JPS63250461A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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Publication number
JPS63250461A
JPS63250461A JP8432387A JP8432387A JPS63250461A JP S63250461 A JPS63250461 A JP S63250461A JP 8432387 A JP8432387 A JP 8432387A JP 8432387 A JP8432387 A JP 8432387A JP S63250461 A JPS63250461 A JP S63250461A
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JP
Japan
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magnetic
recording medium
magnetic recording
nonmagnetic material
ion implantation
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Application number
JP8432387A
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Japanese (ja)
Inventor
Masataka Okubo
雅隆 大久保
Tatsumi Hioki
辰視 日置
Junichi Kawamoto
淳一 川本
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Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To produce a magnetic recording medium having superior environmental resistance such as oxidation resistance by forming a magnetic layer consisting of ferromagnetic metal grains in a nonmagnetic material having a specified oxygen diffusion constant by the ion implantation method. CONSTITUTION:A magnetic layer consisting of magnetic metal grains having ferro- or ferrimagnetism is formed in a nonmagnetic material having <=1X10<-18>cm<2>/S oxygen diffusion constant at room temp. by an ion implantation method. Alumina may be used as the nonmagnetic material, magnetic iron grains as the magnetic metal grains and the thickness of the magnetic layer is regulated to several ten - several hundred nm. The nonmagnetic material subjected to ion implantation is desirably heat treated in vacuum or in a reducing atmosphere after a magnetic field is applied to align the axes of easy magnetization of the magnetic metal grains in a specified direction. Thus, a magnetic recording medium which undergoes no change with the lapse of time and functions stably even when used at high temp. is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用外W> 本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくはコンピュータ用
の磁気記録装置等に使用するための磁気記録媒体に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Outside of industrial use) The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic recording medium for use in a magnetic recording device for a computer or the like.

(従来の技術) 従来便用されている磁気記録媒体としては、例えば(1
)磁性粒子と有機バインダーを混合した磁性塗料をグラ
スチック、金属等のベース上に塗布し、その後乾燥させ
た塗布型媒体、あるいは(2)1m気メツ千法、真窒蒸
層法、スパッター法等により磁性薄膜をベース上に形成
した薄膜型媒体等がおる(例えば、石川義和、三浦全編
1磁性物理学と七の応用”東京裳華房発行、1984年
参照)。磁性粒子や磁性薄膜としては、残留磁化が大き
い非酸化物(例えばF@、Co。
(Prior art) Examples of conventionally used magnetic recording media include (1)
) A coated medium in which a magnetic paint containing magnetic particles and an organic binder is mixed onto a base of glass or metal, and then dried; or (2) a 1m coating method, a true nitride evaporation layer method, or a sputtering method. There are thin film media, etc., in which a magnetic thin film is formed on a base (for example, see Yoshikazu Ishikawa, Miura Complete Edition 1 Magnetic Physics and Seven Applications, published by Tokyo Shokabo, 1984). is a non-oxide with large residual magnetization (e.g. F@, Co.

Ni金属または七の合金)を用いる方が、高密度配録の
ために有利である。
It is advantageous to use Ni metal or an alloy of 7) for high density loading.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、金属磁性粒子を用いた場合には、その酸
化による記録内容の喪失が起る。また、最も広く普及し
ている塗布型媒体は有機バインダーを用いているため、
有機バインダーが炭化してしまうような温度では使用で
きない。
(Problems to be Solved by the Invention) However, when metal magnetic particles are used, the recorded content is lost due to oxidation. Furthermore, since the most widely used coating media uses organic binders,
It cannot be used at temperatures that would carbonize the organic binder.

さらに、これらの記録媒体は腐食雰囲気中では金属磁性
体が腐食するため、記録媒体として機能しなくなる。こ
のような欠点のため、極限作業ロボットのような耐環境
性が要求されるシステムには、従来の磁気記録媒体は使
用できない。
Furthermore, the metal magnetic material of these recording media corrodes in a corrosive atmosphere, so that they no longer function as recording media. Because of these drawbacks, conventional magnetic recording media cannot be used in systems that require environmental resistance, such as extreme work robots.

