JPS63260690A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

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Publication number
JPS63260690A
JPS63260690A JP62096682A JP9668287A JPS63260690A JP S63260690 A JPS63260690 A JP S63260690A JP 62096682 A JP62096682 A JP 62096682A JP 9668287 A JP9668287 A JP 9668287A JP S63260690 A JPS63260690 A JP S63260690A
Authority
JP
Japan
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signal
laser
detector
excitation intensity
frequency
Prior art date
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Pending
Application number
JP62096682A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadanobu Iwasaki
岩崎 唯信
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63260690A publication Critical patent/JPS63260690A/en
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify the running operation of the titled laser beam machine by providing a detector for a sound generated at the time of heat working and arranging a Q switch frequency detector and an excitation intensity detector to detect the abnormality via a binary signal of a signal level comparator. CONSTITUTION:The sound detector 9 to detect the sound 10 generated at the time of performing the laser beam machining on a work 7 is provided and the Q switch frequency detector 11 and the excitation intensity detector 13 are set up on a laser beam oscillator 1. A sound signal 9a of the detector 9 and a frequency signal 11a of the detector 11 are inputted to a band pass filter 12 and its output signal is compared with an excitation intensity signal 13a by the signal level comparator 14 and inputted to a gate circuit as the binary signal 14a. By this method, a laser machining state is always monitored based on the sound signal 9a and the abnormality of the laser beam machining is automatically detected by the binary signal 14a. Accordingly, the running operation of the laser beam oscillator 1 is simplified.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、Qスイッチ?備えたレーザー発撮゛装置によ
つ1熱加工を行うようにしたレーザー加工装置1%に熱
加工時の異常状態な自動的に検出することができて、こ
の結果運転操洋が簡単になる装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] Is the present invention a Q-switch? It is possible to automatically detect abnormal conditions during thermal processing in the laser processing equipment 1%, which performs thermal processing using the equipped laser emission device, which simplifies operation and operation. Regarding equipment.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般にレーザー光による溶接、切断、マーキングなどの
熱加工は、Qスイッチを用いエレーザー発振器から尖頭
出力の大きい巨大パルスレーザ−を出射させて行われ℃
おり、このような熱加工を行う装置1工、レーザー光の
有する多くの利点の故に、従来上述の熱加工を自動的か
つ高速度で行うように構成されている。このため、この
ようなレーザー加工装置においては、レーザー発振器か
ら出射されるレーザー光のエネルギーが小さくなったり
、あるいは該レーザー発振器からのレーザー元の出射が
停止したりf石ような異常が発生した場合、できるだけ
早(この異常状態を検出して適切な対策を講じろ必要が
ある。
Generally, thermal processing such as welding, cutting, and marking using laser light is performed by emitting a gigantic pulse laser with a high peak output from an elaser oscillator using a Q switch.
Due to the many advantages of laser light, apparatuses for performing such thermal processing have conventionally been configured to perform the above-mentioned thermal processing automatically and at high speed. For this reason, in such laser processing equipment, if the energy of the laser beam emitted from the laser oscillator becomes small, or the laser source from the laser oscillator stops emitting, or an abnormality such as a stone occurs, , it is necessary to detect this abnormal condition as soon as possible and take appropriate measures.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上述したように、レーザー加工装置(おいては出射され
るレーザー光の状態を常時監視して異常の有無の羅認を
する必要があるが、従来のレーザー加工装置VCはこの
異常を検出でる自動機構が設けられていないので、この
ようなレーザー加工装置で加工を行う際には運転者が目
視によって加工状態を連続し1監視する必要がある。こ
のため従来のレーザー加工装置VCは運転操作O″−−
不便るという問題点があることになる。
As mentioned above, it is necessary to constantly monitor the status of the emitted laser beam and confirm the presence or absence of abnormalities in laser processing equipment (VC), but conventional laser processing equipment VC has an automatic system that can detect this abnormality. Since no mechanism is provided, when processing with such a laser processing device, the operator must continuously monitor the processing status visually.For this reason, the conventional laser processing device VC requires only one operating operation. ″−−
This poses a problem of inconvenience.

本発明の目的は、運転者の目視による加工状態の監視を
不要にし1.レーザー加工装置々の運転操作を墳)単に
することにある。
An object of the present invention is to eliminate the need for the operator to visually monitor the machining state; 1. The purpose is simply to operate the laser processing equipment.

