JPS63260092A - Metal vapor laser oscillator - Google Patents
Metal vapor laser oscillatorInfo
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、同軸放電型の金属蒸気レーザー発振装置に関
し、特に、レーザー管が外套管とこれの内部に挿入され
たプラズマ放電管とで構成されていて、これら外套管と
プラズマ放電管との間に断熱材層がプラズマ放電管を囲
繞するように設けられている金属蒸気レーザー発振装置
、例えば銅蒸気レーザー発振装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a coaxial discharge type metal vapor laser oscillation device, in particular a laser tube consisting of a jacket tube and a plasma discharge tube inserted inside the jacket tube. The present invention relates to a metal vapor laser oscillation device, such as a copper vapor laser oscillation device, in which a heat insulating material layer is provided between the mantle tube and the plasma discharge tube so as to surround the plasma discharge tube.
（従来技術及びその問題点）
金属レーザーの内でも＠蒸気レーザーは高出力、高効率
、高利得、高繰返し可能と多くの特徴をもった優れたも
ので、色素レーザーとのマツチングが良い事から、原子
・レーザー法ウラン濃縮で注目されている。この他に医
療や、加工の分野でも脚光を浴びている装置であるが、
この装置ではプラズマ放電管が上記のように１５００度
Ｃ以上の高温に加熱にされるため、プラズマ放電管自体
を熱衝撃に強い材質のものにすることは当然のこととし
て、このプラズマ放電管の断熱保温についても十分な考
慮が必要となってくる。(Prior art and its problems) Among metal lasers, @vapor lasers are excellent with many features such as high output, high efficiency, high gain, and high repeatability, and are well matched with dye lasers. , is attracting attention for its uranium enrichment using atomic and laser methods. In addition to this, this device is also in the spotlight in the medical and processing fields.
In this device, the plasma discharge tube is heated to a high temperature of 1,500 degrees Celsius or more as mentioned above, so it is natural that the plasma discharge tube itself should be made of a material that is resistant to thermal shock. Sufficient consideration must also be given to insulation and heat retention.
ところで、このプラズマ放電管を断熱保温するための従
来のｌｌ１４ａ材屓は、綿状のセラミックスファイバー
を、プラズマ放電管をその長さ方向全域に亘って被包す
るように配設してなるもので、プラズマ放電管はその両
端を両側の環電極で支持するようにしていた。ところが
、使用時にプラズマ放電管内部が１５００度Ｃ以上もの
高温になると、プラズマ放電管は変形し易い状態となる
が、このプラズマ放電管の中間部はセラミックスファイ
バーで支持されている状態にあるものの、このセラミッ
クスファイバー自体非常にやわらかいものであるためそ
れによっては支持され得ず、結局は自重によって下向き
弯曲状に変形するに至っていた。By the way, the conventional ll14a material for insulating and keeping the plasma discharge tube warm is made by disposing cotton-like ceramic fibers so as to enclose the plasma discharge tube over its entire length. The plasma discharge tube was supported at both ends by ring electrodes on both sides. However, when the inside of the plasma discharge tube reaches a high temperature of 1,500 degrees Celsius or more during use, the plasma discharge tube becomes easily deformed, although the middle part of the plasma discharge tube is supported by ceramic fibers. Since the ceramic fiber itself is very soft, it could not be supported by it, and eventually it deformed into a downward curved shape due to its own weight.
また、プラズマ放電管の両端部が電極と接触しているた
め、使用中に高温に加熱されたプラズマ放電管の熱が電
極を通じて外部に逃げてしまい、この放電管の両端部側
が中央部側よりも低温となり、均一な金属蒸気等が得ら
れない欠点があった。In addition, since both ends of the plasma discharge tube are in contact with the electrodes, the heat of the plasma discharge tube heated to a high temperature during use escapes to the outside through the electrodes. However, the temperature was low and uniform metal vapor could not be obtained.