以上のような問題点を解決するには、有機バインダーを
用いない金属薄膜型媒体の表面を酸素を通しにくく、優
れた耐環境性(耐腐食性、耐熱性等)を有する保護膜で
覆った磁気記録媒体が考えられる。しかし、この磁気記
録媒体では金属磁性薄膜と保d膜の密着性が問題となり
、高温下で使用した場合に、熱膨張係数の違いにより、
保換膜が剥離しやすく、また、その製造プロセスも複雑
になる。
In order to solve the above problems, the surface of the metal thin film type media that does not use an organic binder is covered with a protective film that is difficult for oxygen to pass through and has excellent environmental resistance (corrosion resistance, heat resistance, etc.). A magnetic recording medium is considered. However, with this magnetic recording medium, the adhesion between the metal magnetic thin film and the retention film is a problem, and when used at high temperatures, due to the difference in thermal expansion coefficient,
The storage membrane is likely to peel off, and the manufacturing process thereof is also complicated.

本発明は上記従来技術における問題点を解決するための
ものであり、その目的とするととろけ、情報を記録する
磁性体として高密度記録に有利な金属磁性体を用いたも
ので、かつ、優れた耐酸化性等の耐環境性を有する磁気
記録媒体を提供することにある。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems in the prior art, and uses a metal magnetic material that melts and is advantageous for high-density recording as a magnetic material for recording information, and is an excellent The object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having environmental resistance such as oxidation resistance.

(問題点を解決するだめの手段) すなわち本発明の磁気記録媒体は、酸素の拡散定数が雰
囲気の温度でI X 10−” crt?/ S以下の
非磁性材料の内部にイオン注入法により、強磁性または
フェリ磁性を示す金属磁性粒子よりなる磁性層が形成さ
れていることを特徴とする。
(Another Means to Solve the Problem) That is, the magnetic recording medium of the present invention uses an ion implantation method inside a non-magnetic material whose oxygen diffusion constant is less than I x 10-" crt?/S at the ambient temperature. It is characterized in that a magnetic layer made of metal magnetic particles exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism is formed.

本発明の好ましい実施態様は以下のものである。Preferred embodiments of the invention are as follows.

(i)  非磁性材料がアルミナである磁気記録媒体◇
(11)金属磁性粒子が鉄製性粒子である磁気記録媒体
(i) Magnetic recording medium whose nonmagnetic material is alumina◇
(11) A magnetic recording medium in which the metal magnetic particles are iron particles.

(iiD  磁性層の深さが数10nmないし数110
0nである磁気記録媒体。
(iiD The depth of the magnetic layer is several 10 nm to several 110 nm
0n magnetic recording medium.

本発明者らは以下のことに着眼して本発明を成すに至っ
た口 (、)  イオン注入法を用いると、材料の表面層(一
般的なイオン注入装置、例えば、コック・クロット−ウ
オルトン型を用いた場合には、数nm−数1100nの
範囲)に任意のイオン種を必要量だけ制御性よく導入で
きる。ベース材料としては、任意の材料を選ぶことがで
きるため、l1lit環境性に優れたもの(例えば、α
−kA、 O,のような酸化物)をペース材料として用
いることによって、耐環境性の優れた磁気記録媒体とな
る。
The present inventors have realized the present invention by paying attention to the following points. When using the above method, it is possible to introduce the necessary amount of any ion species in the range of several nm to several 1100 nanometers with good controllability. Since any material can be selected as the base material, it is possible to choose one that has excellent l1lit environmental performance (for example, α
By using oxides such as -kA, O, etc.) as a paste material, a magnetic recording medium with excellent environmental resistance can be obtained.

(b)  イオン注入された元素を金属磁性粒子として
、ベース材料内部に析出させる。この磁性層は、耐環境
性に優れたペース材料によって、外界から遮断されるの
で、金属磁性粒子の酸化・腐食という問題が生じない。
(b) Precipitating the ion-implanted elements as metal magnetic particles inside the base material. Since this magnetic layer is shielded from the outside world by a paste material with excellent environmental resistance, problems such as oxidation and corrosion of the metal magnetic particles do not occur.

本発明において、磁性層を機械的に支持する非磁性材料
としては、本磁気記録媒体を使用する雰囲気のrkA度
(例えば室温)で、酸素の拡散定数が、I X 10−
” cm”78  以下のものを用いる。
In the present invention, the non-magnetic material that mechanically supports the magnetic layer has an oxygen diffusion constant of I x 10-
Use one with a diameter of 78 cm or less.

