JPS63229571A - ２次元パタ−ン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　　　要〕 本発明は、放射状測置センサを用いてＩＣなどの配線パ
ターンの線幅方向の中心検出と、各中心位置での各放射
方向とその測長データの組み合せをコード化して辞書を
作成し、配線パターンの欠陥検査を行なうパターン検査
装置において、互いに１８０°異なる２放射方向毎の測
長値の和を量子化し、同時に各２放射方向の測長値が互
いに近い値であるかどうか（対称性があるかどうか）、
及び近い値でない場合に何れの放射方向の測長値の方が
区いかを判定する手段を有し、上記量子化測長値及び方
向性判定結果をまとめてコード化し配線パターンの欠陥
検査に用いることにより、ＩＣパターンなどのように配
線の太り、欠け、及び丁字配線などが混在する配線パタ
ーンの欠陥検査を可能にするパターン検査装置である。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、配線パターンの２値化データから欠陥検査を
行なうパターン検査技石のうち放射状測長センサを用い
た通用範囲の広い汎用パターン検査装置に係り、特にＩ
Ｃパターンなどのように様々な形状を有する配線パター
ンにも柔軟に対応することのできる２次元パターン検査
装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント配線板パターン及びＩＣパターン等の良否の検
査は、それを用いたシステム製品の信頼性向上のために
不可欠の要素となっている。

従来、このような検査はＩＱ微鏡による目視に頼ってき
たが、パターン形状の複雑化、精密化に伴い、自動検査
技術の開発が望まれている。

現在、プリント板及びＩＣパターン等の自動欠陥検査を
行なう技術としては、配線パターンを光学的に読みとり
電気１３号に変換した後、二値化を行なって記憶回路に
取り込み、この二値化パターンデータに特定形状の空間
フィルタをかけることにより特徴抽出を行ない、パター
ン形状の異常を検出する方式がある。この場合の空間フ
ィルタとは、対象パターンに発生しうる欠陥形状に等し
いもので、この空間フィルタと入カバターンに同一部分
（ｆｆｉなる部分）があるかどうかを検査し、これを複
数の空間フィルタに対して行なってその重なり具合を定
量的に判定し欠陥を検出するものである。

しかし、上記従来例のようなパターン検査装置は、所定
の配線パターン専用の特定形状の空間フィルタを用いて
いるため、異種、＜ターンに対して適用範囲が狭く汎用
的でないという問題点を有していた。さらに、上記空間
フィルタは２次元形状を有しているため、各入カバター
ンに対する空間フィルタの配置の最適化が難しくに誤判
別をしやすいという問題点を有していた。

上記問題点を除（ために本出願人らは、特願昭（ｉｆ　
−１０７４０７において、欠陥検査を行なう場合の特徴
量としての配線パターンの各中心位置に置いた放射状測
長センサからの各放射方向及び長さデータの組み合わせ
情報を用い、これにより良品パターンに対する辞書の自
動作成及びそれに基づ（自９１欠陥検査を可能にし、異
種のプリント板パターンに対して通用範囲の広い汎用的
なパターン検査装置を実現した。このパターン検査装置
は、辞書パターンとして特定形状の空間フィルタは用い
ず、各配線パターン位置における各放射方向及び長さデ
ータのコード化した組み合わせを用いているため、！Ａ
Ｈパターンに対する辞書作成が容易であり、非常に汎用
性が高いという特徴を有している。

上記測長方式においては、まず各配線パターン上の線幅
方向の中心位置０を見つけた後、第９図（ａ）〜（ｄ）
に示すように各中心位置Ｏに放射状測長センサを置き、
ａ　−ｐに示す８放射方向について、中心位置０から各
方向の配線パターンの端までの測長値ｏａ、ｏｃ、ｏｅ
、　　宜、乙、ｉ。

