JPS61105522A - 光学走査顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は一般に光学走査顕微鏡の分野に関し、特に位
相感知型光学走査顕微鏡に関する。

（従来技術） 特に集積回路の製造等の分野では、集積回路の個々の形
状寸法が１ミクロン又はそれ以下に近づくにつれ、非破
壊テストが極めて重要になりつ＼ある。このような非破
壊テストは、回路の製造で使われる製品の表面、輪郭及
び表面近くの物質特性の定量測定をもたらす。

このことは、シリコンチップ上に被着されねばならない
メタルの薄膜測定において特に重要である。理想的には
、薄膜の全厚と食中の両方について欠陥、異粒子、平坦
度を検査でき、膜が全ての点で表面物質に正しく接合さ
れているかどうか確かめられるのが望ましい。

従来、小さい表面形状を評価する方法として、光学顕微
鏡法が広く使われている。しかし、水平方向の寸法と高
さの両方が対象となる分野では、通常の光学顕微鏡法だ
と定量的な情報がほとんど得られない。そこでこれまで
、振巾の代りに位相差コントラストを用い、光の位相が
周囲と異る物体について定性的コントラストを与えるこ
とが提案されている。しかし、こうした像から正確な高
さの情報を取出すことは非常に困難である。

又、干渉顕微鏡法は干渉縞を解像して表面高さを評価す
るものであるが、この方法でも干渉縞を解釈するのが難
しい。

（発明の目的） 本発明の目的は、改良光学顕微鏡を提供することにある
。

本発明の更なる目的は、高さの差を極めて精確に測定で
きる光学顕微鏡を提供することにある。

すなわち本発明の目的は、膜等の厚さ又は相対的厚さを
１００Å以下の精度で測定することにある。

どんな顕微鏡法においても、標準に対する高さの変化を
判断するため、表面を横切って顕微鏡を走査できること
が極めて望ましい。かかる走査は、個々の形状中を求め
るのにも、又表面の平滑度及び膜の表面への接合が良好
かどうかをテストするのにも使える。

本発明の目的は、電子走査式の光学顕微鏡を提供するこ
とにある。

位相差技術又はヘテロダイン法を用いた光学プロフィー
ル測定計に関するこれでの研究は、電子走査を利用して
いないか、あるいはそれを組入れるのに成功していない
。そのため、かかる測定針は機械的走査に頼らざるを得
なかった。従って本発明の目的は、走査精度を最大限化
し、振動又は機械的ショックの影響を最少限化するため
、対象表面の走査を電子的に実施する手段を光学顕微鏡
へ組入れることにある。

（発明の構成） 上記及びその他の目的は、レーザビーム等の平行光ビー
ムがブラッグ（Ｂｒａｇｇ　）セル等の音響−光学偏向
器に入射する走査式光学顕微鏡から成る本発明において
達成される。適当な高周波信号がブラッグセルの他面に
設けた音響トランスデユーサに印加され、入射光ビーム
を変調する。ブラッグセルの出力は次の２つの波から成
る：セルつまり回折格子を直接通過した入射光ビームの
一部と、印加信号の周波数だけ周波数がシフトした偏向
出力ビームである。印加高周波信号の周波数を変更する
ことにより、対象表面を横切って偏向ビームを走査でき
る一方、標準ビームは所定位置にとどまり位置標準とな
る。対象表面からの２つの反射ビームを１つの光検出器
で検出することによって、偏向ビームの位相シフト及び
振巾を測定できる。

外部の振動から系を更にいっそう隔離するため、内部標
準をより有効に組入れる別の変形例では、第２の入力光
ビームが回折格子に当てられ、この第２ビームの入力は
走査出力ビームの方向と実質上直角な面内で行われる。

この入力ビームが、回折格子を通過後、対象面に入射す
る別の２つのビームを与える。これら２ビームは標準ビ
ームとなるので、既知のフラット表面に収束されるべき
である；あるいは、これらビームのサイズを拡張し、そ
のサイズを測定すべき任意の表面形状に対し極めて大き
くしてもよく；更にこの代りに、既知の安定標準面で反
射させてもよい。いずれの場合にも、これらビームの表
面反射が別個の光検出器で検出される。走査ビームと混
合させることで、位相と振巾の変化を正確に検出するの
に標準ビームを使えると同時に、ブラッグセルにおける
変調光波の周波数変化に基くそれらの変化による変動を
相殺できる。

