JPS63242320A - Separation of gaseous mixture - Google Patents

Separation of gaseous mixture

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JPS63242320A
JPS63242320A JP62076009A JP7600987A JPS63242320A JP S63242320 A JPS63242320 A JP S63242320A JP 62076009 A JP62076009 A JP 62076009A JP 7600987 A JP7600987 A JP 7600987A JP S63242320 A JPS63242320 A JP S63242320A
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JP
Japan
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gas
electrode
separation
electron
separated
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Application number
JP62076009A
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Japanese (ja)
Inventor
Morio Okazaki
岡崎 守男
Hajime Takado
肇 田門
Takeshi Tomita
富田 武
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
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  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

PURPOSE:To separate the low concn. gas in a gaseous mixture, by applying an electron to the gaseous molecule having high electron adhesion in the gaseous mixture to generate negatively ionized gas and applying an electric or magnetic field to said ionized gas to trap the same by the adsorbent provided to a positive electrode. CONSTITUTION:For example, when a gaseous mixture of N2 and SF6 is to be separated, a discharge electrode (negative electrode) is provided to the center of a coaxial cylindrical chamber and voltage is applied thereto to generate corona discharge. The electron generated in the vicinity of the discharge electrode is adhered to a gaseous molecule having high electron affinity such as SF6 to form the negative ion of SF6. This negative ion is drifted toward the positive electrode (earth) on the outer side along with the electron and trapped by the adsorbing material such as activated carbon provided to the positive electrode to be fixed thereto and the negatively ionizable gas can be selectively separated and removed.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、混合気体から選択的に気体を分離する方法に
関する。特に、気体分子の電子付着性の差を利用して選
択的に気体を分離する新規な気体分離方法に関する。特
に、プラス極に設けた吸着材に負イオン化気体分子をト
ラップすることにより気体分子を分離する方法である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for selectively separating a gas from a gas mixture. In particular, the present invention relates to a novel gas separation method that selectively separates gases by utilizing differences in electron attachment properties of gas molecules. In particular, this is a method of separating gas molecules by trapping negatively ionized gas molecules in an adsorbent provided at a positive electrode.

[従来の技術] 従来の一般的なガス分離方法には、(1)冷却し。[Conventional technology] Conventional common gas separation methods include (1) cooling;

沸点差による深冷分離法、■気体分子の吸着性の差、モ
レキュラーシーブ作用を利用する吸着分離法、c3)多
孔質膜或いは高分子膜を利用し、拡散係数の差を利用す
る膜分離法、(荀気体と錯体を可逆的に形成するものを
利用する化学吸着法がある。
Cryogenic separation method based on the difference in boiling point; ■ Adsorption separation method using the difference in adsorption of gas molecules and molecular sieve action; c3) Membrane separation method using a porous membrane or polymer membrane and using the difference in diffusion coefficient. There is a chemical adsorption method that uses substances that reversibly form complexes with Xun gas.

電子を中性の気体分子に衝突させて負イオンの電離電流
によりガス検出する電子付着検出器(Olectron
 capture 1onization detec
tor)が従来からあるが、ガスを分離するものは未だ
具体化されていない。
Electron attachment detector (Oelectron) detects gas by colliding electrons with neutral gas molecules and detecting the ionization current of negative ions.
capture 1onization detect
tor), but one that separates gases has not yet been implemented.

[発明が解決しようとする問題点] 本発明の混合ガス分#I方法は、従来のガス分離技術と
は全く異なる原理でおこなうものである。
[Problems to be Solved by the Invention] The mixed gas #I method of the present invention is performed on a completely different principle from conventional gas separation techniques.

従来の分離法では、達成しがたい超高純度のガスの精製
を行なおうとするものである0本発明は。
The present invention attempts to purify gas to ultra-high purity, which is difficult to achieve with conventional separation methods.

特に混合気体中の低濃度(数拾ppm以下の気体の分離
除去に適する方法を提供することを目的とする。
In particular, it is an object of the present invention to provide a method suitable for separating and removing gases at low concentrations (several ppm or less) in a mixed gas.