ｏｍ、ｏｐを求める。次に、上記８方向ａ−ｐを互いに
１８０°異なる方向毎にまとめ、ａ−ｉ、ｃ’−に、ｅ
−ｍ、ｇ−ｐの４方向とし、各方向毎に測長値の和を求
める。即ち、ａ−ｉ方向はｉ＋ｏｆ、ｃ−に方向はｏｃ
＋ｏｋ、ｅ−ｍ方向は０；＋　５％　ｇ−ｐ方向は賞十
石を求める。次にこれら４つの測長値和を最小値で正規
化した後、以下に示す手順で各測長値和をコード化する
。

■まず、Ｗ、（最小値）＜Ｗ、＜Ｗｆｉなる闇値を用意
し、各４方向毎に測長値和がＷＭ以上でＷ、より小さけ
れば“Ｃ″、Ｗａ　以上でＷｓより小さければ′Ｌ”、
Ｗｓより大きければ“０”なるコードを付与する。

■次に、各４方向毎に互いに１８０°異なる２放射方向
の各測長値がかなり異なる場合にはコ−ド“Ｎ”を付与
する。

上記各手順に従って、例えば第９図（ａ）の欠は部分の
配線パターンをコード化した場合、ａ−ｉ方向は“ｃ”
、ｃ−に方向は“ＮＬ”、ｅ　−ｍ方向は“０”、ｇ−
ｐ方向は“ＮＬ”というコードが付与される。即ち、ａ
−ｉ方向は測長値和青十ｏｉがＷｌ　以下で、かつ、Ｏ
ａとＯ２０値はほぼ同じであることを示し、またｇ−ｐ
方向は測長値用ｏｇ＋ｏｐがＷ９以上蕾、以下で、かつ
、日と百の値はかなり異なっていることを示す。このコ
ード化により、第９図（Ｆｌ）の欠は部分の配線パター
ンは上記４方向をまとめて、”Ｃ，ＮＬ、Ｏ。

ＮＬ”というコードで表わされる。

上記コード化を良品パターンについて行なって辞書を作
成した後、未知パターンのコード化を行ないそのコード
が良品パターン辞書にあるか否かを調べることにより、
配線パターンの欠陥検査を行なうことができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし上記従来例により各配線パターンのコード化を行
なった場合、第９図（ｎ）に示す欠は部分と同図（ｂ）
に示す太り部分は同図に示すように同じコードになって
しまう。また、第９図（Ｃ）に示す断線部分と同図（ｄ
ｌに示ずＴ字配線部分も同じコードにな°ζしまう。そ
してこの方式を一般的なプリント基板上の配線パターン
の欠陥検査に用いた場合には、第９図（ａ）の欠は欠陥
と同図（ｂ）の太り欠陥を区別しな（てよい場合が多く
、また第９図（ｄ）の丁字配線パターンを許さなければ
上記方式は問題なく通用できる。しかし、ＩＣパターン
などの場合には、第９図（ａ）〜（ｄ）の各パターンは
区別する必要があり、上記従来例を直接適用できないと
いう問題点を有していた。

本発明は上記問題点を解決するために、互いに１８０°
異なる２放射方向の各測長値がかなり異なる場合（コー
ド“Ｎ”が付与された場合）に、何れの放射方向の方が
長いかという方向性をコード化して付与することにより
、欠けと太り、断線と丁字配線などを区別してコード化
することを可能とし、ＩＣパターンなどのように様々な
形状を有する配線パターンにも対応できる２次元パター
ン検査装置を提供することを目的とする。

〔問題点をＩＷ決するための手段〕

本発明は上記問題点を解決するために、第１図に示すよ
うな基本構成を有する。すなわち、配線パターンの各中
心位置における各放射方向毎の測長値４を１８０°異な
る２放射方向毎にその和を計算して量子化を行なう測長
値量子化手段１、その場合に上記各２放射方向の測長値
が互いに近い値であるかどうか、及び近い値でない場合
に何れの放射方向の測長値の方が長いかを判定する方向
性判定手段２、及び測長値量子化手段１からの量子化測
長値５と方向性判定手段２からの方向性判定出力デ、−
夕６のコード化を行ないコード出カフとして出力するコ
ード化手段３によって構成される。