本発明のシステムは、干渉針で共通の問題である環境の
振動による影響を受は難いようにする上記の内部標準を
具備している。更に本発明では、走査に基く情報がデジ
タル処理と直接コンパティプルな形で得られる。この利
点は、振巾と位相の両方が測定検出されたとき、複雑な
空間的変化のフーリエ変換が直接可能になることによっ
て生ずる。本分析システムは、フーリエ変換処理を含め
ても又は含めなくても使用でき、光学系中の収差の影響
を取除くと共に、集積回路上のライン中等表面形状の水
平寸法を正確に求められる。

一様な組成のサンプルの場合、標準ビームと偏向走査ビ
ームを用いることで、光位相を容易に較正して、表面形
状の高さが得られる。又表面を横切ってビームを走査す
ることにより、表面形状の巾、その他の寸法も正確に求
められる。つまり、機械的な針形プロフィール測定計を
使って得られるのと同様だが、サンプルに損傷を与えず
しかも一大巾に高められた精度で高さの情報及び巾の情
報を与える非接触式の光学プロフィール測定計として、
走査顕微鏡を使うことができる。その最も簡単な実施例
では、位相測定が高さの情報を与え、振巾の測定が巾の
情報を与えるが、測定物質が厚かったり数層を有したり
、あるいは測定すべき形状の巾がビームスポットのサイ
ズと同じ程度だと、測定の問題ははるかに複雑になる。

この場合には、デジタル的に処理できる別々の位相と振
巾の情報を用いるのが極めて有用である。−例として、
ストリップの巾がビームのスポットサイズと同じ程度の
場合、溶融水晶基板上のメタルストリップ巾を測定する
のは難しい。ストリップを横切ってビームを走査すると
、位置を関数とした強度曲線が得られる。こ＼で、スト
リップの巾として、全強度の半分の地点間の距離をとる
べきか又は他の基準を使うべきか判断するのが困難であ
る。振巾と位相の情報を用いると、得られる応答はビー
ムのライン広がり関数Ｐ（ｘ）とストリップの反射関数
Ｔ（ｘ）のたたみこみ（合成積）となる。すなわち応答
は： Ｖ　（ｘ）　＝Ｔ　（ｘ）　＊Ｐ　（ｘ）但し、＊はた
たみごみを示し、Ｘは物質に沿った空間位置である。

ストリップが巾りだと、空間変域におけるＴ（ｘ）のフ
ーリエ変換は： 但し、Ｔｏはストリップの反射率の振巾と位相、δ（０
）は基板反射率の変換に対応したディシックのデルタ関
数である。こ＼で次のように書ける：Ｖ（ｋ）−Ｔ（ｋ
）Ｐ（ｋ） 系の空間的な周波数応答であるＶ　（ｋ）レンズと物質
両方の空間的周波数応答の積であるから、Ｔ　（ｋ　）
の応答がゼロになる点を求め、そのときの間隔からＤを
定めることができる。Ｐ（ｋ）がＴ（ｋ）＝０のｋの値
より大きいｌｋｌについて有限なら、上記結果はＰ（ｋ
）に対し独立のはずである。つまり、入力信号のデジタ
ル処理が、基板形状の巾を求める上及びレンズの収差を
取除く上で非常に重要となる。

本発明の特徴と利点並びに一実施例は、図面を参照した
好ましい実施例に関する以下の説明から明らかになるで
あろう。

（実施例） 第１ａ図に示した本発明の基本系は、光学の分野ですで
に周知なブラッグセル２を用いており、こ＼にレーザ４
又はその他の光源からの平行度が高い光である出力ビー
ムが入射する。周波数ｆ０のビーム６が入射する結果、
ブラッグセルから２つのビームが出力される。一方のビ
ーム８は、ブラッグセルをそのまま直接通過した同じ周
波数ｆｏ　の入射ビームの一部である。走査ビーム１０
である他方のビームは、周波数ｆ＠＋ｆｇ　でブラッグ
セルを通って出る。周波数ｒｇ　は、トランスデユーサ
を介してブラッグセルの隣接面に印加され、ブラッグセ
ルを通って入射平行光ビームと相互作用する音響波を形
成する入力信号１２の周波数である。