（問題点を解決するための技術的手段）本発明は上記の
問題点に鑑み、従来断熱材に全１面的に用いられていた
セラミックスファイバーに？
代え、断熱材として機能と構造材としての機能を併せ持
つセラミックスポードにより形成した略ドーナツ状セラ
ミックス片によって少なくとも断熱材層を構成し、プラ
ズマ放電管を両側の電極で支持させる必要がないように
したもので、それにより使用時におけるプラズマ放電管
の加熱による弯曲変形を防止するとともに、このプラズ
マ放電管の全区に亘って均一な温度分布が得られるよう
にすることを目的としている。この目的を達成するため
の技術的手段は、断熱材層６が、セラミックス製の支持
管１２と、この支持管１２内にその長さ方向全域に亘り
連続状態で嵌合配置されるか又は所要箇所のみ断片的に
嵌合配置されてそれら相互間にセラミックスファイバー
が介装さている複数個の略ドーナツ状セラミックス片１
４・・・とから構成され、前記セラミックス片１４・・
・の空洞部１３を挿通するようにプラズマ放電管３が嵌
合支持されているとともに、両側電極１５．１５がプラ
ズマ放電管３の両端部内に非接触状態で突入されている
ことを特徴とする。(Technical means for solving the problems) In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a solution to the ceramic fibers that have conventionally been used exclusively in insulation materials. Instead, at least the heat insulating material layer is made up of approximately donut-shaped ceramic pieces formed from ceramic spodes that function as both a heat insulating material and a structural material, thereby eliminating the need to support the plasma discharge tube with electrodes on both sides. The purpose of this is to prevent the plasma discharge tube from being bent due to heating during use, and to obtain a uniform temperature distribution over the entire area of the plasma discharge tube. The technical means for achieving this purpose is that the heat insulating material layer 6 is disposed in a continuous fit over the entire length of the support tube 12 made of ceramics, or as required. A plurality of approximately donut-shaped ceramic pieces 1 that are arranged in a piecemeal manner and have ceramic fibers interposed between them.
4... and the ceramic piece 14...
The plasma discharge tube 3 is fitted and supported so as to be inserted through the cavity 13, and the electrodes 15 and 15 on both sides are inserted into both ends of the plasma discharge tube 3 in a non-contact manner. .
尚、ドーナツ状セラミックス片を形成するセラミックス
ポードは例えばジルカー社製のサフィールアルミナボー
ド（ＳＡＬＩ）を用いるとよい。As the ceramic spode forming the donut-shaped ceramic piece, it is preferable to use, for example, Safir alumina board (SALI) manufactured by Zilker.
またドーナツ状とは中心部に穴がおいている円筒状のも
ので、いわゆるドーナツの形状に限定しない。Moreover, the donut shape is a cylindrical shape with a hole in the center, and is not limited to the so-called donut shape.
（実施例） 以下本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図はｆｌ蒸気レーザー発振装置を縦断面図で示して
おり、この図において１はレーザー管で、円筒状の外套
管２と、この外套管２内部に同心状に挿入配置されたプ
ラズマ放電管３と、外套管２の両端部に連結用筒状部材
４，４を介して気密的に連結固定された端板５，５と、
から構成されている。６はレーザー管１内においてプラ
ズマ放電管３を囲繞するように設けられた円筒状の断熱
材層であり、この断熱材層６の外周面と外套管２内周面
との間に中ＩＦ７ａが同心状に介装され、この中管７ａ
の外側に水冷室７ｂが、またその内側に真空断熱室７ｃ
がそれぞれ環状に形成されている。更に各連結用筒状部
材４の外側にも環状の水冷室４ａが形成されている。FIG. 1 shows a longitudinal cross-sectional view of the fl vapor laser oscillation device. In this figure, 1 is a laser tube, which includes a cylindrical outer tube 2 and a plasma discharge tube inserted concentrically into the outer tube 2. a tube 3; end plates 5, 5 airtightly connected and fixed to both ends of the mantle tube 2 via connecting cylindrical members 4, 4;
It consists of Reference numeral 6 denotes a cylindrical heat insulating material layer provided in the laser tube 1 so as to surround the plasma discharge tube 3, and an intermediate IF 7a is provided between the outer peripheral surface of the heat insulating material layer 6 and the inner peripheral surface of the mantle tube 2. This middle pipe 7a is interposed concentrically.
There is a water cooling chamber 7b on the outside, and a vacuum insulation chamber 7c on the inside.
are each formed in a ring shape. Further, an annular water cooling chamber 4a is also formed on the outside of each connecting cylindrical member 4.