〔問題点を解決するための手段〕 上記間瞳点を解決イろために1本発明によれば、Qスイ
ッチによりレーサー発掘器からレーザーパルスを出射さ
せ″C,該レーザーパルスにより被加工物に対する熱加
工を行うものにおいて、@足熱加工の際に前記被加工物
において発生する音響を検出し℃この検出結果に応じた
音響信号を出力する音響検出器と、前記Qスイッチのス
イッチ動作の周波数を検出し工この検出結果に応じた周
波数信号な出力するQスイッチ周波数検出器と、前記音
響信号と前記周波数信号とが入力され前記音響信号に含
まれる前記周波数信号に応じた周波数帯域の信号成分を
通過させるバンドパスフィルタと、前記レーザー発振器
のレーザー媒質を励起する励起強度を検出してこの検出
結果に応じた励起強度信号を出力する励起強度検出器と
、前記バンドパスフィルタの出力信号と前記励起強度信
号とが入力され肉入力信号のレベルを比較しtこの比較
結果に応じた二値信号を出力する信号レベル比較器とを
備え%前記二値句号により前記熱加工の異常を検出fろ
ようにするものとする。
[Means for solving the problem] In order to solve the above-mentioned interpupil point, according to the present invention, a laser pulse is emitted from the racer excavator by a Q switch, and the laser pulse is used to strike the workpiece. In a device that performs thermal processing, there is an acoustic detector that detects the sound generated in the workpiece during heat processing and outputs an acoustic signal according to the detection result, and a switch operation frequency of the Q switch. a Q-switch frequency detector that detects and outputs a frequency signal according to the detection result of the machine; and a signal component of a frequency band according to the frequency signal included in the acoustic signal, into which the acoustic signal and the frequency signal are input. an excitation intensity detector that detects the excitation intensity that excites the laser medium of the laser oscillator and outputs an excitation intensity signal according to the detection result; and a signal level comparator that receives an excitation intensity signal, compares the level of the meat input signal, and outputs a binary signal according to the comparison result. shall do so.

〔作用〕[Effect]

上記のように構成すると、レーザー加工の状態が音響検
出器によつ℃常時監視され、前記レーサー加工に異常が
発生すると信号レベル比較器から出力される二値信号が
前記異常に応じた値(なる。
With the above configuration, the state of laser processing is constantly monitored by the acoustic detector in degrees Celsius, and when an abnormality occurs in the laser processing, the binary signal output from the signal level comparator is set to a value corresponding to the abnormality ( Become.

故に、この二値信号を自動表示するようにしておけば、
レーザー加工の際の、運転者の目視による加工状態の連
続監視が不要になつ″C,レーザー加工装置の運転操作
が簡単になる。
Therefore, if this binary signal is automatically displayed,
During laser processing, there is no need for the operator to continuously monitor the processing status visually.C. The operation of the laser processing device becomes easier.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の一実施例の構成図である。図において
、lはレーザー発援を行うレーザー光の光路を開閉して
レーザー発掘の起動、停止を行わせろようにした機械シ
ャラダ2と、Qスイッチ3と、レーザー媒質励起装置4
とを備えたレーザー発振器、5は発振器lから出射され
るレーザーパルス6を被加工物7に集光する集光レンズ
で、8は被加工物7を搬送する搬送機である。9は、レ
ーザーパルス6によって被加工物7に対する熱加工が行
われる際に該被加工物の溶@1蒸発によつ℃ここで発生
する音響10を検出し℃、この検出結果に応じた音響信
号9aを出力する音響検出器で、この検出器9は検出部
91と増幅部92とで構成され工いろ。Xtt工、Qス
イッチ3馨構成する該スイッチの図示し毛いない駆動部
につい1スイツチ3の動作の周波数Fを検出して、この
検出結果に応じた周波数信号11aを出力するQスイッ
チ周波数検出器、12は音響信号9aが入力され1出力
信号12a’に出力fろバンドパスフィルタで、このフ
ィルタは入力さjろ周波数信号118に応じて音響信号
9aの通過周波数帯域を変化させろように形成されてい
る。つまり、フィルタ12は信号9aとllaとが入力
され信号9aVc含まれる信号11aに応じた周波数帯
域の信号成分を通過させるものである。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. In the figure, l denotes a mechanical sharada 2, a Q switch 3, and a laser medium excitation device 4, which opens and closes the optical path of the laser beam that provides laser support to start and stop laser excavation.
5 is a condensing lens that focuses the laser pulse 6 emitted from the oscillator 1 onto the workpiece 7, and 8 is a conveyor that transports the workpiece 7. 9 detects the sound 10 generated at °C due to the melting of the workpiece 7 when the workpiece 7 is thermally processed by the laser pulse 6; This is an acoustic detector that outputs a signal 9a, and this detector 9 is composed of a detection section 91 and an amplification section 92. A Q-switch frequency detector detects the frequency F of the operation of one switch 3 for each of the illustrated driving parts of the switch that constitutes the Q-switch 3, and outputs a frequency signal 11a according to the detection result; Reference numeral 12 denotes a bandpass filter to which the acoustic signal 9a is input and which outputs an output signal 12a'. There is. That is, the filter 12 receives the signals 9a and lla and passes signal components in a frequency band corresponding to the signal 11a, which is included in the signal 9aVc.