このように、ブラッグセル２は回折格子として有効に機
能し、ビームの一部をそのままの周波数で、他の部分を
シフトされた周波数で通過させる。

２つのビームは顕微鏡の対物レンズ１４でサンプル１６
上に収束され、サンプルは対物レンズの焦点に位置する
。第１Ｃ図に示した本発明の好ましい実施例において、
レーザ４はエタロンを備えた単一周波数のアルゴンイオ
ンレーザで、その出力がビーム拡張器２０に加えられる
。ビーム拡張器の目的は、光の拡張ビームを与えること
にある：つまり光が顕微鏡の対物レンズを通過したとき
、光の広いビームが対物レンズによって極めて小さい点
に収束可能となる。光の広いビームを単一点に収束させ
る理由は、最大限の空間分解能を得ることにあり、この
点は集積回路等の検査で特に重要である。

光ビームは次いで、↑ｅｒ２のブラッグセル２を通過す
る。このブラッグセルは、セルの端縁に取付けられたト
ランスデユーサへ電圧制御形発振器から印加される６０
〜１１０ＭＨｚの挿引周波数を有する。ブラッグセルを
出る光は上述のごとく２つのビーム１０．８に分割され
、光の半分が各ビームを成す。上記したように、光は顕
微鏡の対物し　　１ンズを介し、できる限り小さい２つ
のスポットとしてサンプル上に収束される。情報を正確
に分析するためには、ブラッグセルを顕微鏡対物レンズ
の後方焦点面上に置く必要がある。しかし、顕微鏡対物
レンズの焦点距離が短いため、実施上後方焦点面は顕微
鏡対物レンズの取付具内に位置する。

そこで、両ビーム８，１０を収束し直し、概略図中点線
で示したブラッグセルの像が図から明らかなごとく顕微
鏡対物レンズの後方焦点面に実際上現われるように、視
野レンズ２４が設けられる。

サンプルは、同じ顕微鏡対物レンズの前方焦点面に置か
れる。距離ｆ′は、いかなる傾斜で光がレンズに接近す
るかによって決まる開口数に依存した値である。

２つの光ビームの反射は、サンプルへ向かウドきに辿っ
たのと゛同じ経路に沿いブラッグセルへ向かって戻る。

そして走査ビーム１０がブラッグセルに戻ったとき、そ
のビームは再び半分づつに分割され、反射信号の一方の
半分はレーザへ向がい、他方の半分が分析経路３ｏに沿
って進む。更に、固定ビーム８の半分がブラッグの角度
で、検出経路３０に沿ってブラッグセルから反射される
。それぞれｆｏ　　＋ｆ６　、　　ｆｏ　　　ｆＢ　の
周波数成分を持ツコレラノヒームは鏡３２で反射され、
レンズ３４と光検出器３８を経て検出エレクトロニクス
系に入る。空間的フィルタとして、検出器の前方にピン
ホール３６を置いてもよい。光検出出方の周波数は、ｔ
ｏ　　＋１ｇ　　−（ｆｏ　　−ｆｓ　　）　”２　ｆ
Ｂとなる。

ブラッグセルにおける挿引周波数の周波数と位相を示す
安定な標準を与えるため、信号周波数２　ｆｉ　　の２
次高調波を検出エレクトロニクス系に印加し、これを位
相標準として用いることが考えられる。しかし実際には
、ブラッグセルの通過中に音響信号が遅延するため、上
記の方式では充分な位相精度が得られない。そこで、一
定周波数の第２のレーザビームをブラッグセルへ加える
ことによって、更に一対の標準ビームが作られる。理想
的には第１ｂ図に示すごとく、第２ビームカ走査ビーム
１０を与えるレーザビームと正確に同じ周波数及び位相
特性となるように、ビームスプリッタ４０を用いて第２
ビーム４２を生じ、これが２つの成分に分けられる０分
割ビームの一方の半分は経路４４に沿ってブラッグセル
をそのまま通過し、他方の半分はブラッグ角だけそれた
経路４６に沿ってブラッグセルを出る。これら両ビーム
は、第１のレーザビームについて上述したのと同じよう
に、顕微鏡の対物レンズ１４を経てサンプル１６上に像
を結ぶ。そしてこれらのビームは反射して戻り、合流し
てレンズ及び検出器を経、位相感知式の検出エレクトロ
ニクス系に加えられる。