[問題点を解決するための手段] 本発明は1分離すべき混合気体、を一定のチャンバー内
に導入し、その混合気体に対して電子発生装置により1
分離すべき混合気体のうち電子付着性の高い気体分子に
電子を付与し、気体負イオンを発生せしめ、電場又は磁
場を掛け、一方、プラス極に吸着材を設け、負イオン化
きれた気体分子をその吸着材にトラップさせ、電極上に
固定化し、負イオン化気体以外の分離ガスを取り出すこ
とを特徴とする混合気体の分離方法である。
[Means for Solving the Problems] The present invention introduces a gas mixture to be separated into a certain chamber, and generates an electron generator for the gas mixture.
Of the mixed gas to be separated, electrons are added to gas molecules with high electron adhesion properties to generate gaseous negative ions, and an electric or magnetic field is applied.Meanwhile, an adsorbent is provided on the positive electrode to collect the negatively ionized gas molecules. This is a mixed gas separation method characterized by trapping the adsorbent, immobilizing it on an electrode, and taking out separated gases other than the negatively ionized gas.

[作用コ 本発明方法では、電子が気体分子に対し付着する付着反
応は、比較的低エネルギーで起こり、電子との衝突によ
る分子そのものの解離の度合いも小さい、更に、付着反
応の親和力は分子によりかなり差があると云う性質を利
用して電場、磁場などにより負イオンを中性分子と分離
することにより、気体を選択的に濃縮、除去するもので
ある。
[Operation] In the method of the present invention, the adhesion reaction in which electrons attach to gas molecules occurs at relatively low energy, and the degree of dissociation of the molecule itself due to collision with electrons is small.Furthermore, the affinity of the adhesion reaction is It selectively concentrates and removes gases by separating negative ions from neutral molecules using an electric field, magnetic field, etc., taking advantage of the fact that there is a considerable difference in their properties.

本発明による混合気体の分離方法は1次のような原理を
利用するものである。
The method for separating a mixed gas according to the present invention utilizes the first-order principle.

電子が中性のガス分子と衝突すると、電子のもつエネル
ギーが小さい場合には、気体分子が電子を保護して気体
負イオンを形成する。この負イオン形成のし易さは、電
子親和力によって示される0種々のガス分子の電子親和
力は、第1表に一例として示される。
When electrons collide with neutral gas molecules, if the electrons have low energy, the gas molecules protect the electrons and form gaseous negative ions. This ease of negative ion formation is indicated by the electron affinity. The electron affinities of various gas molecules are shown as examples in Table 1.

親和力の値[eV]が大きくなるに従って電子付着性が
増大4−る、これは、負イオンの’I!離電流を検出し
てガス検出1公析のために応用されているが、ガスを分
離するものではない0本発明はガスの電子付着性(電子
親和力)の差を利用して気体の選択的な分離除去を可能
ならしめるものである。
As the affinity value [eV] increases, the electron attachment increases. This is due to the 'I!' of negative ions. The present invention is applied to gas detection by detecting the separation current, but it is not intended to separate gases. This makes possible separation and removal.

本発明による分離法を、具体的に説明する。第1図に示
すような同軸円筒形チャンバーの中心に放電極(−極)
を設け、電圧を印加し、コロナ放電を起こす、電子は中
心の負極付近に発生する。
The separation method according to the present invention will be specifically explained. A discharge electrode (-pole) is placed in the center of a coaxial cylindrical chamber as shown in Figure 1.
A voltage is applied to cause a corona discharge, and electrons are generated near the central negative electrode.

同時に、その付近のガス分子に衝突し、2次電子も発生
させる0例えばINIとSF、の混合ガスの場合  N
x →N *”+ 6  、SFs+ e 4SF*−
*SFs+e→SFm−+Fなどの反応で2次電子が発
生する。放電極付近で発生した電子は、放電極(−極)
より外側の電極(+極、アース)に向かう電界により、
中心より外側ヘトリフトする。ドリフトの途中で電子は
電子親和力(付着確率)の大きな気体分子と衝突し電子
付着が起こり負イオンを生成する。この負イオンが電子
と同様に電極に向かってドリフトし、電極と衝突する。
At the same time, it collides with nearby gas molecules and generates secondary electrons.For example, in the case of a mixed gas of INI and SF, N
x →N *”+ 6, SFs+ e 4SF*-
*Secondary electrons are generated by reactions such as SFs+e→SFm-+F. Electrons generated near the discharge electrode are transferred to the discharge electrode (-pole)
Due to the electric field directed towards the outer electrode (+ pole, ground),
Lift outward from the center. During the drift, the electrons collide with gas molecules that have a large electron affinity (probability of attachment), causing electron attachment and generating negative ions. These negative ions, like electrons, drift toward the electrode and collide with it.

