JPS63259428A - 差圧センサ - Google Patents
差圧センサInfo
- Publication number
- JPS63259428A JPS63259428A JP9254387A JP9254387A JPS63259428A JP S63259428 A JPS63259428 A JP S63259428A JP 9254387 A JP9254387 A JP 9254387A JP 9254387 A JP9254387 A JP 9254387A JP S63259428 A JPS63259428 A JP S63259428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atm
- difference
- air
- mobile valve
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 1
- 241000735631 Senna pendula Species 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229940124513 senna glycoside Drugs 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は流体が空気で数ｆｆ１ｍＨ２Ｏの低い気圧差を
検知するセンナに関するものである。
検知するセンナに関するものである。
従来の技術
従来、低い気圧差を検知する差圧センサは一般に第５図
および第６図に示すような構成であった。すなわち、底
の中央に小穴１０１がある筒１０２の開口側１０３に応
力に対して変形する基板１０４を固着し、この基板１０
４の開口側１０３に検出素子１０５を固定していた。こ
の検出素子１０６人する構成としていた。上記構成にお
いて、小穴１０１からの導入側１０６０気圧と、開口側
１０３の気圧との差によって基板１０４が変形し、この
変形によって検出素子１０５が変形し、この変形に応じ
て抵抗が変化するので気圧差が検出できるものであった
。
および第６図に示すような構成であった。すなわち、底
の中央に小穴１０１がある筒１０２の開口側１０３に応
力に対して変形する基板１０４を固着し、この基板１０
４の開口側１０３に検出素子１０５を固定していた。こ
の検出素子１０６人する構成としていた。上記構成にお
いて、小穴１０１からの導入側１０６０気圧と、開口側
１０３の気圧との差によって基板１０４が変形し、この
変形によって検出素子１０５が変形し、この変形に応じ
て抵抗が変化するので気圧差が検出できるものであった
。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、開口側１０３と導入側１０
６の気圧差が数ｌｎｍ Ｈ２Ｏという小さいものでは検
出素子１０５の変化が少なく測定が困難であるという問
題があった。
６の気圧差が数ｌｎｍ Ｈ２Ｏという小さいものでは検
出素子１０５の変化が少なく測定が困難であるという問
題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、気圧差が
数ｆｆ１ｍ Ｈ２Ｏｆ）Ｊ＼さい気圧でも測定可能にす
ることを目的とするものである。
数ｆｆ１ｍ Ｈ２Ｏｆ）Ｊ＼さい気圧でも測定可能にす
ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、円筒内の空気の
導入側に中空の隔壁を設け、前記円筒内の空気導出側に
配設した支持具に支持された軸受に、前記隔壁にスプリ
ングにて押し自て前記中空部を閉塞する可動弁を有する
移動軸を移動自在だ挿入し、前記可動弁の移動を検知す
る発光部と受光部を配設してなる差圧センサを構成した
ものである。
導入側に中空の隔壁を設け、前記円筒内の空気導出側に
配設した支持具に支持された軸受に、前記隔壁にスプリ
ングにて押し自て前記中空部を閉塞する可動弁を有する
移動軸を移動自在だ挿入し、前記可動弁の移動を検知す
る発光部と受光部を配設してなる差圧センサを構成した
ものである。
作 用
この構成によシ、円筒内の気圧差によって、それまで、
スプリングにて隔壁に押し当てられ中空部を閉塞してい
た可動弁が隔壁から離れて移動し空気が円筒内を導入側
から導出側に流れて可動弁が気圧差によシ定まった位置
で停止し、この可動弁の移動量が所定の値以上であれば
、発光部と受光部によって、それ１で通過していた光が
遮断されて可動弁の移動を検知することによシ気圧差を
所定値以上として検出でき、数−Ｈ２Ｏの小さい気圧差
でも測定できることとなる。
スプリングにて隔壁に押し当てられ中空部を閉塞してい
た可動弁が隔壁から離れて移動し空気が円筒内を導入側
から導出側に流れて可動弁が気圧差によシ定まった位置
で停止し、この可動弁の移動量が所定の値以上であれば
、発光部と受光部によって、それ１で通過していた光が
遮断されて可動弁の移動を検知することによシ気圧差を
所定値以上として検出でき、数−Ｈ２Ｏの小さい気圧差
でも測定できることとなる。
実施例
以下本発明の一実施例を第１図〜第４図にもとづき説明
する。
する。
円筒１内部の空気の導入側２に空気の流量を制限する中
空の隔壁３を設け、導出側４に軸受５を支持する支持具
６を固定している。この軸受６には前記円筒１の内径よ
シ小なる可動弁７を有した移動軸８を移動自在に挿入し
ている。可動弁７は移動軸８の外周に設けたスプリング
９によって隔壁３に押し当てられ中空部をふさいでいる
。前記円筒１の中間に発光部１０と受光部１１を、前記
可動弁７の移動を光の通過と遮断によって検知できるよ
うに一対にして配設している。
空の隔壁３を設け、導出側４に軸受５を支持する支持具
６を固定している。この軸受６には前記円筒１の内径よ
シ小なる可動弁７を有した移動軸８を移動自在に挿入し