前記外套管２は高強度で熱膨張率の小さいガラスで形成
されている。前記プラズマ放電管３は、アルミナ系のフ
ァインセラミックスにより形成された円筒状の外管部８
と、この外管部８内にスライド可能に嵌合された円筒状
の内管部９と、から構成され、円筒状内管部９は軸方向
に所要間隔で分割された複数個の分割体９ａ・・・によ
って、構成され、各分割体９ａは、ファインセラミック
スの一種である窒化硼素（ＢＮ（ボロンナイトライド）
〕の焼結体からなる。また各分割体９ａの左右両端部に
は第２図に明示されるように、互いに他の分割体９ａの
対向端部とそれぞれ半径方向に臣なり合った状態で係合
しうる係合段部１０．１１が形成されており、したがっ
て各分割体９ａは相対向する係合段部１０．１１を互い
に係合させた状愈で外管部８内にスライド可能にして且
つ取外し可能に嵌挿されている、尚、第２図に示すよう
に分割体９ａ・・・によって形成される内管部９の外周
面と前記外管部８の内周面との隙間Ｓには、各分割体９
ａの嵌め込み時に窒化硼素の焼結体の粉末が挿入される
ようになっている。The mantle tube 2 is made of glass with high strength and low coefficient of thermal expansion. The plasma discharge tube 3 has a cylindrical outer tube portion 8 made of alumina-based fine ceramics.
and a cylindrical inner tube part 9 slidably fitted into the outer tube part 8, and the cylindrical inner tube part 9 is divided into a plurality of divided bodies at required intervals in the axial direction. Each divided body 9a is made of boron nitride (BN), which is a type of fine ceramics.
] Consisting of a sintered body. Further, as clearly shown in FIG. 2, the left and right ends of each divided body 9a have engaging stepped portions that can be engaged with the opposite ends of other divided bodies 9a in a state in which they overlap each other in the radial direction. 10.11 is formed, so that each divided body 9a is slidably and removably inserted into the outer tube part 8 with the opposing engagement steps 10.11 engaged with each other. As shown in FIG. 9
Powder of a sintered body of boron nitride is inserted when fitting a.
前記断熱材層６は、プラズマ放電管３と同心状に配置さ
れたアルミナ系ファインセラミックスか−らなる円筒状
支持管１２と、この支持管１２内にその長さ方向全域に
亘り連続状態で嵌合配置されている多数個の略ドーナツ
状セラミックス片１４・・・と、から構成されていて、
これら略ドーナツ状セラミックス片群１４・・・のそれ
ぞれの円筒状空洞部１３を挿通するように前記プラズマ
放電管３が嵌合支持されている。また、支持管１２内に
嵌合された略ドーナツ状セラミックス片群１４・・・の
うち両端部側にある数個のセラミックス片１４’はその
穴径が若干小さくなっていて、これらのセラミックス片
１４′によってプラズマ放電管３の抜は出しが防止され
るようになっている。そしてこれらのセラミックス片１
４°の径小空洞部１３°に環電極１５．１５が挿入され
、各環＠極１５の内方端部は第１図で明らかなようにプ
ラズマ放電管３に触れることな（離間した状態でその内
管部９端部に若干突入している。前記支持管１２の両端
部は連結用筒状部材４．４に連結固定されている。前記
各ドーナツ状セラミックス片１４．１４’はジルカー社
製のサフィールアルミナボード（ＳＡＬＩ）によって形
成されたもので、非常にすぐれた断熱性を有している。The heat insulating material layer 6 includes a cylindrical support tube 12 made of alumina-based fine ceramics that is arranged concentrically with the plasma discharge tube 3, and is continuously fitted into the support tube 12 over its entire length. It is composed of a large number of substantially donut-shaped ceramic pieces 14 arranged together,
The plasma discharge tube 3 is fitted and supported so as to be inserted through the cylindrical cavity 13 of each of the substantially doughnut-shaped ceramic pieces 14. Further, among the approximately donut-shaped ceramic pieces 14 fitted in the support tube 12, several ceramic pieces 14' on both end sides have slightly smaller hole diameters, and these ceramic pieces 14' prevents the plasma discharge tube 3 from being pulled out. And these ceramic pieces 1
A ring electrode 15.15 is inserted into the small diameter cavity 13° of 4°, and the inner end of each ring @pole 15 does not touch the plasma discharge tube 3 (separated state) as shown in FIG. The support tube 12 slightly protrudes into the end portion of the inner tube portion 9. Both ends of the support tube 12 are connected and fixed to the connecting cylindrical member 4.4. It is made of Saphir alumina board (SALI) manufactured by Co., Ltd., and has excellent heat insulation properties.
第２図に示されるように、プラズマ放電管３の内管部９
を構成している各分割体９ａの内周面には螺旋状の溝部
からなる多数の凹部１６・・・が形成され、それらのう
ちの任意の四部１６に銅蒸気発生用の銅片Ｐが係止され
る。As shown in FIG. 2, the inner tube part 9 of the plasma discharge tube 3
A large number of recesses 16 consisting of spiral grooves are formed on the inner circumferential surface of each of the divided bodies 9a, and a copper piece P for generating copper vapor is placed in any four of them 16. It is locked.
