱ、複合月オ′４の光学的非破壊検査方法を提供する
ことを目的と覆るものである。
他にイの深さ位置を知ることが必要であるので、複合月
利の接着不良等の欠陥の形と深さを共に求め１．Ｕする
光学的非破壊検査技術の開発が望より （ｌ
ｓ −−１丁（ この発明は１記の如き事情に鑑みでなされた］）のであ
つヱ、複合月オ′４の光学的非破壊検査方法を提供する
ことを目的と覆るものである。
（ロ）発明の構成
１問題を解決するための手段］
この目的に対応し−Ｃ１この発明の複合月利の光学的非
破壊検査方法は、被検体の検査部位の少なくとも一方の
表面の共振の振動モードを光学干渉法によって求め、か
つイの時の共振周波数を求め、次に前記被検体の前記検
査部位の他方の表面若しくは前記被検体の前記検査部位
の前記表面に貼合させた前記被検体と同じ月利からなる
貼合材の表面において同じ振動モードを示す伯の共振周
波数を求め、前記両共振周波数から前記被検体の検査部
位の肉厚方向の欠陥の位置を導出することを特徴どして
いる。
破壊検査方法は、被検体の検査部位の少なくとも一方の
表面の共振の振動モードを光学干渉法によって求め、か
つイの時の共振周波数を求め、次に前記被検体の前記検
査部位の他方の表面若しくは前記被検体の前記検査部位
の前記表面に貼合させた前記被検体と同じ月利からなる
貼合材の表面において同じ振動モードを示す伯の共振周
波数を求め、前記両共振周波数から前記被検体の検査部
位の肉厚方向の欠陥の位置を導出することを特徴どして
いる。
以上、この発明の汀線を一実施例を示す図面について説
明する。
明する。
第１図にはこの発明の複合材料の光学的非破壊検査方法
り３ユ村で使用する非破壊検査装置１が示されている。
り３ユ村で使用する非破壊検査装置１が示されている。
非破壊検査装置１は干渉計２、加ノ辰装置３、処理装置
４どを備えている。干渉計２はレーデ光源５、ビームス
プリッタ６、ミラー７、ミラー８、レンズ１１、ピンホ
ール１２、偏光板１３、開口１４、レンズ゛１５、テレ
ビカメラ１６、モニタ１７、ビームスプリッタ１８、ピ
エゾ索子２１、ミラー２２、拡散板２３及びハーノミラ
ー２／ｌを備えている。
４どを備えている。干渉計２はレーデ光源５、ビームス
プリッタ６、ミラー７、ミラー８、レンズ１１、ピンホ
ール１２、偏光板１３、開口１４、レンズ゛１５、テレ
ビカメラ１６、モニタ１７、ビームスプリッタ１８、ピ
エゾ索子２１、ミラー２２、拡散板２３及びハーノミラ
ー２／ｌを備えている。
加振装置３は複合月利の被検体２５を加振づるためのも
ので、振動発生装置２６、増幅器２７及び加振子２８を
備えている。
ので、振動発生装置２６、増幅器２７及び加振子２８を
備えている。
処理装置４は１〕／△コンバータ３１、処理機３２及び
フレームスｉ〜アメ七り３３を備えている。
フレームスｉ〜アメ七り３３を備えている。
［作用１
この発明の複合月利の光学的非破壊検査方法は第１図に
示すような非破壊検査装置１を使用して次のように行う
。
示すような非破壊検査装置１を使用して次のように行う
。
複合月利である被検体２５に加振子２８を取り被検体２
５を振動させる。
５を振動させる。
一方、レーザ光源５を発光させる。レーザ光源５からの
ビームはビームスプリッタ６で２分割され、一方のビー
ム３５はミラ〜７、ミラー８で光路変更し、レンズ１１
、ピンボール１２で発散光となって被検体２５の検査部
位の表面を照明し、更に検査部位で反射してプレ１ごカ
メラ１６のスクリーン面３４に達する。このスクリーン
面３４に達した一方のビームは振動し℃いる検査部位の
表面によって位相変調を受【プでいる。
ビームはビームスプリッタ６で２分割され、一方のビー
ム３５はミラ〜７、ミラー８で光路変更し、レンズ１１
、ピンボール１２で発散光となって被検体２５の検査部
位の表面を照明し、更に検査部位で反射してプレ１ごカ
メラ１６のスクリーン面３４に達する。このスクリーン
面３４に達した一方のビームは振動し℃いる検査部位の
表面によって位相変調を受【プでいる。
次に、ビームスプリッタ６によって分割された他方のビ
ーム３６はハーフミラ−１８で反射されてピエゾ索子２
１に取付けられている反射面（図示せず）で反射され、
ハーフミラ−１８を透過してミラー２２で光路変更し、
拡散板２３で拡散され、ハーフミ；）−２／Ｉ′Ｃ−反
則されてテレビカメラ１６のスクリーン面３４に達する
。この他方のビーム３６はピエゾ索子２１によって位相
遷移を受ける。
ーム３６はハーフミラ−１８で反射されてピエゾ索子２
１に取付けられている反射面（図示せず）で反射され、
