JPS63257405A

JPS63257405A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPS63257405A
Application number: JP8795687A
Authority: JP
Inventors: Toshiya Kaihara; 俊也貝原; Hiroshi Imai; 弘志今井
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-04-10
Filing date: 1987-04-10
Publication date: 1988-10-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、クリーンルーム等発塵を嫌う場所における
ワークを搬送する磁気浮上搬送装置に関するものである
。

〔従来の技術〕

第２図は例えば特開昭６１−１３９２０１号公報に示さ
れた一般的な磁気浮上搬送装置の平面図であり、第３図
はその正面図である。また第４図は例えば特開昭５８−
ｔｊｘｔａｓ号公報に示された従来の磁気浮上搬送装置
の制御構成図である。これらの各図において（１）はガ
イド、（２）は搬送台車、（３ａ）〜（３ｄ）は案内制
御磁石アクチュエータ、（４ａ）〜（４ｄ）は浮上用磁
石アクチュエータ、（５ａ）〜（５ｄ）は案内方向ギャ
ップセンサ、（６ａ）〜（６ｄ）は浮上方向ギャップセ
ンサ、（７）は電磁石用コイル、（８）は電流検出用抵
抗、（９）は電力増幅器、（１０）は加算増幅器、（１
１）は微分回路、（１２）はレベル設定器である。そし
て（３ｃ）と（３ｄ）以外のアクチュエータ（３ａ）　
、　（３ｂ）　、　（４ａ）　〜（４ｄ）がそれぞれ第
４図に示される制御回路を持ち、各アクチュエータ（３
ａ）　、　（３ｂ）　。

（４ａ）〜（４ｄ）が独立に制御されている。そして第
５図に従来の磁気浮上搬送装置の磁石アクチュエータ（
３ａ）　、　（３ｂ）　、　（４ａ）　〜（４ｄ）部の
詳細図を示す。ここで（１４）は永久磁石、（１５）は
電磁石コアである。

上記のように従来の磁気浮上搬送装置は上記の様に構成
され、各アクチュエータ（３ａ）　、　（３ｂ）　、　
（４ａ）〜（４ｄ）は独立にまったく同じ制御を行うの
で、ここでは第４図、第５図の場合を例にとり、動作を
説明する。まずギャップセンサ（５ン　により永久磁石
（１４）とガイド（１）間のギャップを測定し、その出
力を加算増幅器（１０）で演算・増幅した後、電力増幅
器（９）に入力し、電磁石コイル（７）の電流を増減し
てギャップが固定目標ギャップ値に常に等しくなるよう
に制御する。さらに安定した制御を行なうため別系統と
しても微分回路（１１）で得た微分信号、抵抗（８）か
ら得るコイル電流の変動信号をも加算増幅器（ｌＯ）に
よって増幅加算して電力増幅器（９）への信号とし、ギ
ャップ制御特性を得る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の磁気浮上搬送装置は以上のように案内方向（進行
方向に対して、左右方向）に関して片側のレール（１ａ
）に対して常に一定の目標ギャップ値によりギャップ制
御を行うことから、もし、ガイドの取付精度が悪く、ガ
イド案内方向にうねりや段差があれば、実際の釣り合い
位置よりずれた所で制御されてしまうこととなり、案内
方向用磁石アクチュエータ（３ａ）　、　（３ｂ）　に
無駄な電流を流さねばならないし、またずれた位置でギ
ャップ制御するため制御剛性が弱くなってしまう。そこ
でガイドの取付精度をある程度以上良くする必要があり
、ガイドが長くなる場合にその取付精度出しに多大の労
力を要するといった問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レールの設置誤差許容値が大きくとれ、案内
方向に関して、搬送台車を常にセンタに保持でき、容易
に省エネルギで安定な制御を実現する磁気浮上搬送装置
を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る磁気浮上搬送装置は、その案内方向につ
いて物品を運搬する搬送台車とその左右に有るガイドと
のギャップ量を左・右のギャップセンサにて測定し、該
左・右のギャップセンサの左・右ギャップ量に応じ各セ
ンサ組に対応したギャップ＃御アクチュエータの＃御目
標値を可変として制御手段にて制御する構成である。

（作用）この発明における磁気浮上搬送装置は、順次左右ギャッ
プ量に応じて目標ギャップを設定するため、搬送台車は
常に制御的に安定な位置に保たれ省エネルギで安定に案
内方向制御を行うことができる。

〔実施例］以下、この発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て説明する。第１図に本実施例装置の制御構成図、第２
図に一般的なこの種装置の平面図を示し、上記各図にお
いて本実施例に係る磁気浮上搬送装置は、搬送台車（２
）と該搬送台車（２）の左右に有するガイド（１）との
ギャップ量を測定する左・右のギャップセンサ、（５ａ
）　、　（５ｂ）　、　（５ｃ）　。

（５ｄ）と、該左・右のギヤ”／ブセンサ（５ａ）　、
　（５ｂ）　。

（５ｃ）　、　（５ｄ）の左・右ギャップ量が入力され
、該左・右ギャップ量の平均値を目標ギャップ量として
演算する演算器（１３）と、該演算器（１３）の目標ギ
ャップ量及び上記左のギャップセンサ（５ａ）　、　（
５ｂ）の左のギャップｌが入力され、目標ギャップ量に
基づいて左のギャップ量を制御する制御信号を演算する
加算増幅器（ｌＯ）と、該加算増幅器（１０）の制御信
号に基づいて磁石アクチュエータ（３ａ）のコイル電流
を増減してギャップ制御を行なう電力増幅器（９）とを
備える構成である。