上述した銅蒸気レーザー発振装置の主要部の組立方法に
つき簡単に説明すると、先ず外套管２及びこの中に挿入
した支持管１２のそれぞれ両端部に連結用筒状部材４．
４を取付け、そしてこの支持管１２内に略ドーナツ状セ
ラミックス片１４・・・を順次嵌め込んでいってそれに
より連続的に形成された一連の空洞部１３・・・に、予
め組立てたプラズマ放電管３を嵌挿した後、更に前記支
持管１２内におけるプラズマ放電管３の両端側に穴径の
小さい略ドーナツ状セラミックス片１４′を嵌め込み、
こうして円筒状断熱材層６を形成すると同時にこの断熱
材Ｍ６内部にプラズマ放電管３を保持固定した状態とす
毬、その後、この断熱材層６の両端部の空洞部１３’内
に環電極１５．１５を挿入配置し、そして連結用筒状部
材４．４に端板５．５を取付ける。尚、プラズマ放電管
３を前記空洞部１３に嵌挿する前に、このプラズマ放電
管３の内管部９にはその分割体９ａの凹部１６に銅片Ｐ
を係入しておく。このように凹部１６に係入しておけば
銅片Ｐは不都合に移動することがな（定位置に保持され
ることになる。また、この装置を分解するには上記のよ
うな操作を逆の順序で行えばよい、尚、第１図において
１７ａはプラズマ放電管３内にガス（例えばヘリウムガ
ス）を供給するガス供給口、１７ｂは真空引口、１８ａ
は冷却水供給口、１８ｂは冷却水排出口、１９は真空引
口、２０ａは冷却水供給口、２０ｂは冷却水排出口であ
る。To briefly explain how to assemble the main parts of the copper vapor laser oscillation device described above, first, connect cylindrical members 4.
4, and the approximately donut-shaped ceramic pieces 14 are successively fitted into the support tube 12, thereby continuously forming a series of cavities 13. After fitting and inserting the tube 3, approximately donut-shaped ceramic pieces 14' with a small hole diameter are further fitted on both ends of the plasma discharge tube 3 in the support tube 12,
In this way, the cylindrical heat insulating material layer 6 is formed, and at the same time, the plasma discharge tube 3 is held and fixed inside this heat insulating material M6. Then, ring electrodes 15 are placed in the hollow portions 13' at both ends of this heat insulating material layer 6. .15 is inserted and arranged, and the end plate 5.5 is attached to the connecting tubular member 4.4. Before inserting the plasma discharge tube 3 into the cavity 13, insert a copper piece P into the recess 16 of the divided body 9a of the inner tube 9 of the plasma discharge tube 3.
will be involved. By engaging the copper piece P in the recess 16 in this way, the copper piece P will not move undesirably (it will be held in place. Also, to disassemble this device, the above operation must be reversed). In FIG. 1, 17a is a gas supply port for supplying gas (for example, helium gas) into the plasma discharge tube 3, 17b is a vacuum port, and 18a is a vacuum port.
18b is a cooling water supply port, 19 is a vacuum outlet, 20a is a cooling water supply port, and 20b is a cooling water discharge port.
この実施例の銅蒸気レーザー発振装置では、プラズマ放
電管３を、多数個のドーナツ状セラミックス片１４・・
・からなる断熱材層によってその長さ方向全域に亘り囲
繞し支持しているので、プラズマ放電量３内部が１５０
０度Ｃ以上の高温となってもこのプラズマ放電量３自体
が弯曲状に変形することがない、またこのプラズマ放電
間３がそれぞれファインセラミックス製の外管部８と内
管部９とからなり、しかもこの内管部９が特に熱衝撃に
強い窒化硼素（ポロンナイトライド）の焼結体からなる
ため、当該プラズマ放電管３内部が１５００度Ｃ以上の
高温になっても熱衝撃によって破損することがなく、ま
たそのような高温が急激にかかって万が一内管部９の一
部分が破損しても、この内管部９が複数個の分割体９ａ
・・・よりなるためその一部の分割体のみ取替えればよ
いからきわめて経済的である。また、窒化硼素は熱衝撃
に強いのみならず、加工性も良いため製作も容易に行え
る。そして各分割体９ａの内周面に多数の凹部１６が設
けであるため、この凹部１６を介して銅片を所定の位置
に保持させることができる。In the copper vapor laser oscillation device of this embodiment, the plasma discharge tube 3 is made up of a large number of donut-shaped ceramic pieces 14...