負イオンは、電極に吸着材が設けられているために、そ
こにトラップし、固定化され、負イオン化性の気体を選
択的に分離除去できる。
Since the electrode is provided with an adsorbent, negative ions are trapped and immobilized there, and negative ionizable gases can be selectively separated and removed.

本発明に用いる装R(チャンバー)は、第1図の如き同
軸円筒形に限定されるものでなく9例えば、第2図に示
すような平行平板形のものでも同様に用いることができ
る。即ち、放電極と外側(アース)電極とより構成され
るものであれば。
The chamber R (chamber) used in the present invention is not limited to the coaxial cylindrical shape as shown in FIG. 1; for example, a parallel plate shape as shown in FIG. 2 may be used as well. That is, if it is composed of a discharge electrode and an outer (earth) electrode.

その形状は限定されるものではない。Its shape is not limited.

チャンバー内で電子発生せ、しめ、気体分子を電離せし
める方法としては、(1)紫外線照射による光電子法、
■グロー放電法、0)コロナ放電法などが考えられる。
Methods for generating electrons in a chamber, curing the chamber, and ionizing gas molecules include (1) photoelectron method using ultraviolet irradiation;
Possible methods include glow discharge method, 0) corona discharge method, etc.

分離すべき混合気体を閉じ込めるチャンバーは回分式の
ものでも、連続式のものでもよいが。
The chamber that confines the gas mixture to be separated may be of a batch type or a continuous type.

連続式で連続運転ができるものが好適である。A continuous type that can be operated continuously is suitable.

上記の電子発生装置は気体分子に付与すべき電子を発生
するものであるが、同時に、放電、スパッタリングが発
生し、電極を劣化させることなどがあるために、その劣
化対策を考えたものであることが望ましい。
The above-mentioned electron generator generates electrons to be added to gas molecules, but at the same time, discharge and sputtering occur, which can cause electrode deterioration, so this device was designed to take countermeasures against such deterioration. This is desirable.

本発明では、負イオン形成されない中性ガスを回収でき
るが、同時に、負イオン形成きれたガスの方を除去する
こともできる。除去すべきガス。
In the present invention, neutral gas in which negative ions are not formed can be recovered, but at the same time, gas in which negative ions have been formed can also be removed. Gas to be removed.

回収ガスについて適宜、除去条件、ガスの性質を考慮し
て分離方法1分離手段を決めることがよい。
Regarding the recovered gas, it is preferable to decide the separation method 1 separation means, taking into consideration the removal conditions and the properties of the gas.

また9本発明は、混合気体の分離だけでなく。Furthermore, the present invention is not limited to the separation of mixed gases.

気体の純度を高めるために用いることもできる。It can also be used to increase the purity of gases.

次に本発明の混合気体分離除去方法の実施例を述べるが
1本発明は、これにより限定されるものではない。
Next, an example of the mixed gas separation and removal method of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.

第3図に示す構成の装置で行なった0図示のように処理
ガスは連続的に入口より流入し、中心に設けられた放電
極と、対向電極として外側のアース極の間を通過し出口
より流出する。電極間を通過する際にコロナ放電により
発生した電子により負イオン化したガスはアース極(電
極)ヘトリフトし、吸着材を設けた電極へ衝突し、その
後にトラップして固定化される。入口、出口ではガス濃
度を濃度分析計(例えば、ECDガスクロマトグラフ[
1ニ子捕獲型検出器]、FPDガスクロマトグラフ[炎
光光度検出器])により測定する。
As shown in the figure, the processing gas continuously flows in from the inlet, passes between the discharge electrode provided in the center and the outer ground electrode as a counter electrode, and then exits from the outlet. leak. The gas, which is negatively ionized by electrons generated by corona discharge when passing between the electrodes, lifts to the earth electrode (electrode), collides with the electrode provided with the adsorbent, and is then trapped and immobilized. At the inlet and outlet, the gas concentration is measured using a concentration analyzer (for example, an ECD gas chromatograph [
[1-child capture type detector], FPD gas chromatograph [flame photometric detector]).