13はレーザー媒質励起装置4VCつい℃レーザ二発振
器lのレーザー媒質を励起する励起強度を検出し工この
検出結果に応じた励起強度信号13aを出力する励起強
度検出器で、この検出器13は、たとえば1発振器lの
レーザー媒質がNd:YAGロッドである場合に、該ロ
ッドな光励起−「るレーザー媒質励起装置4とし工の7
ラツシユランプに加える電力P15を検出する検出器で
ある。そラしてこの検出器131工、たとえば、励起装
置4に加えろ電力Pに比例したレベルvpを有する励起
強度信号13aを出力するように構成されている。14
はフィルタ12の出力信号12aと励起強度信号13a
とが入力され、信号12aのレベルが信号13aのレベ
ルVp以上になるとHレベルとなろ二値信号14aY出
力する信号レベル比較器で、信号148は制御信号16
aが入力されていないと信号14aの通過を阻止し、制
御信号16aが入力され工いると信号14aの通過を許
可するゲート回路15に入力されている。制御信号te
aは制#部16が出力する信号で、この信号t6aは機
械シャッタ2と搬送機8とに入力され、シャッタ2)子
信号16aが入力されろと発振器IKレーザー発振を開
始させるようになっている。また搬送機8は、信号16
aが入力されろと。
Reference numeral 13 denotes an excitation intensity detector which detects the excitation intensity for exciting the laser medium of the laser medium excitation device 4VC and the two laser oscillators l, and outputs an excitation intensity signal 13a according to the detection result of the device. For example, when the laser medium of one oscillator is a Nd:YAG rod, the laser medium excitation device 4 and the construction 7
This is a detector that detects the electric power P15 applied to the lash lamp. The detector 131 is then configured to output an excitation intensity signal 13a having a level vp proportional to the electric power P added to the excitation device 4, for example. 14
are the output signal 12a of the filter 12 and the excitation intensity signal 13a
is input, and when the level of the signal 12a exceeds the level Vp of the signal 13a, it becomes H level and outputs a binary signal 14aY, and the signal 148 is the control signal 16.
It is input to a gate circuit 15 which blocks the passage of the signal 14a when the signal a is not inputted, and allows the passage of the signal 14a when the control signal 16a is inputted. control signal te
a is a signal output by the control unit 16, and this signal t6a is input to the mechanical shutter 2 and the carrier 8, and when the shutter 2) child signal 16a is input, the oscillator IK laser oscillation is started. There is. Further, the conveyor 8 receives the signal 16.
A should be entered.

被加工物7を所定位置に搬送して停止させるように構成
されている。第1図におい℃は、このレーザー加工装置
九電源を投入すると、レーザー媒質励起装[4が起動し
て図示していないレーザー媒質を予め定められた励起強
度で連続励起し、引き続イてQスイッチ3が前述したあ
動部によって予め定められた周波数Fでスイッチ動作を
するように構成されているが、この時制御部16はまだ
制御信号tt’saを出力し1いないので、レーザー発
振器1にレーザーパルス6を出射しない状態にある。
It is configured to transport the workpiece 7 to a predetermined position and stop it. In Fig. 1, when the power source of this laser processing equipment is turned on, the laser medium excitation device [4] starts and continuously excites the laser medium (not shown) with a predetermined excitation intensity, and then The switch 3 is configured to perform a switching operation at a predetermined frequency F by the above-mentioned actuating section, but at this time, the control section 16 has not yet outputted the control signal tt'sa, so the laser oscillator 1 The state is such that the laser pulse 6 is not emitted.

