JP2790166B2 - Piercing end detection device for laser beam machine - Google Patents

Piercing end detection device for laser beam machine

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雅人 吉田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機のピアッシ
ング加工終了検出装置に関し、より詳しくは被加工物の
切断加工時に発生するパルス状信号から被加工物の加工
終了時を検出するようにしたレーザ加工機のピアッシン
グ加工終了検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for detecting the end of piercing of a laser beam machine, and more particularly to detecting the end of machining of a workpiece from a pulse signal generated at the time of cutting of the workpiece. The present invention relates to a piercing end detection device for a laser beam machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ加工機として、レーザ光線
を放射するレーザ発振器と、このレーザ発振器から放射
されたレーザ光線を被加工物に照射するフォーカスヘッ
ドと、このフォーカスヘッドと被加工物との間隔を測定
する静電容量センサと、上記フォーカスヘッドを昇降さ
せる駆動モータと、上記静電容量センサからの信号を入
力して上記駆動モータを制御するとともに、ピアッシン
グ加工時に上記レーザ発振器をパルスモードで発振させ
る制御装置とを備えたものが知られている。上記ピアッ
シング加工時にレーザ発振器をパルスモードで発振させ
る場合には、レーザ光線がパルス状に被加工物に照射さ
れる度にパルス状にプラズマが発生するようになり、そ
れによって静電容量もパルス状に変動することとなる。
その結果、静電容量センサを用いたレーザ加工機では、
ピアッシング加工時に静電容量がパルス状に変動する
と、そのパルス状信号を入力する制御装置が上記駆動モ
ータを制御してフォーカスヘッドを細かく上下動させる
ようになるので、上記制御装置は、ピアッシング加工時
には上記駆動モータによるフォーカスヘッドの昇降制御
を停止させるようになっている。ところで、上記ピアッ
シング加工の終了を判定する場合には、通常は、材料や
板厚を異ならせた種々の被加工物について予めピアッシ
ング加工に要する時間をそれぞれ計測しておき、タイマ
によって所定の時間が経過したら、ピアッシング加工が
終了したと判定するようにしている。或いは、被加工物
から反射される反射レーザ光線がなくなったことや、パ
ルス状の加工音がなくなったことによってそのピアッシ
ング加工が終了したと判定するようにしたピアッシング
加工終了検出装置も提案されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a laser processing machine, a laser oscillator for emitting a laser beam, a focus head for irradiating a workpiece with a laser beam emitted from the laser oscillator, and a focus head and a workpiece for processing the laser beam. A capacitance sensor for measuring an interval, a drive motor for raising and lowering the focus head, and a signal from the capacitance sensor for inputting a signal to control the drive motor, and for piercing to set the laser oscillator in a pulse mode. A device having a control device for causing oscillation is known. When the laser oscillator is oscillated in the pulse mode at the time of the piercing process, a plasma is generated in a pulse shape each time a laser beam is irradiated on the workpiece in a pulse shape, and thereby the capacitance is also in a pulse shape. To fluctuate.
As a result, in a laser processing machine using a capacitance sensor,
If the capacitance fluctuates in a pulse shape during piercing, the control device that inputs the pulse signal controls the drive motor to move the focus head finely up and down. The control of raising and lowering the focus head by the drive motor is stopped. By the way, when judging the end of the piercing process, usually, the time required for the piercing process is measured in advance for various workpieces having different materials and plate thicknesses, and a predetermined time is measured by a timer. When the time has elapsed, it is determined that the piercing process has been completed. Alternatively, there has been proposed a piercing end detection device which determines that the piercing operation has been completed when the reflected laser beam reflected from the workpiece disappears or the pulse-like processing sound disappears. .

【0003】[0003]

【解決しようとする課題】しかしながら上記タイマを用
いた場合には安価に製造することができても、そのタイ
マの設定時間は確実にピアッシング加工が終了するよう
に長めに設定する必要があるので、特に多数のピアッシ
ング加工を行なう場合には、全体の加工時間が長くなる
という欠点がある。他方、後者のピアッシング加工終了
検出装置を用いればピアッシング加工に要する時間を最
少の時間とすることができるが、その反面、高価になる
という欠点がある。本発明はそのような事情に鑑み、安
価なピアッシング加工終了検出装置を提供するものであ
る。
However, when the above timer is used, even if the timer can be manufactured at low cost, the set time of the timer needs to be set long so that the piercing process is surely completed. In particular, when a large number of piercing processes are performed, there is a disadvantage that the entire processing time becomes long. On the other hand, if the latter piercing processing completion detecting device is used, the time required for the piercing processing can be minimized, but on the other hand, there is a disadvantage that it is expensive. The present invention has been made in view of such circumstances, and provides an inexpensive piercing processing end detecting device.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、上述
した静電容量センサを備えた従来のレーザ加工機におい
て、上記制御装置に、上記静電容量センサから入力され
るパルス状信号を検出し、該パルス状信号の入力が終了
した時点でピアッシング加工が終了したと判定する判定
部を設けたものである。
That is, according to the present invention, in a conventional laser beam machine provided with the above-mentioned capacitance sensor, the control device detects a pulse signal input from the capacitance sensor. And a determination unit for determining that the piercing processing has been completed when the input of the pulse signal has been completed.