第3図の装置は、電極直径301111.ピアノ線直径
Q、3mm、反応部容積197.9cm”、基本流、I
Nl OOmj!/分で、電圧約5〜10kV、電流的
0.1〜1.6mAの実験条件で行なった。
The device of FIG. 3 has an electrode diameter of 301111. Piano wire diameter Q, 3 mm, reaction section volume 197.9 cm, basic flow, I
NlOOmj! The experiment was conducted under the following conditions: voltage of approximately 5 to 10 kV and current of 0.1 to 1.6 mA.

第3図の装置は、全体が円筒状のもので、頂部に高圧電
源から負の高圧にかけられた放電極(−極)1が中心に
懸垂されている。電極は多孔性の電極2であり、放電極
1の回りに円筒状に取り囲んである。放電s1は先端に
ウェイト3を有し。
The device shown in FIG. 3 has a cylindrical shape as a whole, and a discharge electrode (-electrode) 1, which is applied with a negative high voltage from a high-voltage power source, is suspended from the top of the device. The electrode is a porous electrode 2 which surrounds the discharge electrode 1 in a cylindrical shape. The discharge s1 has a weight 3 at its tip.

その形状を直線に保持されている。Its shape is kept straight.

混合ガス(例、Nm+SF@)は、人口4から導入され
1分離された中性のガスは底部にある出口5から排出さ
れる。
A mixed gas (eg, Nm+SF@) is introduced from the population 4, and the separated neutral gas is discharged from the outlet 5 at the bottom.

ガス人口4から導入された混合ガス(N*+SF@)は
、多孔質電極2と放電極1の間に形成されるコ[lす放
電場に流入する。ここで、電子付着により負イオンを形
成したガス(SFg)は、電極間の電界作用により電極
の電極へ高速(数10■/秒以上)で移動する。負イオ
ンガスは電極にトラップし。
The mixed gas (N*+SF@) introduced from the gas population 4 flows into the discharge field formed between the porous electrode 2 and the discharge electrode 1. Here, the gas (SFg) in which negative ions have been formed by electron attachment moves to the electrodes at high speed (several tens of square seconds or more) due to the action of the electric field between the electrodes. Negative ion gas is trapped in the electrode.

固定化される。一方1円筒状部の内側の底部のガス出口
5から外部に排出されるガスは負イオン(SF、)の濃
度が減少し、中性ガスの純度が高くなった状態のもので
ある。
Fixed. On the other hand, the gas discharged to the outside from the gas outlet 5 at the inner bottom of one cylindrical part has a reduced concentration of negative ions (SF) and a high purity neutral gas.

処理ガスとしてN*+SFsの2成分混合気体を。A binary gas mixture of N*+SFs was used as the processing gas.

第3図に示す装置によりガス分離を行なった。Gas separation was performed using the apparatus shown in FIG.

SF、は気体絶縁体としてよく用いられるガスであり、
その親和力は3.38eVである。
SF is a gas often used as a gas insulator,
Its affinity is 3.38 eV.

その結果を第4図に示す、第4図より入口SF。The results are shown in FIG. 4. From FIG. 4, the entrance SF.

濃度が低い程1分離成績が良好であることが分かる。ま
た、コロナ放電電流が大きい程1分離成績が良好なこと
を示す、特に、入口濃度がseppmのときには出「1
濃度/入口濃度が0.1以下であり1人口濃度がipp
m以下のときには出口濃度/入「1濃度が0.05以下
であり、高い分離除去が可能であることを示している。
It can be seen that the lower the concentration, the better the one-separation results. In addition, the larger the corona discharge current, the better the 1 separation performance.Especially, when the inlet concentration is seppm, the output 1
Concentration/inlet concentration is less than 0.1 and 1 population concentration is ipp
When it is less than m, the outlet concentration/input concentration is less than 0.05, indicating that high separation and removal is possible.