第1図においCは各部が上述のように構成さね工いるの
で、制#部16から制御信号!fiaを出力させろと、
まず搬送機8が被加工物7を所定の加工位置VC搬送し
、やがてシャッタ2がレーザー光の光路を開くのでレー
ザー発振器lからレーザーパルス6が出射され℃被加工
物7に対する熱加工が行わねろ。そうして、この時、ゲ
ート回路15は1回路を開いた状態になつ工いろ。そう
して、レーザーパルス6によって熱加工が行われろ際に
被加工物7から出る音響10t−L、Qスイッチ3のス
イッチ動作周波tj、Fに等しい繰り返し周波数に持っ
ており、レーザーパルス6の強さに応じた液大音圧?持
っていることが明らかである。ところが、この場合のレ
ーザーパルス6の強さはレーザー媒質励起装置4の図示
し1いないレーザー媒質に対イろ励起強度Pic対応し
ている。したかっ′cル−ザー発振器lからレーザーパ
ルス6が正常に出射されて被加工物7に対する熱加工が
正常に行われた場合に得られろ音響信号9aは1周波数
Fの信号成分を持っており、かつ該信号9aの最高レベ
ルは上記した励起強度Pvc対応したレベルVp以上の
レベルくなり℃いる。ところで、前述したよう虻、第1
図においては、フィルタ12vc周波になるようにフィ
ルタ12が構成されている。したがクエフィルタ12か
ら出力される信号121は、入力信号9aK雑音が含ま
れていても、レーザーパルス6が発振器1から確かに出
射され℃いろという事実を表す特有の信号波形を示すこ
とになる。そうし工、パルス6による熱加工が正常に行
われている場合VCは、前述したように、出力信号12
aの最高レベルにvp以上のレベルになり℃い工、この
時比較器14にはレベルVpを有する[@L3aが入力
されるから比!!2器14からはHレベルの信号14a
が出力され、この場合ゲート回路15を子信号16aに
よつ1開状態になつ工いろから該ゲート回路の出力信号
15at”!Hレベルとなる。
In FIG. 1, since each part of C in FIG. Let's output fia,
First, the conveyor 8 transports the workpiece 7 to a predetermined processing position VC, and then the shutter 2 opens the optical path of the laser beam, so the laser pulse 6 is emitted from the laser oscillator l and thermal processing is not performed on the workpiece 7 at ℃. . At this time, one circuit of the gate circuit 15 becomes open. Then, the sound 10t-L emitted from the workpiece 7 when thermal processing is performed by the laser pulse 6 has a repetition frequency equal to the switch operating frequency tj, F of the Q switch 3, and the intensity of the laser pulse 6 Liquid loud sound pressure depending on the situation? It is clear that you have it. However, the intensity of the laser pulse 6 in this case corresponds to the excitation intensity Pic of the laser medium (not shown) of the laser medium excitation device 4. The acoustic signal 9a obtained when the laser pulse 6 is normally emitted from the laser oscillator l and the workpiece 7 is thermally processed normally has a signal component of one frequency F. The highest level of the signal 9a is equal to or higher than the level Vp corresponding to the excitation intensity Pvc described above. By the way, as mentioned above, the first
In the figure, the filter 12 is configured to have the filter 12vc frequency. However, even if the input signal 9aK noise is included, the signal 121 output from the Que filter 12 exhibits a unique signal waveform representing the fact that the laser pulse 6 is certainly emitted from the oscillator 1 and is colored in degrees Celsius. . When the heat processing by pulse 6 is performed normally, VC outputs the output signal 12 as described above.
When the highest level of a becomes higher than vp, at this time the comparator 14 has level Vp [@L3a is input, so the ratio! ! An H level signal 14a is output from the second device 14.
In this case, since the gate circuit 15 is brought into the open state by the child signal 16a, the output signal 15at''! of the gate circuit becomes H level.