〔作　　　用〕

上記構成において、測長値４は１８０″異なる２放射方
向毎にまとめられ測長値量子化手段１により量子化され
、コード化手段３でコード化されると共に、各２放射方
向の測長値が近い値であるかどうか、及び近い値でない
場合に何れの放射方向の測長値の方が長いかという方向
性が、方向性判定手段２において判定され、その出力で
ある方向性判定出力データ６がコード化手段３で同時に
コード化される。このようにコード化において、測長値
の方向性を付加することにより、より多くの４ＭＵの配
線パターンを区別してコード化することが可能となり、
ＩＣパターンの欠けと太り、断線と丁字配線なども適切
に判別することが可能となる。

〔実　　施　　例〕

以下、本発明の実施例につき詳細に説明を行なう。

先ず、第２図は本発明による２次元パターン検査装置の
全体の構成図である。レンズ１０及びＣＣＤＩＩからな
るラインセンサが被検査試料８上を走査することにより
、該試料８上の各３次元パターンが電気信号に変換され
る。この信号は高さ検知回路１２に入力し、ここで前記
被検査試料８上の配線パターン９が検知され、フィルタ
ー回路１３により部分的に誤って配線パターンとして検
知された領域が除去された後、２次元パターン変換回路
１４にて２次元パターンに変換され、さらに二値化回路
１５により二値化された後、記憶回路１６に格納される
。記憶回路１６からの二値化パターン出力２０は測長部
１７に送られ、測長部、１７からのコード出力２１は参
照辞書記憶回路１９または比較判定回路１８に送られる
。比較判定回路１８は測長部１７からのコード出力２１
と参照辞書記憶回路１９からの良品コード出力２３との
比較を行ない、欠陥検出結果の出力２２として出力する
。

次に、第３図は、本発明に直接係る測長部１７（第２図
）の構成図である。記憶回路１６（第２図）からの二値
化パターン２０は測長センサ２４に入力し、ここで同図
に模式的に示すようにａ〜ｒの１６方向の測長が行なわ
れる。次に、測長センサ２４の各測長出力２５は、中心
検出回路２６において中心検出が行なわれた後、配線パ
ターンの各中心位置における測長値２７　（第１図４に
対応）は、最小測長値検出回路２８及び測長値正規化回
路３０に送られる。そして、最小測長値検出回路２８に
おいて上記測長値２７の最小測長値用２９が求められ、
測長値正規化回路３０において上記測長値２７が上記最
小測長値用２９で除算され、正規化測長値３１が出力さ
れる。

正規化測長値３１　（第１図４に対応）は破線で示され
る測長コード作成部３２に入力し、コード化される。測
長コード作成部３２は量子化回路３３（第１図１に対応
）、方向性判定回路３４（第１図２に対応）、及びコー
ド化回路３５（第１図３に対応）からなる。まず、量子
化回路３３には正規化測長値３１が入力し、１８０°異
なる放射方向毎（後述する）の測長値用が別に入力する
閾値Ｗａ　、　Ｗ　ｓに従って量子化測長値３６（第１
図５に対応）として出力される。一方、方向性判定回路
３４には測長値２７が入力し、上記１８ｏ°異なる各放
射方向の測長値の差がある闇値以下であるかどうか、す
なわち近い値であるがどうかが判定され、対称性データ
３７　（第１図６の一部に対応）として出力される。ま
た、同時に上記差が闇値以上の場合、何れの放射方向の
測長値の方が長いがが判定され、方向性データ３８　（
第１図６の一部に対応）として出力される。そして上記
量子化回路３３からの量子化測長値３６、及び方向性判
定回路３４からの対称性データ３７、方向性データ３８
は、コード化回路３５に入力しコード化され、コード出
力２１として出力される。

続いて、第４図（ａ）は、第３図の測長センサ２４の構
成説明図である。測長センサ２４は第４図（ａｌに示す
ような放射状のビットメモリセルにより形成されるゲー
ト回路を有しており、これが入力パターンの各方向の測
長を行なう測長センサとなる。