これは、 SF。This is SF.

の分子を負イオン化するに足るコロナ電流が供給きれれ
ば、高い分離除去効率が達成できることである。
High separation and removal efficiency can be achieved if enough corona current is supplied to negatively ionize molecules.

次に、第5図は、放電停止後の出口SF、の濃度変化を
観察したものである。 SF、が電極に物理吸着されて
いるか、電気的に、即ち、電界によりトラップされてい
ると仮定すると、放電停止後は入口濃度よりも高いSF
、濃度のものが出口で検出されるはずである(第5図で
点線に示すようになる)。
Next, FIG. 5 shows the observation of the concentration change at the outlet SF after the discharge is stopped. Assuming that SF is physically adsorbed on the electrode or trapped electrically, that is, by an electric field, the SF concentration will be higher than the inlet concentration after the discharge is stopped.
, should be detected at the outlet (as shown by the dotted line in Figure 5).

つまり、第5図は、spsが電極に固定されたことを示
している。尚、この実施例では電極は真鍮で、−極はピ
アノ線である。1!極に除去ガスを固定化する場合1分
離除去されるガスと電極材料との効果的な組合わせを実
験で確かめ、その組合わせで本発明のガス分離除去法を
行なうことがより良好な結果をもたらすものと思われる
In other words, FIG. 5 shows that sps is fixed to the electrode. In this embodiment, the electrode is made of brass, and the - pole is made of piano wire. 1! When fixing the removed gas on the electrode, it is best to experiment to find an effective combination of the gas to be separated and removed and the electrode material, and perform the gas separation and removal method of the present invention using that combination. It seems that it will bring.

プラス電極に1例えば、吸着性材料を用いて。For example, using an adsorbent material for the positive electrode.

分離除去する気体をトラップする方法も有効な分離法で
ある。不可逆的な反応を可使ならしめる化学吸着剤を電
極に用いて化学吸着により固定化を行なうことも可ずt
である。吸着材としては、活性次などの物理吸着材や生
石灰などの化学吸着剤を用いることができる。これらは
、いずれも導電性電極上に吸着剤(材)を塗布、コーテ
ィングすることが好適である。この方式での装置は9例
えば、第6図に示すものである。
A method of trapping the gas to be separated and removed is also an effective separation method. It is also not possible to immobilize by chemical adsorption using a chemical adsorbent on the electrode that makes irreversible reactions possible.
It is. As the adsorbent, a physical adsorbent such as active adsorbent or a chemical adsorbent such as quicklime can be used. For all of these, it is preferable to apply or coat an adsorbent (material) on the conductive electrode. An example of a device using this method is shown in FIG.

更に、′rt、極上に流体を流下させる濡れ壁式も可能
である。流下させる液体、即ち1作用液は負イオン化し
たガスを吸収する性能を有するものが好適である。それ
により、ガスの分離除去が、より一層促進されるもので
ある。この方式の装置は。
Furthermore, a wet wall type in which a fluid is allowed to flow down to the top is also possible. It is preferable that the liquid to be flowed down, that is, one working liquid, has the ability to absorb negatively ionized gas. Thereby, separation and removal of gas is further promoted. This type of equipment is.

例えば、第7図に示すものである。For example, it is shown in FIG.

SF、の代わりに四塩化炭素(CCfl a) 、 ト
リクロロエチレン(C=HCj! s) 、テトラクロ
ロエチレン(C,(J4)にした窒素との2成分混合気
体を、第3図に示す装置により9分離試験を行なった。
A binary gas mixture of carbon tetrachloride (CCfla), trichlorethylene (C=HCj!s), and nitrogen with tetrachlorethylene (C, (J4) instead of SF) was subjected to 9 separation tests using the apparatus shown in Figure 3. I did it.

