JPS63229879A - ガスレ−ザの冷却方法 - Google Patents
ガスレ−ザの冷却方法Info
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- JPS63229879A JPS63229879A JP6492787A JP6492787A JPS63229879A JP S63229879 A JPS63229879 A JP S63229879A JP 6492787 A JP6492787 A JP 6492787A JP 6492787 A JP6492787 A JP 6492787A JP S63229879 A JPS63229879 A JP S63229879A
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- cooling
- laser
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- oil tank
- insulating oil
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 4
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 title 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 5
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、エキシマレーザや炭酸ガスレーザなどのガス
レーザにおける冷却方法に関するものである。
レーザにおける冷却方法に関するものである。
エキシマレーザや炭酸ガスレーザなどのようにレーザ物
質として気体を用いるガスレーザでは、レーザ管内の気
体を放Ｔｉ電極のアーク放電によって励起してレーザ光
を発生するように構成されている。この場合に、ｔＪ！
ｉ電電極でのアーク放電を生じさせるために、その充放
電回路には放電エネルギーを取出すためのコンデンサや
可飽和リアクトルおよび前記コンデンサの充電電荷を放
電さゼるためのサイラトロンが設けられている。さらに
、前記コンデンサに直流光電圧を充電させるための高電
圧発生部が設けられている。
質として気体を用いるガスレーザでは、レーザ管内の気
体を放Ｔｉ電極のアーク放電によって励起してレーザ光
を発生するように構成されている。この場合に、ｔＪ！
ｉ電電極でのアーク放電を生じさせるために、その充放
電回路には放電エネルギーを取出すためのコンデンサや
可飽和リアクトルおよび前記コンデンサの充電電荷を放
電さゼるためのサイラトロンが設けられている。さらに
、前記コンデンサに直流光電圧を充電させるための高電
圧発生部が設けられている。
このようなガスレーザにおいて、レーザ発振を繰返し行
うと、サイラトロンや可飽和リアクトル、あるいは高電
圧発生部の昇圧トランス等に多大な熱が発生する。
うと、サイラトロンや可飽和リアクトル、あるいは高電
圧発生部の昇圧トランス等に多大な熱が発生する。
従って、これらの発熱を冷却する必要があるが、冷却に
際してはスペースの関係から空冷式より液冷式の方が効
果的である。また、同じ液冷式であっても管理の関係か
ら純水を用いるものより絶縁油を用いるものが好ましい
。
際してはスペースの関係から空冷式より液冷式の方が効
果的である。また、同じ液冷式であっても管理の関係か
ら純水を用いるものより絶縁油を用いるものが好ましい
。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが、サイラトロンや可飽和リアクトル、あるいは
高電圧発生部の昇圧トランス等の発熱部品を冷Ｉｌｌす
るに際して、サイラトロンや可飽和リアクトルはレーザ
恰と一体になって組立てられ、高電圧電源はレーザ管と
は独立して組立てられているため、上記のように絶縁油
によって冷却する場合には、レーザ管の近傍と高電圧発
生部の近傍の両方にオイルタンクやｆＩ環ポンプを配置
することになる。
高電圧発生部の昇圧トランス等の発熱部品を冷Ｉｌｌす
るに際して、サイラトロンや可飽和リアクトルはレーザ
恰と一体になって組立てられ、高電圧電源はレーザ管と
は独立して組立てられているため、上記のように絶縁油
によって冷却する場合には、レーザ管の近傍と高電圧発
生部の近傍の両方にオイルタンクやｆＩ環ポンプを配置
することになる。
しかし、このように構成した場合には、オイルタンクと
循環ポンプが２系統必要になり、全体としての冷却回路
の構成が極めて高価で、かつ大きなスペースを占有して
しまうという問題がある。
循環ポンプが２系統必要になり、全体としての冷却回路
の構成が極めて高価で、かつ大きなスペースを占有して
しまうという問題がある。
本発明の目的は、簡単で、かつ小さなスペースで発熱部
品を冷加することができるガスレーザの冷ｆ、Ｊ１方法
を提供することにある。
品を冷加することができるガスレーザの冷ｆ、Ｊ１方法
を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段］
本発明は、高電圧発生部の光熱部品を絶縁油を入れたオ
イルタンクに侵して冷却すると共に、このオイルタンク
の絶縁油をオイルポンプで環ゐさせてサイラトロンを冷
却し、かつ前記オイルタンクは冷却水によって冷却する
ようにしたものである。
イルタンクに侵して冷却すると共に、このオイルタンク
の絶縁油をオイルポンプで環ゐさせてサイラトロンを冷
却し、かつ前記オイルタンクは冷却水によって冷却する
ようにしたものである。
（作用〕
オイルタンク内の絶縁油によって乙電斤光（１部の発熱
部品が冷却されると共に、環流させた絶縁油によってサ
イラトロンが冷却される。そして、オイルタンクは冷却
水によって冷加される。
部品が冷却されると共に、環流させた絶縁油によってサ
イラトロンが冷却される。そして、オイルタンクは冷却
水によって冷加される。
［実施例］
図は本発明の一実施例を示すガスレーザの全体構成を示
すブロック図であり、レーザ発振を行うレーザヘッド１