この測長センサ２４は第４図〜）に示すような１６方向
に対して、同図（ａ）に示すように、中心ビットＸから
なる放射状に伸びるディジタル直線によって形成され、
各ビットは同図＋８）に例として示すように各方向毎に
中心ビットＸからのビット距離が割当てられている。本
発明の論理ではこの測長センサにより、パターン各位置
における各方向の長さの特徴を捉え、欠陥診断を行なっ
ているため測長センサの形状は入カバターンの形状に対
して全く独立であるという特徴を有する。

次に、上記構成のパターン検査装置の動作につき、詳細
に説明を行なう。

まず、被検査試料８上の配ばパターン９（第２図）は、
例えば“１”、それ以外の空域は例えば、０″というよ
うに符号化され２値化パターン２０として記憶回路１６
に記憶される。

上記二値化パターン２０は、第２図の測長部１７に送ら
れ、まず、第３図の測長センサ２４による測長動作、及
び中心検出回路２６による中心検出動作が行なわれる。

これは、配線パターンの幅方向の中心位置を見つけるた
めの処理であり、第４図（ａ）で説明した測長センサ２
４の全てのビットメモリセルを用いて行なう。そのため
に特願昭６１−１０７４０７において述べたように、ま
ず第３図の記１．Ｑ回路１６からの二値化パターン２０
のうち、配線パターン上の各ピント位置（例えば“１”
で表わされるビット位置）に前記測長センサ２４の中心
ピッＩ−Ｘ（第４図（１１参照）を合わせ、各ＩＧ方向
毎に中心ビン）Ｘから最初のピント転換点（“１”から
“Ｏ”に庇化するビット）までのビット距離を検出する
。今、各方向ａ、ｂ、ｃ、・・・ｒ（第４図（ｂ）参照
）の１６本のセンサによる各センサ出力を各々ｒｌｓｒ
２、−ｒ＋ｓ　　（第３図２５）とした時、該各センサ
出力２５は中心検出回路２６に入力し、次に示す動作を
行なう。すなわち、ここでは各方向のセンサ出力すなわ
ち測長値が以下に示す（１）〜（３）式の関係を全て同
時に満たず時に、その方向について中心条件が成立した
と判定する。

１ｒｎ−ｒｎ＋ａｌ≦ｃ、９ｙＬ′−−−−−−（ｔ）
ｒｌ、≦Ｓｍａｘ　　　　　　＝・（２）ｒ　　ｔｔ＋
ｓ　　　≦　Ｓ　　ｌ１ｌａｘ　　　　　　　　　　　
　　　　・　　・　　奉　　・　　拳　　・　　帝　（
３）ここで、ＣＢ９？Ｌは１８０”方向が異なる測長値
の差に対するマージンであり、Ｓ　ｍａｘは測長可能な
最、入植、すなわちセンサ長であり、第４図（ａｌの場
合］６である。今、中心ビン）Ｘが配線パターンの中心
にある場合には、互いに１８０°異なる方向の測長値は
ほぼ同じ値になり上記中心条件を満たしている。そして
、上記中心条件を満たず各方向に対して、さらに以下（
４）式を満たす時に測長センサ２４の中心ピッ＋−Ｘが
示す位置が配線パターン中心と判定される。