【0005】[0005]

【作用】上記構成においては、上記判定部により、静電
容量センサから入力されるパルス状信号の入力が終了し
た時点でピアッシング加工が終了したと判定するように
しているので、ピアッシング加工の終了を直ちに検出す
ることができ、したがってピアッシング加工に要する時
間を最少の時間とすることができる。また、上記静電容
量センサをピアッシング加工の終了検出のためのセンサ
として利用しており、しかも上記制御装置の判定部は静
電容量センサから入力されるパルス状信号の有無を検出
すればよいので、従来のピアッシング加工終了検出装置
に比較して安価に製造することができる。
In the above configuration, the piercing process is determined to be completed when the input of the pulse signal input from the capacitance sensor is completed by the determination unit. It can be detected immediately, and the time required for the piercing process can be minimized. Further, since the capacitance sensor is used as a sensor for detecting the end of the piercing process, and the determination unit of the control device only needs to detect the presence or absence of a pulse signal input from the capacitance sensor. It can be manufactured at a lower cost as compared with a conventional piercing processing completion detecting device.

【0006】[0006]

【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図1において、レーザ加工機は、レーザ光線Lを発
振放射するレーザ発振器1と、このレーザ発振器1から
放射されたレーザ光線Lを集光する図示しない集光レン
ズを収納したフォーカスヘッド2とを備えており、上記
レーザ発振器1は制御装置3の出力制御部4によって出
力が制御されるとともに、ピアッシング加工時にはパル
ス発振され、引続く切断加工時には連続発振されるよう
になっている。上記フォーカスヘッド2は、制御装置3
の昇降制御部5によって被加工物6との間隔Dが制御さ
れるようになっており、該フォーカスヘッド2には、フ
ォーカスヘッド2と被加工物6との間隔Dを測定するた
めに静電容量センサ7を設けている。この静電容量セン
サ7で検出された信号は、静電容量センサアンプ8を介
して増幅された後、制御装置3の演算部9に入力される
ようになっている。上記演算部9には、上記フォーカス
ヘッド2を所定高さ位置とした際に上記静電容量センサ
アンプ8を介して静電容量センサ7から得られる出力値
が予め入力されており、該演算部9は、その出力値と実
際に静電容量センサ7から得られる出力値とを比較し
て、その差の信号を後述するゲート部12を介して上記
昇降制御部5に供給するようになっている。他方、上記
昇降制御部5は演算部9から入力される差の信号が零と
なるようにサーボモータアンプ10を介して駆動モータ
11を制御するようになっており、上記差が零となるよ
うにフォーカスヘッド2の高さ位置を制御することによ
って、該フォーカスヘッド2を上記所定高さ位置に位置
決めすることができる。ところでピアッシング加工時に
上記レーザ発振器1をパルスモードで発振させる場合に
は、上述したようにレーザ光線Lがパルス状に被加工物
6に照射される度にパルス状にプラズマが発生するよう
になり、それによって静電容量もパルス状に変動するこ
ととなる(図2参照)。そしてこのパルス状信号Rは、
被加工物6へのレーザ光線Lの照射開始と同時に発生
し、レーザ光線Lが被加工物6を貫通すると消滅するよ
うになる。なお、パルス状信号Rの消滅後の静電容量
は、上記フォーカスヘッド2と被加工物6との間隔Dに
応じた大きさの信号Qとなる。そして上記パルス状信号
Rが演算部9に入力されると、該演算部9から出力され
る信号もパルス状信号Rとなり、このパルス状信号Rが
昇降制御部5に入力されると、それによって駆動モータ
11が往復駆動されてフォーカスヘッド2を上下動させ
る結果となる。これを防止するため、上記制御装置3は
ゲート部12を備えている。上記ゲート部12として
は、ピアッシング加工時に演算部9と昇降制御部5との
回路を遮断し、ピアッシング加工が終了すると回路を接
続させるスイッチ回路を用いることができる。このスイ
ッチ回路をハードウエアによって製造できることは勿論
であるが、制御装置3のソフトウエアによって同一目的
を達成することもできる。上記ゲート部12として、よ
り望ましくは、ピアッシング加工時には上記フォーカス
ヘッド2が実質的に細かく上下動しない程度まで、例え
ば演算部9から出力されるパルス状信号Rのゲインを1
/4程度に低下させ(図2の符号R’参照)、ピアッシ
ング加工が終了するとゲインを1に復帰させるゲイン調
整回路を用いることができる。そして特に上記ゲイン調
整回路を用いれば、ピアッシング加工時にもフォーカス
ヘッド2と被加工物6との間隔Dを検出することが可能
となる。さらに、上記制御装置3に、上記静電容量セン
サ7から入力されるパルス状信号Rの有無を検出する判
定部14を設けてあり、この判定部14は上記ゲート部
12の回路を切換え又は分岐制御することができるよう
になっている。以上の構成において、ピアッシング加工
を行なう場合には、ピアッシング加工開始前には静電容
量センサ7から演算部9に入力される信号はパルス状信
号Rではなく、フォーカスヘッド2と被加工物6との間
隔Dに応じた大きさの信号Qであるので、判定部14は
ゲート部12の回路を、例えばゲイン調整回路12のゲ
インを1としている。この状態では、制御装置3の演算
部9は、静電容量センサ7からの信号Qを入力しながら
その出力値と基準となる出力値との差の信号を昇降制御
部5に出力し、該昇降制御部5はその差の信号に基づい
て駆動モータ11を制御し、フォーカスヘッド2をピア
ッシング加工に好適な高さ位置に位置決めする。この状
態となると、制御装置3は出力制御部4を介してレーザ
発振器1をパルス発振させ、パルス状のレーザ光線Lを
被加工物6に照射してピアッシング加工を開始する。す
ると、判定部14は静電容量センサ7からのパルス状信
号Rを検出するようになるので、該判定部14はゲイン
調整回路12のゲインを1/4に低下させる。この状態
では、昇降制御部5には演算部9からパルス状信号Rが
入力されるようになるが、そのゲインは1/4となって
いるので、該昇降制御部5は実質的に上記フォーカスヘ
ッド2を細かく上下動させることはない。他方、昇降制
御部5は、フォーカスヘッド2を細かく上下動させるこ
とはないが、演算部9を介して静電容量センサ7からの
信号Qに基づく出力差の信号が継続して入力されている
ので、このピアッシング加工時にもフォーカスヘッド2
と被加工物6との間隔Dを検出することができ、ピアッ
シング加工の進行に伴って、徐々にフォーカスヘッド2
を降下させる等の制御を行なうことができる。この後、
レーザ光線Lが被加工物6を貫通して上記パルス状信号
Rが消滅すると、上記判定部14はその時点でピアッシ
ング加工が完了したと判定し、ゲイン調整回路12のゲ
インを元の1に復帰させる。これにより上記制御装置3
の昇降制御部5は、静電容量センサ7からの信号Qに基
づく出力差の信号を演算部9から入力し、その信号に基
づいてフォーカスヘッド2を切断加工に好適な位置に位
置制御するようになり、また上記制御装置3の出力制御
部4は、レーザ発振器1を連続発振に切換えてレーザ光
線Lを連続的に被加工物6に照射してその切断加工を開
始する。なお、上記実施例ではレーザ発振器1の連続発