これは、以下の理由による。酸素の拡散定数をり1時間
をtとすると、非磁性材料中での酸素の平均拡散長は、
x = 2./’π丁で与えられる。従って、金属磁性
粒子の存在する深さを1100n、磁気記録媒体の安定
の目安を1年(3,15X10?秒)とすると、非磁性
材料中の酸素の拡散定数は、約I X 10−” cm
”/S以下でなければならない。
This is due to the following reasons. If the diffusion constant of oxygen is 1 hour and t, then the average diffusion length of oxygen in a non-magnetic material is:
x = 2. /' It is given in π-cho. Therefore, assuming that the depth at which metal magnetic particles exist is 1100 nm and the standard of stability for a magnetic recording medium is one year (3.15 x 10? seconds), the diffusion constant of oxygen in the non-magnetic material is approximately I x 10-" cm
”/S or less.

すなわち、雰囲気中の酸素が金属磁性粒子の存在する深
場に達するのに1年かかるので、少なくとも1年間は金
属磁性粒子が酸化されず、本磁気記録媒体は安定に機能
する。
That is, since it takes one year for oxygen in the atmosphere to reach the deep field where the metal magnetic particles exist, the metal magnetic particles are not oxidized for at least one year, and the present magnetic recording medium functions stably.

また、非磁性材料としては、本磁気記録媒体を使用する
雰囲気に対して、優れた耐環境性を有するものを用いる
。例えば、高温下で便用する場合には耐熱性、腐食性ガ
ス中で使用する場合には耐腐食性が必要である。非磁性
材料が酸化物である場合には、酸化物の陽イオン元素が
注入するイオン機より酸素と結合しやすい(目安として
、電気i1!性度が小さい)元素である必要がある。
Further, as the non-magnetic material, a material having excellent environmental resistance to the atmosphere in which the present magnetic recording medium is used is used. For example, heat resistance is required for use under high temperatures, and corrosion resistance is required for use in corrosive gases. When the nonmagnetic material is an oxide, the cationic element of the oxide needs to be an element that more easily bonds with oxygen than the implanted ion machine (as a guideline, the electrical i1! property is small).

非磁性材料内部の磁性層は、イオン注入法によって形成
される◇イオン注入するイオン種は強磁性またはフェリ
磁性を示す金属またはその合金の構成元素のイオンを用
いる02穐類以上のイオン種を注入してもよい。注入す
る深さは、高密度記録のためには、浅い方がよく、耐環
境性のためには深い方がよいので、両者の釣合を考慮し
て選択する。望ましい深さは、数10から数1100n
の範囲である。イオンの注入量は、磁性層が情報を磁気
信号として記録・再生するのに必要な自発磁化をもつよ
うに調節する。イオン注入したままで、強磁性またはフ
ェリ磁性を示す磁性層が形成されれば、このまま磁気記
録媒体として用いることができる。しかし、一般的には
イオン注入後熱処理を施す。熱処理雰囲気は%空気中、
真空中またはガス中いずれでもよいが、真空中あるいは
還元雰囲気中での熱処理が望ましい。この熱処理によっ
て、注入されたイオンは、金属磁性粒子として析出し、
非磁性材料内部に磁性層が形成される。熱処理条件は、
注入するイオン種や非磁性材料の塊類によって選択する
。熱処理時間や温度は、金属磁性粒子が強磁性またはフ
ェリ磁性を示すように調節する。注入されるイオンは、
非磁性材料の構成元素と反応しやすいものでもよいが、
その反応によって形成された化合物は、強磁性体または
フェリ磁性体である必要がある。
The magnetic layer inside the non-magnetic material is formed by ion implantation method ◇The ion species to be implanted are ions of constituent elements of metals or alloys thereof that exhibit ferromagnetism or ferrimagnetism.Ion species of 02 or higher are implanted. You may. The depth of implantation is selected by considering the balance between the two, since shallower is better for high-density recording and deeper is better for environmental resistance. Desirable depth is from several 10 to several 1100 nm
is within the range of The amount of ion implantation is adjusted so that the magnetic layer has the spontaneous magnetization necessary for recording and reproducing information as a magnetic signal. If a magnetic layer exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism is formed with ion implantation, it can be used as is as a magnetic recording medium. However, heat treatment is generally performed after ion implantation. The heat treatment atmosphere is % air,
The heat treatment may be carried out in a vacuum or in a gas, but preferably in a vacuum or in a reducing atmosphere. Through this heat treatment, the implanted ions precipitate as metal magnetic particles,
A magnetic layer is formed inside the non-magnetic material. The heat treatment conditions are
It is selected depending on the type of ion to be implanted and the mass of non-magnetic material. The heat treatment time and temperature are adjusted so that the metal magnetic particles exhibit ferromagnetism or ferrimagnetism. The ions to be implanted are
It may be something that easily reacts with the constituent elements of the non-magnetic material, but
The compound formed by the reaction must be ferromagnetic or ferrimagnetic.