ている。可動弁７は移動軸８の外周に設けたスプリング
９によって隔壁３に押し当てられ中空部をふさいでいる
。前記円筒１の中間に発光部１０と受光部１１を、前記
可動弁７の移動を光の通過と遮断によって検知できるよ
うに一対にして配設している。
上記構成において、導入側２より導出側４の気圧が低く
気圧差が生じると、導入側２よシ導出側４に空気が流れ
ようとしてスプリング９の力に抗して可動弁７が隔壁３
から離れて、その気圧差て応じて空気が流れる。可動弁
７は気圧差によシ定まった位置につシ合って停止する。
気圧差が生じると、導入側２よシ導出側４に空気が流れ
ようとしてスプリング９の力に抗して可動弁７が隔壁３
から離れて、その気圧差て応じて空気が流れる。可動弁
７は気圧差によシ定まった位置につシ合って停止する。
可動弁７の移動量が所定の値以上であれば、それまで通
過していた前記円筒１の中間に設けられた発光部１ｏと
受光部１１間の光が遮断されて可動弁７の移動を検知し
、設定値以上として気圧差を検出できることになる。測
定しようとして設定する気圧差は、スプリング９、隔壁
３の中空の面構、可動弁７の外径と円筒１の内径との差
によって存意に決めることができる。
過していた前記円筒１の中間に設けられた発光部１ｏと
受光部１１間の光が遮断されて可動弁７の移動を検知し
、設定値以上として気圧差を検出できることになる。測
定しようとして設定する気圧差は、スプリング９、隔壁
３の中空の面構、可動弁７の外径と円筒１の内径との差
によって存意に決めることができる。
以上のように本実施例によれば、気圧差を空気流として
変換して可動弁の移動を検出するので、数ｆｆｌｆｆ１
Ｈ２ｏ の小さい値でも測定できることとなん発明の効
果 以上のように本発明によれば、気圧差にょシ生ずる気流
を風量として可動弁の移動に伝達し、この可動弁の移動
を光の通過と遮断の検知によって検出するので、数■Ｈ
２０の小さい気圧差を測定することができるという効果
が得られる。
変換して可動弁の移動を検出するので、数ｆｆｌｆｆ１
Ｈ２ｏ の小さい値でも測定できることとなん発明の効
果 以上のように本発明によれば、気圧差にょシ生ずる気流
を風量として可動弁の移動に伝達し、この可動弁の移動
を光の通過と遮断の検知によって検出するので、数■Ｈ
２０の小さい気圧差を測定することができるという効果
が得られる。
第１図は本発明の一実施例による差圧センサを示す側断
面図、第２図は同差圧センナの正面図、第３図は同差圧
センサの背面図、第４図は同差圧センサの動作時の側断
面図、第５図は従来の差圧センサの側断面図、第６図は
同差圧センサの正面図である。 １・・・・・・円筒、２・・・・・・導入側、３・・・
・・・隔壁、４・・・・・・導出側、６・・・・・・軸
受、６・・・・・・支持具、７・・・・・・可動弁、８
・・・・・・移動軸、９・・・・・・スプリング、１ｏ
・・・・・・発光部、１１・・・・・・受光部。
面図、第２図は同差圧センナの正面図、第３図は同差圧
センサの背面図、第４図は同差圧センサの動作時の側断
面図、第５図は従来の差圧センサの側断面図、第６図は
同差圧センサの正面図である。 １・・・・・・円筒、２・・・・・・導入側、３・・・
・・・隔壁、４・・・・・・導出側、６・・・・・・軸
受、６・・・・・・支持具、７・・・・・・可動弁、８
・・・・・・移動軸、９・・・・・・スプリング、１ｏ
・・・・・・発光部、１１・・・・・・受光部。
Claims (1)
- 円筒内の空気の導入側に中空の隔壁を設け、前記円筒内
の空気導出側に配設した支持具に支持された軸受に、前
記隔壁にスプリングにて押し当て前記中空部を閉塞する
可動弁を有する移動軸を移動自在に挿入し、前記可動弁
の移動を検知する発光部と受光部を配設してなる差圧セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254387A JPS63259428A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 差圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254387A JPS63259428A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 差圧センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259428A true JPS63259428A (ja) | 1988-10-26 |
Family
ID=14057296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9254387A Pending JPS63259428A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 差圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63259428A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0327331U (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-19 |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP9254387A patent/JPS63259428A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0327331U (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-19 |
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