JPS63261135A - 気流可視化装置 - Google Patents
気流可視化装置Info
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- JPS63261135A JPS63261135A JP62094311A JP9431187A JPS63261135A JP S63261135 A JPS63261135 A JP S63261135A JP 62094311 A JP62094311 A JP 62094311A JP 9431187 A JP9431187 A JP 9431187A JP S63261135 A JPS63261135 A JP S63261135A
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Landscapes
- Aerodynamic Tests, Hydrodynamic Tests, Wind Tunnels, And Water Tanks (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、目に見えない気体の流れを可視化する装置、
特に工業用クリーンルーム内の気流を把握するための、
特に清浄な霧を発生させその霧を利用して気体の流れを
可視化する装置、に関するものである。
特に工業用クリーンルーム内の気流を把握するための、
特に清浄な霧を発生させその霧を利用して気体の流れを
可視化する装置、に関するものである。
従来気体の流れを可視化する装置として。
■ 蚊取シ線香の煙を利用する装置。
■ 四塩化チタンその他の化学薬品の化学反応により発
生する煙を利用する装置。
生する煙を利用する装置。
■ オイルの加熱ＬＤ１発生るオイルミストを利用する
装置。
装置。
■ 超音波加湿機と同様に純水を使って純水ミストを発
生させる装置。
生させる装置。
などが使用されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来の装置のうち、蚊取シ線香や、化学薬品の反応
による煙を利用するものや、オイルミストを利用するも
のは、工業用クリーンルームなどに送り込まれている清
浄空気の流れを可視化しようとすると、清浄空気自体が
汚れるばかシでなく、クリーンルームや、クリーンルー
ムに設置されている機械、装置及びそれらによって清浄
度を要求される製品が製造される工程を汚染させ、それ
らの使用を不可能にし９％に化学薬品の反応による煙を
利用する場合は、毒性があって危険であるなどの問題点
かあシ、純水ミストを発生させるものは、ミストの発生
量が少なく、多量にミストを発生させようとすると、液
滴となって床面や作業台などに落下するし９発生したミ
ストは、気流中へ送り出されると、すぐに消えて見えな
くなシ。
による煙を利用するものや、オイルミストを利用するも
のは、工業用クリーンルームなどに送り込まれている清
浄空気の流れを可視化しようとすると、清浄空気自体が
汚れるばかシでなく、クリーンルームや、クリーンルー
ムに設置されている機械、装置及びそれらによって清浄
度を要求される製品が製造される工程を汚染させ、それ
らの使用を不可能にし９％に化学薬品の反応による煙を
利用する場合は、毒性があって危険であるなどの問題点
かあシ、純水ミストを発生させるものは、ミストの発生
量が少なく、多量にミストを発生させようとすると、液
滴となって床面や作業台などに落下するし９発生したミ
ストは、気流中へ送り出されると、すぐに消えて見えな
くなシ。
遠方まで気流を可視化できないばかシでなく１重力の影
響を受けて徐々に下方へ流れ、気流から分離しやすく、
気流を正確に可視化できないなどの問題点があった。
響を受けて徐々に下方へ流れ、気流から分離しやすく、
気流を正確に可視化できないなどの問題点があった。
本発明は、蒸気発生装置で発生させた清浄な蒸気を液体
窒素、液体酸素、液化炭酸ガス、その他の冷媒のいずれ
かを入れである断熱槽へ送り込んで急激に冷起してから
、可視化しようとする気流中へ送り出すように構成する
ことにより、上記従来の問題点を解消しうる気流可視化
装置を提供しようとするものである。
窒素、液体酸素、液化炭酸ガス、その他の冷媒のいずれ
かを入れである断熱槽へ送り込んで急激に冷起してから
、可視化しようとする気流中へ送り出すように構成する
ことにより、上記従来の問題点を解消しうる気流可視化
装置を提供しようとするものである。
以下図面にもとすいて本発明の詳細な説明すると、（１
）は蒸気発生装置で、タンク（２）に水（３）を供給す
る給水パイプ（４）と、水（３）を加熱するヒーター（
５）と、水（３）の水位をはかる水位計（６）と、蒸気
吐出パイプ（７）とを設けてなる。（８）は冷媒の一例
である液体窒素（９）を入れた断熱槽で、液体窒素（９