ところが、第1図において、レーザー発振器lに故障な
生じル−ザーバルス6の強度が小さくなるなどの異常が
生じた場合、音響信号9aのレベルがVpを下まわるこ
とになり、この結果信号14a* 15aがHレベルに
なる現象は生じないことになる。また第1図において発
振器1から全くパルス6が出力されなくなっても、同様
に信号14a* 158はLレベルを継続する。故にこ
のレーザー加工装置においては信号14al  15a
のレベル忙よりて加工異常の発生を自動的に知ることが
できる。そうし工このような異常検知方法によれば、フ
ィルタ12が設けられているので。
However, in FIG. 1, if an abnormality occurs in the laser oscillator l, such as a decrease in the intensity of the laser pulse 6, the level of the acoustic signal 9a will fall below Vp, and as a result, the signal 14a* This means that the phenomenon in which 15a becomes H level does not occur. Further, even if the pulse 6 is no longer output from the oscillator 1 in FIG. 1, the signal 14a* 158 similarly continues to be at the L level. Therefore, in this laser processing device, signals 14al 15a
The occurrence of machining abnormalities can be automatically detected based on the level of processing. According to this abnormality detection method, the filter 12 is provided.

音響信号9aにQスイッチ3のスイッチ動作に似たまぎ
られしい雑音が存在しても確実にレーザー加工の異常検
出が行われることになる。ゲート回路15も雑音による
異常検知の誤動作を防止するために設けらt’t″Cい
る。第1図のレーザー加工装置は上述のように動作fろ
ので、信号14nまたは信号15aY自動表示″fるよ
うにしておくことにより″C,レーザー加工の際の、運
転者の目視による加工状態の連続監視が不要になって、
このようなレーザー加工装置では運転操作が極めて蘭単
になる。
Even if there is a noise similar to the switch operation of the Q switch 3 in the acoustic signal 9a, the laser processing abnormality can be detected reliably. The gate circuit 15 is also provided to prevent malfunction of abnormality detection due to noise.The laser processing apparatus shown in FIG. 1 operates as described above, so the signal 14n or signal 15aY is automatically displayed. By keeping it in place, it becomes unnecessary for the operator to continuously monitor the machining status visually during laser machining.
Operation of such a laser processing device is extremely simple.

第1図においCは、−個の被加工物7が所定の加工場所
に置かれている間、発振器1はパルス6を出射し続け、
ケート回路15は回路開状態を継続するものとしたが1
本発明では、搬送器8vcより一個の被加工物7を所定
加工場所に搬送した後にシャッタ2とゲート回路15と
が連動して断続動作を行うようVC制御信号1fiaが
構成され℃も差し支えない。このようIC−jあと、パ
ルス6によってマーキング加工を行う際マーキングの抜
けを自動的に検出することができて好都合である。
In FIG. 1, C indicates that the oscillator 1 continues to emit pulses 6 while - number of workpieces 7 are placed at a predetermined processing location;
The gate circuit 15 was assumed to continue to be in an open state, but 1
In the present invention, the VC control signal 1fia is configured so that the shutter 2 and the gate circuit 15 interlock to perform intermittent operation after one workpiece 7 is transported from the transporter 8vc to a predetermined processing location. In this way, it is advantageous to be able to automatically detect missing markings when marking is performed using pulse 6 after IC-j.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上述したように、本発明においCは、Qスイッチにより
レーザー発振器からレーザーパルスを出射させ℃該し−
ザーパルスにより被加工物に対する熱加工を行うものに
おい″C1熱加工の際に被加工物におい℃発生する音V
を検出してこの検出結果に応じた音響信号を出力する音
響検出器と、Qスイッチのスイッチ動作の周波数を検出
してこの検出結果に応じた周波数信号?出力するQスイ
ッチ周波数検出器と、音響信号と周波数信号とが入力さ
れ音響信号に含まれる前記周波数信号に応じた周波数帯
域の信号成分を通過させろバンドパスフィルタと、レー
ザー発振器のレーザー媒質を励起する励起強度を検出し
てこの検出結果に応じた励起強度信号を出力する励起強
度検出器と、バンドパスフィルタの出力信号と励起強度
信号とが入力され肉入力信号のレベルを比較してこの比
較結果に応じた二値信号を出力する信号レベル比較器と
を備え、前記二値信号により熱加工の異常を検出するよ
うにした。
As mentioned above, in the present invention, C emits a laser pulse from a laser oscillator using a Q switch, and
Smell when heat processing is performed on the workpiece using thermal pulses "C1" Sound generated in the workpiece during heat processing in °C V
and an acoustic detector that detects the frequency of the switch operation of the Q switch and outputs an acoustic signal according to the detection result. A Q-switch frequency detector to output, a bandpass filter to which an acoustic signal and a frequency signal are input and pass signal components in a frequency band corresponding to the frequency signal included in the acoustic signal, and a laser medium of a laser oscillator to be excited. An excitation intensity detector detects the excitation intensity and outputs an excitation intensity signal according to the detection result, and the output signal of the bandpass filter and the excitation intensity signal are inputted, and the level of the meat input signal is compared and the comparison result is calculated. and a signal level comparator that outputs a binary signal according to the above, and an abnormality in thermal processing is detected using the binary signal.