と、このレーザヘッド１の充放電回路（図示せず）に直
流高電圧を供給する高電圧発生部（図示せず）を備えた
補機２とから構成されている。
すブロック図であり、レーザ発振を行うレーザヘッド１
と、このレーザヘッド１の充放電回路（図示せず）に直
流高電圧を供給する高電圧発生部（図示せず）を備えた
補機２とから構成されている。
レーザヘッド１においては、レーザ発振を行なわせるた
めのサイラトロン１０のみを図示している。また、補ｆ
１２においては、直流高電圧を発生ずる回路部品のうち
発熱部品を冷却するオイルタンク２０を示している。こ
のオイルタンク２０には絶縁油が貯留されており、その
絶縁油は配＠３ａを通じてオイルポンプ２１で吸入され
、さらに配管３ｂ、ループ状の配？ｆ３Ｃ，戻りの配管
３ｄを介してオイルタンク２０に環流するように構成ア
ーされている。そして、オイルタンク２０はその外周面
を冷却水配’ｌ！４ａ、４ｂから冷却水が環流すること
によって冷却されるように構成されている。
めのサイラトロン１０のみを図示している。また、補ｆ
１２においては、直流高電圧を発生ずる回路部品のうち
発熱部品を冷却するオイルタンク２０を示している。こ
のオイルタンク２０には絶縁油が貯留されており、その
絶縁油は配＠３ａを通じてオイルポンプ２１で吸入され
、さらに配管３ｂ、ループ状の配？ｆ３Ｃ，戻りの配管
３ｄを介してオイルタンク２０に環流するように構成ア
ーされている。そして、オイルタンク２０はその外周面
を冷却水配’ｌ！４ａ、４ｂから冷却水が環流すること
によって冷却されるように構成されている。
従って、この構成によれば、オイルタンク２０内の絶縁
油によって高電圧発生部の発熱部品とレーザヘッド１の
サイラトロン１０とが１系統の冷却回路によって冷却さ
れることになる。なお、レーザ発振のための充放電回路
に可飽和リアクトルを使用した場合は、この可飽和リア
クトルもサイラトロン１０の上流側あるいは下流側で冷
却される。
油によって高電圧発生部の発熱部品とレーザヘッド１の
サイラトロン１０とが１系統の冷却回路によって冷却さ
れることになる。なお、レーザ発振のための充放電回路
に可飽和リアクトルを使用した場合は、この可飽和リア
クトルもサイラトロン１０の上流側あるいは下流側で冷
却される。
この場合、オイルタンク２０とオイルポンプ２１とを有
する冷却回路はレーザヘッド１の側に配置することもで
きるが、本実施例のように補機２側に配置することによ
り、レーザヘッド１め小形化を図ることができる。なお
、絶縁油の劣化を防ぐために上記冷却回路にフィルタを
挿入すればざらにな効果的である。
する冷却回路はレーザヘッド１の側に配置することもで
きるが、本実施例のように補機２側に配置することによ
り、レーザヘッド１め小形化を図ることができる。なお
、絶縁油の劣化を防ぐために上記冷却回路にフィルタを
挿入すればざらにな効果的である。
以上説明したように本弁明によれば、高電圧発生部の発
熱部品およびレーザヘッドのサイラトロンを１系統の冷
却回路で冷却するため、その冷却回路の構成が簡単にな
り、しかもスペースも小さくて流むという効果がある。
熱部品およびレーザヘッドのサイラトロンを１系統の冷
却回路で冷却するため、その冷却回路の構成が簡単にな
り、しかもスペースも小さくて流むという効果がある。
図は本発明の！実施例を示すブロック図である。
１・・・レーザヘッド、２・・・補ば、１０・・・サイ
ラトロン、２０・・・オイルタンク、２１・・・オイル
ポンプ、３ａ〜３ｄ・・・配管、４ａ〜４ｂ・・・冷却
水配管。
ラトロン、２０・・・オイルタンク、２１・・・オイル
ポンプ、３ａ〜３ｄ・・・配管、４ａ〜４ｂ・・・冷却
水配管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ物質となる気体を封入したレーザ管と、このレー
ザ管内の気体を励起してレーザ光を誘起させる放電電極
と、この放電電極に対して放電エネルギーを供給するコ
ンデンサの充電電荷を放電させるサイライトロンと、前
記コンデンサを直流高電圧に充電する高電圧発生部とを
備えたガスレーザにおいて、 前記高電圧発生部の発熱部品を絶縁油を入れたオイルタ
ンクに侵して冷却すると共に、このオイルタンクの絶縁
油をオイルポンプで環流させて前記サイラトロンを冷却
し、かつ前記オイルタンクは冷却水によって冷却するこ
とを特徴とするガスレーザの冷却方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6492787A JPS63229879A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ガスレ−ザの冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6492787A JPS63229879A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ガスレ−ザの冷却方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229879A true JPS63229879A (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=13272161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6492787A Pending JPS63229879A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ガスレ−ザの冷却方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63229879A (ja) |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP6492787A patent/JPS63229879A/ja active Pending
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