振によって切断加工を行なっているが、パルス発振のま
ま切断加工を行なってもよい。この場合には上記ゲート
部12としてゲイン調整回路を用い、レーザ発振器1を
パルス発振させるピアッシング加工時および切断加工時
に、換言すればピアッシング加工前にフォーカスヘッド
2をピアッシング加工に好適な位置まで降下させる場合
等を除いて、上記ゲインを例えば上述した1/4に設定
すればよい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiment. In FIG. 1, a laser processing machine includes a laser oscillator 1 for oscillating and emitting a laser beam L, and a laser beam L emitted from the laser oscillator 1 for focusing. The laser oscillator 1 is controlled by an output control unit 4 of a control device 3 and is oscillated during piercing processing, and is subsequently cut. Sometimes, continuous oscillation is performed. The focus head 2 includes a control device 3
The distance D between the workpiece 6 and the workpiece 6 is controlled by a lifting / lowering control unit 5. The focus head 2 has an electrostatic force for measuring the distance D between the focus head 2 and the workpiece 6. A capacitance sensor 7 is provided. The signal detected by the capacitance sensor 7 is amplified through a capacitance sensor amplifier 8 and then input to the calculation unit 9 of the control device 3. An output value obtained from the capacitance sensor 7 via the capacitance sensor amplifier 8 when the focus head 2 is at a predetermined height position is input to the calculation unit 9 in advance. Reference numeral 9 compares the output value with the output value actually obtained from the capacitance sensor 7 and supplies a signal representing the difference to the elevation control unit 5 via a gate unit 12 described later. I have. On the other hand, the elevation control unit 5 controls the drive motor 11 via the servo motor amplifier 10 so that the difference signal input from the calculation unit 9 becomes zero, so that the difference becomes zero. By controlling the height position of the focus head 2, the focus head 2 can be positioned at the predetermined height position. By the way, when the laser oscillator 1 is oscillated in the pulse mode at the time of piercing, the plasma is generated in a pulsed manner each time the laser beam L is irradiated on the workpiece 6 in a pulsed manner as described above. As a result, the capacitance also fluctuates in a pulse shape (see FIG. 2). And this pulse signal R is
This occurs at the same time as the start of the irradiation of the workpiece 6 with the laser beam L, and disappears when the laser beam L passes through the workpiece 6. The capacitance after the disappearance of the pulse signal R becomes a signal Q having a magnitude corresponding to the distance D between the focus head 2 and the workpiece 6. When the pulse-shaped signal R is input to the arithmetic unit 9, the signal output from the arithmetic unit 9 also becomes a pulse-shaped signal R. When the pulse-shaped signal R is input to the elevation control unit 5, As a result, the drive motor 11 is reciprocated to move the focus head 2 up and down. To prevent this, the control device 3 includes a gate unit 12. As the gate unit 12, a switch circuit that cuts off the circuit between the arithmetic unit 9 and the elevation control unit 5 during the piercing process and connects the circuit when the piercing process is completed can be used. Of course, this switch circuit can be manufactured by hardware, but the same object can be achieved by software of the control device 3. More preferably, for example, the gain of the pulse signal R output from the arithmetic unit 9 is set to 1 until the focus head 2 does not substantially move up and down during the piercing process.