）の液面αＯから一定の間隔りをおいて支持される入口
パイプ０（１）と、断熱槽（８）内で冷却された蒸気を
排出する出ロパイプａ埠を設けてなる。α■は蒸気発生
装置（１）から断熱槽（８）へ蒸気を送り込むパイプで
、一方の端部を蒸気吐出パイプ（７）に連結し、他方の
端部を入口パイプ０Ｄに連結しである。α→はパイプα
埠に取付けたヒーター、αつは液面αＱを検出する液面
コントローラ、α６は液面類と入口パイプ（ロ）との間
隔りが一定に保たれるように制御する制御機構で、液面
コントローラ（ハ）の検出信号によ多動作する。αηは
蒸気発生装置（１）に設けた圧力スイッチで、タンク（
２）内の蒸気の圧力の変化を検出して、ヒーター（５）
に通電するスイッチのＯＮ、ＯＦＦを制御する。（財）
は出口パイプ（２）に設けた温度コントローラ、Ｑ窃は
出口パイプ（２）に連結し、かつ気流中へ霧を放出する
霧放出パイプである。
）は蒸気発生装置で、タンク（２）に水（３）を供給す
る給水パイプ（４）と、水（３）を加熱するヒーター（
５）と、水（３）の水位をはかる水位計（６）と、蒸気
吐出パイプ（７）とを設けてなる。（８）は冷媒の一例
である液体窒素（９）を入れた断熱槽で、液体窒素（９
）の液面αＯから一定の間隔りをおいて支持される入口
パイプ０（１）と、断熱槽（８）内で冷却された蒸気を
排出する出ロパイプａ埠を設けてなる。α■は蒸気発生
装置（１）から断熱槽（８）へ蒸気を送り込むパイプで
、一方の端部を蒸気吐出パイプ（７）に連結し、他方の
端部を入口パイプ０Ｄに連結しである。α→はパイプα
埠に取付けたヒーター、αつは液面αＱを検出する液面
コントローラ、α６は液面類と入口パイプ（ロ）との間
隔りが一定に保たれるように制御する制御機構で、液面
コントローラ（ハ）の検出信号によ多動作する。αηは
蒸気発生装置（１）に設けた圧力スイッチで、タンク（
２）内の蒸気の圧力の変化を検出して、ヒーター（５）
に通電するスイッチのＯＮ、ＯＦＦを制御する。（財）
は出口パイプ（２）に設けた温度コントローラ、Ｑ窃は
出口パイプ（２）に連結し、かつ気流中へ霧を放出する
霧放出パイプである。
給水パイプ（４）でタンク（２）へ水（３）を供給し、
その水（３）をヒーター（５）で加熱して蒸気を発生さ
せる。
その水（３）をヒーター（５）で加熱して蒸気を発生さ
せる。
発生した蒸気は、蒸気吐出パイプ（７）、パイプ（２）
及び入口パイプ（ロ）を通って断熱槽（８）へ送り込ま
れる。送り込まれた蒸気は、液体窒素（９）により急激
に冷却されてから、出口パイプ（ハ）及び霧放出パイプ
Ｑ優を通って気流中にその気流の温度よシも若干高い温
度の動輪となって放出される。この動輪は可視状態の持
続時間が長く、シかも気流への乗りが良好である。
及び入口パイプ（ロ）を通って断熱槽（８）へ送り込ま
れる。送り込まれた蒸気は、液体窒素（９）により急激
に冷却されてから、出口パイプ（ハ）及び霧放出パイプ
Ｑ優を通って気流中にその気流の温度よシも若干高い温
度の動輪となって放出される。この動輪は可視状態の持
続時間が長く、シかも気流への乗りが良好である。
上記のようにして動輪を気流中へ放出させている間に、
液体窒素（９）が徐々に気化してその液面αＯが降下し
ていくが、その降下を液面コントローラ（ハ）が検出し
、その検出信号により制御機構（ト）が動作して、液面
αＱと入口パイプ０］）の間隔りが一定に保たれるよう
に制御するし、タンク（２）内の蒸気圧が所定の圧力よ
シも大きくなると、圧力スイッチａカがそれを検出して
、ヒーター（５）への通電を止めるように制御し、蒸気
の発生を定量にコントロールする。ヒーターαくはパイ
プ０３を加熱して、パイプ内を通過する蒸気が温度低下
により水に戻るのを防ぐ作用をする。
液体窒素（９）が徐々に気化してその液面αＯが降下し
ていくが、その降下を液面コントローラ（ハ）が検出し
、その検出信号により制御機構（ト）が動作して、液面
αＱと入口パイプ０］）の間隔りが一定に保たれるよう
に制御するし、タンク（２）内の蒸気圧が所定の圧力よ
シも大きくなると、圧力スイッチａカがそれを検出して
、ヒーター（５）への通電を止めるように制御し、蒸気
の発生を定量にコントロールする。ヒーターαくはパイ
プ０３を加熱して、パイプ内を通過する蒸気が温度低下
により水に戻るのを防ぐ作用をする。
タンク（２）には、ドレンパルプＱυと、過剰な蒸気を
逃がすリリーフパルプ（イ）と、タンク（２）の空焚き
を防止するため、水（３）の量が少量になるとヒーター
（５）への通電を止めるフロートスイッチ（イ）とを設
ける。給水パイプ（４）には、給水パルプ（ハ）を設け
る。蒸気吐出パイプ（７）には、蒸気の流量を調整した
り、蒸気の供給を止めたりするコントロールパルプ（イ
）を設ける。出口パイプ（２）には、保温材あるいはヒ
ーターを取付けて、動輪が気流の温度に対して適尚な温
度で放出されるように制御することもある。温度コント