尚こ−で、本発明の第２の利点は、２つのビームを本発
明の位相センサで混合することにより、コヒーレントな
検出を行う点にあることに留意することが重要である。

つまり、この種検出器の使用は、対象表面を横切って電
子的に走査される■型の共焦点顕微鏡（Ｇ、Ｓ、にｉｎ
ｏ　、　ｒ走査成像顕微鏡」、Ｂ、Ａ、＾ｓｈ＋　Ｅｄ
、＋　Ａｃａｄｅｍｉｃ　Ｐｒｅｓｓ＋　Ｌｏｎｄｏｎ
、　Ｐａｇｅ　１　＋（１９８０）参照）を与える。こ
のようなピンポイント共焦点顕微鏡ビームの電子走査は
、これまで全く行われていない。従来かかる走査は、機
械的な手段によってのみ行われてきた。フォトダイオー
ド検出器がレンズの焦点に置かれ、周波数に伴うブラッ
グ角の変化を補償する。第２図は、光学的に得られた２
ｆｌ　の信号の振巾及び位相を検出するのに使われる信
号処理を示している。位相は一定周波数で検出するのが
有利なので、標準信号はまず制限され、次いで６０ＭＨ
ｚの中間周波数で単側波帯変調される。この標準を信号
側光検出器の出力と混合することで、全ての振巾及び位
相情報を含む６０ＭＨｚの一定周波数信号が得られる。

この構成により、レイリー分解能は非コヒーレントな顕
微鏡と等しい一方、３ｄ１分解能はや＼良好で、不連続
部の走査時に見られるリフプルは部分的に非コヒーレン
トな！型光と比べ減少した。

更に詳述すれば、標準ビーム４４．４６は光検出器内で
混合されて、２ｆ９の信号を与える。この２　ｒＨ信号
が、ミキサー６ｏで５０ＭＨ２の信号と単側帯波混合さ
れる。そして標準ビームと実際の走査信号ビームの差が
とられ、この合流信号がベクトル電圧計６２で分析され
、系中の高さ及び巾の変化を反映した振巾変化と位相変
化の情報を得る。この情報は、周波数ｆゆ　＋ｆ８　と
ｆ、＋ｆＢの光信号がサンプル上の走査スポット及び固
定スポットからそれぞれ発しているため、２ｆ９信号の
位相がサンプル１６に入射する両ビーム８゜１０間の光
路長差に依存していることによって得られる。この分析
は、面波照射の場合、ビームが高さｈの形状を横切って
走査されたとき、高さ変化りの表面は２ｋｈの光位相変
化を生じるという理論に基いている。又面上に焦点を結
ぶビームの場合、入射光の大部分み直角でない入射角で
サンプルに達するので、観測される位相変化はもっと小
さくなる。一様に照射される球状レンズ開口にわたって
積分することにより、表面形状は次式の位相変化を生ず
ることが示される： （１）　　　　Δφ＝ｋｈ　（１＋ｃｏｓ　Ｏ，）但し
Ｏｏ　は対物レンズ開口の半角である。Ｏｏ　がゼロ近
づけば、式（イ）は面波の場合の位相変化になる。２ビ
一ム間の光路長差だけが重要なので、レンズからサンプ
ルまでの距離変化は測定に影響を及ぼさない。つまり、
レンズ間隔における機械的振動は、それらが対物レンズ
の焦点深度内にある限り、測定に悪影響を及ぼさない。

最も単純な構成（第１ａ図）では、測定が対象表面の傾
斜に感度を持つが、第１ｂ図のもっと複雑な例ではその
傾斜に対する感度が取除かれている。

ブラッグセルの周波数ＦＢ　　が走査レンジにわたって
変化される場合に２ｒ６　の干渉信号における位相シフ
トを測定するためには、電子標準信号が必要である。ブ
ラッグセル駆動信号の周波数を単に２倍するだけでは、
ブラッグ周波数の変化につれブラングセル内における有
限の音響遅延が大きな線形位相シフトを生じるため、充
分でない。その代りに、ブラッグセルへの入射ビームを
音響波伝播の方向に直角な方向に分割することによって
、第２の光信号が発生される（第１ｂ図）。従って、４
つのスポットがサンプル上に収束される。サンプルの幾
何形状を、第２組のスポットがサンプルの一様なフラッ
ト部分に位置するように選べば、それらのスポットを標
準に使うことができる。あるいは、第２組のスポットを
対象の表面形状のサイズよりはるかに大きく拡大してサ
ンプルの任意の部分に当ててもよく、又はサンプル以外
のフラットな標準面で反射させてもよい。