ハーフミラ−１８を透過してミラー２２で光路変更し、
拡散板２３で拡散され、ハーフミ；）−２／Ｉ′Ｃ−反
則されてテレビカメラ１６のスクリーン面３４に達する
。この他方のビーム３６はピエゾ索子２１によって位相
遷移を受ける。
ビカメラ１６のスクリーン面３４上で干渉する。
かくして、例えばピエゾ素子２１でビーム３６の位相を
遷移させた３つの干渉波面をフレームスドアメモリ３３
に取込み、処理機３２で演算することによって、振動状
態を示す干渉縞が得られる。
遷移させた３つの干渉波面をフレームスドアメモリ３３
に取込み、処理機３２で演算することによって、振動状
態を示す干渉縞が得られる。
この干渉縞をモニタ１７で観測する。
このモニタ１７で観測する干渉縞の形から特定の振動モ
ードを特定する。それと同時に、その特定の振動モード
にお（プる共振周波数ｆｎを処理機３２に入力しておく
。
ードを特定する。それと同時に、その特定の振動モード
にお（プる共振周波数ｆｎを処理機３２に入力しておく
。
次に被検体２５を裏返して被検体２５について同じ測定
を行って、同じ特定の振動モードにおける共振周波数ｆ
ｎ’を求め、処理機３２に入力する。
を行って、同じ特定の振動モードにおける共振周波数ｆ
ｎ’を求め、処理機３２に入力する。
被検体２５の検査部位における欠陥の形状は干渉縞の形
状から直接求めることができる。
状から直接求めることができる。
次に欠陥の深さは、共振周波数ｆｎ、ｆｎ’から次の演
算を処理機３２によって行うことによって求める。
算を処理機３２によって行うことによって求める。
体２５の検査部位４２の表面４３の下方ｄの深さにある
とすると、ｆｎを表面４３側の共振周波数、ｆｎ’ を
裏面４／Ｉ側の共振周波数として、ｆｎ ＝Ｋ （ｄ／
Ｆ（ａｒｅａ）） ＝−（１）ｆ’ ｎ
＝Ｋ （ｔ−ｄ）／Ｆ（ａｒｅａ） −（２）（
１）、（２）式から ｄ＝ｔ／（１＋（ｆ’ｎ／ｆｎ）） ・ （３）こ
こで Ｆ （ａｒｅａ） ：欠陥の形に依存する関数に：欠陥
の形と材料によって定まる定数ｔ：厚さ 従って〈３）式から明らかなように、被検体２５の厚さ
ｔと共振周波数ｆｎ、ｆｎ’ とだけから欠陥４１の深
さ位置ｄを求めることができる。
とすると、ｆｎを表面４３側の共振周波数、ｆｎ’ を
裏面４／Ｉ側の共振周波数として、ｆｎ ＝Ｋ （ｄ／
Ｆ（ａｒｅａ）） ＝−（１）ｆ’ ｎ
＝Ｋ （ｔ−ｄ）／Ｆ（ａｒｅａ） −（２）（
１）、（２）式から ｄ＝ｔ／（１＋（ｆ’ｎ／ｆｎ）） ・ （３）こ
こで Ｆ （ａｒｅａ） ：欠陥の形に依存する関数に：欠陥
の形と材料によって定まる定数ｔ：厚さ 従って〈３）式から明らかなように、被検体２５の厚さ
ｔと共振周波数ｆｎ、ｆｎ’ とだけから欠陥４１の深
さ位置ｄを求めることができる。
次に、第４図及び第５図に示すように、被検体２５が他
の物体４５に取り付けられて被検体２５の裏面４４から
の測定ができないとぎは、被検体２５の表面４３からの
測定によって共振周波数ｆｎを求めた後に、被検体２５
と同じ材料からなし、その貼合材４６からの測定によっ
て共振周波数ｆｎ’ を求める。この場合には ｆｎ ＝Ｋ （ｄ／Ｆ（ａｒｅａ）） ｆｎ’−Ｋ（（ｄ＋Δｄ ） ／ Ｆ （ａｒｅａ）
）より欠陥４１の深さ位置ｄは次のように求まる。
の物体４５に取り付けられて被検体２５の裏面４４から
の測定ができないとぎは、被検体２５の表面４３からの
測定によって共振周波数ｆｎを求めた後に、被検体２５
と同じ材料からなし、その貼合材４６からの測定によっ
て共振周波数ｆｎ’ を求める。この場合には ｆｎ ＝Ｋ （ｄ／Ｆ（ａｒｅａ）） ｆｎ’−Ｋ（（ｄ＋Δｄ ） ／ Ｆ （ａｒｅａ）
）より欠陥４１の深さ位置ｄは次のように求まる。
ｄ−Δｄ／（（ｆｎ’ ／ｆｎ ）−Ｌ）［実験例］
第６図に示すように、被検体として３層からなる複合材
を作成し、中間層を切欠いて欠陥部とし、その欠陥部に
おいて表層と裏層を未接着とした。
を作成し、中間層を切欠いて欠陥部とし、その欠陥部に
おいて表層と裏層を未接着とした。
表層の厚さｔ １＝ ０ 、１２５ｍｍ中間層の厚さｔ
３＝ｏ、３調 裏層の厚さｔ２＝０．２５４ｍｍ 測定回数ｎ＝７ 実験結果を下表及び第７図に示す。測定結果は誤差が最
大で±５％、２乗平均で３，４％であり、極めて高精度
に欠陥の深さ位置を測定できることが明らかとなった。
３＝ｏ、３調 裏層の厚さｔ２＝０．２５４ｍｍ 測定回数ｎ＝７ 実験結果を下表及び第７図に示す。測定結果は誤差が最
大で±５％、２乗平均で３，４％であり、極めて高精度
に欠陥の深さ位置を測定できることが明らかとなった。
（ハ）発明の効果