このため上記のように構成すると、レーザー加工の状態
が音響検出器によって常時監視され1MJ記レーザー加
工に異常が発生すると信号レベル比較器から出力されろ
二値信号が前記異常に応じた値になる。故IC,この二
値信号を自動表示するようにしておくことにより、レー
ザー加工の際の。
Therefore, with the above configuration, the state of the laser processing is constantly monitored by the acoustic detector, and when an abnormality occurs in the 1MJ laser processing, the signal level comparator outputs a binary signal with a value corresponding to the abnormality. . By automatically displaying this binary signal on the IC, it is possible to use it during laser processing.

運転者の目視にょろリロエ状態の連続監視が不禰になり
c−M開本発明にはレーザー加工装置の運転操作が周単
になる効果がある。
The present invention has the effect of simplifying the operation and operation of the laser processing apparatus by eliminating the need for the driver to continuously monitor the sluggish state visually.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の構成図である。 1・・・・・・レーザー発娠器、3・・・・・・Qスイ
ッチ、6・・・・・・レーザーパルス、7・・・・・・
被加工物、9・・・・・・音響13a・・・・・・励起
強度信号、  14・・・・・・信号レベル比較器、1
4a・・・・・・二値信号。 箋   1  図
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. 1...Laser stimulator, 3...Q switch, 6...Laser pulse, 7...
Workpiece, 9...Acoustic 13a...Excitation intensity signal, 14...Signal level comparator, 1
4a... Binary signal. Notebook 1 Diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] Qスイッチによりレーザー発振器からレーザーパルスを
出射させて該レーザーパルスにより被加工物に対する熱
加工を行うものにおいて、前記熱加工の際に前記被加工
物において発生する音響を検出してこの検出結果に応じ
た音響信号を出力する音響検出器と、前記Qスイッチの
スイッチ動作の周波数を検出してこの検出結果に応じた
周波数信号を出力するQスイッチ周波数検出器と、前記
音響信号と前記周波数信号とが入力され前記音響信号に
含まれる前記周波数信号に応じた周波数帯域の信号成分
を通過させるバンドパスフィルタと、前記レーザー発振
器のレーザー媒質を励起する励起強度を検出してこの検
出結果に応じた励起強度信号を出力する励起強度検出器
と、前記バンドパスフィルタの出力信号と前記励起強度
信号とが入力され両入力信号のレベルを比較してこの比
較結果に応じた二値信号を出力する信号レベル比較器と
を備え、前記二値信号により前記熱加工の異常を検出す
ることを特徴とするレーザー加工装置。
In a device that emits a laser pulse from a laser oscillator using a Q switch and performs thermal processing on the workpiece using the laser pulse, detects the sound generated in the workpiece during the thermal processing and responds to the detection result. a Q-switch frequency detector that detects the frequency of switching operation of the Q-switch and outputs a frequency signal according to the detection result; a bandpass filter that passes signal components in a frequency band corresponding to the frequency signal input and included in the acoustic signal; and a bandpass filter that detects an excitation intensity for exciting a laser medium of the laser oscillator and an excitation intensity that corresponds to the detection result. an excitation intensity detector that outputs a signal; and a signal level comparison that receives the output signal of the bandpass filter and the excitation intensity signal, compares the levels of both input signals, and outputs a binary signal according to the comparison result. What is claimed is: 1. A laser processing device comprising: a device for detecting an abnormality in the thermal processing based on the binary signal.
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JP (1) JPS63260690A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07192949A (en) * 1993-12-27 1995-07-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Production of chip inductor
JPH07192950A (en) * 1993-12-27 1995-07-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Production of chip inductor
DE102014017780A1 (en) * 2014-06-07 2015-12-17 Explotech Gmbh Method for the frequency-specific monitoring of the laser machining of a workpiece with pulsed radiation and apparatus for its implementation

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