It is possible to use a gain adjustment circuit that reduces the gain to about / 4 (see reference symbol R ′ in FIG. 2) and returns the gain to 1 when the piercing processing is completed. In particular, if the above-described gain adjustment circuit is used, it is possible to detect the distance D between the focus head 2 and the workpiece 6 even during piercing. Further, the control unit 3 is provided with a determination unit 14 for detecting the presence or absence of the pulse signal R input from the capacitance sensor 7, and this determination unit 14 switches or branches the circuit of the gate unit 12. It can be controlled. In the above configuration, when piercing is performed, the signal input from the capacitance sensor 7 to the calculation unit 9 before the piercing is started is not the pulse signal R, but the focus head 2 and the workpiece 6. , The determination unit 14 sets the circuit of the gate unit 12, for example, the gain of the gain adjustment circuit 12 to 1. In this state, the arithmetic unit 9 of the control device 3 outputs the signal of the difference between the output value and the reference output value to the elevation control unit 5 while receiving the signal Q from the capacitance sensor 7, The elevation control unit 5 controls the drive motor 11 based on the difference signal to position the focus head 2 at a height suitable for piercing. In this state, the control device 3 causes the laser oscillator 1 to perform pulse oscillation via the output control unit 4 and irradiates the workpiece 6 with a pulsed laser beam L to start piercing. Then, since the determination unit 14 detects the pulse signal R from the capacitance sensor 7, the determination unit 14 reduces the gain of the gain adjustment circuit 12 to 1/4. In this state, the pulse signal R is input from the arithmetic unit 9 to the elevation control unit 5, but since the gain thereof is 1/4, the elevation control unit 5 substantially eliminates the focus. The head 2 is not finely moved up and down. On the other hand, the elevation control unit 5 does not finely move the focus head 2 up and down, but the signal of the output difference based on the signal Q from the capacitance sensor 7 is continuously input via the calculation unit 9. Therefore, the focus head 2
The distance D between the workpiece and the workpiece 6 can be detected, and as the piercing process progresses, the focus head 2 gradually decreases.
Can be controlled. After this,
When the laser beam L penetrates the workpiece 6 and the pulse signal R disappears, the determination unit 14 determines that the piercing processing has been completed at that time, and returns the gain of the gain adjustment circuit 12 to the original value of 1. Let it. Thereby, the control device 3
The elevation control unit 5 receives an output difference signal based on the signal Q from the capacitance sensor 7 from the calculation unit 9 and controls the position of the focus head 2 to a position suitable for cutting based on the signal. Then, the output control unit 4 of the control device 3 switches the laser oscillator 1 to continuous oscillation, continuously irradiates the laser beam L to the workpiece 6, and starts the cutting process. In the above embodiment, the cutting process is performed by the continuous oscillation of the laser oscillator 1. However, the cutting process may be performed with the pulse oscillation. In this case, a gain adjustment circuit is used as the gate unit 12, and the focus head 2 is lowered to a position suitable for piercing at the time of piercing and cutting, in which the laser oscillator 1 performs pulse oscillation, in other words, before piercing. Except for cases, the gain may be set to, for example, the above-described 1 /.