なお上記加算増幅器（ｌＯ）は演算器（１３）の目標ギ
ャップ量及び左のギャップセンサ（５ａ）　、　（５ｂ
）の左ギャップ量に関する各信号が入力される他、前記
従来装置と同様に微分回路（１１）及びレベル設定器（
１２）の各信号が入力され、安定制御を確実なものとし
ている。

次に上記のように構成された本実施例に係る磁気浮上搬
送装置の動作について説明する。まずギャップセンサ（
５ａ）でガイド（１）　　と磁石アクチュエータ（３ａ
）との間のギャップを測定し、ギャップセンサ（５Ｃ）
でガイド（１）　　と磁石アクチュエータ（３ｃ）間の
ギャップを測定する。そしてその２つを演算器（１３）
に入力し、平均値を求める。この平均値は例えばＡ−Ｂ
部ではまず総ギャップを（ａ＋ｂ）とし、ギャップ設定
値を（ａ　＋　ｂ　）　／　２と可変値にする。もちろ
んＣ−Ｄ部ではそれぞれ（Ｃ＋ｄ）と（ｃ　＋　ｄ　）
　／　２という値にな−る。その結果を目標ギャップ量
として加算増幅器（１０）に入力する。そして以上の様
にして順次水まっていく目標ギャップ量に対して、ギャ
ップセンサ（５ａ）からの入力信号を加算増幅器（１０
）で演算増幅し、電力増幅器（９）を経て磁石アクチュ
エータ（３ａ）のコイル電流を増減して、ギャップ制御
を行う、このように、その設定値に対して、従来同様フ
ィードバック制御を行う。その総ガイドの設置誤差が大
きくても走行台車は常に中央を保持するため安定した案
内制御が可能となる。

さらに、安定した制御を行う別系統として微分回路（１
１）で得た微分信号と、抵抗（８）からのコイル電流の
変動信号を、やはり加算増幅器（ｌＯ）によって演算・
増幅し、電力増幅器（９）への信号とし、ギャップ制御
特性を得る。ここで以上の制御はもちろん磁石アクチュ
エータ（３ｂ）と磁石アクチュエータ（３ｄ）間でもや
はり同様に行なわれ、磁石アクチュエータ（３ｂ）のコ
イル電流を増減し、ギャップ制御を行う。また、この制
御方式は案内方向に関するものであり、浮上用磁石アク
チュエータ（４ａ）〜（４ｄ）の制御方式は従来同様で
ある。

なお、上記実施例ではガイド（１）が案内用磁石アクチ
ュエータ（３ａ）〜（３ｄ）の内側にある場合について
示したが、ガイド（１）が案内用磁石アクチュエータ（
３ａ）〜（３ｄ）の外側にあってもよい。また、上記実
施例では案内用磁石アクチュエータ（３ａ）。

（３ｂ）の２個を制御する場合の例を示したが、別にす
べての案内用磁石アクチュエータ（３ａ）〜（３ｄ）に
対して制御を行ってもよい。

〔発明の効果〕

以上の様に、この発明によれば、ガイドの取付精度が悪
い場合でも搬送車が必ず制御的に安定して中心位置を保
って走行し、また、その結果省エネルギで制御剛性を上
げることが出来るため、安価で信頼性の高い装置が得ら
れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による磁気浮上搬送装置の
制御構成図、第２図は一般的な磁気浮上搬送装置の平面
図、第３図は第２図の正面図、第４図は従来装置の制御
構成図、第５図は従来装置の磁石アクチュエータ部の詳
細図である。図において、（１）はガイド、（２〕　は搬送台車、（
３ａ）〜（３ｄ）は案内方向磁石アクチュエータ、（４
ａ）〜（４ｄ）は浮上用磁石アクチュエータ、（５ａ）
〜（５ｄ）は案内方向ギャップセンサ、（６ａ）〜（６
ｄ）は浮上方向ギャップセンサ、（７）は電磁石用コイ
ル、（８）は電流検出用抵抗、（９）は電力増幅器、（
１０）は加算増幅器、（１１）は微分回路、（１２）は
レベル設定器、（１３）は演算器、（１４）は永久磁石
、（１５）は電磁石コアである。なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）浮上用マグネットの吸引力を制御することで搬送
台車を浮上させ、この搬送台車にて物品を運搬する磁気
浮上搬送装置において、搬送台車と該搬送台車の左右に
有するガイドとのギャップ量を測定する左・右のギャッ
プセンサと、該左・右のギャップセンサの左・右ギャッ
プ量に応じて各センサ組に対応したギャップ制御アクチ
ュエータの制御目標値が可変として制御する制御手段と
を備えて構成したことを特徴とする磁気浮上搬送装置。
（２）左・右のギャップセンサは、搬送台車の左・右に
複数組設ける構成としたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の磁気浮上搬送装置。
（３）上記制御手段は、左・右のギャップセンサの左・
右ギャップ量が入力され、該左・右ギャップ量の平均値
を求めて目標ギャップ量を演算する演算手段と、該演算
手段の目標ギャップ量を基準として上記左・右ギャップ
量のいずれかを入力値と比較してギャップ制御信号を演
算して案内方向を制御する案内方向制御手段とを備える
構成としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
第２項に記載の磁気浮上搬送装置。