ローラ（至）は、出口パイプ（６）を通過する冷却蒸気
の温度の変化に対して霧（ホ）がどのような流れ方をす
るかを調べるのに使用するほか、断熱槽（８）内の液体
窒素が空になって槽内の温度が上昇する場合には、ヒー
ター（５）への通電を止めたわ、コントロールパルプ（
ハ）を閉じたシする制御に使用することもある。制御機
構（ト）は、第１図示のように液面００が降下するにつ
れて断熱槽（８）が上昇するようにモーター（イ）で駆
動する構成のものを採用することもあシ、第２図示のよ
うに液面ａＯが降下するにつれて入口パイプ（２）が降
下するようにモーター（ホ）で駆動する構成のものを採
用することもあシ、入ロパイプαηを制御機構ａ・の代
わシに手動で制御することもある。蒸気発生装置（１）
及び断熱槽（８）は、キャスタ（イ）を取付けた台車に
）に設置して、自由に移動できるようにしてもよく、特
定の場所などに据え付けるようにしてもよい。
逃がすリリーフパルプ（イ）と、タンク（２）の空焚き
を防止するため、水（３）の量が少量になるとヒーター
（５）への通電を止めるフロートスイッチ（イ）とを設
ける。給水パイプ（４）には、給水パルプ（ハ）を設け
る。蒸気吐出パイプ（７）には、蒸気の流量を調整した
り、蒸気の供給を止めたりするコントロールパルプ（イ
）を設ける。出口パイプ（２）には、保温材あるいはヒ
ーターを取付けて、動輪が気流の温度に対して適尚な温
度で放出されるように制御することもある。温度コント
ローラ（至）は、出口パイプ（６）を通過する冷却蒸気
の温度の変化に対して霧（ホ）がどのような流れ方をす
るかを調べるのに使用するほか、断熱槽（８）内の液体
窒素が空になって槽内の温度が上昇する場合には、ヒー
ター（５）への通電を止めたわ、コントロールパルプ（
ハ）を閉じたシする制御に使用することもある。制御機
構（ト）は、第１図示のように液面００が降下するにつ
れて断熱槽（８）が上昇するようにモーター（イ）で駆
動する構成のものを採用することもあシ、第２図示のよ
うに液面ａＯが降下するにつれて入口パイプ（２）が降
下するようにモーター（ホ）で駆動する構成のものを採
用することもあシ、入ロパイプαηを制御機構ａ・の代
わシに手動で制御することもある。蒸気発生装置（１）
及び断熱槽（８）は、キャスタ（イ）を取付けた台車に
）に設置して、自由に移動できるようにしてもよく、特
定の場所などに据え付けるようにしてもよい。
本発明は斜上のように構成したから。
■ 発生させた蒸気を冷媒で冷却しない場合は。
霧の可視量は蒸気発生量の一部であるが９本発明は９発
生させた蒸気を冷媒で急激に冷却するため、霧の可視量
を蒸気発生量の１００％近くまで増大させることができ
る。
生させた蒸気を冷媒で急激に冷却するため、霧の可視量
を蒸気発生量の１００％近くまで増大させることができ
る。
■ 霧の放出温度を気流に対して適温に調整することに
よね、気流中での浮遊時間を長く保つことが可能となり
、霧は気流の影響によってのみ運動するので、気流の状
態を遠方まで正確に可視化することができる。
よね、気流中での浮遊時間を長く保つことが可能となり
、霧は気流の影響によってのみ運動するので、気流の状
態を遠方まで正確に可視化することができる。
■ 清浄、無毒、安全な霧を簡易に、しかも液滴を生ず
ることなく、大量に発生させることができる。
ることなく、大量に発生させることができる。
■ 工業用クリーンルームなどで清浄空気がどのように
流れているかを把握する場合、クリーンルームはもちろ
ん、クリーンルーム内に設置され、あるいは設置しよう
としている機械、装置や、それらによる製造工程などに
汚染などの悪影響を与えなくて済む。
流れているかを把握する場合、クリーンルームはもちろ
ん、クリーンルーム内に設置され、あるいは設置しよう
としている機械、装置や、それらによる製造工程などに
汚染などの悪影響を与えなくて済む。
■ 機械、装置などの運転中や５作業者などの作業中に
気体の流れを把握することが可能になる。
気体の流れを把握することが可能になる。
■ 超清浄空間における清浄空気の流れを把握するため
の装置や、工業用クリーンルームその他気流のある空間
において機拡、装置などの設置位置やレイアウトを検討
するだめの装置として使える。
の装置や、工業用クリーンルームその他気流のある空間
において機拡、装置などの設置位置やレイアウトを検討
するだめの装置として使える。
■ 装置の運転中における安全性を確保できる。
などの諸効果を奏する。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は本発明に
係る気流可視化装置の構成を概略的に示す図、第２図は
同構成の一部の変更例を概略的に示す図である。 （１）・・・蒸気発生装置、（２）・・・タンク、（５
）・・・ヒーター。 （６）・・・水位計、（８）・・・断熱槽、（９）・・