このように、この発明の複合＋Ａ利の光学的非破壊検査
方法では、複合接着材料の接着不良をホログラフィやス
ペックル干渉法を用いて検査覆る場合、試料を周波数を
スキャンしながら加振し、表面から観測された接着不良
箇所の共振モードと同一の共振モードを裏面からも観測
することににって、共振モードにおりる干渉縞の形から
接着不良の形が求まり、表面と裏面からのぞれぞれの共
振周波数の伯から接着不良の深さが求まる。また、裏面
からの観測が不可能な場合には、仮の処理どして表面か
らの測定が終了した後に表面ど同じ材質の薄板を貼りつ
りることにより、貼りつｌ−する前後のある一定の共振
モードの共振周波数の変化から接着不良の深さを求める
ことができる。
方法では、複合接着材料の接着不良をホログラフィやス
ペックル干渉法を用いて検査覆る場合、試料を周波数を
スキャンしながら加振し、表面から観測された接着不良
箇所の共振モードと同一の共振モードを裏面からも観測
することににって、共振モードにおりる干渉縞の形から
接着不良の形が求まり、表面と裏面からのぞれぞれの共
振周波数の伯から接着不良の深さが求まる。また、裏面
からの観測が不可能な場合には、仮の処理どして表面か
らの測定が終了した後に表面ど同じ材質の薄板を貼りつ
りることにより、貼りつｌ−する前後のある一定の共振
モードの共振周波数の変化から接着不良の深さを求める
ことができる。
こうして、この発明の複合月利の光学的非破壊検査方法
では材料定数の値が分らない場合でも、また接着不良の
形が任意であっても接着不良箇所の深さを容易に知るこ
とができる。
では材料定数の値が分らない場合でも、また接着不良の
形が任意であっても接着不良箇所の深さを容易に知るこ
とができる。
第１図はこの発明の実施に使用する非破壊検査装置の一
例を示η−構成説明図、第２図は被検体の平面説明図、
第３図は第２図におけるｍ−ｍ部所面図、第４図は他の
被検体の平面説明図、第５図は第４図にお番ノるｖ−ｖ
部所面図、第６図は実験に供した被検体の縦断面説明図
、及び第７図は欠陥の深さの測定結果を示すグラフであ
る。 １・・・非破壊検査装置 ２・・・干渉計 ３・・
・加振装置 ４・・・処理装置 ５・・・レーザ光
源６・・・ど−ムスブリッタ ７・・・ミラー ８
・・・ミラー １１・・・レンズ １２・・・ピン
ホール１３・・・偏光板 １４・・・開口 １５・
・・レンズ１６・・・テレビカメラ １７・・・モニ
タ １８・・・ビームスプリッタ ２１・・・ピエ
ゾ素子 ２２・・・ミラー １３・・・拡散板
２４・・・ハーフミラ−２５・・・被検体 ２６・・
・振動発生装置２７・・・増幅器 ２８・・・加振子
３１・・・Ｄ／Ａス［〜アメモリ ３４・・・ス
クリーン面 ３５・・・一方のビーム ３６・・・
他方のビーム ４１・・・欠陥４２・・・検査部位
４３・・・表面 ４４・・・裏面４５・・・他の物体 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
例を示η−構成説明図、第２図は被検体の平面説明図、
第３図は第２図におけるｍ−ｍ部所面図、第４図は他の
被検体の平面説明図、第５図は第４図にお番ノるｖ−ｖ
部所面図、第６図は実験に供した被検体の縦断面説明図
、及び第７図は欠陥の深さの測定結果を示すグラフであ
る。 １・・・非破壊検査装置 ２・・・干渉計 ３・・
・加振装置 ４・・・処理装置 ５・・・レーザ光
源６・・・ど−ムスブリッタ ７・・・ミラー ８
・・・ミラー １１・・・レンズ １２・・・ピン
ホール１３・・・偏光板 １４・・・開口 １５・
・・レンズ１６・・・テレビカメラ １７・・・モニ
タ １８・・・ビームスプリッタ ２１・・・ピエ
ゾ素子 ２２・・・ミラー １３・・・拡散板
２４・・・ハーフミラ−２５・・・被検体 ２６・・
・振動発生装置２７・・・増幅器 ２８・・・加振子
３１・・・Ｄ／Ａス［〜アメモリ ３４・・・ス
クリーン面 ３５・・・一方のビーム ３６・・・
他方のビーム ４１・・・欠陥４２・・・検査部位
４３・・・表面 ４４・・・裏面４５・・・他の物体 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 被検体の検査部位の少なくとも一方の表面の共振の振動
モードを光学干渉法によって求め、かつその時の共振周
波数を求め、次に前記被検体の前記検査部位の他方の表
面若しくは前記被検体の前記検査部位の前記表面に貼合
させた前記被検体と同じ材料からなる貼合材の表面にお
いて同じ振動モードを示す他の共振周波数を求め、前記
両共振周波数から前記被検体の検査部位の肉厚方向の欠