熱処理時には、イオン注入処理した非磁性材料に磁界を
印加し、金属磁性粒子の磁化容易軸を特定の方向(非磁
性材料の表面に平行または垂直)に整列させることが望
ましい。こうすることにより、磁気記録に有利な角形の
ヒステリシス特性を本磁気記録媒体にもたせることがで
きる。
During heat treatment, it is desirable to apply a magnetic field to the ion-implanted nonmagnetic material to align the easy magnetization axes of the metal magnetic particles in a specific direction (parallel or perpendicular to the surface of the nonmagnetic material). By doing so, the present magnetic recording medium can have a rectangular hysteresis characteristic that is advantageous for magnetic recording.

(作用) 非磁性材料内部の磁性層を形成する金属磁性粒子が磁気
信号として情報を記録する。この磁性層は、酸素を通し
にくい非磁性材料によって保護されており、金属磁性粒
子が酸化されない。
(Function) The metal magnetic particles forming the magnetic layer inside the nonmagnetic material record information as a magnetic signal. This magnetic layer is protected by a nonmagnetic material that does not easily allow oxygen to pass through, so that the metal magnetic particles are not oxidized.

また、優れた耐環境性の非磁性材料を用いれば、金属磁
性粒子が腐食等の化学変化を起すこともない。
Furthermore, if a nonmagnetic material with excellent environmental resistance is used, the metal magnetic particles will not undergo chemical changes such as corrosion.

(実施例) 以下の実施例において本発明を更に詳細に説明する。な
お、本発明は下記実施例に限定されるものではない。非
磁性材料としてα−A/、、O。
(Example) The present invention will be explained in further detail in the following example. Note that the present invention is not limited to the following examples. α-A/,,O as a non-magnetic material.

の単結晶を用い、注入イオン種としてFeイオンを用い
た例を以下に示す。Fe+イオンの注入エネルギーは4
00KeV、注入量は1×10−L74オン/ cm 
”である。イオン注入時には、α−A t、 O,の温
度は240℃まで上昇した。以上の条件でイオン注入し
た後のα−A t、 O,の断面構造は、第1図のよう
になる。保護層1およびベース3は、α−At、0.の
単結晶である。保護層1はイオン注入装置で100に@
Vに加速さレタイオン4の注入時のイオン衝撃によって
もアモルファス化せず、照射損傷が非常に少ない単結晶
層であることが、2M・VHe  イオ/のテヤネリ/
グ効果を用いて確認された。つまり、He+ イオンの
後方散乱スペクトルで、Atからのスペクトルのランダ
ム収量に対するチャネリング収量の比Xm1n(At)
  は、3.6 %でしかない。この値は、未注入のα
−At、0.に対するXm1n(At)の値1.6チよ
りわす、かに大きいだけである。イオン注入後空気中あ
るいは真空中にて850℃で1時間の熱処理を施した。
An example in which Fe ions are used as the implanted ion species using a single crystal is shown below. The implantation energy of Fe+ ions is 4
00KeV, implantation dose is 1×10−L74on/cm
”. During ion implantation, the temperature of α-A t, O, rose to 240°C. The cross-sectional structure of α-A t, O, after ion implantation under the above conditions is as shown in Figure 1. The protective layer 1 and the base 3 are single crystals of α-At, 0. The protective layer 1 is made of α-At, 0.0.
Teyaneri/ of 2M VHe io/ is a single crystal layer that does not become amorphous even by ion bombardment during implantation of Reta ions 4 accelerated by V, and has very little radiation damage.
This was confirmed using the Google effect. That is, in the backscattered spectrum of He+ ions, the ratio of the channeling yield to the random yield of the spectrum from At is Xm1n(At)
is only 3.6%. This value is equal to the uninjected α
-At, 0. This is only slightly larger than the value of Xm1n(At) of 1.6ch for After ion implantation, heat treatment was performed at 850° C. for 1 hour in air or vacuum.