その結果を第8図に示す、ハロゲンは電気陰性度が大き
く、ハロゲン化炭素は電子親和性が高いものである。テ
トラクロロエチレンは約90%、四塩化炭素、トリクロ
ロエチレンは約95%の除去がなされており、かなり良
好な分離成績であった。
The results are shown in FIG. 8. Halogen has high electronegativity, and halogenated carbon has high electron affinity. Approximately 90% of tetrachlorethylene was removed, and approximately 95% of carbon tetrachloride and trichloroethylene were removed, indicating fairly good separation results.

以上の結果、ハロゲン化炭素の物質については分離除去
できることが示きれた。
The above results demonstrate that halogenated carbon substances can be separated and removed.

次に、臭気性気体の一種である硫化メチル((CH,>
fis )と窒素の2成分混合ガスを第3図の装置で分
離実験を行なった。その結果を第9図に示す、臭気成分
は、活性炭による除去が困難であると言われている0分
離成績は、電流及び濃度の変化によるが、約0.5mA
以上では分離成績の変化はなく、約50〜60%の除去
がなされている。
Next, methyl sulfide ((CH,>
A separation experiment was conducted using the apparatus shown in FIG. 3 to separate a binary mixed gas of nitrogen and nitrogen. The results are shown in Figure 9. It is said that the odor components are difficult to remove using activated carbon.
In the above cases, there was no change in the separation results, and about 50 to 60% removal was achieved.

以上の実施例では、窒素ガスとの2成分混合ガスについ
ての分離除去試験であるが、多成分混合ガスについても
有効であることを、HFガスの分離除去試験により確認
した。
In the above example, the separation and removal test was performed on a binary mixed gas with nitrogen gas, but it was confirmed by a separation and removal test on HF gas that it is also effective for a multi-component mixed gas.

第2図に示す平行平板型装置で分離試験を行なった。試
験条件は、処理ガス量331m’N/時間1人ロガスf
f1度100℃、5V478h−’で。
Separation tests were conducted using a parallel plate type apparatus shown in FIG. The test conditions were: processing gas amount 331 m'N/hour 1 person log gas f
f1 degree 100℃, 5V478h-'.

入口ガス組成は、0t11.2%、C0,6,0%、 
H,06,9%、N*75.9%、 HF48.2pp
m、 NOx90.0ppmである。そして、HFの出
口濃度は4.5ppm、出ロHFfi度/入ロHFa度
は0.093で除去率90.7%の高い分離除去が達成
きれた。この場合+極の電極には金属電極上にCa、S
iを含有した粉体をコーティング処理した粉体膜電極を
用い、HFの化学吸着による固定化を促進した。
The inlet gas composition is 0t11.2%, C0,6,0%,
H, 06.9%, N*75.9%, HF48.2pp
m, NOx 90.0 ppm. The outlet concentration of HF was 4.5 ppm, the outlet HFfi degree/inlet HFa degree was 0.093, and a high separation and removal rate of 90.7% was achieved. In this case, the positive electrode has Ca, S on the metal electrode.
A powder membrane electrode coated with powder containing i was used to promote immobilization of HF by chemisorption.

一般のガス分離除去法は、濃度が低下するに従い除去効
率も低下する傾向を示すが9本発明のガス分離除去法で
は、濃度が低下するに従って除去効率が上昇する特徴を
有し、低濃度のガスの分離除去に適する4例えば、不活
性ガス(Nt、Ar、He等)の高純度化、臭気除去等
に用いる9例えば、ドライクリーニング店(有機溶剤の
除去)、ビル、病院2食堂9客車、飛行機等の空調、油
詣工場2層殺場、家畜飼育場等での脱臭装置に用いられ
る。
In general gas separation and removal methods, the removal efficiency tends to decrease as the concentration decreases, but in the gas separation and removal method of the present invention, the removal efficiency increases as the concentration decreases. 4 Suitable for separating and removing gases 4 For example, used for high purification of inert gases (Nt, Ar, He, etc.), odor removal, etc. 9 For example, dry cleaning shops (removal of organic solvents), buildings, hospitals 2 Cafeterias 9 Passenger cars It is used in air conditioning for airplanes, deodorizing equipment in Aburamashi factory two-story slaughterhouses, livestock farms, etc.