週−−１ 較正走査を光学定盤に対して実施し、エレクトロニクス
系による振巾と位相の変化及び光収差をそれぞれ割出し
て差引いた。この較正後、フラットで一様なサンプルを
横切る走査は３％以下の振巾変動と５°以下の位相変動
を示し、表面高さの最小感度が５０人を上回ることを示
した。

実験では、エタロン制御式単一周波数アルゴンイオンレ
ーザからの５１０ｎｍ、５ＩＩＩＨのビームを用いた。

ＴｅＯ２プラフグセルは、バンド巾６０〜１１０ＭＨｚ
　、偏向角３°〜６°であった。開口数が０．１〜０．
８６の範囲の顕微鏡対物レンズを使用した。サンプル上
の走査長は、周波数の変化と対物レンズの焦点距離の積
に比例する。高い方の開口数では、メタル化エツジから
の反射を調べたところ、半径１μｍの１／１２　スポッ
トが測定された。

第３図は、顕微鏡を光学プロフィール測定針に通用した
最初の実験を示している。系の性能をチェックするため
、広い口径レンズの使用に伴う偏光効果に基く位相変化
及び反射係数の位相変化を取除（ことを目的とした。（
機械的な針で測定した）厚さ９００人のアルミの段を、
５００人のアルミでメタル化したガラス基板上に被着し
た。面波照射をシミュレートするため、長い焦点距離の
顕微鏡対物レンズ（焦点距１１１６鰭）に直径１鶴以下
の狭いビームで照射した。これは、０．０３以下の有効
開口数を生じる。ブラッグセルの周波数は８２．０ＭＨ
ｚ　〜８７．８ＭＨｚの範囲にわたって走査され、収束
ビームをサンプル上で９０μｍ走査した。第３図には、
走査スポットの振巾と位相が示しである。較正後、５°
の位相のズレが実験による位相曲線から差引かれた。理
論曲線は、使用レンズの小さい開口数に対応した半径９
μｍの１／１２　ガウスビームについて数学的に評価し
たものである。

ビームは一定の光位相を持ち、位相段を横切ってたたき
こまれるものとする。収差と焦点のズレのため、ビーム
を横切って位相変化が存在し、これが実験及び理論の振
巾曲線の間の不一致を生じている。

位相曲線は８２０人の段の高さを示しており、これは機
械的な針による測定の９００人とかなり一致し、光位相
においてのみ異る形状を持ったサンプルについて良好な
定量的コントラストが得られる能力を実証している。

（発明の効果） 要約すれば、本発明は振巾と位相を定量的に測定できる
電子走査式の光学顕微鏡を提供する。表面の高さ変化が
、本方式で正確に測定できる。更に、光位相を測定し得
る能力が、収差の影響を除去し、サンプル上の水平方向
の寸法を正確に求めるためのデジタル濾波を可能にして
いる。

当業者であれば、本発明の開示内容から好ましい実施例
に対する変更が可能なことは明らかである。従って、本
発明の範囲は特許請求の範囲によってのみ制限される。

【図面の簡単な説明】

第１ａ、ｌｂ、ｌｃ図は光ビームを対象サンプルへ当て
るためのブラングセルの利用法を示す説明図；第２図は
反射光走査ビームを分析するのに必要な各要素のブロッ
ク図；及び第３図は第１．２図の実施例を用いて行った
実験の結果を示すクラブである。 ２・・・集束手段（ブラングセル）、４・・・入力ビー
ム供給手段（レーザ）、６．４２・・・第１、第２入力
ビーム、８，１０，４４．４６・・・出力ビーム（１０
，４６；走査ビーム）、１４・・・対物レンズ、１６・
・・サンプル、３６・・・ピンホール、３８・・・光検
出器、４０・・・ビームスプリッタ、６０・・・混合手
段（ミキサー）、６２・・・比較手段（ベクトル電圧計
）。 ＦＩＧ、−３ 手　続　補　正　占（方式） ％式％ １、事件の表示　　　昭和６０年特許願第１４９０８２
号２、発明の名称　　　光学走査顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係　　出願人 ４、代理人