（中心条件が成立する方向数） ≧ＣＩＬ、ｒ（Ｃ７ａｉｒ　　≦８）・・・・・・（４
）」二記の処理を繰り返すことにより配線パターンの検
出中心線が決定される。

上記処理により配線パターンの中心線が検出された位置
における測長センサ２４（第３図）の各センサ出力の測
長値の組み合わせを用いることにより、様々な配線パタ
ーンの検査を行なうことができるが、センサ出力２５（
第３図）のうち用いるものは、特願昭６１−１０７４０
７で述べたように第４図（ｂ）で示した１６方向全てで
はな（、第５図（ａ）に示すように１８０′異なる方向
毎に１方向にまとめ、さらに４５°ずつの４方向に単純
化する。この時のδｊＩＩ長値和を信相、１３．１５．
１７とすると、ｌｘ？Ｌ−＋　＝　ｒｌｒＬ−１＋　ｒ
ｚｎＨ−１（ｎ　−１〜４）・　・　・　・　・　・（
５） によっ°ζ、測長信相が決定される。これを４５°系セ
ンサと呼ぶ。しかし、配線パターンの１頃斜が２２．５
°付近になる場合には、第５図（ａ）に示した４５゜系
センサのみでは正しいパターン検査を行なえない場合が
あるため、特願昭６１−１４２９　／ｌｏにおいて述べ
た技術により、第５図（ｂ）に示すように同図（ＩＸ）
の４５°系センサと２２．５°方向の異なる２２．５系
センザを用いる。この測長信相を１２．１４、β６、ｌ
［ｌとすると、 Ｌ２ｎ　−ｒ２ＦＬ　”　ｆｎ＋８−　’　　（ｎ””
　’〜４）・・・・・・（６） によって、測長信相が決定される。ずなわち、測長値２
７のうち１１、β３、β５．２７、又は１２．１４．１
６、ｌＢの何れか４方向ずつの測長信相が用いられる。

そのための選択は、特には図示しないが最小測長値検出
回路２８内において・特願昭６１−１４２９４０で述べ
たように、オーバーフローの検知されるセンサ出力の方
向を判定することにより行なわれる。

次に、上記測長信相の正規化を行なう、一般に、ＩＣパ
ターンの配線幅は一様ではなく、様々な種類の配線幅が
存在する。このため、測長信相をコード化する場合には
、その正規化を行なう必要がある。この場合、太い線幅
の配線パターンに対しては比較的大きい欠陥まで許し、
小さい線幅の配線パターンに対しては小さい欠陥のみ許
すようにするのが望ましい。従って、ＩＩ、β２３、β
５．１７、又は、β２．１４．１６、ｌａの何れか４方
向の測長信相が求まったら、４方向の中の最小値が線幅
であると判定して、その築小値で正規化するのが妥当で
ある。そこで、４方向の測長信相に対して、特願昭６１
−３０２８０２で述べた技術に従って最小測長値検出回
路２８において４方向の中の最小測長信相２９（第３図
）が検出される。そして、測長値正規化回路３０におい
て、上記各ｘｉ信用が最小測度信相２９で除算され、正
規化測長値３１に変換される。

続いて上記正規化測長値３１は、測長コード作成部３２
（’ＪＳ３図〉に入力し、コード化される。

βＩ、β３．１５、ｌ　７　、又は、１２．１２ｍ、７
！６、β８の何れか４方向の各測長信用に対応する正規
化測長値３１は、まず量子化回路３３　（第３図）に入
力し以下に示すように母子化される。

まず、■６図（Ｆｌ）、（ｂｌに示すように放射状に伸
びた各センサ（第６図（１１）、（ｂｌの場合、１６方
向で表しである）に、母子化のための闇値として３つの
圧出１１のリングを設ける。Ｍリングの直径は最小線幅
で正規化した時の最小値１であり、Δリング、Ｓリング
の直径はＭリングに対する倍率Ｗ＃ＳＷ。

で与えられ、Ｓリングがセンサの測長限界である。

これにより、■６図（１ｍｌ、（ｂ）に示すように、配
線パターンの線幅により各リングの大きさが可変するご
とになる。これを用いて、β１、Ｉ！３、β５．１７、
又は、１２、！！４、Ｉ！６．２８の何れが４方向の測
長信用から求まった正規化測長値３１を、に示すように
３レベルに量子化し、９子化測長値３６（第３図）とし
て出力する。