Since it is surrounded and supported over its entire length by a heat insulating layer consisting of
The plasma discharge amount 3 itself does not deform into a curved shape even if the temperature reaches a high temperature of 0 degrees Celsius or higher, and the plasma discharge gap 3 is composed of an outer tube portion 8 and an inner tube portion 9 each made of fine ceramics. Moreover, since this inner tube part 9 is made of a sintered body of boron nitride that is particularly resistant to thermal shock, it will not be damaged by thermal shock even if the inside of the plasma discharge tube 3 reaches a high temperature of 1500 degrees Celsius or more. Even if a portion of the inner tube section 9 were to break due to sudden exposure to such high temperatures, the inner tube section 9 would not break down into the plurality of divided bodies 9a.
It is extremely economical because only a part of the divided body needs to be replaced. In addition, boron nitride is not only resistant to thermal shock but also has good workability, making it easy to manufacture. Since a large number of recesses 16 are provided on the inner peripheral surface of each divided body 9a, the copper piece can be held in a predetermined position via the recesses 16.
第１図の実施例では、セラミックスの支持間１２内にそ
の長さ方向全域に亘り多数個のドーナツ状セラミックス
片１４’・を連続状態で嵌合させて断熱材ｌ′５６を形
成したが、第３図に示す実施例のように、ドーナツ状セ
ラミックス片１４を、支持管１２内の所要箇所のみ断熱
的に、例えば同図のように中央部側の２ｍ所及び端部（
則に／箇所ずつ嵌合配置させてもよい。しかしてこのよ
うな断片的配置の場合にはドーナツ状セラミックス片１
４相互間に更には端部側に綿状のセラミックスファイバ
ー２１をそれぞれ装填させるようにする。この場合はセ
ラミックス片１４・・・とセラミックスファイバー２１
とで断熱Ｊｔｉｉ６°が構成される。またこの場合、中
央部例に配置したセラミックスファイバー２１は同図に
示すようにその中央部が両端より漸次径小となるような
形状としてよい。この実施例においζも、プラズマ放電
管３の複数箇所が各ドーナツ状セラミックス片１４によ
って支持されているため、この放電管３の高温加熱によ
る弯曲変形を十分に防止できるものである。尚、この第
３図において第１図の実施例と同一部材については同一
符号を付している。In the embodiment shown in FIG. 1, the heat insulating material l'56 is formed by continuously fitting a large number of donut-shaped ceramic pieces 14' into the ceramic support gap 12 over its entire length. As in the embodiment shown in FIG. 3, the donut-shaped ceramic piece 14 is heat-insulated only at required locations within the support tube 12, for example, as shown in the same figure, at a 2 m location on the center side and at the ends (
It is also possible to fit and arrange the parts according to the rules/positions one by one. However, in the case of such a fragmentary arrangement, the donut-shaped ceramic pieces 1
In addition, cotton-like ceramic fibers 21 are loaded between the four ends of each other. In this case, ceramic piece 14... and ceramic fiber 21
Adiabatic Jtii6° is constructed. Further, in this case, the ceramic fiber 21 disposed at the central portion may be shaped such that the diameter of the central portion is gradually smaller than that at both ends, as shown in the figure. In this embodiment, the plasma discharge tube 3 is also supported at a plurality of locations by the donut-shaped ceramic pieces 14, so that it is possible to sufficiently prevent the discharge tube 3 from being bent due to high temperature heating. In FIG. 3, the same members as in the embodiment of FIG. 1 are designated by the same reference numerals.
（発明の効果）
本発明によれば、断熱材としての機能を構造材としての
機能とを併せ持った略ドーナツ状セラミ・７クス片によ
って、プラズマ放電管を支持させることができるため、
高温加熱によるプラズマ放電管の弯曲変形を防止するこ
とができる。またプラズマ放電管と電極とが非接触状態
にあることから、このプラズマ放電管の高熱が外部に逃
げることがなく、その結果プラズマ放電管はその全長に
亘り均一な温度分布が得られて効率が非常に良くなる。(Effects of the Invention) According to the present invention, the plasma discharge tube can be supported by the approximately donut-shaped ceramic 7x piece that has both the function of a heat insulating material and the function of a structural material.
Curved deformation of the plasma discharge tube due to high-temperature heating can be prevented. In addition, since the plasma discharge tube and the electrodes are in a non-contact state, the high heat of the plasma discharge tube does not escape to the outside, and as a result, the plasma discharge tube has a uniform temperature distribution over its entire length, increasing efficiency. It's going to be very good.