【0007】[0007]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ピアッ
シング加工終了が検出されると直ちに次の工程に移るこ
とができるので、タイマを用いてピアッシング加工終了
を検出するようにした従来装置に比較してピアッシング
加工時間を短縮することができ、したがって生産効率を
向上させることができる。そしてまた、静電容量センサ
から入力されるパルス状信号を検出する判定部を設けれ
ばよいので、従来に比較してレーザ加工機のピアッシン
グ加工終了検出装置を安価に製造することができるとい
う効果が得られる。
As described above, according to the present invention, when the end of the piercing processing is detected, it is possible to immediately proceed to the next step. Therefore, the conventional apparatus which detects the end of the piercing processing by using a timer is used. In this case, the piercing time can be shortened as compared with the above, and therefore, the production efficiency can be improved. In addition, since it is sufficient to provide a determination unit for detecting a pulse-like signal input from the capacitance sensor, an effect that the piercing end detection device of the laser processing machine can be manufactured at a lower cost than in the past. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す系統図。FIG. 1 is a system diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】ピアッシング加工時に発生するパルス状信号R
を示す説明図。
FIG. 2 shows a pulse signal R generated during piercing processing.
FIG.

【符合の説明】[Description of sign]

1…レーザ発振器 2…フォーカスヘッド 3…制御装置 4…出力制御部 5…昇降制御部 7…静電容量センサ 11…駆動モータ 12…ゲート部 14…判定部 L…レーザ光線 R…パルス状信号 REFERENCE SIGNS LIST 1 laser oscillator 2 focus head 3 control device 4 output control unit 5 elevating control unit 7 capacitance sensor 11 drive motor 12 gate unit 14 determination unit L laser beam R pulse signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−81286(JP,A) 特開 平4−91880(JP,A) 特開 平6−218569(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B23K 26/00 G01B 7/00 G01B 7/14────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-81286 (JP, A) JP-A-4-91880 (JP, A) JP-A-6-218569 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) B23K 26/00 G01B 7/00 G01B 7/14

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ光線を放射するレーザ発振器と、
このレーザ発振器から放射されたレーザ光線を被加工物
に照射するフォーカスヘッドと、このフォーカスヘッド
と被加工物との間隔を測定する静電容量センサと、上記
フォーカスヘッドを昇降させる駆動モータと、上記静電
容量センサからの信号を入力して上記駆動モータを制御
するとともに、ピアッシング加工時に上記レーザ発振器
をパルスモードで発振させる制御装置とを備えたレーザ
加工機において、 上記制御装置に、上記静電容量センサから入力されるパ
ルス状信号を検出し、該パルス状信号の入力が終了した
時点でピアッシング加工が終了したと判定する判定部を
設けたことを特徴とするレーザ加工機のピアッシング加
工終了検出装置。
A laser oscillator for emitting a laser beam;
A focus head that irradiates a workpiece with a laser beam emitted from the laser oscillator; a capacitance sensor that measures an interval between the focus head and the workpiece; a drive motor that moves the focus head up and down; A laser processing machine comprising a control device for inputting a signal from a capacitance sensor to control the drive motor and oscillating the laser oscillator in a pulse mode at the time of piercing processing. A piercing process end detection of a laser beam machine, comprising a determination unit that detects a pulse signal input from a capacitance sensor and determines that the piercing process has ended when the input of the pulse signal ends. apparatus.
【請求項2】 上記制御装置に、少なくともピアッシン
グ加工時に上記静電容量センサからのパルス状信号によ
って上記フォーカスヘッドが細かく上下動しない程度ま
で上記信号のゲインを低下させるゲイン調整回路を設け
たことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機のピ
アッシング加工終了検出装置。
2. The apparatus according to claim 2, wherein the control device further comprises a gain adjustment circuit for reducing the gain of the signal to a level at which the focus head does not finely move up and down by a pulse signal from the capacitance sensor at least during piercing processing. The piercing end detection device for a laser beam machine according to claim 1.
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JP4905336B2 (en) * 2007-12-04 2012-03-28 三菱電機株式会社 Laser processing machine
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