一方、上記１１．．１３、β５、β７、又は、７！２．
１４．２６、βＢの何れが４方向の測長信用に対応する
各正規化測長値３１が量子化回路３３に入力するのに対
応して、上記各測長信用を形成する互いに１８０′異な
る放射方向の測長値２７、すなわち前記（５）式又は（
６）式より、ｒｌ−β９、β３−ｒｌ　１．　ｒｆｆｉ
−ｒｌ　３、ｒ　７　　ｒ　ｌ　５、又はβ２−ｒ１０
八ｒａ−Ｔｒ２、β６−ｒｌ４、ｒＢ　　ｒｌａが方向
性判定回路３４に入力し、各組毎に前記（１）〜（３）
式の中心条件を満たしているかどうかが判定される。そ
して中心条件を満たしている（これをＰａ１ｒと呼ぶ）
状態か、満たしていない（これをＮｏｎ−ｐａｉｒと呼
ぶ）状態かの幾れかの情報が対称性データ３７として出
力される。

さらに、上記判定によりＮｏｎ−ｐａｉｒが出力された
場合に、上向きの放射方向の測長値、すなわち、第４図
（ｂｌのセンサａ　−ｈ方向に対応する測長値ｒｌ〜「
ｅの方が、下向きの放射方向の測長値、すなわち、セン
サｉ　％　ｒ方向に対応する測長値ｒ９〜ｒ＋ａより長
ければ状態１が、逆に下向きの方が長ければ状態２が方
向性データ３８として出力される。すなわち、方向性判
定回路３４においては、互いに１８０°異なる放射方向
の測長値がＰａ１ｒかＮｏｎ−ｐａｉｒか、及びＮｏｎ
−ｐａｉｒである場合に上向きの放射方向と下向きの放
射方向とで何れの測長値の方が長いかという情報が、各
４方向１１．１３、β５．１７、又は、１２．１４．１
６．１８毎に判定され出力される。

次に、前記量子化回路３３からの量子化測長値３６、及
び前記方向性判定回路３４からの対称性データ３７、方
向性データ３８が前記各４方向毎にコード化回路３５に
入力し、コード化される。

第７図に各方向毎の分類コードを示す。すなわち、前記
各４方向毎に、Ｐ　ａｉｒである場合３レベル、Ｎｏｎ
−ｐａｉｒである場合６レベル、合計９レベルの何れか
１つにコード化される。

第８図に各配線パターンに対するコード化例を示す。同
図（ａ）の欠は部分においては、ａ−ｉ方向（１１）に
ついては正規化測長値３１は“Ｃ”（ＰａｉｒかつＣｏ
ｒｒｅｃｔ）であり、ｃ−に方向（１３）については“
ＮＬ２″　（Ｎｏｎ−ｐａｉｒがっＬ　ｏｎｇｅｒかつ
下方向、すなわちに方向が長い）であり、ｅ−ｍ方向（
ｊ！５）については“０”（Ｐ　ａｉｒかつ０ｖｅｒ　
Ｆｌｏｗ）　、ｇ−ｐ方向（７！７）については”　Ｎ
　Ｌ　＋　”　　（Ｎｏｎ−ｐａｉｒかっＬ　ｏｎｇｅ
ｒかつ上方向、すなわちｇ方向が長い）となる。従って
欠は部分のコード出力は、（Ｃ，Ｎｌ２．Ｏ。

ＮＬ＋）となる。そしてこのコードは、数字に置きかえ
られてコード出力２１　（第３図）として出力される。

これに対して、第８図（ｂ）の太り部分においてコード
出力２１は（Ｃ，Ｏ，Ｎｌ２．Ｎｌ２）となり、同図（
ａｌの欠は部分の場合とは異なったコードが出力される
ことがわかる。このようにＮｏｎ−ｐａｉｒとなる場合
に、互いに１８０″異なる上向きと下向きの放射方向の
何れの測長値の方が長いがという方向性を付加したこと
により、欠けと太りを区別してコード化することが可能
となる。これは第９図の従来例では、同図（ａｌとｆｂ
）に示すように欠けと太りが同じコードになってしまう
のと比較すると、コード化能力が改善されていることが
わかる。第８図（Ｃ）は断線部分のコード化例であり、
（Ｃ，ＮＯ２，ＮＣ２，ＮＣ２）というコード出力２１
が出力され、第８図（ｄ）のＴ字配線部分では、（Ｃ，
ＮＯ２，ＮＣＩ、ＮＣＩ）というコード出力２１が出力
されることがわかる。このように断線と丁字配線も明確
に区別してコード化することができ、第９図（Ｃ１，（
ｄ）の従来例の問題点が改善されている。

