JPS6325387U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るスクイド磁束計用導電薄
膜製ピツクアツプコイルを示す平面図、第２図は
同コイル２個を用いて組立てた二次微分コイルと
してのピツクアツプコイルを示す平面図、第３図
は第２図のピツクアツプコイルにつき、その結線
状態を示した電気回路図、第４図ａ〜ｉは、同ピ
ツクアツプコイル製作工程を示した第１図におけ
る―線縦断面図、第５図のａ，ｂ，ｃは第４
図の製作工程にあつて使用される夫々、超電導薄
膜線部用、コンタクトホール用、超電導接続線用
の各マスクを示す平面図、第６図ａは従来のスク
イド磁束計を示した電気回路構成図、同図ｂは同
従来の二次微分コイルとしてのピツクアツプコイ
ルを示した斜視説明図である。 １０……電気絶縁基板、１１……超電動薄膜線
部、１２……電気絶縁薄膜、１３……超電導接続
線、１５ａ，１５ｂ……コイル部、１６ａ……第
１コイル、１６ｂ……第２コイル、１７ａ，１７
ｂ……同側一端、１８ａ……第１引き出し線、１
８ｂ……第２引き出し線、２２ａ，２２ｂ……他
側一端、２７……クロスポイント。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電気絶縁基板の一平面上に、フオトリソグ
   ラフイによつて形成された、実質的に同一寸法の
   コイル部をもつ第１コイル、第２コイルと、これ
   ら第１コイル、第２コイルの同側一端から夫々連
   続している第１引き出し線、第１引き出し線とか
   らなるから超電導薄膜線部が設けられ、当該超電
   導薄膜線部を被覆した電気絶縁薄膜が、前記電気
   絶縁基板に被着されると共に、当該電気絶縁薄膜
   上の超電導接続線が、同電気絶縁薄膜に穿設され
   た各コンタクトホールを介して、上記第１コイル
   、第２コイルの同側他端相互を接続してなるスク
   イド磁束計用導電薄膜製ピツクアツプコイル。 (2) 第１コイル、第２コイルの同側他端が、夫
   々第２引き出し線とそれぞれ超電導接続線とのク
   ロスポイントを具有する当該第２引き出し線部を
   挾んで、任意の位置に配設されている実用新案登
   録請求の範囲第(1)項記載のスクイド磁束計用導
   電薄膜製ピツクアツプコイル。