陥の位置を導出することを特徴とする複合材料の光学的
非破壊検査方法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62096020A JPH0658350B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 複合材料の光学的非破壊検査方法 |
| US07/174,430 US4871255A (en) | 1987-04-17 | 1988-03-28 | Optical nondestructive testing method of composite materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62096020A JPH0658350B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 複合材料の光学的非破壊検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63261159A true JPS63261159A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0658350B2 JPH0658350B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=14153604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62096020A Expired - Lifetime JPH0658350B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 複合材料の光学的非破壊検査方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4871255A (ja) |
| JP (1) | JPH0658350B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100443409B1 (ko) * | 2001-12-06 | 2004-08-09 | 이주성 | Ｅｓｐｉ를 이용한 피검사물의 변형여부 검출 및고유진동모드 측정 방법 |
| KR101007456B1 (ko) | 2009-01-02 | 2011-01-14 | 한국원자력연구원 | 충격파 가시화를 이용한 레이저 비파괴 검사 장치 |
| JP2019002714A (ja) * | 2017-06-12 | 2019-01-10 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (1)
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|---|---|---|---|---|
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1987
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-
1988
- 1988-03-28 US US07/174,430 patent/US4871255A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
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| KR100443409B1 (ko) * | 2001-12-06 | 2004-08-09 | 이주성 | Ｅｓｐｉ를 이용한 피검사물의 변형여부 검출 및고유진동모드 측정 방법 |
| KR101007456B1 (ko) | 2009-01-02 | 2011-01-14 | 한국원자력연구원 | 충격파 가시화를 이용한 레이저 비파괴 검사 장치 |
| JP2019002714A (ja) * | 2017-06-12 | 2019-01-10 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
Also Published As
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|---|---|
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