また、原子力発電所における排気ガス中の沃素の除去な
どに用いることができる。
It can also be used to remove iodine from exhaust gas at nuclear power plants.

[発明の効果] 本発明の混合気体の分離方法は、第1に、従来のガス分
離法とは全く異なる原理によるガス分離方法を提供する
こと、第2に、従来の分離法では達成しがたい超高純度
のガス精製が可能になること、即ち、空気中からのN、
とO8分離を、吸着分離法で行なった場合99.7X〜
99.9XのN、を得ることは可能であるが、これ以上
の純度にすることは困難である。しかるに本発明の分離
法では、これが達成可能となること、第3に2本発明分
離法を常圧、連続処理で行なえば、大容量のガス分離が
可能となることなどの技術的効果が得られた。
[Effects of the Invention] First, the method for separating a mixed gas of the present invention provides a gas separation method based on a completely different principle from conventional gas separation methods. It is possible to purify ultra-high purity gas, i.e. N from the air,
When O8 separation is performed by adsorption separation method, 99.7X~
Although it is possible to obtain N of 99.9X, it is difficult to achieve higher purity. However, with the separation method of the present invention, this can be achieved, and thirdly, if the separation method of the present invention is carried out under normal pressure and continuous processing, a large amount of gas can be separated. It was done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は1本発明の詳細な説明するための説明装置図で
ある。 第2図は、第1図の装置に代わる分離装置の説明図であ
る。 第3図は9本発明の1実施例を行なう装置を示す説明図
である。 第4図は、第3図の装置による本発明の分離法を行なっ
た結果を示すグラフである。 第5図は、第3図の装置による本発明の分離法を行なっ
た後の出「1濃度の傾向を示すグラフである。 第6図は2本発明の他の実施例に用いる装置を示す説明
図である。 第7図は1本発明のまた他の実施例に用いる装置を示す
説明図である。 第8図は、第3図の装置による本発明の分離法を行なっ
た他の結果を示すグラフである。 第9図は、第3図の装置による本発明の分離法を行なっ
た他の結果を示すグラフである。
FIG. 1 is an explanatory device diagram for explaining the present invention in detail. FIG. 2 is an explanatory diagram of a separation device that replaces the device in FIG. 1. FIG. 3 is an explanatory diagram showing an apparatus for carrying out one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a graph showing the results of performing the separation method of the present invention using the apparatus shown in FIG. FIG. 5 is a graph showing the trend of the concentration of the product after performing the separation method of the present invention using the apparatus shown in FIG. 3. FIG. 6 shows the apparatus used in another embodiment of the present invention. FIG. 7 is an explanatory diagram showing an apparatus used in yet another embodiment of the present invention. FIG. 8 is an explanatory diagram showing another result of performing the separation method of the present invention using the apparatus of FIG. 3. FIG. 9 is a graph showing other results obtained by performing the separation method of the present invention using the apparatus shown in FIG.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 分離すべき混合気体を一定のチャンバー内に導入し、そ
の混合気体に対して電子発生装置により、分離すべき混
合気体のうち電子付着性の高い気体分子に電子を付与し
、気体負イオンを発生せしめ、電場又は磁場を掛け、気
体負イオンをドリフトさせ、一方、プラス極に吸着材を
設け、負イオン化された気体分子をその吸着材にトラッ
プさせ、電極上に固定化し、負イオン化気体以外の分離
ガスを取り出すことを特徴とする混合気体の分離方法。
A gas mixture to be separated is introduced into a certain chamber, and an electron generator gives electrons to the gas molecules with high electron adhesion properties in the gas mixture to be separated, generating gaseous negative ions. An electric field or a magnetic field is applied to cause the gaseous negative ions to drift, while an adsorbent is provided on the positive electrode, and the negatively ionized gas molecules are trapped in the adsorbent and immobilized on the electrode. A method for separating a mixed gas characterized by taking out a separated gas.
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WO2004007057A1 (en) * 2002-07-12 2004-01-22 Komad Parsa Continuous gas separation in an open system
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