・冷媒、 （１，０・・・液面。 αわ・・・入口パイプ、＠・・・出口パイプ、０→、パ
イプ。 ０４）・・・ヒーター、０■・・・液面コントローラ、
（至）・・・制御機構、α力・・・圧力スイッチ、０ね
・・・温度コントローラ特許出願人 ミドリ安全工業
株式会社代１人弁よ士 宮 崎 −＆
係る気流可視化装置の構成を概略的に示す図、第２図は
同構成の一部の変更例を概略的に示す図である。 （１）・・・蒸気発生装置、（２）・・・タンク、（５
）・・・ヒーター。 （６）・・・水位計、（８）・・・断熱槽、（９）・・
・冷媒、 （１，０・・・液面。 αわ・・・入口パイプ、＠・・・出口パイプ、０→、パ
イプ。 ０４）・・・ヒーター、０■・・・液面コントローラ、
（至）・・・制御機構、α力・・・圧力スイッチ、０ね
・・・温度コントローラ特許出願人 ミドリ安全工業
株式会社代１人弁よ士 宮 崎 −＆
Claims (8)
- （１）蒸気発生装置と、液体窒素その他の冷媒を入れる
断熱槽とを、蒸気発生装置から断熱槽へ蒸気を送り込む
パイプで連結し、断熱槽には、冷媒で冷却された蒸気を
排出する出口パイプを設けてなる気流可視化装置。 - （２）断熱槽に、その内部に入れられた液体窒素などの
液面から一定の間隔をおいて支持される入口パイプを設
け、その入口パイプに蒸気を送り込むパイプが連結され
ている特許請求の範囲第１項記載の気流可視化装置。 - （３）入口パイプに、断熱槽に入れられた液体窒素など
の液面を検出する液面コントローラにより液面の変位と
ともに入口パイプを液面から一定の間隔を保ちつつ移動
させる制御機構が設けられている特許請求の範囲第２項
記載の気流可視化装置。 - （４）断熱槽に、断熱槽に入れられた液体窒素などの液
面を検出する液面コントローラにより液面の変位ととも
に入口パイプが液面から一定の間隔を保つように断熱槽
を移動させる制御機構が設けられている特許請求の範囲
第２項記載の気流可視化装置。 - （５）蒸気を断熱槽に送り込むパイプに加熱装置が設け
られている特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
か１項記載の気流可視化装置。 - （６）蒸気発生装置に、蒸気の圧力の変化を検出してヒ
ーターなどの加熱装置の動作を制御する圧力スイッチが
設けられている特許請求の範囲第１項ないし第５項のい
ずれか１項記載の気流可視化装置。 - （７）蒸気発生装置を構成するタンクに、タンク内の水
位をはかる水位計が設けられている特許請求の範囲第１
項ないし第６項のいずれか１項記載の気流可視化装置。 - （８）断熱槽の蒸気排出口に、排出蒸気の温度を検出す
る温度コントローラが設けられている特許請求の範囲第
１項ないし第７項のいずれか１項記載の気流可視化装置
。
Priority Applications (14)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094311A JPH0648228B2 (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | 気流可視化装置 |
| GB8805709A GB2203555B (en) | 1987-04-18 | 1988-03-10 | Air flow visualizing device |
| EP88902919A EP0313660B1 (en) | 1987-04-18 | 1988-03-23 | Air stream visualization apparatus |
| BR888806901A BR8806901A (pt) | 1987-04-18 | 1988-03-23 | Aparelho de visualizacao de uma corrente de ar |
| PCT/JP1988/000300 WO1988008125A1 (en) | 1987-04-18 | 1988-03-23 | Air stream visualization apparatus |
| CH4768/88A CH675483A5 (ja) | 1987-04-18 | 1988-03-23 | |
| AU14905/88A AU605279B2 (en) | 1987-04-18 | 1988-03-23 | Air stream visualization apparatus |
| CN88101631A CN1022707C (zh) | 1987-04-18 | 1988-03-24 | 气流的目测装置 |
| CA000562802A CA1337713C (en) | 1987-04-18 | 1988-03-29 | Air flow visualizing device |