以上の例の他にも、方向性を付加することにより区別し
てコード化できる配線パターン数が大幅に増えるため、
第２図の比較判定回路１８において予め良品パターンか
ら作成しておいた良品コード出力２３と比較する場合の
比較能力が向上し、ＩＣパターンなどに対しても正しい
欠陥検出結果の出力２２を得ることが可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、放射状測長センサを用いた２次元パタ
ーン検査装置の汎用性の高さという利点に加え、測長値
の方向性を付加してコード化することにより、従来困難
であった欠けと太り、及び断線と丁字配線などを区別し
てコード化することカ可能となり、ＩＣパターンなどの
ように様々な配線パターンの欠陥検査にも柔軟に対処す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の基本構成図、 第２図は、本発明による２次元パターン検査装置の全体
構成図、 第３図は、測長部の構成図、 第４図（ａ）、　（ｂ）は、′ｌ？１長センサの構成説
明図、第５図（ａ）、　（ｂ）は、４５°系センサと２
２．５°系センサの説明図、 第６図（ａ）、　（ｂ）は、測長リングの説明図、第７
図は、測長値・方向性と分類コードの対応図、 第８図（ａ）〜（ｄｌは、配線パターンのコード化例の
説明図、 第９図（ａｌ〜（ｄ）は、従来例における配線パターン
のコード化例とその問題点の説明図である。 ■・・・測長値量子化手段、 ２・・・方向性判定手段、 ３・・・コード化手段、 ４・・・各中心位置における放射状測長センサの各放射
方向毎の測長値、 ５・・・量子化測長値、 ６・・・方向性判定出力データ、 ７・・・コード出力。 特許出願人　　　富士通株式会社 本井哄内羞オ浦（戯画 第１図 ２１コード出力 ；ｌ”ｌ　Ａｍ　ノａ、７３１ 第３図 太い白己腺　　　　　　　　　　　　本田い配線（ａ）
　　　　　　　　　　　　　　　　（ｂ）渭１１長弓ン
クパの談ワ■図 第６図′ Ｗａ　：　　Ａリレク゛の直Ｊ＋ Ｗｓ：Ｓ’ｌングの面Ａ＋ ｃ　　：　　ｃｏｒｒｅｃｔ Ｏ：　Ｏｖｅｒｆｌｏｗ 第７図 （Ｃ）　　　　　　　　（ｄ） 自己棗＼°ダ一゛／のコードイ６蓼ｌｊの説ＢＰＩ図第
８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査試料から光学的検知手段により得た二値化配線パ
   ターンデータから、該配線パターンの各位置における放
   射状に伸びた複数方向の長さを放射状測長センサを用い
   て測長し、該各測長から前記配線パターンの線幅方向の
   中心検出を行い、各中心位置における前記各放射方向及
   び測長値の組み合せをコード化して辞書を作成し前記配
   線パターンの欠陥検査を行なう２次元パターン検査装置
   において、 前記各中心位置における前記放射状測長センサの各放射
   方向毎の測長値（４）において１８０°異なる２放射方
   向毎の測長値の和を量子化し量子化測長値（５）として
   出力する測長値量子化手段（１）と、 該各２放射方向の測長値が互いに近い値であるかどうか
   、及び近い値でない場合に前記２放射方向のうち何れの
   放射方向の測長値の方が長いかを判定し方向性判定出力
   データ（６）として出力する方向性判定手段（２）と、 前記測長値量子化手段（１）からの量子化測長値（５）
   及び前記方向性判定手段（２）からの方向性判定出力デ
   ータ（６）をコード化し、前記配線パターンの欠陥検査
   に用いるためのコード出力（７）を出力するコード化手
   段（３）とを有することを特徴とする２次元パターン検
   査装置。