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも２つの光ビームを対象サンプル上に集束
   させる手段； 上記ビームの一方をサンプルを横切って光学的に走査す
   る手段； 反射ビームの位相を比較し、表面の変化を表わすものと
   して走査ビームの位相シフトを求める手段；から成る光
   学走査顕微鏡。
2. （２）前記収束手段が光入力ビームに応答するブラッグ
   セルから成る特許請求の範囲第１項の光学走査顕微鏡。
3. （３）レーザから成る平行光の入力ビームを供給する手
   段を具備した特許請求の範囲第１項の光学走査顕微鏡。
4. （４）前記集束手段が、平行光の入力ビームを非回折ビ
   ームと回折ビームから成る前記２つの出力ビームへ分割
   する回折格子で構成された特許請求の範囲第１項記載の
   光学走査顕微鏡。
5. （５）前記入力ビームが所定の周波数ｗ＿ｏを持ち、前
   記走査手段が出力ビームの１つの周波数をｗ＿ｏ＋ｗ＿
   ６の周波数（ｗ＿６は走査手段の音響出力周波数）へ変
   更する周波数シフト手段から成る特許請求の範囲第４項
   記載の光学走査顕微鏡。
6. （６）前記収束手段がブラッグセルから成り、前記走査
   手段が周波数ｗ＿６の音響波をブラッグセルに供給する
   手段を具備した特許請求の範囲第５項記載の光学走査顕
   微鏡。
7. （７）前記ブラッグセルとサンプルの間に、出力ビーム
   をサンプルへ集束させる顕微鏡の対物レンズを備えた特
   許請求の範囲第６項記載の光学走査顕微鏡。
8. （８）前記比較手段が、前記反射波を受取る光検出器手
   段と、該光検出器の出力に接続され、サンプル上の固定
   スポットである標準に対する走査ビームの位相シフトを
   求める手段とから成る特許請求の範囲第１項記載の光学
   走査顕微鏡。
9. （９）前記反射ビームが集束手段へ戻り、ビームの走査
   中反射ビームを光検出器上に集束させる手段を具備した
   特許請求の範囲第８項記載の光学走査顕微鏡。
10. （１０）前記反射ビームを光検出器へ集束させるための
    ピンホール開口を与える手段を具備した特許請求の範囲
    第９項記載の光学走査顕微鏡。
11. （１１）第１及び第２入力ビームを集束手段に供給する
    手段を更に備え、集束手段が両入力ビームに応答して４
    つの出力ビームを対象サンプル上に集束させる特許請求
    の範囲第１項記載の光学走査顕微鏡。
12. （１２）第２入力ビームをブラッグセルへ供給する手段
    を更に備え、ブラッグセルが第２入力ビームに応答して
    ２つの追加光ビームをサンプル上に集束させる特許請求
    の範囲第３項記載の光学走査顕微鏡。
13. （１３）前記第１及び第２入力ビームが前記出力ビーム
    のうち一方の走査方向に直角な面内に位置する特許請求
    の範囲第１２項記載の光学走査顕微鏡。
14. （１４）前記２つの追加ビームを対象のサンプル領域よ
    り大きいサイズへ拡大する手段を更に備えた特許請求の
    範囲第１３項記載の光学走査顕微鏡。
15. （１５）前記第１の情報担持ビームの反射を前記第２の
    標準ビームと比較する手段を備えた特許請求の範囲第１
    ４項記載の光学走査顕微鏡。
16. （１６）前記第１の偏向信号ビームを前記標準信号ビー
    ムと比較し、偏向信号の位相シフトを求める手段を備え
    た特許請求の範囲第１５項記載の光学走査顕微鏡。
17. （１７）前記反射標準信号ビームをもっと高い中間信号
    周波数と混合する手段； 上記混合信号を前記第１偏向信号ビームと合流させる手
    段；及び 上記合流手段に応答して位相情報を生じる前記比較手段
    ；を具備した特許請求の範囲第１６項記載の光学走査顕
    微鏡。
18. （１８）前記比較手段が更に、前記合流手段に応答して
    前記走査信号の振巾変化を示す信号を生じる手段を備え
    た特許請求の範囲第１７項記載の光学走査顕微鏡。