これらの熱処理によって、磁性層2は、強磁性を示すα
−Feの金属磁性粒子(平均直径20nm)が分散して
いる状態となった。空気中熱処理でも、α−Fe粒子は
酸化されない。これは、イオン注入後保護層1のXm1
n(At)が3.6%と小さく、酸素の拡散定数がI 
X 10−” cm”A以下であるためである。一般に
Xm1n(At)が60チ以上になると金属磁性粒子は
熱処理中に酸化されやすい。
Through these heat treatments, the magnetic layer 2 exhibits ferromagnetism α
-Fe metal magnetic particles (average diameter 20 nm) were dispersed. α-Fe particles are not oxidized even by heat treatment in air. This is Xm1 of the protective layer 1 after ion implantation.
n(At) is as small as 3.6%, and the oxygen diffusion constant is I
This is because it is less than X 10-''cm''A. Generally, when Xm1n(At) is 60 or more, the metal magnetic particles are likely to be oxidized during heat treatment.

この磁気記録媒体の磁化曲線は第2図のようになる。空
気中および真空中いずれの熱処理でも同一の磁化曲線を
示した。強磁性あるいはフェリ磁性の特徴である、残留
磁化と保磁力をもつため、磁気記録媒体として使えるこ
とがわかる。この磁気記録媒体の磁気モーメントは10
KOeの印加磁界でt、2xxo−40でおった。
The magnetization curve of this magnetic recording medium is as shown in FIG. The magnetization curves were the same in both air and vacuum heat treatments. Because it has residual magnetization and coercive force, which are characteristics of ferromagnetism or ferrimagnetism, it can be used as a magnetic recording medium. The magnetic moment of this magnetic recording medium is 10
With an applied magnetic field of KOe, t was 2xxo-40.

この値は、以下の環境下に本磁気記録媒体を置いても不
変であった。(i)空気中700℃でl夕月間、(11
)酸素中700℃で24時間、(lii)塩酸中24時
間。以上のことから、本磁気記録媒体は経時変化せず、
優れた耐環境性を有するととがわかる。
This value remained unchanged even when the present magnetic recording medium was placed under the following environment. (i) For one evening at 700°C in air, (11
) 24 hours at 700° C. in oxygen; (lii) 24 hours in hydrochloric acid. From the above, this magnetic recording medium does not change over time,
It can be seen that it has excellent environmental resistance.

なお、この例では、保護層1の厚みは約1100n%礎
性層2はloonm、ベース3は0.3mmである。
In this example, the thickness of the protective layer 1 is about 1100 nm, the thickness of the basic layer 2 is about 100 nm, and the thickness of the base 3 is 0.3 mm.

上記実施例では、単結晶のベース材料を用いたが、多結
晶やアモルファス材料でも酸素の拡散定数がI X 1
0−” an”/ S以下の状態であれば用いることが
できる。
In the above example, a single crystal base material was used, but polycrystalline or amorphous materials also have an oxygen diffusion constant of I
It can be used if the condition is 0-"an"/S or less.

(発明の効果) 本発明の磁気記録媒体は、酸化物粒子より自発磁化が大
きい金属磁性粒子を用いるため、高密度記録に有利であ
る。また、この金属磁性粒子は、酸素を通しにくい非磁
性材料によって保護されているため、高温下で用いても
金属磁性粒子が酸化されない。すなわち、本磁気記録媒
体は、高温下で使用しても経時変化がなく、安定に動作
する。使用可能な温度の上限は金属磁性粒子のキューリ
一温度で決まり、例えば、α−F・粒子を用いた場合に
は、α−Paのキューリ一温度(770C)まで使用可
能である。
(Effects of the Invention) The magnetic recording medium of the present invention is advantageous for high-density recording because it uses metal magnetic particles whose spontaneous magnetization is larger than that of oxide particles. Furthermore, since the metal magnetic particles are protected by a nonmagnetic material that does not easily allow oxygen to pass through, the metal magnetic particles are not oxidized even when used at high temperatures. That is, the present magnetic recording medium does not change over time even when used at high temperatures and operates stably. The upper limit of the usable temperature is determined by the Curie temperature of the metal magnetic particles; for example, when α-F particles are used, it can be used up to the Curie temperature of α-Pa (770C).

本磁気記録媒体の耐環境性は、用いる非磁性材料の性質
によって決まり、耐環境性に優れた非磁性材料を用いれ
ば腐食性のガス中等苛酷な条件下で使用可能な磁気記録
媒体を得ることができる。
The environmental resistance of this magnetic recording medium is determined by the properties of the non-magnetic material used. If a non-magnetic material with excellent environmental resistance is used, a magnetic recording medium that can be used under harsh conditions such as corrosive gas can be obtained. Can be done.