| US07/180,366 US4829773A (en) | 1987-04-18 | 1988-04-11 | Air flow visualizing device |
| FR8804821A FR2614102B1 (fr) | 1987-04-18 | 1988-04-12 | Dispositif de visualisation d'un ecoulement d'air |
| KR1019880004318A KR970001972B1 (ko) | 1987-04-18 | 1988-04-15 | 기류(air flow)의 가시화장치(可視化裝置) |
| DE3812848A DE3812848A1 (de) | 1987-04-18 | 1988-04-18 | Vorrichtung zum sichtbarmachen von luftstroemen |
| DK684988A DK170565B1 (da) | 1987-04-18 | 1988-12-08 | Apparat til at synliggøre en luftstrøm |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094311A JPH0648228B2 (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | 気流可視化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63261135A true JPS63261135A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0648228B2 JPH0648228B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=14106732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62094311A Expired - Fee Related JPH0648228B2 (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | 気流可視化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648228B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109232U (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-31 | ||
| JPH06186130A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-07-08 | Chinkaku Higashijima | 煙発生器 |
| CN102798558A (zh) * | 2012-08-06 | 2012-11-28 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 一种汞标准气发生装置 |
| EP3388762A4 (en) * | 2015-12-10 | 2019-07-17 | JCR Pharmaceuticals Co., Ltd. | MOBILE LOW TEMPERATURE WORK TABLE |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6259829A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-16 | Honda Kogyo Kk | 実験用風洞の風流可視化方法 |
-
1987
- 1987-04-18 JP JP62094311A patent/JPH0648228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
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| JPS6259829A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-16 | Honda Kogyo Kk | 実験用風洞の風流可視化方法 |
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Also Published As
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|---|---|
| JPH0648228B2 (ja) | 1994-06-22 |
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