また、断熱材層の組立にあたっては支持管内にドーナツ
状のセラミックス片を順次嵌め込んでゆけばよいから、
その作業も非常に簡単となり、更にプラズマ放電管のな
かさが変更されてもセラミックス片を増やしたり減らし
たりすることによって断熱材層の長さをプラズマ放電管
の長さに応じて容易に関整できる利点がある。Also, when assembling the heat insulating layer, all you have to do is fit the donut-shaped ceramic pieces into the support tube one after another.
The work is very simple, and even if the inside of the plasma discharge tube is changed, the length of the insulation layer can be easily adjusted according to the length of the plasma discharge tube by increasing or decreasing the number of ceramic pieces. There are advantages.
第１図は本発明に係る金属蒸気レーザー発振装置の一実
施例を示す縦断面図、第２図は同上の装置におけるプラ
ズマ放電管の一部拡大縦断面図、第３図は他の実施例を
示す縦断面図である。
ｌ・・・レーザー管、２・・・外套管、３・・・プラズ
マ放電管、６・・・断熱材層、８・・・プラズマ放電管
の外管部、９・・・内管部、９ａ・・・分割体、１０．
１１・・・係合段部（保合部）、１２・・・支持管、１
３・・・空洞部、１４・・・略ドーナツ状セラミフクス
片、１５・・・電極、１６・・・凹部、２１・・・セラ
ミックスファイバー、Ｐ・・・銅片。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one embodiment of a metal vapor laser oscillation device according to the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged longitudinal sectional view of a plasma discharge tube in the same device, and FIG. 3 is another embodiment. FIG. l... Laser tube, 2... Outer tube, 3... Plasma discharge tube, 6... Heat insulating material layer, 8... Outer tube part of the plasma discharge tube, 9... Inner tube part, 9a... divided body, 10.
11... Engagement step part (retaining part), 12... Support tube, 1
3... Cavity part, 14... Approximately donut-shaped ceramic piece, 15... Electrode, 16... Concave part, 21... Ceramic fiber, P... Copper piece.
Claims (1)
放電管とからなり、これら外套管とプラズマ放電管との
間には断熱材層がプラズマ放電管を囲繞するように設け
られている金属蒸気レーザー発振装置において、断熱材
層は、セラミックス製の支持管と、この支持管内にその
長さ方向全域に亘り連続状態で嵌合配置されるか又は所
要箇所のみ断片的に嵌合配置されてそれらの相互間にセ
ラミックスファイバーが介装されている複数個の略ドー
ナツ状セラミックス片とから構成され、前記セラミック
ス片の空洞部を挿通するようにプラズマ放電管が嵌合支
持されているとともに、両側電極がプラズマ放電管の両
端部内に非接触状態で突入されていることを特徴とする
ガスレーザー発振装置。A laser tube consists of an outer tube and a plasma discharge tube inserted inside the outer tube, and a heat insulating layer is provided between the outer tube and the plasma discharge tube so as to surround the plasma discharge tube. In a laser oscillation device, the heat insulating material layer is fitted into the support tube made of ceramics continuously over the entire length of the support tube, or it is fitted and arranged piecemeal only at required points. A plasma discharge tube is fitted and supported so as to be inserted through the cavity of the ceramic pieces, and electrodes on both sides are formed. A gas laser oscillation device characterized in that a gas laser is inserted into both ends of a plasma discharge tube in a non-contact state.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13234787A JPS63260092A (en) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | Metal vapor laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13234787A JPS63260092A (en) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | Metal vapor laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63260092A true JPS63260092A (en) | 1988-10-27 |
| JPH0529154B2 JPH0529154B2 (en) | 1993-04-28 |
Family
ID=15079223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13234787A Granted JPS63260092A (en) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | Metal vapor laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63260092A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3942062A (en) * | 1974-10-15 | 1976-03-02 | Rca Corporation | Metal vapor laser discharge device |
| JPS5243975U (en) * | 1975-09-25 | 1977-03-29 | ||
| JPS56123575U (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-19 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP13234787A patent/JPS63260092A/en active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3942062A (en) * | 1974-10-15 | 1976-03-02 | Rca Corporation | Metal vapor laser discharge device |
| JPS5243975U (en) * | 1975-09-25 | 1977-03-29 | ||
| JPS56123575U (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529154B2 (en) | 1993-04-28 |
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