さらに、本磁気記録媒体はイオン注入法を用いて非磁性
材料内部に磁性層を形成しであるので、磁性層と非磁性
材料の密着性が非常によい。
Furthermore, since the present magnetic recording medium uses an ion implantation method to form a magnetic layer inside a nonmagnetic material, the adhesion between the magnetic layer and the nonmagnetic material is very good.

従って、高温下で用いても熱膨張係数の違いによる磁性
層と非磁性材料の剥離が生じない。
Therefore, even when used at high temperatures, separation of the magnetic layer and non-magnetic material due to differences in thermal expansion coefficients does not occur.

本磁気記録媒体の表面性状は、イオン注入前の非磁性材
料の表面仕上げによって決まるため、平滑で鏡面仕げし
た非磁性材料を用いれば、記録・再生用の磁気ヘッド材
料によっては、低摩擦、低摩耗の磁気記録媒体が得られ
る。従って、従来のコンピューター用磁気ディスク装置
で用いられている浮上型磁気ヘッドでなく、接触型の伍
気ヘッドを使用でき、高密度記録、高信頼化に有利であ
る〇 また、本磁気記録媒体は、イオン注入・熱処理の2工程
しか必要としないため、製造プロセスが簡単である。
The surface quality of this magnetic recording medium is determined by the surface finish of the non-magnetic material before ion implantation. Therefore, if a smooth, mirror-finished non-magnetic material is used, depending on the magnetic head material used for recording and playback, low friction and A magnetic recording medium with low wear can be obtained. Therefore, instead of the floating magnetic head used in conventional magnetic disk drives for computers, a contact-type magnetic head can be used, which is advantageous for high-density recording and high reliability. Also, this magnetic recording medium The manufacturing process is simple because only two steps, ion implantation and heat treatment, are required.

上述のように本発明の磁気記録媒体は、苛酷な条件下で
の使用に耐える。従って、極限作業ロボット、人工衛星
、等に搭載可能でおり、各種分野に幅広く応用すること
ができる。
As described above, the magnetic recording medium of the present invention can withstand use under severe conditions. Therefore, it can be mounted on extreme work robots, artificial satellites, etc., and can be widely applied to various fields.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の磁気記録媒体の断面構造を示す説明図
、 第2図は実施例の磁気記録媒体の磁化曲線を示す図であ
る。 図中、 1・・・・・・保護層   2・・・・・・磁性層3・
・・・・・ベース   4・・・・・・ イオンl!!
   −区  ) 吠  領  ?  Y −へ0寸 領屓P−人、\工ε ↓
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the cross-sectional structure of the magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the magnetization curve of the magnetic recording medium of the example. In the figure, 1... Protective layer 2... Magnetic layer 3.
...Base 4... Aeon l! !
-ku) bōryō? Y - to 0 cm area P - person, \technical epsilon ↓

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)酸素の拡散定数が、雰囲気の温度で1×10^−
^1^8cm^2/S以下の非磁性材料の内部にイオン
注入法により、強磁性またはフェリ磁性を示す金属磁性
粒子よりなる磁性層が形成されていることを特徴とする
磁気記録媒体。
(1) The diffusion constant of oxygen is 1×10^- at the ambient temperature.
A magnetic recording medium characterized in that a magnetic layer made of metal magnetic particles exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism is formed inside a nonmagnetic material of ^1^8 cm^2/S or less by ion implantation.
(2)非磁性材料がアルミナであることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体。
(2) The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the nonmagnetic material is alumina.
(3)金属磁性粒子が鉄製性粒子であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体。
(3) The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the metal magnetic particles are iron particles.
(4)磁性層の深さが数10nmないし数100nmで
あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気
記録媒体。
(4) The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the depth of the magnetic layer is several tens of nanometers to several hundreds of nanometers.
JP8432387A 1987-04-06 1987-04-06 Magnetic recording medium Pending JPS63250461A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013535094A (en) * 2010-05-28 2013-09-09 インスティテュート オブ ジオロジカル アンド ニュークリア サイエンシズ リミティド Magnetic nanocluster
CN110869527A (en) * 2017-07-07 2020-03-06 斯沃奇集团研究和开发有限公司 Method for surface treatment of particles of metal powder and metal powder particles obtained thereby

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